JP6627916B2 - Multilayer ceramic capacitors - Google Patents

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この発明は、積層セラミックコンデンサに関する。   The present invention relates to a multilayer ceramic capacitor.

近年、大容量で、かつ小型の積層セラミックコンデンサが求められている。このような積層セラミックコンデンサは、たとえば、内層用セラミック層(誘電体セラミック層)と内部電極とが交互に積み重ねられ、その上面と下面とに外層用セラミック層が配設されて、直方体状に形成されたセラミック素体を有し、そのセラミック素体の両端面に外部電極が形成されている。このセラミック素体の両側面には、外部電極との接続を防止するために、サイドマージン部が形成されている。   In recent years, large-capacity and small-sized multilayer ceramic capacitors have been demanded. Such a multilayer ceramic capacitor is formed in a rectangular parallelepiped shape, for example, in which an inner ceramic layer (dielectric ceramic layer) and internal electrodes are alternately stacked, and an outer ceramic layer is disposed on the upper surface and the lower surface. And an external electrode is formed on both end surfaces of the ceramic body. Side margins are formed on both side surfaces of the ceramic body to prevent connection with external electrodes.

上述したような積層セラミックコンデンサの製造方法として、特許文献1に記載の製造方法が開示されている。すなわち、この積層セラミックコンデンサの製造方法は、内部電極となる導電膜が表面に形成された複数のセラミックグリーンシートが積層され、マザー積層体が形成され、そのマザー積層体を切断するにあたり、外部電極が形成されない側面において導電膜が露出するように切断される。そして、その両側面に対して、サイドマージン部となるセラミックスラリーが塗布されることよって、ばらつきの少ない均一なサイドマージン部を形成するとしている。   As a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor as described above, a manufacturing method described in Patent Document 1 is disclosed. That is, in the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, a plurality of ceramic green sheets each having a conductive film serving as an internal electrode formed on the surface are laminated to form a mother laminate. Is cut so that the conductive film is exposed on the side surface where no is formed. Then, a ceramic slurry to be a side margin portion is applied to both side surfaces to form a uniform side margin portion with little variation.

特開昭61−248413号公報JP-A-61-248413

しかしながら、特許文献1に記載される積層セラミックコンデンサの製造方法では、サイドマージン部の形成に用いられるセラミックスラリーは、内層用セラミック層を形成するために用いられるセラミックスラリーと同じ誘電体セラミック材料により構成されている。この積層セラミックコンデンサの製造方法の焼成工程において、内層用セラミック層を形成する条件で焼成すると、サイドマージン部の内部において空隙部が増加するため、この空隙部を介してサイドマージン部からの水分の浸入を防ぐことができず、積層セラミックコンデンサの信頼性が低下するといった問題があった。   However, in the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor described in Patent Document 1, the ceramic slurry used for forming the side margin portion is made of the same dielectric ceramic material as the ceramic slurry used for forming the inner ceramic layer. Have been. In the firing step of the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, when firing is performed under the conditions for forming the ceramic layer for the inner layer, the voids increase inside the side margins, so that the moisture from the side margins passes through the voids. There is a problem that intrusion cannot be prevented and the reliability of the multilayer ceramic capacitor is reduced.

それ故に、この発明の主たる目的は、サイドマージン部を有する積層体チップをより緻密に焼結することができ、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することである。   Therefore, a main object of the present invention is to provide a multilayer ceramic capacitor in which a multilayer chip having a side margin portion can be sintered more densely and reliability is improved.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサは、積層された複数の誘電体層と複数の内部電極を含む積層体と、内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、複数の内部電極は、第1の端面に露出する第1の内部電極と、第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、複数の外部電極は、第1の端面を覆うように形成され、且つ第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、第2の端面を覆うように形成され、且つ
第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、積層体を積層方向からみた断面で、第1主面から第2の主面まで第1の側面及び第2の側面に沿って延び、第1の内部電極と第2の内部電極が存在しない領域をサイドマージン部とすると、サイドマージン部は、積層体の第1および第2の側面側にそれぞれ位置するアウター層と、第1および第2内部電極側に位置するインナー層を有し、アウター層の厚み寸法は、インナー層の厚み寸法よりも大きい、積層セラミックコンデンサである。
また、この発明にかかる積層セラミックコンデンサは、積層された複数の誘電体層と複数の内部電極を含む積層体と、内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、複数の内部電極は、第1の端面に露出する第1の内部電極と、第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、複数の外部電極は、第1の端面を覆うように形成され、且つ第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、第2の端面を覆うように形成され、且つ第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、積層体を積層方向からみた断面で、第1主面から第2の主面まで第1の側面及び第2の側面に沿って延び、第1の内部電極と第2の内部電極が存在しない領域をサイドマージン部とすると、サイドマージン部は、積層体の第1および第2の側面側にそれぞれ位置するアウター層と、第1および第2内部電極側に位置するインナー層の2層によって構成され、アウター層の厚み寸法は、インナー層の厚み寸法よりも大きい、積層セラミックコンデンサである。
A multilayer ceramic capacitor according to the present invention is a multilayer ceramic capacitor including a multilayer body including a plurality of stacked dielectric layers and a plurality of internal electrodes, and external electrodes electrically connected to the internal electrodes. The laminate has a first main surface and a second main surface facing each other in the laminating direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction perpendicular to the laminating direction, and a direction perpendicular to the laminating direction and the width direction. The plurality of internal electrodes are formed in a rectangular parallelepiped shape including a first end surface and a second end surface facing each other in the length direction, and the first internal electrode exposed at the first end surface, the first internal electrode, and a dielectric material. A second internal electrode exposed at the second end face so as to face through the body layer, wherein the plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and are electrically connected to the first internal electrode. First externally connected A second external electrode formed so as to cover the second end face and connected to the second internal electrode; When the region extending along the first side surface and the second side surface up to the main surface of the stacked body and where the first internal electrode and the second internal electrode are not present is defined as a side margin portion, the side margin portion is formed by the first margin of the stacked body. And a multilayer ceramic capacitor having an outer layer located on the second side surface and an inner layer located on the first and second internal electrode sides, wherein the thickness of the outer layer is larger than the thickness of the inner layer. It is.
Further, a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is a multilayer ceramic capacitor including a multilayer body including a plurality of stacked dielectric layers and a plurality of internal electrodes, and external electrodes electrically connected to the internal electrodes. Thus, the laminated body has a first main surface and a second main surface facing each other in the laminating direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction orthogonal to the laminating direction, and the laminating direction and the width direction. The plurality of internal electrodes are formed in a rectangular parallelepiped shape including a first end face and a second end face that are opposed to each other in an orthogonal length direction, and the plurality of internal electrodes are: a first internal electrode exposed at the first end face; And a second internal electrode exposed at the second end face so as to face through the dielectric layer, wherein the plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and the first internal electrode The first electrically connected to An external electrode and a second external electrode formed so as to cover the second end face and connected to the second internal electrode. If the region extending along the first side surface and the second side surface to the main surface of No. 2 and the first internal electrode and the second internal electrode do not exist is defined as a side margin portion, the side margin portion is It is composed of two layers, an outer layer located on each of the first and second side surfaces, and an inner layer located on the first and second internal electrode sides, and the thickness of the outer layer is larger than the thickness of the inner layer. , A multilayer ceramic capacitor.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサによれば、セラミック素体を積層方向からみて第1の内部電極と第2の内部電極が存在しない領域をサイドマージン部としたとき、サイドマージン部が、複数層構造とすることで、サイドマージン部からセラミック素体の内側に向かって、水分の浸入を抑制することができるため、積層セラミックコンデンサの耐湿性を向上させることができる。したがって、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することができる。
また、サイドマージン部を、内部電極側のインナー部と、セラミック素体の側面側のアウター部との2層に形成した場合でも、サイドマージン部からセラミック素体の内側に向かって、水分の浸入を抑制することができるため、積層セラミックコンデンサの耐湿性を向上させることができる。
According to the multilayer ceramic capacitor of the present invention, when a region where the first internal electrode and the second internal electrode are not present is defined as a side margin portion when the ceramic body is viewed from the laminating direction, the side margin portion has a multi-layer structure. By doing so, the infiltration of moisture from the side margin portion toward the inside of the ceramic body can be suppressed, so that the moisture resistance of the multilayer ceramic capacitor can be improved. Therefore, a multilayer ceramic capacitor having improved reliability can be provided.
Further, even when the side margin portion is formed in two layers, the inner portion on the internal electrode side and the outer portion on the side surface side of the ceramic body, the infiltration of moisture from the side margin portion toward the inside of the ceramic body is performed. Therefore, the moisture resistance of the multilayer ceramic capacitor can be improved.

