JP5087416B2 - セラミックスヒータ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
上記のように、本発明の実施の形態を記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者にはさまざまな代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。本発明はここでは記載していないさまざまな実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係わる発明特定事項によってのみ定められるものである。
12…シャフト部
14…第1部材
16…第2部材
20、22、24、26…フランジ
Claims (6)
- 上面に被加熱物を載置する第1セラミックス焼結体からなるプレート部と、
前記プレート部の下面に接合されたシャフト部とからなるセラミックスヒータであって、
前記シャフト部は、
前記プレート部の下面に一端が直接接合され、前記第1セラミックス焼結体と同じ組成のセラミックス焼結体からなる筒形状の第1部材と、
該第1部材の他端に直接接合され、前記プレート部より熱伝導率が低い第2セラミックス焼結体からなる筒形状の第2部材
とを有し、
前記第1部材は、前記一端と前記他端の間で筒形状の径方向において外に向かって凸の曲率を有し、前記一端から前記他端に向かって直径が減少することを特徴とするセラミックスヒータ。 - 前記一端に、前記第1部材を前記プレート部にホットプレス法により接合するためのフランジが設けられ、前記他端に、前記第1部材を第2部材にホットプレス法により接合するためのフランジが設けられたことを特徴とする請求項1に記載のセラミックスヒータ。
- 前記第1部材及び第2部材が、肉厚が7mm〜8mmの厚肉円筒状であることを特徴とする請求項1に記載のセラミックスヒータ。
- 前記第1セラミックス焼結体が、イットリアを添加物として2重量%〜10重量%含む窒化アルミニウムであり、前記第2セラミックス焼結体は、純度が99%以上の窒化アルミニウムであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のセラミックスヒータ。
- 前記第1部材は、高さが30mm以上70mm以下である、請求項1〜4のいずれか1項に記載のセラミックスヒータ。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載のセラミックスヒータの製造方法であって、
上面に被加熱物を載置する第1セラミックス焼結体からなるプレート部を形成する工程と、
前記第1セラミックス焼結体と同じ組成のセラミックス焼結体からなる筒形状の第1部材を形成する工程と、
前記プレート部より熱伝導率が低い第2セラミックス焼結体からなる筒形状の第2部材を形成する工程と、
前記第1部材の他端に前記第2部材の一端をホットプレスにより接合する工程と、
前記第1及び第2部材を接合した後に、前記プレート部の下面に前記第1部材の一端をホットプレスにより接合する工程
とを含むことを特徴とするセラミックスヒータの製造方法。
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