JP5088579B2 - ガラス基板リペア装置 - Google Patents
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Description
2 ガントリ型XYステージ
3 スライド機能付ホルダユニット
4 レーザ光学ユニット
21 光学ユニット走査機構
22 ステージ
22a 架台
22b 除振マウント
22c 石定板
22d 載物面
31 スライド部材
31a テーブル板
31b 側面板
31c リニアモータ可動子
31d リニアスケール
32 ベース板
32a リニアガイド突部
32b リニアモータ固定子
41 移動ベース
42 光軸
211 前後方向直動機構
211a ガイドベース
211b 直動ガイドレール
211c リニアモータ固定子
211d リニアモータ可動子
211e リニアスケール
212 ガントリ部
212a 支柱
212b ビーム
212c 直動ガイドレール
212d リニアモータ固定子
212e リニアモータ可動子
212f リニアスケール
L 光軸の前後方向移動ストローク
Claims (2)
- 所定の前後方向長及び左右方向幅を有する載物面を有するステージと、前記ステージの載物面上にあって、リペア対象となるガラス基板を保持する機能を有するホルダユニットと、前記ステージの上方にあって、載物面に向けてレーザビームを照射する機能を有するレーザ光学ユニットと、前記ステージの載物面に沿って、前記光学ユニットを前後方向及び左右方向へと走査する機能を有する光学ユニット走査機構とを包含し、
前記光学ユニット走査機構は、
前記載物面の左右両側縁部にあって、それぞれ所定の可動子を前後方向へと直動させる機能を有する左右の前後方向直動機構と、
前記左右の前後方向直動機構の可動子間に跨って架け渡され、かつ前記レーザ光学ユニットを支持する所定の可動子をステージの左右方向へと直動させることが可能な左右方向直動機構を有するガントリ部とが包含されており、さらに
前記ホルダユニットは、
前記載物面に固定されるホルダベースと、
所定の前後方向長及び左右方向幅を有し、リペア対象となるガラス基板が保持されるテーブル板と、
前記ホルダベースに対して前記テーブル板を前後方向へとスライドさせる機能を有する前後方向直動機構とを有し、かつ
前記テーブル板の前後方向長は、その前端位置が前記ステージの前端位置とほぼ一致するとき、その後端位置が前記レーザ光学ユニットの前後方向光軸ストロークの後端位置よりも、さらに、後方に位置するように定められている、ことを特徴とするガラス基板リペア装置。 - 請求項1に記載のガラス基板リペア装置の運転方法であって、
テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したガラス基板受け渡し位置に達するまで、テーブル板を前後方向直動機構を介してステージの前方へとスライドさせて、加工対象となるガラス基板を受け取り、受け取ったガラス基板をテーブル板上に保持させる第1のステップと、
前記第1のステップにてガラス基板を受け取ったのち、テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したテーブル静止状態において、前記ガントリ部を所定の前後方向ストローク内において前方へスライドさせて、テーブル板上に保持されたガラス基板の後端位置から前方所定範囲内の領域をリペア加工する第2のステップと、
前記第2のステップに続いて、テーブル板の前端位置がステージの前端位置と一致するまで、テーブル板を前記前後方向直動機構を介してステージの後方へとスライドさせたのちのテーブル静止状態において、前記ガントリ部を所定の前後方向ストローク内において後方へスライドさせて、テーブル板上に保持されたガラス基板の前端位置から後方所定範囲内の領域をリペア加工する第3のステップと、
テーブル板の前端位置がステージの前端位置よりも所定距離突出したガラス基板受け渡し位置に達するまで、テーブル板を前後方向直動機構を介してステージの前方へとスライドさせて、加工終了後のガラス基板を次工程へと受け渡す第4のステップとを包含する、ことを特徴とするガラス基板リペア装置の運転方法。
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JP2008234928A JP5088579B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | ガラス基板リペア装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008234928A JP5088579B2 (ja) | 2008-09-12 | 2008-09-12 | ガラス基板リペア装置 |
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Family Applications (1)
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2008
- 2008-09-12 JP JP2008234928A patent/JP5088579B2/ja active Active
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