この発明によれば、サイドマージン部を有する積層体チップをより緻密に焼結することができ、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することができる。   According to the present invention, a multilayer chip having a side margin portion can be sintered more densely, and a multilayer ceramic capacitor with improved reliability can be provided.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。   The above and other objects, features and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments for carrying out the invention with reference to the drawings.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの外観の一例を示す概略斜視図である。1 is a schematic perspective view showing an example of the appearance of a multilayer ceramic capacitor according to the present invention. 図1のA−A線における断面を示す断面図解図である。FIG. 2 is an illustrative sectional view showing a section along line AA in FIG. 1. 図1のB−B線における断面を示す断面図解図である。FIG. 2 is an illustrative sectional view showing a section along line BB in FIG. 1; 積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための説明図であって、(a)は、セラミックグリーンシートに導電膜を形成した状態を模式的に示した斜視図であり、(b)は、導電膜が形成されたセラミックグリーンシートを積み重ねる状態を模式的に示した斜視図である。It is explanatory drawing for demonstrating the manufacturing method of a laminated ceramic capacitor, (a) is the perspective view which showed typically the state which formed the conductive film on the ceramic green sheet, (b) is the conductive film. It is the perspective view which showed typically the state which piles up the ceramic green sheet in which was formed. 図4に示した積層セラミックコンデンサの製造方法において製造される積層体チップの外観の一例を示す概略斜視図である。FIG. 5 is a schematic perspective view illustrating an example of an appearance of a multilayer chip manufactured by the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor illustrated in FIG. 4.

本発明にかかる積層セラミックコンデンサの一例について説明する。図1は、セラミック素体と外部電極とにより構成された積層セラミックコンデンサの外観の一例である積層セラミックコンデンサの概略斜視図を示し、図2は、図1のA−A線における断面を示す断面図解図を示す。また、図3は、図1のB−B線における断面を示す断面図解図を示す。   An example of the multilayer ceramic capacitor according to the present invention will be described. FIG. 1 is a schematic perspective view of a multilayer ceramic capacitor as an example of the appearance of a multilayer ceramic capacitor including a ceramic body and external electrodes, and FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a cross section taken along line AA of FIG. FIG. FIG. 3 is an illustrative sectional view showing a section taken along line BB of FIG.

この実施の形態にかかる積層セラミックコンデンサ10は、概略、セラミック素体12と、セラミック素体12の両端面にそれぞれ形成された外部電極40,42とから構成される。   The multilayer ceramic capacitor 10 according to the present embodiment generally includes a ceramic body 12 and external electrodes 40 and 42 formed on both end surfaces of the ceramic body 12, respectively.

本発明にかかる積層セラミックコンデンサ10の大きさは、長さ(L)方向の寸法、幅(W)方向の寸法、積層(T)方向の寸法が、たとえば、1.6mm×0.8mm×0.8mm、1.0mm×0.5mm×0.5mm、0.6mm×0.3mm×0.3mm、0.4mm×0.2mm×0.2mmの組み合わせがある。   The size of the laminated ceramic capacitor 10 according to the present invention is such that the dimension in the length (L) direction, the dimension in the width (W) direction, and the dimension in the laminated (T) direction are, for example, 1.6 mm × 0.8 mm × 0. There are combinations of 0.8 mm, 1.0 mm × 0.5 mm × 0.5 mm, 0.6 mm × 0.3 mm × 0.3 mm, 0.4 mm × 0.2 mm × 0.2 mm.

セラミック素体12は、直方体状に形成され、幅(W)方向および積層(T)方向に沿って延びる第1の端面13および第2の端面14と、長さ(L)方向および積層(T)方向に沿って延びる第1の側面15および第2の側面16と、長さ(L)方向および幅(W)方向に沿って延びる第1の主面17および第2の主面18とを有する。また、セラミック素体12において、第1の端面13および第2の端面14は、互いに対向し、第1の側面15および第2の側面16は互いに対向し、第1の主面17および第2の主面18は互いに対向する。また、第1の側面15および第2の側面16は、第1の端面13および第2の端面14に直交し、第1の主面17および第2の主面18は、第1の端面13および第1の側面16に直交する。さらに、セラミック素体12のコーナー部および稜部は、丸みが形成されていることが好ましい。   The ceramic body 12 is formed in a rectangular parallelepiped shape, and has a first end face 13 and a second end face 14 extending along the width (W) direction and the lamination (T) direction, and the length (L) direction and the lamination (T) direction. ) Direction, a first side surface 15 and a second side surface 16 extending along the direction, and a first main surface 17 and a second main surface 18 extending along the length (L) direction and the width (W) direction. Have. In the ceramic body 12, the first end face 13 and the second end face 14 face each other, the first side face 15 and the second side face 16 face each other, and the first main face 17 and the second Are opposed to each other. Further, the first side face 15 and the second side face 16 are orthogonal to the first end face 13 and the second end face 14, and the first main face 17 and the second main face 18 are formed by the first end face 13 And the first side surface 16. Further, it is preferable that the corners and the ridges of the ceramic body 12 are rounded.

