JP5077393B2 - Ceramic electronic component and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、セラミック電子部品およびその製造方法に関する。   The present invention relates to a ceramic electronic component and a manufacturing method thereof.

セラミック電子部品は、小型、高性能、高信頼性の電子部品として広く利用されており、電気機器および電子機器の中で使用される個数も多数にのぼる。近年、このような機器の小型かつ高性能化に伴い、セラミック電子部品に対する更なる小型化、高性能化、高信頼性化への要求はますます厳しくなっている。   Ceramic electronic components are widely used as small-sized, high-performance, and high-reliability electronic components, and the number of ceramic electronic components used in electrical and electronic devices is large. In recent years, along with the downsizing and high performance of such devices, the demand for further downsizing, high performance, and high reliability of ceramic electronic components has become increasingly severe.

また、このような機器は様々な環境下で用いられるため、セラミック電子部品には、たとえば機械的強度や耐湿性が良好であることが要求される。さらに、セラミック電子部品の製造工程においては、生産効率を高めて歩留まりを向上することが必要となる。   In addition, since such devices are used in various environments, ceramic electronic components are required to have, for example, good mechanical strength and moisture resistance. Furthermore, in the manufacturing process of the ceramic electronic component, it is necessary to increase the production efficiency and improve the yield.

特許文献1には、セラミック積層体の外表面の一部を構成する保護層と、保護層以外の本体部とを備えるセラミック積層体を有する積層セラミック電子部品が開示されている。この積層体に含まれる一般式ABOで表される化合物におけるAとBとのモル比(A/B比)が、本体部よりも保護層の方が高い関係とすることで、クラック防止を図ることが記載されている。 Patent Document 1 discloses a multilayer ceramic electronic component having a ceramic laminate including a protective layer that constitutes part of the outer surface of the ceramic laminate and a main body portion other than the protective layer. The mole ratio (A / B ratio) between A and B in the compound represented by the general formula ABO 3 contained in this laminate is higher in the protective layer than in the main body, thereby preventing cracks. It is described that it is planned.

しかしながら、特許文献1では、保護層におけるA/B比を本体部におけるA/B比よりも高くしているため、保護層の焼結性は、本体部の焼結性よりも低下する。その結果、保護層の焼結性が良好な場合には、本体部は過剰に焼成されてしまい、クラックが発生しやすいという問題があった。また、本体部の焼結性が良好な場合には、保護層は十分に焼結していないため、耐湿性が悪化するという問題があった。   However, in Patent Document 1, since the A / B ratio in the protective layer is set higher than the A / B ratio in the main body, the sinterability of the protective layer is lower than the sinterability of the main body. As a result, when the sinterability of the protective layer is good, there is a problem that the main body is excessively fired and cracks are likely to occur. In addition, when the sinterability of the main body is good, the protective layer is not sufficiently sintered, so that there is a problem that the moisture resistance deteriorates.

また、特許文献1では、セラミック積層体の本体部を形成するためのペーストと、保護層を形成するためのペーストとを、別々に準備する必要があり、製造工程が煩雑になり、生産効率が低下するという問題があった。   Moreover, in patent document 1, it is necessary to prepare separately the paste for forming the main-body part of a ceramic laminated body, and the paste for forming a protective layer, and a manufacturing process becomes complicated and production efficiency becomes efficient. There was a problem of lowering.

特開2010−50263号公報JP 2010-50263 A

本発明は、このような実状に鑑みてなされ、素子本体の表面の強度を高めて耐湿性を向上させ、かつ構造欠陥が抑制されたセラミック電子部品およびその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide a ceramic electronic component in which the strength of the surface of the element body is increased to improve moisture resistance and structural defects are suppressed, and a method for manufacturing the same. .

上記目的を達成するために、本発明に係るセラミック電子部品は、
誘電体層を備える素子本体を有するセラミック電子部品であって、
前記誘電体層が、一般式ABO(AはBa単独、または、BaとCaおよびSrから選ばれる少なくとも1つとであり、BはTi単独、または、TiとZrおよびHfから選ばれる少なくとも1つとである)で表される化合物を含有する誘電体磁器組成物から構成されており、
前記素子本体は、素子本体内部と、前記素子本体内部を覆う表層部と、から構成されており、前記表層部は、前記素子本体表面からの深さが10μmまでの領域であり、
前記表層部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB1とし、前記素子本体内部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB2としたとき、
前記AB1およびAB2が、0.992≦AB1/AB2≦0.998である関係を満足することを特徴とする。
In order to achieve the above object, a ceramic electronic component according to the present invention comprises:
A ceramic electronic component having an element body with a dielectric layer,
The dielectric layer has the general formula ABO 3 (A is Ba alone or at least one selected from Ba and Ca and Sr, and B is Ti alone or at least one selected from Ti, Zr and Hf. And a dielectric ceramic composition containing a compound represented by
The element body is composed of an inside of the element body and a surface layer part covering the inside of the element body, and the surface layer part is a region having a depth of up to 10 μm from the surface of the element body.
When A / B indicating the molar ratio of A and B in the surface layer portion is AB1, and A / B indicating the molar ratio of A and B in the element body is AB2,
AB1 and AB2 satisfy the relationship of 0.992 ≦ AB1 / AB2 ≦ 0.998.

本発明では、素子本体が表層部と素子本体内部とを有し、内部全体を表層部が被覆している構成となっている。すなわち、素子本体の外表面は表層部のみから構成されており、素子本体内部は素子本体の外表面に露出していない。また、表層部におけるA/B比(AB1)と、内部におけるA/B比(AB2)とを上記の関係としている。   In the present invention, the element body has a surface layer part and the inside of the element body, and the entire surface is covered with the surface layer part. That is, the outer surface of the element body is composed only of the surface layer portion, and the inside of the element body is not exposed on the outer surface of the element body. In addition, the A / B ratio (AB1) in the surface layer portion and the A / B ratio (AB2) in the interior have the above relationship.

このようにすることで、表層部の焼結状態および内部の焼結状態を制御できる。その結果、表層部の硬度を向上させ耐湿性を向上させつつ、クラックや層間剥がれ等の構造欠陥をも効果的に防止することができる。   By doing in this way, the sintering state of a surface layer part and the sintering state inside can be controlled. As a result, it is possible to effectively prevent structural defects such as cracks and delamination while improving the hardness of the surface layer portion and improving the moisture resistance.

また、本発明に係るセラミック電子部品の製造方法は、
誘電体層を備える素子本体を有するセラミック電子部品を製造する方法であって、
前記誘電体層が、一般式ABO(AはBa単独、または、BaとCaおよびSrから選ばれる少なくとも1つとであり、BはTi単独、または、TiとZrおよびHfから選ばれる少なくとも1つとである)で表される化合物を含有する誘電体磁器組成物から構成されており、
前記素子本体は、素子本体内部と、前記素子本体内部を覆う表層部と、から構成されており、前記表層部は、前記素子本体表面からの深さが10μmまでの領域であり、
前記表層部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB1とし、前記素子本体内部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB2としたとき、
前記AB1およびAB2が、0.992≦AB1/AB2≦0.998である関係を満足し、
前記化合物の原料およびバインダ樹脂を含む焼成前誘電体層を形成して焼成前素子本体を形成する工程と、
前記焼成前素子本体が水に接触する工程と、
前記焼成前素子本体を焼成して、前記素子本体を得る工程と、を有し、
前記バインダ樹脂が、水溶性バインダ樹脂と非水溶性バインダ樹脂とを含み、前記非水溶性バインダ樹脂100重量%に対する前記水溶性バインダ樹脂の割合が1〜10重量%であることを特徴とする。
In addition, a method for manufacturing a ceramic electronic component according to the present invention includes:
A method of manufacturing a ceramic electronic component having an element body with a dielectric layer,
The dielectric layer has the general formula ABO 3 (A is Ba alone or at least one selected from Ba and Ca and Sr, and B is Ti alone or at least one selected from Ti, Zr and Hf. And a dielectric ceramic composition containing a compound represented by
The element body is composed of an inside of the element body and a surface layer part covering the inside of the element body, and the surface layer part is a region having a depth of up to 10 μm from the surface of the element body.
When A / B indicating the molar ratio of A and B in the surface layer portion is AB1, and A / B indicating the molar ratio of A and B in the element body is AB2,
The AB1 and AB2 satisfy the relationship of 0.992 ≦ AB1 / AB2 ≦ 0.998,
Forming a pre-fired dielectric layer comprising a raw material of the compound and a binder resin to form a pre-fired element body;
The element body before firing is in contact with water;
Firing the element body before firing to obtain the element body,
The binder resin includes a water-soluble binder resin and a water-insoluble binder resin, and a ratio of the water-soluble binder resin to 100% by weight of the water-insoluble binder resin is 1 to 10% by weight.