セラミック素体12は、複数の内層用セラミック層(誘電体セラミック層)20および複数の内層用セラミック層20同士の界面に配設された複数の第1の内部電極22および第2の内部電極24により構成される内層部26と、内層部26を積層(T)方向に挟むように外層用セラミック層が配設された外層部28,30と、内層部26および外層部28,30を幅(W)方向に挟むようにサイドマージン用のセラミック層が配設されたサイドマージン部32,34とで構成されている。換言すると、内層部26は、最も第1の主面17側あるいは第2の主面18側に配置された第1および第2の内部電極22,24に挟まれた領域である。また、サイドマージン部32,34は、セラミック素体12を積層(T)方向からみて、第1の内部電極22および第2の内部電極24が存在しない領域である。   The ceramic body 12 includes a plurality of inner ceramic layers (dielectric ceramic layers) 20 and a plurality of first inner electrodes 22 and second inner electrodes 24 disposed at interfaces between the plurality of inner ceramic layers 20. The outer layer portions 28 and 30 in which the outer layer ceramic layers are disposed so as to sandwich the inner layer portion 26 in the laminating (T) direction, and the inner layer portion 26 and the outer layer portions 28 and 30 have widths ( Side margin portions 32 and 34 in which ceramic layers for side margins are disposed so as to be sandwiched in the direction W). In other words, the inner layer portion 26 is a region sandwiched between the first and second internal electrodes 22 and 24 disposed closest to the first main surface 17 or the second main surface 18. The side margin portions 32 and 34 are regions where the first internal electrode 22 and the second internal electrode 24 do not exist when the ceramic body 12 is viewed from the lamination (T) direction.

内層用セラミック層20は、たとえば、Ba,Tiを含有するペロブスカイト型化合物を主成分とし、ペロブスカイト構造を備える誘電体セラミック粒子からなる。また、これらの主成分に添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種が加えられており、セラミック粒子間にそれらの添加剤が存在している。焼成後の内層用セラミック層20の厚みは、0.3μm以上10μm以下であることが好ましい。   The inner ceramic layer 20 is composed of, for example, a dielectric ceramic particle having a perovskite structure containing a perovskite compound containing Ba and Ti as a main component. Further, at least one of Si, Mg, and Ba is added as an additive to these main components, and the additive exists between the ceramic particles. The thickness of the inner ceramic layer 20 after firing is preferably 0.3 μm or more and 10 μm or less.

上下に配設された外層部28,30は、それぞれ、内層用セラミック層20と同じ誘電体セラミック材料が用いられている。なお、外層部28,30は、内層用セラミック層20と異なる誘電体セラミック材料で構成されていてもよい。焼成後の外層部28,30の厚みは、15μm以上40μm以下であることが好ましい。   The upper and lower outer layers 28, 30 are made of the same dielectric ceramic material as the inner ceramic layer 20, respectively. Note that the outer layer portions 28 and 30 may be made of a dielectric ceramic material different from the inner ceramic layer 20. It is preferable that the thickness of the outer layer portions 28 and 30 after firing is 15 μm or more and 40 μm or less.

第1の内部電極22と第2の内部電極24とは、厚み方向において、内層用セラミック層20を介して対向している。この第1の内部電極22と第2の内部電極24とが、内層用セラミック層20を介して対向している部分に静電容量が形成されている。   The first internal electrode 22 and the second internal electrode 24 face each other with the ceramic layer for inner layer 20 therebetween in the thickness direction. Capacitance is formed at a portion where the first internal electrode 22 and the second internal electrode 24 face each other with the ceramic layer for internal layer 20 interposed therebetween.

第1の内部電極22の左側端部は、セラミック素体12の第1の端面13に引き出されて外部電極40に電気的に接続されている。第2の内部電極24の右側端部は、セラミック素体12の第2の端面14に引き出されて外部電極42に電気的に接続されている。   The left end of the first internal electrode 22 is drawn out to the first end face 13 of the ceramic body 12 and is electrically connected to the external electrode 40. The right end of the second internal electrode 24 is drawn out to the second end face 14 of the ceramic body 12 and is electrically connected to the external electrode 42.

第1および第2の内部電極22,24は、たとえば、Ni、Cuなどからなる。第1および第2の内部電極22,24の厚みは0.3μm以上2.0μm以下であることが好ましい。   The first and second internal electrodes 22, 24 are made of, for example, Ni, Cu, or the like. It is preferable that the thickness of the first and second internal electrodes 22 and 24 is 0.3 μm or more and 2.0 μm or less.

サイドマージン部32,34は、セラミック素体12の側面側に位置するアウター部32a,34aおよび第1および第2の内部電極22,24側に位置するインナー部32b,34bを含む2層構造である。また、サイドマージン部32,34は、たとえば、BaTiO3などの主成分からなるペロブスカイト構造を備える誘電体セラミック材料からなる。また、これらの主成分に添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種が加えられており、セラミック粒子間にそれらの添加剤が存在している。焼成後のサイドマージン部32,34の厚みは、5μm以上40μm以下であることが好ましい。特に、20μm以下で、本発明が有効に働く。また、好ましくは、インナー部32b,34bはアウター部32a,34aより厚みが薄く、具体的には、アウター部32a,34aの厚みは、5μm以上20μm以下が好ましく、インナー部32b,34bの厚みは、0.1μm以上20μm以下が好ましい。なお、アウター部32a,34aとインナー部32b,34bにおける焼結性の違いにより、光学顕微鏡を用いることで、サイドマージン部32,34が2層構造であることは容易に把握できる。また、サイドマージン部32,34は、アウター部32a,34a、インナー部32b,34bの2層だけでなく、複数層であってもよい。 The side margin portions 32 and 34 have a two-layer structure including outer portions 32a and 34a located on the side surface of the ceramic body 12 and inner portions 32b and 34b located on the first and second internal electrodes 22 and 24 sides. is there. The side margins 32 and 34 are made of a dielectric ceramic material having a perovskite structure made of a main component such as BaTiO 3 , for example. Further, at least one of Si, Mg, and Ba is added as an additive to these main components, and the additive exists between the ceramic particles. The thickness of the side margin portions 32 and 34 after firing is preferably 5 μm or more and 40 μm or less. In particular, the present invention works effectively when the thickness is 20 μm or less. Preferably, the thickness of the inner portions 32b and 34b is smaller than that of the outer portions 32a and 34a. Specifically, the thickness of the outer portions 32a and 34a is preferably 5 μm or more and 20 μm or less, and the thickness of the inner portions 32b and 34b is , And 0.1 μm or more and 20 μm or less. In addition, due to the difference in sinterability between the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b, it can be easily understood that the side margin portions 32 and 34 have a two-layer structure by using an optical microscope. Further, the side margin portions 32 and 34 may be not only two layers of the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b, but may be a plurality of layers.

なお、外層部28,30の厚さ、あるいはサイドマージン部32,34の厚さは、セラミック素体12を積層(T)方向および幅(W)方向からなる面に対して垂直になる方向へ長さが約1/2になるように研磨し、内部電極端部(セラミック誘電体が拡散している端部も含む)から外側に向かう長さを10層おきに測定し、その平均値から求められる。   The thickness of the outer layer portions 28 and 30 or the thickness of the side margin portions 32 and 34 is set so that the ceramic body 12 is perpendicular to the plane composed of the lamination (T) direction and the width (W) direction. Polish so that the length becomes about 1/2, measure the length from the end of the internal electrode (including the end where the ceramic dielectric is diffused) to the outside every 10 layers, and from the average value Desired.

また、サイドマージン部32,34において、インナー部32bからアウター部32aおよびインナー部34bからアウター部34aに向かって、空隙部が減少している。
このように、サイドマージン部32,34が形成された積層体チップを焼結させるときに、セラミック素体12における内部電極が備えられる内層部を焼結させるための条件であっても、このサイドマージン部32,34の内側から外側に向かって、空隙部を少なくすることができるため、サイドマージン部32,34からセラミック素体12の内側に向かって、水分の浸入が抑制されることから、積層セラミックコンデンサの耐湿性を向上させることができる。したがって、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサを提供することができる。
ここで、空隙部とは、空間もしくはガラスが埋まっている箇所と混在している状況である。空隙部の数は、30μm×30μmの範囲を倍率5000でSEMにより撮像し、カウントすることで確認できる。
In the side margins 32 and 34, the gaps decrease from the inner part 32b to the outer part 32a and from the inner part 34b to the outer part 34a.
As described above, when sintering the laminated chip on which the side margin portions 32 and 34 are formed, even if the conditions for sintering the inner layer portion of the ceramic body 12 provided with the internal electrodes are provided, Since the voids can be reduced from the inside to the outside of the margins 32, 34, the infiltration of moisture from the side margins 32, 34 toward the inside of the ceramic body 12 is suppressed. The moisture resistance of the multilayer ceramic capacitor can be improved. Therefore, a multilayer ceramic capacitor having improved reliability can be provided.
Here, the void portion is a state where the space portion is mixed with a space or a portion where the glass is buried. The number of voids can be confirmed by taking an image of an area of 30 μm × 30 μm with a SEM at a magnification of 5,000 and counting.

また、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bにおけるセラミック粒子の粒径であるグレインサイズは、アウター部32a,34aにおけるグレインサイズに比べて小さくなっており、緻密性が増している。特に、サイドマージン部32,34近傍の第1および第2の内部電極22,24の端部において、グレインサイズがアウター部32a,34aにおけるグレインサイズより小さくなっている。   Further, the grain size, which is the particle size of the ceramic particles in the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34, is smaller than the grain size in the outer portions 32a and 34a, and the denseness is increased. In particular, at the ends of the first and second internal electrodes 22, 24 near the side margins 32, 34, the grain size is smaller than the grain size at the outer portions 32a, 34a.

この空隙部は、サイドマージン部32,34の厚さの測定時と同様にセラミック素体12を研磨し、積層セラミックコンデンサ10の外形寸法が、たとえば、0.6mm×0.3mm×0.3mmの場合、倍率5000倍でSEM撮影し、空隙部と見られる点を数えることで観測することができる。
また、倍率20000〜50000倍でSEM撮影し、撮像範囲のグレインを選択しその大きさの平均(たとえば、50個)を算出することで、アウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bにおけるグレインサイズの大きさの違いを把握することができる。
The gap is formed by polishing the ceramic body 12 in the same manner as when measuring the thicknesses of the side margins 32 and 34, so that the outer dimensions of the multilayer ceramic capacitor 10 are, for example, 0.6 mm × 0.3 mm × 0.3 mm. In the case of, it can be observed by taking a SEM image at a magnification of 5,000 and counting points regarded as voids.
Further, SEM images are taken at a magnification of 20000 to 50,000 times, and the grains in the imaging range are selected and the average (for example, 50) of the sizes is calculated, thereby obtaining the grain sizes in the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b. The difference in size can be understood.

また、内層部26の内層用セラミック層20と、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bのセラミック粒子間における添加材であるBaの量は、
内層部20の内層用セラミック層20<アウター部32a,34a<インナー部32b,34b、
である。
このように、このサイドマージン部が内部電極側のインナー部と側面側のアウター部との2層に形成され、インナー部のBa含有量がアウター部のBaの含有量より多いことが好ましい。こうすることで、サイドマージン部を有する積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させることができる。
すなわち、セラミック素体12のサイドマージン部の内側から外側に向かって、セラミック誘電体からなるセラミック粒子間のBaの含有量が減少している。そのため、サイドマージン部32,34が形成された積層体チップを焼結させるときに、セラミック素体12における内部電極が備えられる内層部を焼結させるための条件であっても、サイドマージン部32,34の外側の領域における誘電体セラミック粒子の粒成長を促進させることで、より緻密に焼結することができるため、サイドマージン部の外側を構成する誘電体セラミック層における空隙部を少なくすることができることから、サイドマージン部32,34からセラミック素体12の内側に向かって水分の侵入を防ぐことができる。
なお、このようなサイドマージン部32,34のセラミック粒子間における添加剤であるBaの含有量が異なる。なお、Baの含有量の違いは、TEM分析により見出すことができる。
The amount of Ba as an additive between the inner ceramic layer 20 of the inner layer portion 26 and the ceramic particles of the outer portions 32a, 34a and the inner portions 32b, 34b of the side margin portions 32, 34 is as follows.
The inner ceramic layer 20 of the inner layer part 20 <the outer parts 32a, 34a <the inner parts 32b, 34b,
It is.
As described above, it is preferable that the side margin portion is formed in two layers of the inner portion on the internal electrode side and the outer portion on the side surface, and that the Ba content of the inner portion is larger than the Ba content of the outer portion. By doing so, the reliability of the multilayer ceramic capacitor having a side margin portion can be improved.
In other words, the content of Ba between the ceramic particles made of the ceramic dielectric decreases from the inside to the outside of the side margin portion of the ceramic body 12. Therefore, when sintering the laminated chip on which the side margin portions 32 and 34 are formed, even if the conditions for sintering the inner layer portion provided with the internal electrode in the ceramic body 12 are the side margin portion 32 , 34, by promoting the grain growth of the dielectric ceramic particles, it is possible to sinter more densely, so that the number of voids in the dielectric ceramic layer constituting the outside of the side margin portion is reduced. Therefore, intrusion of moisture from the side margin portions 32 and 34 toward the inside of the ceramic body 12 can be prevented.
The content of Ba as an additive between the ceramic particles of the side margin portions 32 and 34 is different. The difference in Ba content can be found by TEM analysis.

サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bにおけるBaの含有量は、Ti:1molに対するモル比が、センター値で、
アウター部32a,34aは、Ba:1.000より大きく1.020未満、
インナー部32b,34bは、Ba:1.020より大きく1.040未満、
となるように調合していることが好ましい。こうすることで、サイドマージン部を有する積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させることができる。
The content of Ba in the outer portions 32a, 34a and the inner portions 32b, 34b of the side margin portions 32, 34 is such that the molar ratio with respect to Ti: 1 mol is a center value,
The outer portions 32a and 34a have Ba greater than 1.000 and less than 1.020;
The inner portions 32b and 34b are larger than Ba: 1.020 and smaller than 1.040,
It is preferable that the ingredients are blended so that By doing so, the reliability of the multilayer ceramic capacitor having a side margin portion can be improved.

また、サイドマージン部32,34側からセラミック素体12を研磨し、アウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bの部分を研磨したそれぞれの粉を酸により溶解し、ICP発光分光分析を行うことで、アウター部32a,34aおよびインナー部32b,34bにおいて、上記のモル比となっていることを確認することができる。   Further, the ceramic body 12 is polished from the side margin portions 32, 34 side, and the respective powders obtained by polishing the outer portions 32a, 34a and the inner portions 32b, 34b are dissolved with acid to perform ICP emission spectroscopy. Thus, it can be confirmed that the above molar ratio is obtained in the outer portions 32a and 34a and the inner portions 32b and 34b.

さらに、これらの範囲において、アウター部32a,34aに対して、インナー部32b,34bのセラミック粒子間のBaの含有量が100%を超えて140%未満多く添加されることが好ましい。こうすることで、サイドマージン部を有する積層セラミックコンデンサの信頼性を向上させることができる。   Further, in these ranges, it is preferable that the content of Ba between the ceramic particles of the inner portions 32b and 34b is more than 100% and less than 140% more than the outer portions 32a and 34a. By doing so, the reliability of the multilayer ceramic capacitor having a side margin portion can be improved.

外部電極40,42は、焼付けにより形成されるCuを含む電極層40a,42aと、その電極層40a,42aの表面に形成されるはんだ食われを防止するためにNiを含む第1のめっき層40b,42bと、第1のめっき層40b,42bの表面に形成されるSnを含む第2のめっき層40c,42cと、により構成された3重構造である。   The external electrodes 40 and 42 are composed of electrode layers 40a and 42a containing Cu formed by baking and a first plating layer containing Ni for preventing solder erosion formed on the surfaces of the electrode layers 40a and 42a. It has a triple structure composed of 40b and 42b and second plating layers 40c and 42c containing Sn formed on the surfaces of the first plating layers 40b and 42b.

図1に示す積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージン部32,34の内側から外側に向かって空隙部が減少している。すなわち、図1に示す積層セラミックコンデンサでは、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bに比べてアウター部32a,34aにおける空隙部が少なくなっていることから、空隙部を介してサイドマージン部32,34からセラミック素体12の内側に向かう水分の侵入が抑制され、積層セラミックコンデンサ10の耐湿性を向上させることができる。   In the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1, the gap decreases from the inside to the outside of the side margins 32 and 34. That is, in the multilayer ceramic capacitor shown in FIG. 1, the gaps in the outer portions 32a and 34a are smaller than those in the inner portions 32b and 34b of the side margins 32 and 34. Intrusion of moisture from 32, 34 toward the inside of the ceramic body 12 is suppressed, and the moisture resistance of the multilayer ceramic capacitor 10 can be improved.

また、図1に示す積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bからアウター部32a,34a(すなわち、サイドマージン部32,34の内側から外側)に向かってセラミック粒子間のBaが減少している。また、インナー部32b,34bから、インナー部32b,34bと第1および第2の内部電極22,24の端部との間における内層用セラミック層20にBaが拡散することで、第1および第2の内部電極22,24のサイドマージン部32,34の近傍において、Baの量が多くなっている。したがって、第1および第2の内部電極22,24の端部におけるセラミック粒子の粒成長を抑制することができ、内部電極間の信頼性を向上させることができる。   In the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1, the ceramic particles between the inner portions 32 b and 34 b of the side margin portions 32 and 34 extend from the inner portions 32 a and 34 a (that is, from the inside to the outside of the side margin portions 32 and 34). Ba has decreased. Further, Ba is diffused from the inner portions 32b and 34b to the inner ceramic layer 20 between the inner portions 32b and 34b and the ends of the first and second internal electrodes 22 and 24, so that the first and second inner layers are formed. In the vicinity of the side margin portions 32, 34 of the second internal electrodes 22, 24, the amount of Ba is large. Therefore, the grain growth of the ceramic particles at the end portions of the first and second internal electrodes 22 and 24 can be suppressed, and the reliability between the internal electrodes can be improved.

一方、図1に示す積層セラミックコンデンサ10では、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aにおいてBaが少ないため、セラミック粒子の粒成長が促進され、より緻密に焼結させることができる。したがって、外部からの水分の侵入に対して強くなる。   On the other hand, in the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1, since Ba is small in the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34, the grain growth of the ceramic particles is promoted and the ceramic particles can be sintered more densely. Therefore, it becomes strong against the invasion of moisture from the outside.

次に、積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。図4は、積層セラミックコンデンサの製造方法を説明するための説明図であって、(a)は、セラミックグリーンシートに導電膜を形成した状態を模式的に示した斜視図であり、(b)は、導電膜が形成されたセラミックグリーンシートを積み重ねる状態を模式的に示した斜視図である。図5は、図4に示した積層セラミックコンデンサの製造方法において製造される積層体チップの概観の一例を示す概略斜視図である。以下、詳細に説明する。   Next, a method for manufacturing the multilayer ceramic capacitor will be described. 4A and 4B are explanatory views for explaining a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor, and FIG. 4A is a perspective view schematically showing a state in which a conductive film is formed on a ceramic green sheet, and FIG. FIG. 3 is a perspective view schematically showing a state in which ceramic green sheets on which conductive films are formed are stacked. FIG. 5 is a schematic perspective view showing an example of an overview of a multilayer chip manufactured by the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor shown in FIG. The details will be described below.