焼成前誘電体層に含まれるバインダ樹脂として、水溶性バインダ樹脂と非水溶性バインダ樹脂とを用い、かつ水溶性バインダ樹脂の比率を上記の範囲とすることで、素子本体の表層部におけるA/B比と、内部におけるA/B比とを制御することができる。その結果、焼成後の素子本体の表面の硬度を向上させることができる。また、クラックや層間剥がれ等の構造欠陥を効果的に抑制することができる。   By using a water-soluble binder resin and a water-insoluble binder resin as the binder resin contained in the pre-firing dielectric layer, and setting the ratio of the water-soluble binder resin within the above range, the A / The B ratio and the internal A / B ratio can be controlled. As a result, the hardness of the surface of the element body after firing can be improved. Further, structural defects such as cracks and delamination can be effectively suppressed.

好ましくは、前記水溶性バインダ樹脂は、ポリビニルアルコールおよびデンプンから選ばれる少なくとも1つである。   Preferably, the water-soluble binder resin is at least one selected from polyvinyl alcohol and starch.

好ましくは、前記非水溶性バインダ樹脂は、ブチラール系樹脂およびアクリル系樹脂から選ばれる少なくとも1つである。   Preferably, the water-insoluble binder resin is at least one selected from a butyral resin and an acrylic resin.

水溶性バインダ樹脂および非水溶性バインダ樹脂として、上記のバインダ樹脂を用いることで、上述した効果をさらに高めることができる。   By using the above binder resin as the water-soluble binder resin and the water-insoluble binder resin, the above-described effects can be further enhanced.

好ましくは、前記焼成前素子本体が水に接触する工程において用いられる水のpHが2より大きい。焼成前素子本体が水に接触する工程としては、たとえば、焼成前素子本体の集合体を湿式切断し焼成前素子本体を得る工程、あるいは、焼成前素子本体を湿式研磨する工程などが挙げられる。   Preferably, the pH of water used in the step of contacting the element body before firing with water is greater than 2. Examples of the step of bringing the element body before firing into contact with water include a step of wet cutting the assembly of the element bodies before firing to obtain the element body before firing, or a step of wet polishing the element body before firing.

好ましくは、前記焼成前素子本体が水に接触する工程が、湿式バレル研磨工程である。   Preferably, the step in which the element body before firing contacts water is a wet barrel polishing step.

好ましくは、前記焼成前誘電体層には可塑剤が含まれている。   Preferably, the pre-fired dielectric layer contains a plasticizer.

上記のようにすることで、上述した効果をさらに高めることができる。   By doing as described above, the above-described effects can be further enhanced.

図1は、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a multilayer ceramic capacitor according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示す積層セラミックコンデンサを、II−II線に沿って切断した断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1 cut along the line II-II. 図3は、図1に示す積層セラミックコンデンサを、III−III線に沿って切断した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1 cut along the line III-III.

以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。   Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings.

積層セラミックコンデンサ1
図1に示すように、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサ1は、素子本体10と、素子本体10の両端部に形成されている一対の外部電極4と、を有している。
Multilayer ceramic capacitor 1
As shown in FIG. 1, a multilayer ceramic capacitor 1 according to an embodiment of the present invention includes an element body 10 and a pair of external electrodes 4 formed at both ends of the element body 10.

素子本体10
図1に示すように、素子本体10は、誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成となっている。内部電極層3は、各端面が素子本体10の対向する端部の表面に交互に露出するように積層してあり、一対の外部電極4と接続されて、コンデンサ回路を構成する。
Element body 10
As shown in FIG. 1, the element body 10 has a configuration in which dielectric layers 2 and internal electrode layers 3 are alternately stacked. The internal electrode layer 3 is laminated so that each end face is alternately exposed on the surface of the opposite end of the element body 10 and is connected to a pair of external electrodes 4 to constitute a capacitor circuit.

素子本体10の形状に特に制限はないが、図1に示すように、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the shape of the element main body 10, Usually, it is set as a rectangular parallelepiped shape as shown in FIG. Moreover, there is no restriction | limiting in particular also in the dimension, What is necessary is just to set it as a suitable dimension according to a use.

誘電体層2は、一般式ABO(AはBa単独、または、BaとCaおよびSrから選ばれる少なくとも1つとであり、BはTi単独、または、TiとZrおよびHfから選ばれる少なくとも1つとである)で表される化合物を含有する誘電体磁器組成物から構成されている。この化合物は、ペロブスカイト型結晶構造を有する化合物であり、該結晶構造におけるAサイト原子として少なくともBaが含まれ、Bサイト原子として少なくともTiが含まれる。 The dielectric layer 2 has the general formula ABO 3 (A is Ba alone or at least one selected from Ba and Ca and Sr, and B is Ti alone or at least one selected from Ti, Zr and Hf. It is comprised from the dielectric ceramic composition containing the compound represented by this. This compound is a compound having a perovskite crystal structure, and includes at least Ba as an A site atom and at least Ti as a B site atom in the crystal structure.

また、該誘電体磁器組成物は、上記の化合物に加え、所望の特性に応じて、その他の成分を含有してもよい。   Further, the dielectric ceramic composition may contain other components in addition to the above-mentioned compound according to desired characteristics.

誘電体層2の厚みは、特に限定されないが、一層あたり1〜50μmであることが好ましい。   Although the thickness of the dielectric material layer 2 is not specifically limited, It is preferable that it is 1-50 micrometers per layer.

誘電体層2の積層数の上限は、特に限定されないが、たとえば1000程度である。   The upper limit of the number of stacked dielectric layers 2 is not particularly limited, but is about 1000, for example.

内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、比較的安価な卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、NiまたはNi合金が好ましい。Ni合金としては、Mn,Cr,CoおよびAlから選択される1種以上の元素とNiとの合金が好ましく、合金中のNi含有量は95重量%以上であることが好ましい。   The conductive material contained in the internal electrode layer 3 is not particularly limited, but a relatively inexpensive base metal can be used because the constituent material of the dielectric layer 2 has reduction resistance. As the base metal used as the conductive material, Ni or Ni alloy is preferable. The Ni alloy is preferably an alloy of Ni and one or more elements selected from Mn, Cr, Co and Al, and the Ni content in the alloy is preferably 95% by weight or more.

内部電極層3の厚みは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.1〜3μm、特に0.2〜2.0μm程度であることが好ましい。   The thickness of the internal electrode layer 3 may be appropriately determined according to the application and the like, but is usually about 0.1 to 3 μm, particularly preferably about 0.2 to 2.0 μm.

また、本実施形態では、素子本体10は、図2および3に示すように、表層部11と内部12とから構成されている。表層部11は、素子本体10の表面から深さ10μmまでの領域であり、内部12を取り囲むように覆っている。そのため内部12は、素子本体10の表面に露出していない。   Moreover, in this embodiment, the element main body 10 is comprised from the surface layer part 11 and the inside 12, as shown in FIG. The surface layer portion 11 is a region from the surface of the element body 10 to a depth of 10 μm and covers the inside 12 so as to surround it. Therefore, the interior 12 is not exposed on the surface of the element body 10.