(1)セラミック素体の形成
まず、誘電体セラミック材料として、BaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物が準備される。この誘電体セラミック材料から得られた誘電体粉末に、添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種、有機バインダ、有機溶剤、可塑剤および分散剤を所定の割合で混合し、セラミックスラリーが作製される。このセラミックスラリーは、樹脂フィルム(図示せず)上にセラミックグリーンシート50a(50b)として複数枚、成形される。セラミックグリーンシート50a(50b)の成形は、たとえば、ダイコータ、グラビアコータ、マイクログラビアコータ等を用いて行われる。
(1) Formation of Ceramic Element First, a perovskite compound containing Ba and Ti is prepared as a dielectric ceramic material. A dielectric powder obtained from this dielectric ceramic material is mixed with at least one of Si, Mg, and Ba, an organic binder, an organic solvent, a plasticizer, and a dispersant in a predetermined ratio as an additive. A rally is created. The ceramic slurry is formed into a plurality of ceramic green sheets 50a (50b) on a resin film (not shown). The molding of the ceramic green sheet 50a (50b) is performed using, for example, a die coater, a gravure coater, a micro gravure coater, or the like.

次に、図4(a)に示すように、セラミックグリーンシート50a(50b)の表面に、内部電極用導電性ペーストをX方向にストライプ形状に印刷し、乾燥することにより、内部電極22(24)となる導電膜52a(52b)が形成される。印刷方法は、スクリーン印刷、インクジェット印刷、グラビア印刷など各種の方法が用いられる。導電膜52a(52b)の厚みは、1.5μm以下が好ましい。   Next, as shown in FIG. 4A, a conductive paste for internal electrodes is printed in a stripe shape in the X direction on the surface of the ceramic green sheet 50a (50b), and dried to form the internal electrodes 22 (24). ) Is formed. As a printing method, various methods such as screen printing, inkjet printing, and gravure printing are used. The thickness of the conductive film 52a (52b) is preferably 1.5 μm or less.

続いて、図4(b)に示すように、導電膜52a,52bが印刷された複数枚のセラミックグリーンシート50a,50bが、導電膜52a,52bの印刷する方向(X方向)とは垂直な方向(導電膜52a,52bの幅方向:Y方向)にずらされ、積み重ねられる。さらに、このように積層された内層部26となるセラミックグリーンシート50a,50bの上面および下面に、必要に応じて、外層部28,30となる導電膜が形成されていないセラミックグリーンシートが所定枚数積み重ねられ、マザー積層体が得られる。   Subsequently, as shown in FIG. 4B, the plurality of ceramic green sheets 50a and 50b on which the conductive films 52a and 52b are printed are perpendicular to the printing direction (X direction) of the conductive films 52a and 52b. The layers are shifted in the direction (the width direction of the conductive films 52a and 52b: the Y direction) and stacked. Further, if necessary, a predetermined number of ceramic green sheets on which the conductive layers serving as the outer layer portions 28 and 30 are not formed on the upper and lower surfaces of the ceramic green sheets 50a and 50b serving as the inner layer portions 26 thus laminated. Stacked to obtain a mother laminate.

次に、得られたマザー積層体はプレスされる。マザー積層体をプレスする方法は、剛体プレス、静水圧プレスなどの方法が用いられる。   Next, the obtained mother laminate is pressed. As a method for pressing the mother laminate, a method such as a rigid press or an isostatic press is used.

続いて、プレスされたマザー積層体がチップ形状にカットされ、図5に示されるような積層体チップ60が得られる。マザー積層体をカットする方法は、押切り、ダイシング、レーザなどの各種方法が用いられる。   Subsequently, the pressed mother laminate is cut into a chip shape, and a laminate chip 60 as shown in FIG. 5 is obtained. As a method for cutting the mother laminate, various methods such as press cutting, dicing, and laser are used.

以上の工程を経ることで、積層体チップ60の両端面である一方端面は、セラミックグリーンシート50aの導電膜52aのみが露出しており、他方端面は、セラミックグリーンシート50bの導電膜52bのみが露出されている面となる。
また、積層体チップ60の両側面には、セラミックグリーンシート50aの導電膜52aおよびセラミックグリーンシート50bの導電膜52bのそれぞれが露出している面となる。
Through the above steps, only one conductive surface 52a of the ceramic green sheet 50a is exposed on one end surface which is both end surfaces of the multilayer chip 60, and only the conductive film 52b of the ceramic green sheet 50b is exposed on the other end surface. It is an exposed surface.
The conductive film 52a of the ceramic green sheet 50a and the conductive film 52b of the ceramic green sheet 50b are exposed on both side surfaces of the multilayer chip 60.

(2)サイドマージン部の形成
次に、サイドマージン部32,34となるサイドマージン用セラミックグリーンシートが準備される。以下、より詳細に説明する。
(2) Formation of Side Margin Section Next, a side margin ceramic green sheet to be the side margin sections 32 and 34 is prepared. Hereinafter, this will be described in more detail.

まず、誘電体セラミック材料として、BaおよびTiを含むペロブスカイト型化合物が準備される。この誘電体セラミック材料から得られた誘電体粉末に、添加剤として、Si、Mg、Baのうちの少なくとも1種、バインダ樹脂、有機溶剤、可塑剤および分散剤を所定の割合で混合し、セラミックスラリーが作製される。   First, a perovskite compound containing Ba and Ti is prepared as a dielectric ceramic material. A dielectric powder obtained from this dielectric ceramic material is mixed with at least one of Si, Mg, and Ba, a binder resin, an organic solvent, a plasticizer, and a dispersant in a predetermined ratio as an additive. A rally is created.

ここで、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aとなるセラミックスラリーは、Baのモル比がTi:1molに対してBa:1.000より大きく1.020未満に調整される。また、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなるセラミックスラリーは、Baのモル比がTi:1molに対してBa:1.020より大きく1.040未満に調整される。   Here, the ceramic slurry to be the outer portions 32a, 34a of the side margin portions 32, 34 is adjusted such that the molar ratio of Ba is greater than Ba: 1.000 and less than 1.020 with respect to Ti: 1 mol. The ceramic slurry used as the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34 is adjusted such that the molar ratio of Ba is greater than Ba: 1.020 and less than 1.040 with respect to 1 mol of Ti.

また、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aとなるセラミックスラリーに含まれるポリ塩化ビニル(PVC)の量は、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなるセラミックスラリーに含まれるポリ塩化ビニル(PVC)の量よりも多く含まれる。   The amount of polyvinyl chloride (PVC) contained in the ceramic slurry that becomes the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34 is included in the ceramic slurry that becomes the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34. It is contained more than the amount of polyvinyl chloride (PVC).

さらに、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなるセラミックスラリーに含まれる溶剤は、アウター部用セラミックグリーンシートに対するシートアタックを防止するため、適宜最適な溶剤が選択される。また、このインナー部用セラミックグリーンシートは、積層体チップ60と接着するための役割を有している。   Further, as the solvent contained in the ceramic slurry that becomes the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34, an optimal solvent is appropriately selected in order to prevent a sheet attack on the ceramic green sheet for the outer portion. Further, the ceramic green sheet for the inner portion has a role of bonding to the multilayer chip 60.

そして、樹脂フィルム上に、サイドマージン部32,34のアウター部32a,34aとなる作製されたセラミックスラリーを塗布し、乾燥して、アウター部用セラミックグリーンシートが作製される。   Then, the prepared ceramic slurry for forming the outer portions 32a and 34a of the side margin portions 32 and 34 is applied on the resin film, and dried to form a ceramic green sheet for the outer portion.

次に、アウター部用セラミックグリーンシートの表面に、サイドマージン部32,34のインナー部32b,34bとなる作製されたセラミックスラリーを塗布し、乾燥して、インナー部用セラミックグリーンシートが形成され、その結果、2層構造のサイドマージン用セラミックグリーンシートが作製される。   Next, on the surface of the outer ceramic green sheet, the prepared ceramic slurry for forming the inner portions 32b and 34b of the side margin portions 32 and 34 is applied and dried to form an inner ceramic green sheet. As a result, a ceramic green sheet for a side margin having a two-layer structure is manufactured.

ここで、インナー部用セラミックグリーンシートの厚みは、アウター部用セラミックグリーンシートの厚みよりも薄くして形成される。たとえば、アウター部用セラミックグリーンシートの厚みは、焼成後の厚みが5μm以上20μm以下となるように形成され、インナー部用セラミックグリーンシートの厚みは、焼成後の厚みが0.1μm以上20μm以下となるように形成される。アウター部用セラミックグリーンシートの方がインナー部用セラミックグリーンシートより厚い方が好ましい。また、アウター部32a,34aとインナー部32b,34bとの間には界面が存在し、この界面により積層セラミックコンデンサ10にかかる応力を緩和することができる。   Here, the thickness of the ceramic green sheet for the inner portion is formed to be smaller than the thickness of the ceramic green sheet for the outer portion. For example, the thickness of the outer ceramic green sheet is formed so that the thickness after firing is 5 μm or more and 20 μm or less, and the thickness of the inner ceramic green sheet is 0.1 μm or more and 20 μm or less after firing. It is formed so that it becomes. It is preferable that the ceramic green sheet for the outer part is thicker than the ceramic green sheet for the inner part. Further, an interface exists between the outer portions 32a, 34a and the inner portions 32b, 34b, and the stress applied to the multilayer ceramic capacitor 10 can be reduced by the interface.

なお、上述の2層構造のサイドマージン用セラミックグリーンシートは、アウター部用セラミックグリーンシートの表面にインナー部用セラミックグリーンシートを印刷することで作製されたが、アウター部用セラミックグリーンシートとインナー部用セラミックグリーンシートをそれぞれ予め形成しておき、その後、それぞれを貼り合せることで2層構造としたサイドマージン用セラミックグリーンシートを作製してもよい。   The ceramic green sheet for the side margin having the two-layer structure described above was produced by printing the ceramic green sheet for the inner portion on the surface of the ceramic green sheet for the outer portion. The ceramic green sheets for side margin having a two-layer structure may be manufactured by forming ceramic green sheets for use in advance and then bonding them together.

次に、樹脂フィルムから、サイドマージン用セラミックグリーンシートが剥離される。   Next, the ceramic green sheet for side margin is peeled from the resin film.

続いて、剥離されたサイドマージン用セラミックグリーンシートにおけるインナー部用セラミックグリーンシートに向かって、積層体チップ60の導電膜52a,52bが露出している一方側面あるいは他方側面をそれぞれ押し付けて打ち抜くことで、サイドマージン部32,34となる層が形成される。このとき、積層体チップ60の側面には、予め、接着剤となる有機溶剤を塗布しておくことが好ましい。   Subsequently, one side or the other side of the laminated chip 60 where the conductive films 52a and 52b are exposed is pressed and punched toward the inner portion ceramic green sheet of the peeled side margin ceramic green sheet. Then, layers to be side margin portions 32 and 34 are formed. At this time, it is preferable that an organic solvent serving as an adhesive is applied to the side surface of the stacked chip 60 in advance.

次に、そして、サイドマージン部32,34となる層が形成された積層体チップ60は、窒素雰囲気中、所定の条件で脱脂処理された後、窒素−水素−水蒸気混合雰囲気中、所定の温度で焼成され、焼結したセラミック素体12とされる。   Next, the laminated chip 60 on which the layers to be the side margin portions 32 and 34 are formed is degreased under a predetermined condition in a nitrogen atmosphere, and then is subjected to a predetermined temperature in a nitrogen-hydrogen-water vapor mixed atmosphere. And the sintered ceramic body 12 is formed.

次に、焼結したセラミック素体12の両端部に、それぞれ、Cuを主成分とする外部電極ペーストが塗布されて焼き付けられ、第1および第2の内部電極22,24に電気的に接続された電極層40a,42aが形成される。さらに、電極層40a,42aの表面に、Niめっきによる第1のめっき層40b,42bが形成され、第1のめっき層40b,42bの表面にSnめっきによる第2のめっき層40c,42cが形成され、外部電極40,42が形成される。   Next, external electrode paste containing Cu as a main component is applied and baked on both ends of the sintered ceramic body 12, respectively, and electrically connected to the first and second internal electrodes 22 and 24, respectively. The electrode layers 40a and 42a are formed. Furthermore, first plating layers 40b and 42b formed by Ni plating are formed on the surfaces of the electrode layers 40a and 42a, and second plating layers 40c and 42c formed by Sn plating are formed on the surfaces of the first plating layers 40b and 42b. Thus, external electrodes 40 and 42 are formed.

上述のようにして、図1に示す積層セラミックコンデンサ10が製造される。   As described above, the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1 is manufactured.