本実施形態では、誘電体層を構成する誘電体磁器組成物に含まれ、一般式ABOで表される化合物におけるAとBとの比(A/B比)を制御している。具体的には、表層部11におけるAとBとのモル比(A/B比)をAB1とし、内部12におけるAとBとのモル比(A/B比)をAB2とすると、AB1およびAB2は、0.992≦AB1/AB2≦0.998、好ましくは0.994≦AB1/AB2≦0.996である関係を満足する。 In the present embodiment, the ratio (A / B ratio) of A and B in the compound represented by the general formula ABO 3 is controlled in the dielectric ceramic composition constituting the dielectric layer. Specifically, when the molar ratio (A / B ratio) between A and B in the surface layer portion 11 is AB1, and the molar ratio (A / B ratio) between A and B in the interior 12 is AB2, AB1 and AB2 Satisfies the relationship 0.992 ≦ AB1 / AB2 ≦ 0.998, preferably 0.994 ≦ AB1 / AB2 ≦ 0.996.

上記の関係は、表層部11におけるA/B比(AB1)が、内部12におけるA/B比(AB2)よりも小さいことを意味している。一般的に、化合物ABOにおいて、A/B比が小さくなると、ABOの焼結性が良好になり(焼結しやすい)、逆に、A/B比が大きくなると、ABOの焼結性が低下する(焼結しにくい)傾向にある。 The above relationship means that the A / B ratio (AB1) in the surface layer portion 11 is smaller than the A / B ratio (AB2) in the interior 12. Generally, in the compound ABO 3 , when the A / B ratio is small, the sinterability of ABO 3 is good (easy to sinter), and conversely, when the A / B ratio is large, the ABO 3 is sintered. Tend to decrease (hard to sinter).

そのため、焼成温度が同じであれば、A/B比が小さい方が焼結しやすい。したがって、AB1/AB2の値を上記の範囲とすることで、素子本体内部12よりも表層部11の方が焼結性が良好になる。したがって、素子本体10を十分に焼結させると、表面は焼き固まり表面の硬度が向上するため耐湿性が良好となる。一方、内部の焼結状態は、表層部よりも若干低く、過剰な焼結状態となることはない。そのため、過剰焼成に起因するクラックや層間剥がれが生じることはない。
なお、表面の硬度は、たとえばビッカース硬さにより評価することができる。
Therefore, if the firing temperature is the same, the smaller the A / B ratio, the easier it is to sinter. Therefore, by setting the value of AB1 / AB2 in the above range, the surface layer portion 11 has better sinterability than the element body interior 12. Accordingly, when the element body 10 is sufficiently sintered, the surface is baked and hardened, and the hardness of the surface is improved, so that the moisture resistance is improved. On the other hand, the internal sintered state is slightly lower than the surface layer portion and does not become an excessively sintered state. Therefore, cracks and delamination due to excessive firing do not occur.
The surface hardness can be evaluated by, for example, Vickers hardness.

AB1/AB2の値が小さすぎると、剥がれが発生する傾向にあり、逆に、AB1/AB2の値が大きすぎると、素子本体10の表面の硬度が十分でなく耐湿性が悪化する傾向にある。   If the value AB1 / AB2 is too small, peeling tends to occur. Conversely, if the value AB1 / AB2 is too large, the surface hardness of the element body 10 is not sufficient and the moisture resistance tends to deteriorate. .

AB1/AB2を制御する方法としては、特に制限されず、たとえばA/B比がAB1である原料と、A/B比がAB2である原料とを用いることで制御してもよいが、本実施形態では、後述するように、Aサイト原子(特にBa)が水に溶出しやすいことを利用してAB1/AB2の値を制御する。   The method for controlling AB1 / AB2 is not particularly limited. For example, the control may be performed by using a raw material having an A / B ratio of AB1 and a raw material having an A / B ratio of AB2. In the embodiment, as will be described later, the value of AB1 / AB2 is controlled by utilizing the fact that A-site atoms (particularly Ba) are easily eluted into water.

なお、表層部は、セラミック電子部品としての特性を発現する部分を含まない、あるいは、ほとんど含まないため、Aサイト原子の存在量を少なくしても特性には影響しない。   In addition, since the surface layer portion does not include or hardly includes a portion that exhibits characteristics as a ceramic electronic component, even if the amount of A-site atoms is reduced, the property is not affected.

内部におけるA/B比(AB2)は、本実施形態では、好ましくは0.8≦AB2≦1.4、より好ましくは0.95≦AB2≦1.3である。AB2が小さすぎると、異常粒成長が発生し、寿命や耐圧特性が悪化する傾向にあり、AB2が大きすぎると、焼結温度を高くする必要があるため、焼成工程において、構造欠陥が発生する傾向にある。   In the present embodiment, the internal A / B ratio (AB2) is preferably 0.8 ≦ AB2 ≦ 1.4, and more preferably 0.95 ≦ AB2 ≦ 1.3. If AB2 is too small, abnormal grain growth occurs and the life and pressure resistance characteristics tend to deteriorate. If AB2 is too large, it is necessary to increase the sintering temperature, and thus structural defects occur in the firing process. There is a tendency.

外部電極4
外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、本発明では安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。外部電極4の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。
External electrode 4
The conductive material contained in the external electrode 4 is not particularly limited, but in the present invention, inexpensive Ni, Cu, and alloys thereof can be used. The thickness of the external electrode 4 may be appropriately determined according to the application and the like, but is usually preferably about 10 to 50 μm.

積層セラミックコンデンサ1の製造方法
図1に示す積層セラミックコンデンサ1を製造する方法としては、特に制限されないが、本実施形態では、従来の積層セラミックコンデンサと同様に、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップ(焼成前素子本体)を作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
Manufacturing Method of Multilayer Ceramic Capacitor 1 The method of manufacturing the multilayer ceramic capacitor 1 shown in FIG. 1 is not particularly limited, but in the present embodiment, a normal printing method using a paste, A green chip (element body before firing) is produced by a sheet method, fired, and then manufactured by printing or transferring external electrodes and firing. Hereinafter, the manufacturing method will be specifically described.

まず、誘電体層を形成するための誘電体原料を準備し、これを塗料化して、誘電体層用ペーストを調製する。   First, a dielectric material for forming a dielectric layer is prepared, and this is made into a paint to prepare a dielectric layer paste.

誘電体層用ペーストは、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料である。   The dielectric layer paste is an organic paint obtained by kneading a dielectric material and an organic vehicle.

誘電体原料として、まずABOの原料を準備する。この原料としては、上記した成分の酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができるが、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物、たとえば、炭酸塩、シュウ酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物等から適宜選択し、混合して用いることもできる。 First, a raw material of ABO 3 is prepared as a dielectric raw material. As the raw material, oxides of the above-described components, mixtures thereof, and composite oxides can be used. In addition, various compounds that become the above-described oxides or composite oxides by firing, such as carbonates and oxalates. , Nitrates, hydroxides, organometallic compounds, and the like may be selected as appropriate and used as a mixture.

また、ABOの原料は、いわゆる固相法の他、各種液相法(たとえば、シュウ酸塩法、水熱合成法、アルコキシド法、ゾルゲル法など)により製造されたものなど、種々の方法で製造されたものを用いることができる。 In addition to the so-called solid phase method, the raw material of ABO 3 can be produced by various methods such as those produced by various liquid phase methods (for example, oxalate method, hydrothermal synthesis method, alkoxide method, sol-gel method, etc.). What was manufactured can be used.

さらに、誘電体層にABO以外の成分が含有される場合には、該成分の原料として、上記と同様に、それらの成分の酸化物やその混合物、複合酸化物を用いることができる。また、その他、焼成により上記した酸化物や複合酸化物となる各種化合物を用いることができる。 Furthermore, when a component other than ABO 3 is contained in the dielectric layer, oxides of those components, a mixture thereof, or a composite oxide can be used as a raw material for the component, as described above. In addition, various compounds that become oxides or composite oxides by firing can be used.

誘電体原料中の各原料の含有量は、焼成後に所望の組成となるように決定すればよい。塗料化する前の状態で、誘電体原料の粒径は、通常、平均粒径0.1〜1μm程度である。   What is necessary is just to determine content of each raw material in a dielectric raw material so that it may become a desired composition after baking. In the state before forming a paint, the particle size of the dielectric material is usually about 0.1 to 1 μm in average particle size.

有機ビヒクルとは、バインダ樹脂を有機溶剤中に溶解したものである。本実施形態では、バインダ樹脂として、水溶性バインダ樹脂と非水溶性バインダ樹脂とを含む。   An organic vehicle is obtained by dissolving a binder resin in an organic solvent. In the present embodiment, the binder resin includes a water-soluble binder resin and a water-insoluble binder resin.

水溶性バインダ樹脂としては、有機溶剤にも溶解するものであれば、特に制限されないが、本実施形態では、ポリビニルアルコール(PVA)およびデンプンから選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。   The water-soluble binder resin is not particularly limited as long as it is soluble in an organic solvent, but in the present embodiment, at least one selected from polyvinyl alcohol (PVA) and starch is preferable.

非水溶性バインダ樹脂としては、特に制限されないが、本実施形態では、ブチラール系樹脂およびアクリル系樹脂から選ばれる少なくとも1つであることが好ましい。   The water-insoluble binder resin is not particularly limited, but is preferably at least one selected from a butyral resin and an acrylic resin in the present embodiment.

有機溶剤も特に限定されず、アセトン、トルエン、アルコール、酢酸エチル、キシレン、メチルエチルケトン等の各種有機溶剤から適宜選択すればよい。   The organic solvent is not particularly limited, and may be appropriately selected from various organic solvents such as acetone, toluene, alcohol, ethyl acetate, xylene, and methyl ethyl ketone.

誘電体層用ペースト中のバインダ樹脂、溶剤等の含有量は特に限定されず、通常の含有量、たとえばバインダ樹脂は誘電体原料100重量%に対して1〜10重量%程度、有機溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。   The contents of the binder resin, the solvent, etc. in the dielectric layer paste are not particularly limited. The usual contents, for example, the binder resin is about 1 to 10% by weight with respect to 100% by weight of the dielectric material, and the organic solvent is 10%. What is necessary is just about 50 weight%.

また、非水溶性バインダ樹脂100重量%に対する水溶性バインダ樹脂の割合は1〜10重量%、好ましくは1〜8重量%、より好ましくは2〜7重量%である。   The ratio of the water-soluble binder resin to 100% by weight of the water-insoluble binder resin is 1 to 10% by weight, preferably 1 to 8% by weight, and more preferably 2 to 7% by weight.

誘電体層用ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、ガラスフリット、絶縁体、帯電除剤などから選択される添加物が含有されてもよい。本実施形態では、グリーンシートの成形性やスタック性を向上させるために、可塑剤が含まれていることが好ましい。ただし、これらの総含有量は、10重量%以下とすることが望ましい。   The dielectric layer paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, glass frit, insulators, antistatic agents and the like as required. In this embodiment, it is preferable that a plasticizer is included in order to improve the moldability and stackability of the green sheet. However, the total content of these is preferably 10% by weight or less.

可塑剤としては、フタル酸ジオクチルやフタル酸ベンジルブチルなどのフタル酸エステル、アジピン酸、燐酸エステル、グリコール類などが例示される。可塑剤は、バインダ樹脂100重量%に対して15〜80重量%の含有量であることが好ましい。可塑剤が少なすぎると、グリーンシートが脆くなる傾向にあり、多すぎると、可塑剤が滲み出し、取り扱いが困難である。   Examples of the plasticizer include phthalate esters such as dioctyl phthalate and benzylbutyl phthalate, adipic acid, phosphate esters, glycols, and the like. The plasticizer preferably has a content of 15 to 80% by weight with respect to 100% by weight of the binder resin. If the amount of the plasticizer is too small, the green sheet tends to be brittle. If the amount is too large, the plasticizer oozes out and is difficult to handle.

内部電極層用ペーストは、上記した各種導電性金属や合金からなる導電材、あるいは焼成後に上記した導電材となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネート等と、上記した有機ビヒクルとを混練して調製する。また、内部電極層用ペーストには、共材が含まれていてもよい。共材としては特に制限されないが、ABOと同様の組成を有していることが好ましい。 The internal electrode layer paste is obtained by kneading the above-mentioned organic vehicle with various conductive metals and alloys as described above, or various oxides, organometallic compounds, resinates, etc. that become the above-mentioned conductive materials after firing. Prepare. The internal electrode layer paste may contain a common material. Is not particularly restricted but includes the common material, it preferably has a composition similar to ABO 3.

内部電極層用ペースト中の有機ビヒクルの含有量に特に制限はなく、通常の含有量、たとえば、バインダ樹脂は1〜10重量%程度、溶剤は10〜50重量%程度とすればよい。また、ペースト中には、必要に応じて各種分散剤、可塑剤、誘電体、絶縁体等から選択される添加物が含有されていてもよい。これらの総含有量は、10重量%以下とすることが好ましい。   There is no restriction | limiting in particular in content of the organic vehicle in the paste for internal electrode layers, For example, binder resin should just be about 1 to 10 weight% and a solvent should be about 10 to 50 weight%. The paste may contain additives selected from various dispersants, plasticizers, dielectrics, insulators and the like as necessary. The total content of these is preferably 10% by weight or less.

外部電極用ペーストは、上記した内部電極層用ペーストと同様にして調製すればよい。   The external electrode paste may be prepared in the same manner as the internal electrode layer paste described above.

次に、上述の誘電体層用ペーストを用いて、キャリアシート上にグリーンシートを形成する。このグリーンシートは、後述するグリーンチップ(焼成前素子本体)において、焼成前誘電体層を構成することとなる。グリーンシートは、キャリアシートに形成された後に乾燥される。グリーンシートの乾燥温度は、好ましくは50〜100℃であり、乾燥時間は、好ましくは1〜5分である。   Next, a green sheet is formed on the carrier sheet using the above-described dielectric layer paste. This green sheet forms a dielectric layer before firing in a green chip (element body before firing) described later. The green sheet is dried after being formed on the carrier sheet. The drying temperature of the green sheet is preferably 50 to 100 ° C., and the drying time is preferably 1 to 5 minutes.

次に、形成されたグリーンシートの一方の表面には、焼成後に図1に示す内部電極層3を構成することとなる電極パターン(焼成前電極層)が形成される。電極パターンの形成方法としては、特に限定されないが、印刷法、転写法、薄膜法などが例示される。本実施形態では、スクリーン印刷により、グリーンシート上に内部電極層用ペーストが所定パターンで塗布される。その後乾燥され、電極パターンが形成される。   Next, an electrode pattern (pre-firing electrode layer) that forms the internal electrode layer 3 shown in FIG. 1 after firing is formed on one surface of the formed green sheet. The method for forming the electrode pattern is not particularly limited, and examples thereof include a printing method, a transfer method, and a thin film method. In the present embodiment, the internal electrode layer paste is applied in a predetermined pattern on the green sheet by screen printing. Thereafter, it is dried to form an electrode pattern.

また、グリーンシート上にさらにグリーンシートを形成し、グリーンシートが複数枚積層された外装用グリーンシートを別途準備しておく。   Further, a green sheet is further formed on the green sheet, and an exterior green sheet in which a plurality of green sheets are laminated is separately prepared.

なお、グリーンシートと電極パターンとの段差が積層工程に悪影響を及ぼす場合には、グリーンシートの表面に所定パターンの電極パターンを形成した後、またはその前に、電極パターンが形成されていないグリーンシートの表面に、電極パターンと実質的に同じ厚みの余白パターンを形成してもよい。この余白パターンは、グリーンシートとともに、焼成前誘電体層を形成することとなる。   If the step between the green sheet and the electrode pattern adversely affects the laminating process, the green sheet on which the electrode pattern is not formed after or before the formation of the predetermined electrode pattern on the surface of the green sheet A blank pattern having substantially the same thickness as the electrode pattern may be formed on the surface. This blank pattern forms a pre-firing dielectric layer together with the green sheet.

余白パターンを形成するための余白ペーストは、誘電体層用ペーストと同様に調製すればよい。   The blank paste for forming the blank pattern may be prepared in the same manner as the dielectric layer paste.

その後、電極パターンが形成されたグリーンシート(内装用グリーンシート)をキャリアシートから剥離し、電極パターンが形成されていないグリーンシートを複数枚積層したもの(外装用グリーンシート)の上に、積層する。そして、この作業を繰り返し、内装用グリーンシートを所望の積層数まで交互に積層し、最後に外装用グリーンシートを積層して、積層方向の両側から外装用グリーンシートで内装用グリーンシートを挟み込んだ構成を有するグリーン積層体を作製する。   Thereafter, the green sheet (interior green sheet) on which the electrode pattern is formed is peeled off from the carrier sheet, and the green sheet on which the electrode pattern is not formed is laminated on a laminate (green sheet for exterior). . Then, this operation was repeated, and the interior green sheets were alternately stacked up to the desired number of layers, and finally the exterior green sheets were stacked, and the interior green sheets were sandwiched between the exterior green sheets from both sides in the stacking direction. A green laminate having a configuration is prepared.

その後、このグリーン積層体を最終加圧する。そして、この積層体を所定サイズに切断し、グリーンチップ(焼成前素子本体)を得る。このとき、積層体の切断を湿式で行ってもよい。この場合、グリーンチップは水と接触することになる。   Thereafter, the green laminate is finally pressurized. And this laminated body is cut | disconnected to predetermined size, and a green chip (element main body before baking) is obtained. At this time, the laminate may be cut wet. In this case, the green chip comes into contact with water.

固化乾燥
本実施形態では、得られたグリーンチップに対し、固化乾燥を行う。固化乾燥処理は、グリーンチップに含まれる有機成分のうち、主にバインダ樹脂以外の成分(溶剤、可塑剤等)を除去する処理である。具体的な条件としては、たとえば保持温度を80〜190℃、保持時間を1〜30時間、雰囲気を空気または窒素とし、より好ましくは0.5気圧以下とすればよい。
Solidification drying In this embodiment, the obtained green chip is solidified and dried. The solidification drying process is a process for mainly removing components (solvent, plasticizer, etc.) other than the binder resin from the organic components contained in the green chip. As specific conditions, for example, the holding temperature is 80 to 190 ° C., the holding time is 1 to 30 hours, the atmosphere is air or nitrogen, and more preferably 0.5 atm or less.

固化乾燥を行うことで、バインダ樹脂以外の成分が除去されるため、該成分が存在していた部分には、微細な空孔が形成される。そのため、後述する湿式バレル研磨工程において、グリーンチップと水とが接触する際に、形成された微細な空孔に水が浸入しやすくなる。   By performing solidification drying, components other than the binder resin are removed, so that fine pores are formed in portions where the components existed. For this reason, in the wet barrel polishing step described later, when the green chip and water come into contact with each other, water easily enters the fine pores formed.

研磨
本実施形態では、固化乾燥後、グリーンチップに対し研磨を行う。研磨方法は特に制限されないが、湿式であることが好ましく、本実施形態では、湿式バレル研磨を行う。湿式バレル研磨では、バレル容器にメディアおよび水とともにグリーンチップを投入し、公知のバレル機により所定時間研磨を行う。なお、メディアとしては、アルミナ、ジルコニア等のボールまたはビーズを用いればよい。
Polishing In this embodiment, the green chip is polished after solidification and drying. The polishing method is not particularly limited, but is preferably wet. In this embodiment, wet barrel polishing is performed. In wet barrel polishing, green chips are put into a barrel container together with media and water, and polishing is performed for a predetermined time with a known barrel machine. As the medium, balls or beads such as alumina or zirconia may be used.

湿式バレル研磨では、グリーンチップと水とが接触することになる。グリーンチップの焼成前誘電体層には、水溶性バインダ樹脂が含まれているため、水とグリーンチップとが接触すると、グリーンチップの表面近傍の水溶性バインダ樹脂が溶出する傾向にある。このとき、ABOにおけるAサイト原子を構成する元素(特にBa)も水に溶出しやすいため、水溶性バインダ樹脂とともにこれらの原子が極微量溶出することとなる。その結果、Aサイト原子が溶出した領域のA/B比が内部のA/B比に比べて小さくなる。このようにすることで、AB1/AB2の値を制御することができる。 In wet barrel polishing, the green chip comes into contact with water. Since the dielectric layer before firing of the green chip contains a water-soluble binder resin, when water and the green chip come into contact with each other, the water-soluble binder resin in the vicinity of the surface of the green chip tends to be eluted. At this time, since the element (particularly Ba) constituting the A site atom in ABO 3 is also easily eluted in water, these atoms are eluted in a trace amount together with the water-soluble binder resin. As a result, the A / B ratio in the region where the A site atoms are eluted is smaller than the internal A / B ratio. In this way, the value AB1 / AB2 can be controlled.

本実施形態では、非水溶性バインダ樹脂100重量%に対する水溶性バインダ樹脂の割合を変化させることで、AB1/AB2の値を制御している。また、水溶性バインダ樹脂の割合を上述した範囲とすることで、AB1/AB2の値を本発明の範囲内とすることが容易となる。水溶性バインダ樹脂の割合が少なすぎると、AB1/AB2の値を本発明の範囲内とすることが困難となり、クラックや耐湿性に劣る傾向にある。多すぎると、AB1/AB2の値を本発明の範囲内とすることが困難となり、剥がれが発生し、耐湿性に劣る傾向にある。   In this embodiment, the value of AB1 / AB2 is controlled by changing the ratio of the water-soluble binder resin to 100% by weight of the water-insoluble binder resin. Moreover, it becomes easy to make the value of AB1 / AB2 within the range of this invention by making the ratio of water-soluble binder resin into the range mentioned above. When the ratio of the water-soluble binder resin is too small, it becomes difficult to set the value of AB1 / AB2 within the range of the present invention, and it tends to be inferior in cracking and moisture resistance. When the amount is too large, it is difficult to set the value of AB1 / AB2 within the range of the present invention, peeling occurs and the moisture resistance tends to be inferior.

また、湿式バレル研磨工程で用いられる水のpHや水温を変化させても、AB1/AB2の値を制御することができる。なお、AB1/AB2の値を本発明の範囲内とする場合には、pHは2より大きくすることが好ましい。また、水温は10〜20℃とすることが好ましい。   Moreover, even if the pH and water temperature of the water used in the wet barrel polishing step are changed, the value of AB1 / AB2 can be controlled. In addition, when making the value of AB1 / AB2 into the range of this invention, it is preferable to make pH larger than two. Moreover, it is preferable that water temperature shall be 10-20 degreeC.

上記のようにすることで、A/B比の異なる複数の原料を用いることなく、水溶性バインダ樹脂と非水溶性バインダ樹脂とを含む1種類のペーストで焼成前誘電体層を形成しても、AB1/AB2の値を制御できる。また、水溶性バインダ樹脂の割合、グリーンチップが水と接触する工程における水のpHや水温を適宜変化させることで、AB1/AB2の値を本発明の範囲内とすることができる。   Even if the pre-firing dielectric layer is formed with one kind of paste including a water-soluble binder resin and a water-insoluble binder resin without using a plurality of raw materials having different A / B ratios, the above-described method can be used. , AB1 / AB2 can be controlled. Moreover, the value of AB1 / AB2 can be made within the scope of the present invention by appropriately changing the ratio of the water-soluble binder resin and the pH and water temperature of the water in the step of contacting the green chip with water.

脱バインダ、焼成など
研磨後に脱バインダ処理を行う。本実施形態では、内部電極層3を形成するための導電材としてNiが含有されているため、脱バインダ処理における雰囲気は、空気中または窒素雰囲気にすることが好ましい。また、それ以外の脱バインダ条件としては、昇温速度を好ましくは5〜300℃/時間、保持温度を好ましくは200〜400℃、温度保持時間を好ましくは0.5〜20時間とする。
A binder removal treatment is performed after polishing such as binder removal and firing . In this embodiment, since Ni is contained as a conductive material for forming the internal electrode layer 3, the atmosphere in the debinding process is preferably an air atmosphere or a nitrogen atmosphere. As other binder removal conditions, the rate of temperature rise is preferably 5 to 300 ° C./hour, the holding temperature is preferably 200 to 400 ° C., and the temperature holding time is preferably 0.5 to 20 hours.

続いて、本実施形態では、グリーンチップの焼成を、好ましくは1150〜1300℃の温度で行う。湿式バレル研磨工程において、グリーンチップの表面におけるAサイト原子が溶出しているため、グリーンチップの表面部分におけるA/B比は、内部のA/B比よりも小さくなっており、表面部分の焼結性を、内部よりも良好にすることができる。その結果、焼成温度を下げた場合であっても、表面の硬度は十分であるため、耐湿性を良好にすることができる。   Subsequently, in the present embodiment, the green chip is preferably fired at a temperature of 1150 to 1300 ° C. In the wet barrel polishing step, A-site atoms are eluted on the surface of the green chip, so the A / B ratio in the surface portion of the green chip is smaller than the internal A / B ratio, and the surface portion is burned. The cohesion can be made better than the inside. As a result, even when the firing temperature is lowered, the surface hardness is sufficient, so that the moisture resistance can be improved.

焼成温度が低すぎると、焼結後の誘電体層2の緻密化が不十分となり、静電容量が不足する傾向にあり、また、高すぎると、誘電体層2が過剰焼成となり、構造欠陥が増加する傾向にある。   If the firing temperature is too low, densification of the dielectric layer 2 after sintering tends to be insufficient, and the capacitance tends to be insufficient, and if too high, the dielectric layer 2 becomes excessively fired, resulting in structural defects. Tend to increase.

また、本実施形態では、焼成雰囲気は還元性雰囲気とすることが好ましく、グリーンチップを好ましくは10−10 〜10−2Paの酸素分圧を持つ雰囲気中で焼成する。焼成時の酸素分圧が低すぎると、内部電極層3の導電材が異常焼結を起こし、途切れてしまうことがあり、逆に酸素分圧が高すぎると、内部電極層3が酸化する傾向がある。雰囲気ガスとしてはたとえば、加湿したNとHとの混合ガスを用いればよい。 In the present embodiment, the firing atmosphere is preferably a reducing atmosphere, and the green chip is preferably fired in an atmosphere having an oxygen partial pressure of 10 −10 to 10 −2 Pa. If the oxygen partial pressure during firing is too low, the conductive material of the internal electrode layer 3 may abnormally sinter and break, and conversely if the oxygen partial pressure is too high, the internal electrode layer 3 tends to oxidize. There is. As the atmospheric gas, for example, a humidified mixed gas of N 2 and H 2 may be used.

本実施形態では、焼成後の素子本体にはアニールを施すことが好ましい。アニールは、誘電体層2を再酸化するための処理であり、これにより絶縁抵抗(IR)の加速寿命を著しく長くすることができ、信頼性が向上する。アニールは、焼成時の還元雰囲気よりも高い酸素分圧下で行うことが好ましく、具体的には、酸素分圧が好ましくは10−2〜100Paの雰囲気で行う。アニール時の酸素分圧が低すぎると、誘電体層2の再酸化が困難であり、逆に高すぎると、内部電極層3が酸化して絶縁化する傾向にある。 In this embodiment, it is preferable to anneal the element body after firing. Annealing is a process for re-oxidizing the dielectric layer 2, whereby the accelerated life of the insulation resistance (IR) can be remarkably increased and the reliability is improved. The annealing is preferably performed under an oxygen partial pressure higher than the reducing atmosphere at the time of firing. Specifically, the annealing is preferably performed in an atmosphere having an oxygen partial pressure of preferably 10 −2 to 100 Pa. If the oxygen partial pressure during annealing is too low, it is difficult to re-oxidize the dielectric layer 2. Conversely, if it is too high, the internal electrode layer 3 tends to be oxidized and insulated.

本実施形態では、アニール時の保持温度または最高温度を、好ましくは1200℃以下の温度とする。また、保持時間は好ましくは0.5〜4時間とする。なお、アニールは昇温過程および降温過程だけから構成してもよい。すなわち、温度保持時間を零としてもよい。この場合、保持温度は最高温度と同義である。   In the present embodiment, the holding temperature or maximum temperature during annealing is preferably set to a temperature of 1200 ° C. or lower. The holding time is preferably 0.5 to 4 hours. Note that annealing may be composed of only a temperature raising process and a temperature lowering process. That is, the temperature holding time may be zero. In this case, the holding temperature is synonymous with the maximum temperature.

上記のようにして得られたコンデンサ素子本体に、たとえばバレル研磨やサンドブラストなどにより端面研磨を施し、外部電極用ペーストを塗布して焼成し、外部電極4を形成する。そして、必要に応じ、外部電極4の表面に、めっき等により被覆層を形成する。   The capacitor element main body obtained as described above is subjected to end face polishing, for example, by barrel polishing or sand blasting, and the external electrode paste is applied and fired to form the external electrode 4. Then, if necessary, a coating layer is formed on the surface of the external electrode 4 by plating or the like.

このようにして製造された本実施形態の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。   The multilayer ceramic capacitor of this embodiment manufactured in this way is mounted on a printed circuit board or the like by soldering or the like and used for various electronic devices.

以上、本発明の実施形態について説明してきたが、本発明は、上述した実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々に改変することができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention has been described, this invention is not limited to the embodiment mentioned above at all, and can be variously modified within the range which does not deviate from the summary of this invention.

また、上述した実施形態では、本発明に係る電子部品として積層セラミックコンデンサを例示したが、本発明に係る電子部品としては、積層セラミックコンデンサに限定されず、上記構成を有する電子部品であれば何でも良い。   In the above-described embodiment, the multilayer ceramic capacitor is exemplified as the electronic component according to the present invention. However, the electronic component according to the present invention is not limited to the multilayer ceramic capacitor, and any electronic component having the above configuration can be used. good.

以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。   Hereinafter, although this invention is demonstrated based on a more detailed Example, this invention is not limited to these Examples.

実施例1
誘電体原料としてのBaTiO系粉末:100重量部と、非水溶性バインダ樹脂としてのブチラール系樹脂:5重量部と、溶剤としてのメチルエチルケトン:40重量部、溶剤としての変性メタノール:25重量部と、を用い、非水溶性バインダ樹脂100重量%に対して、水溶性バインダ樹脂としてのポリビニルアルコール:1〜10重量%と、可塑剤としてのフタル酸ジオクチル:50重量%と、をボールミルでスラリー化して誘電体層用ペーストとした。
Example 1
BaTiO 3 system powder as dielectric material: 100 parts by weight, butyral resin as water-insoluble binder resin: 5 parts by weight, methyl ethyl ketone as solvent: 40 parts by weight, modified methanol as solvent: 25 parts by weight , And 100% by weight of a water-insoluble binder resin, a polyvinyl alcohol as a water-soluble binder resin: 1 to 10% by weight and dioctyl phthalate as a plasticizer: 50% by weight are slurried with a ball mill. Thus, a dielectric layer paste was obtained.

平均粒径が0.2μmのNi粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)40重量部、ブチルカルビトール10重量部とを3本ロールにより混練し、スラリー化して内部電極層用ペーストとした。   Three rolls of 100 parts by weight of Ni particles having an average particle size of 0.2 μm, 40 parts by weight of an organic vehicle (8 parts by weight of ethyl cellulose dissolved in 92 parts by weight of butyl carbitol), and 10 parts by weight of butyl carbitol. The mixture was kneaded and slurried to obtain an internal electrode layer paste.

グリーンシートおよびグリーン積層体の形成
上記の誘電体層用ペーストを用いて、PETフィルム上に、厚み1.0μmのグリーンシート(焼成前誘電体層)を形成し、乾燥した。次に、形成したグリーンシートの表面に、上記の内部電極層用ペーストを用いた印刷法により、1.5μmの厚みで電極パターン(焼成前電極層)を形成した。続いて、次々に、電極パターンが形成されたグリーンシート(内装用グリーンシート)を外装用グリーンシートの上に積層し、さらに積層された複数の内装用グリーンシートの上に外装用グリーンシートを積層して、グリーン積層体を形成した。このグリーン積層体を、所定サイズに切断し、グリーンチップ(焼成前素子本体)を得た。
Formation of Green Sheet and Green Laminate Using the above dielectric layer paste, a 1.0 μm thick green sheet (dielectric layer before firing) was formed on a PET film and dried. Next, an electrode pattern (pre-firing electrode layer) was formed to a thickness of 1.5 μm on the surface of the formed green sheet by a printing method using the above internal electrode layer paste. Subsequently, a green sheet (interior green sheet) on which an electrode pattern is formed is laminated on the exterior green sheet, and the exterior green sheet is laminated on the plurality of laminated interior green sheets. Thus, a green laminate was formed. This green laminate was cut into a predetermined size to obtain a green chip (element body before firing).

固化乾燥
次に、得られたグリーンチップに対して固化乾燥を行った。固化乾燥は、保持温度:180℃、保持時間:20時間で行った。固化乾燥時の雰囲気は空気雰囲気とした。
Solidification drying Next, the obtained green chip was solidified and dried. Solidification drying was performed at a holding temperature of 180 ° C. and a holding time of 20 hours. The atmosphere during solidification drying was an air atmosphere.

湿式バレル研磨
次に、固化乾燥後のグリーンチップに対して、湿式バレル研磨を行った。グリーンチップは、メディアおよび水とともにバレル容器内に投入され、公知のバレル機により、1時間バレル研磨された。水のpHは7、水温は15℃であった。バレル研磨後のグリーンチップは、水で洗浄後乾燥された。湿式バレル研磨では、焼成前素子本体は水に接触した。
Wet barrel polishing Next, wet barrel polishing was performed on the solidified and dried green chip. The green chip was put into a barrel container together with media and water, and barrel-polished by a known barrel machine for 1 hour. The pH of water was 7, and the water temperature was 15 ° C. The green chip after barrel polishing was washed with water and dried. In wet barrel polishing, the element body before firing was in contact with water.

脱バインダ、焼成、アニール
次に、バレル研磨後のグリーンチップに対して、脱バインダ処理を行った。
脱バインダは、保持温度:250℃、保持時間:8時間、雰囲気ガス:空気中、で行った。
Binder removal, firing, annealing Next, the green chip after barrel polishing was subjected to binder removal treatment.
The binder removal was performed at a holding temperature: 250 ° C., a holding time: 8 hours, and an atmospheric gas: in the air.

次に、脱バインダ処理後のグリーンチップに対して、焼成およびアニール(熱処理)を行って、チップ形状の素子本体を作製した。焼成は、保持温度:1250℃、保持時間:8時間、雰囲気ガス:露点20℃に加湿したNとH(5%)との混合ガス、で行った。 Next, the green chip after the binder removal treatment was fired and annealed (heat treatment) to produce a chip-shaped element body. Firing was performed at a holding temperature of 1250 ° C., a holding time of 8 hours, and an atmosphere gas: a mixed gas of N 2 and H 2 (5%) humidified to a dew point of 20 ° C.

アニール(再酸化)は、保持温度:1050℃、保持時間:2時間、雰囲気ガス:Nガス、で行った。雰囲気ガスの加湿には、ウェッターを用い、水温0〜40℃にて行った。 Annealing (reoxidation) was performed at a holding temperature of 1050 ° C., a holding time of 2 hours, and an atmosphere gas of N 2 gas. The humidification of the atmospheric gas was performed using a wetter at a water temperature of 0 to 40 ° C.

次に、チップ形状の素子本体の端面をバレル研磨にて研磨したのち、Cuペーストを端部に塗布し、その後、焼付処理を行ったのち、Niめっき、Snめっき処理を施して端子電極を形成し、図1に示す積層セラミックコンデンサのサンプルを得た。なお、各チップの焼成後のサイズは、3.2mm×1.6mm×0.6mmであった。   Next, after polishing the end face of the chip-shaped element body by barrel polishing, a Cu paste is applied to the end portion, and then a baking process is performed, followed by Ni plating and Sn plating processes to form terminal electrodes Thus, a sample of the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1 was obtained. In addition, the size after baking of each chip | tip was 3.2 mm x 1.6 mm x 0.6 mm.

得られた積層セラミックコンデンサのサンプルについて、以下に示す評価を行った。   The following evaluation was performed about the sample of the obtained multilayer ceramic capacitor.

クラック
得られた積層セラミックコンデンサのサンプル1000個について、光学顕微鏡を用いて、サンプルの外観を観察してクラックの有無を評価し、クラックが観察されたサンプルを不良とした。結果を表1に示す。表1では、1000個あたりの不良の個数を示している。
About 1000 samples of cracks obtained multilayer ceramic capacitor, using an optical microscope, to observe the appearance of the samples were evaluated for the presence of cracks, the samples cracks were observed was poor. The results are shown in Table 1. Table 1 shows the number of defects per 1000 pieces.

層間剥がれ
得られた積層セラミックコンデンサのサンプル1000個について、層間剥がれを外装部と内装部との間のクラックと定義し、実体顕微鏡観察により評価し、層間剥がれが観察されたサンプルを不良とした。結果を表1に示す。表1では、1000個あたりの不良の個数を示している。
For a sample 1000 interlayer peeling obtained multilayer ceramic capacitor, is defined as a crack between the exterior and the interior portions of the peeling layers, was evaluated by stereo microscope observation, the sample interlayer peeling was observed was poor. The results are shown in Table 1. Table 1 shows the number of defects per 1000 pieces.

耐湿性
得られた積層セラミックコンデンサのサンプル100個について、PCBT試験を行い、耐湿性を評価した。PCBT試験は、コンデンササンプルに50Vの電圧を印加した状態で、温度121℃、湿度95%、1気圧の環境下で、20時間保持する条件で行った。試験後のサンプルについて、50V−30分の条件で絶縁抵抗を測定し、試験前よりも抵抗が1桁以上下がったものを不良とした。結果を表1に示す。表1では、100個あたりの不良の個数を示している。
Moisture resistance About 100 samples of the obtained multilayer ceramic capacitor, a PCBT test was conducted to evaluate the moisture resistance. The PCBT test was performed under the condition that the capacitor sample was held for 20 hours in an environment of a temperature of 121 ° C., a humidity of 95%, and 1 atm with a voltage of 50V applied. About the sample after a test, the insulation resistance was measured on the conditions of 50V-30 minutes, and the thing whose resistance fell 1 digit or more than before the test was made into the defect. The results are shown in Table 1. Table 1 shows the number of defects per 100 pieces.

Figure 0005077393
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表1より、AB1/AB2の値が本発明の範囲内である場合(試料番号3〜7および9)には、耐湿性が良好で、かつクラックや剥がれも少ないことが確認できた。   From Table 1, when the value of AB1 / AB2 is within the range of the present invention (sample numbers 3 to 7 and 9), it was confirmed that the moisture resistance was good and cracks and peeling were small.

実施例2
水溶性バインダ樹脂の種類、および非水溶性バインダ樹脂に対する水溶性バインダ樹脂の比率を表2に示す値とした以外は、実施例1の試料番号5と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製し、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表2に示す。
Example 2
A multilayer ceramic capacitor sample was prepared in the same manner as Sample No. 5 in Example 1 except that the type of water-soluble binder resin and the ratio of the water-soluble binder resin to the water-insoluble binder resin were set to the values shown in Table 2. Then, the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 2.

なお、試料番号21については、水溶性バインダ樹脂を用いずに、内装部のA/Bを表2の「AB1」に示す値とし、外装部のA/Bを表2の「AB2」に示す値とした。   For sample number 21, without using a water-soluble binder resin, the A / B of the interior portion is set to the value shown in “AB1” of Table 2, and the A / B of the exterior portion is shown in “AB2” of Table 2. Value.

Figure 0005077393
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表2より、水溶性バインダ樹脂の比率を変化させることで、AB1/AB2の値を制御できることが確認できた。   From Table 2, it was confirmed that the value of AB1 / AB2 can be controlled by changing the ratio of the water-soluble binder resin.

実施例3
湿式バレル研磨時の水のpHを表3に示す値とした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製し、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表3に示す。
Example 3
A multilayer ceramic capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the pH of water during wet barrel polishing was changed to the value shown in Table 3, and the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 3.

実施例4
湿式バレル研磨時の水温を表4に示す値とした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製し、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表4に示す。
Example 4
A multilayer ceramic capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the water temperature during wet barrel polishing was changed to the values shown in Table 4, and the same characteristic evaluation as in Example 1 was performed. The results are shown in Table 4.

Figure 0005077393
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Figure 0005077393
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表3より、湿式バレル研磨時に用いる水のpHを変化させることで、AB1/AB2の値を制御できることが確認できた。   From Table 3, it was confirmed that the value of AB1 / AB2 can be controlled by changing the pH of water used during wet barrel polishing.

表4より、湿式バレル研磨時に用いる水温を変化させることで、AB1/AB2の値を制御できることが確認できた。   From Table 4, it was confirmed that the value of AB1 / AB2 could be controlled by changing the water temperature used during wet barrel polishing.

比較例5
水溶性バインダ樹脂を用いずに、内装部と外装部とのA/Bを表5に示す値とした以外は、実施例1と同様にして、積層セラミックコンデンサの試料を作製し、実施例1と同様の特性評価を行った。結果を表5に示す。
Comparative Example 5
A multilayer ceramic capacitor sample was prepared in the same manner as in Example 1 except that the water-soluble binder resin was not used and the A / B between the interior part and the exterior part was set to the values shown in Table 5. The same characteristic evaluation was performed. The results are shown in Table 5.

なお、内装部のA/B比は、内装用グリーンシートのA/B比を表5に示す値とすることで調整し、外装部のA/B比は、外装用グリーンシートのA/B比を表5に示す値とすることで調整した。   The A / B ratio of the interior part is adjusted by setting the A / B ratio of the interior green sheet to the value shown in Table 5, and the A / B ratio of the exterior part is the A / B of the exterior green sheet. The ratio was adjusted to the value shown in Table 5.

Figure 0005077393
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内装部は、外装部により完全に被覆されておらず、内装部が素子本体の表面に露出しているため、表5より、内装部のA/B比と、外装部のA/B比との関係を、どのように変化させても、特性が悪化する傾向にあることが確認できた。具体的には、試料番号61では、素子本体表面の焼結が進まなかったため、耐湿性が悪化することが確認できた。一方、試料番号62では、素子本体表面の焼結が進みすぎたため、クラックや剥がれ等の構造欠陥が増加することが確認できた。   Since the interior part is not completely covered by the exterior part, and the interior part is exposed on the surface of the element body, from Table 5, the A / B ratio of the interior part and the A / B ratio of the exterior part It can be confirmed that the characteristics tend to deteriorate no matter how the relationship is changed. Specifically, in sample No. 61, it was confirmed that the moisture resistance deteriorated because the sintering of the element body surface did not proceed. On the other hand, in Sample No. 62, it was confirmed that structural defects such as cracks and peeling increased because the surface of the element main body was excessively sintered.

1… 積層セラミックコンデンサ
2… 誘電体層
3… 内部電極層
4… 外部電極
10… 素子本体
11… 表層部
12… 内部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Multilayer ceramic capacitor 2 ... Dielectric layer 3 ... Internal electrode layer 4 ... External electrode 10 ... Element main body 11 ... Surface layer part 12 ... Inside

Claims (7)

誘電体層を備える素子本体を有するセラミック電子部品であって、
前記誘電体層が、一般式ABO(AはBa単独、または、BaとCaおよびSrから選ばれる少なくとも1つとであり、BはTi単独、または、TiとZrおよびHfから選ばれる少なくとも1つとである)で表される化合物を含有する誘電体磁器組成物から構成されており、
前記素子本体は、素子本体内部と、前記素子本体内部を取り囲むように覆う表層部と、から構成されており、前記表層部は、前記素子本体表面からの深さが10μmまでの領域であり、
前記表層部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB1とし、前記素子本体内部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB2としたとき、
前記AB1およびAB2が、0.992≦AB1/AB2≦0.998である関係を満足することを特徴とするセラミック電子部品。
A ceramic electronic component having an element body with a dielectric layer,
The dielectric layer has the general formula ABO 3 (A is Ba alone or at least one selected from Ba and Ca and Sr, and B is Ti alone or at least one selected from Ti, Zr and Hf. And a dielectric ceramic composition containing a compound represented by
The element body is composed of an inside of the element body and a surface layer portion covering the element body so as to surround the inside of the element body, and the surface layer portion is a region having a depth of up to 10 μm from the surface of the element body.
When A / B indicating the molar ratio of A and B in the surface layer portion is AB1, and A / B indicating the molar ratio of A and B in the element body is AB2,
A ceramic electronic component characterized in that AB1 and AB2 satisfy a relationship of 0.992 ≦ AB1 / AB2 ≦ 0.998.
誘電体層を備える素子本体を有するセラミック電子部品を製造する方法であって、
前記誘電体層が、一般式ABO(AはBa単独、または、BaとCaおよびSrから選ばれる少なくとも1つとであり、BはTi単独、または、TiとZrおよびHfから選ばれる少なくとも1つとである)で表される化合物を含有する誘電体磁器組成物から構成されており、
前記素子本体は、素子本体内部と、前記素子本体内部を覆う表層部と、から構成されており、前記表層部は、前記素子本体表面からの深さが10μmまでの領域であり、
前記表層部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB1とし、前記素子本体内部における前記Aと前記Bとのモル比を示すA/BをAB2としたとき、
前記AB1およびAB2が、0.992≦AB1/AB2≦0.998である関係を満足し、
前記化合物の原料およびバインダ樹脂を含む焼成前誘電体層を形成して焼成前素子本体を形成する工程と、
前記焼成前素子本体が水に接触する工程と、
前記焼成前素子本体を焼成して、前記素子本体を得る工程と、を有し、
前記バインダ樹脂が、水溶性バインダ樹脂と非水溶性バインダ樹脂とを含み、前記非水溶性バインダ樹脂100重量%に対する前記水溶性バインダ樹脂の割合が1〜10重量%であることを特徴とするセラミック電子部品の製造方法。
A method of manufacturing a ceramic electronic component having an element body with a dielectric layer,
The dielectric layer has the general formula ABO 3 (A is Ba alone or at least one selected from Ba and Ca and Sr, and B is Ti alone or at least one selected from Ti, Zr and Hf. And a dielectric ceramic composition containing a compound represented by
The element body is composed of an inside of the element body and a surface layer part covering the inside of the element body, and the surface layer part is a region having a depth of up to 10 μm from the surface of the element body.
When A / B indicating the molar ratio of A and B in the surface layer portion is AB1, and A / B indicating the molar ratio of A and B in the element body is AB2,
The AB1 and AB2 satisfy the relationship of 0.992 ≦ AB1 / AB2 ≦ 0.998,
Forming a pre-fired dielectric layer comprising a raw material of the compound and a binder resin to form a pre-fired element body;
The element body before firing is in contact with water;
Firing the element body before firing to obtain the element body,
The ceramic, wherein the binder resin includes a water-soluble binder resin and a water-insoluble binder resin, and a ratio of the water-soluble binder resin to 100% by weight of the water-insoluble binder resin is 1 to 10% by weight. Manufacturing method of electronic components.
前記水溶性バインダ樹脂は、ポリビニルアルコールおよびデンプンから選ばれる少なくとも1つである請求項2に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to claim 2, wherein the water-soluble binder resin is at least one selected from polyvinyl alcohol and starch. 前記非水溶性バインダ樹脂は、ブチラール系樹脂およびアクリル系樹脂から選ばれる少なくとも1つである請求項2または3に記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to claim 2 or 3, wherein the water-insoluble binder resin is at least one selected from a butyral resin and an acrylic resin. 前記焼成前素子本体が水に接触する工程において用いられる水のpHが2より大きい請求項2〜4のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to any one of claims 2 to 4, wherein the pH of water used in the step of contacting the element body before firing with water is greater than 2. 前記焼成前素子本体が水に接触する工程が、湿式バレル研磨工程である請求項2〜5のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for producing a ceramic electronic component according to any one of claims 2 to 5, wherein the step of contacting the element body before firing with water is a wet barrel polishing step. 前記焼成前誘電体層には可塑剤が含まれている請求項2〜6のいずれかに記載のセラミック電子部品の製造方法。   The method for manufacturing a ceramic electronic component according to claim 2, wherein the pre-fired dielectric layer contains a plasticizer.
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