なお、サイドマージン部32,34の形成は、積層体チップ60の導電膜52a,52bが露出している両側面に、サイドマージン用のセラミックスラリーの塗布によっても形成することができる。   The side margin portions 32 and 34 can also be formed by applying ceramic slurry for side margin to both side surfaces of the laminated chip 60 where the conductive films 52a and 52b are exposed.

すなわち、積層体チップ60の導電膜52a,52bが露出している両側面に、インナー部32b,34bとなるセラミックスラリーが塗布され、乾燥させ、さらに、アウター部32a,34aとなるセラミックスラリーが塗布される。   That is, the ceramic slurry to be the inner portions 32b and 34b is applied to both sides of the laminated chip 60 where the conductive films 52a and 52b are exposed, dried, and further, the ceramic slurry to be the outer portions 32a and 34a is applied. Is done.

この場合、インナー部32b,34bとなるセラミックスラリーの厚み、あるいはアウター部32a,34aとなるセラミックスラリーの厚みの調整は、それぞれのセラミックスラリーに含まれる樹脂の量を調整することで行うことができる。   In this case, the thickness of the ceramic slurry that becomes the inner portions 32b and 34b or the thickness of the ceramic slurry that becomes the outer portions 32a and 34a can be adjusted by adjusting the amount of resin contained in each ceramic slurry. .

また、サイドマージン部32,34の形成は、積層体チップ60の両端面を樹脂などでマスクした上で、この積層体チップ60を丸ごとインナー部32b,34bとなるセラミックスラリー内にディッピングし、乾燥させ、さらに、アウター部32a,34aとなるセラミックスラリー内にディッピングすることで形成してもよい。この場合、外層部28,30も覆うように、サイドマージン部32,34として2層構造に形成される。   Further, the side margin portions 32 and 34 are formed by masking both end surfaces of the laminated chip 60 with a resin or the like, dipping the laminated chip 60 as a whole into a ceramic slurry to be the inner portions 32b and 34b, and drying. Then, it may be formed by dipping in a ceramic slurry to be the outer portions 32a and 34a. In this case, the side margin portions 32 and 34 are formed in a two-layer structure so as to cover the outer layer portions 28 and 30.

(実験例)
1.実施例および比較例
実験例では、以下に示す実施例および比較例の積層セラミックコンデンサの各試料が製造され、積層セラミックコンデンサの耐湿負荷試験による評価が行われた。
(Experimental example)
1. Examples and Comparative Examples In the experimental examples, samples of the multilayer ceramic capacitors of the following examples and comparative examples were manufactured, and the multilayer ceramic capacitors were evaluated by a moisture resistance load test.

(実施例)
実施例では、上述の方法で図1に示す積層セラミックコンデンサ10を製造した。この場合、積層セラミックコンデンサ10の外形寸法を長さ0.6mm、幅0.3mm、高さ0.3mmとした。実施例では、サイドマージン部32,34における添加剤であるBaについて、Ti:1molに対するBaのモル比は、アウター部32a,34aが1.020とし、インナー部32b,34bが1.028とした。また、サイドマージン部32,34の厚みは20μmとし、アウター部32a,34aの厚みを16μmとし、インナー部32b,34bの厚みを4μmとした。また、内層用セラミック層20の厚みは、1層あたり0.83μmとし、第1および第2の内部電極22,24の1層あたりの厚みは、0.40μmとし、外層部28および外層部30の厚みは、それぞれ25μmとした。なお、厚みの数値は、全て焼成後の数値である。また、内層用セラミック層20の積層枚数は、280層とした。
(Example)
In the example, the multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1 was manufactured by the above-described method. In this case, the external dimensions of the multilayer ceramic capacitor 10 were 0.6 mm in length, 0.3 mm in width, and 0.3 mm in height. In the embodiment, with respect to Ba as an additive in the side margin portions 32 and 34, the molar ratio of Ba to Ti: 1 mol is 1.020 for the outer portions 32a and 34a and 1.028 for the inner portions 32b and 34b. . The thickness of the side margin portions 32 and 34 was 20 μm, the thickness of the outer portions 32a and 34a was 16 μm, and the thickness of the inner portions 32b and 34b was 4 μm. The thickness of the inner ceramic layer 20 is 0.83 μm per layer, the thickness of each of the first and second internal electrodes 22 and 24 is 0.40 μm, and the outer layer portion 28 and the outer layer portion 30 have a thickness of 0.40 μm. Were each 25 μm in thickness. The numerical values of the thickness are all numerical values after firing. The number of laminated ceramic layers 20 for the inner layer was 280.

(比較例)
比較例では、サイドマージン部の添加材であるBaについて、Ti:1molに対するBaのモル比を一様に1.020とした以外は、実施例と同じ条件で積層セラミックコンデンサを製造した。
(Comparative example)
In the comparative example, a multilayer ceramic capacitor was manufactured under the same conditions as in the example except that the molar ratio of Ba to Ti: 1 mol was uniformly set to 1.020 for Ba as an additive in the side margin portion.

(耐湿負荷試験)
実施例および比較例の各試料に対して、耐湿負荷試験を行った。耐湿負荷試験の条件は、相対湿度95%、温度40度とし、定格電圧6.3Vを印加して行った。そして、各試料の絶縁抵抗値を測定し、1.0×106[Ω]以内の絶縁抵抗の劣化が起きた場合を不良と判定した。この耐湿負荷試験には、実施例および比較例の試料それぞれ36個ずつ準備した。
(Moisture load test)
Each sample of the example and the comparative example was subjected to a moisture resistance load test. The conditions of the humidity resistance load test were a relative humidity of 95%, a temperature of 40 degrees, and a rated voltage of 6.3 V. Then, the insulation resistance value of each sample was measured, and when the insulation resistance was degraded within 1.0 × 10 6 [Ω], it was determined to be defective. For this moisture resistance load test, 36 samples of each of the example and the comparative example were prepared.

耐湿負荷試験の結果、比較例の積層セラミックコンデンサでは、不良と判定された試料数は、36個中36個であった。   As a result of the humidity resistance load test, 36 out of 36 samples were determined to be defective in the multilayer ceramic capacitor of the comparative example.

一方、実施例の積層セラミックコンデンサでは、不良と判定された試料数は、36個中0個であった。
したがって、実施例ではすべての試料で、信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができた。
On the other hand, in the multilayer ceramic capacitor of the example, the number of samples determined to be defective was 0 out of 36 samples.
Therefore, in all of the examples, highly reliable multilayer ceramic capacitors were obtained for all the samples.

なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。また、セラミック電子部品のセラミック層の厚み、層数、対向電極面積および外形寸法は、これに限定されるものではない。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, but may be variously modified within the scope of the invention. Further, the thickness, the number of layers, the counter electrode area, and the outer dimensions of the ceramic layer of the ceramic electronic component are not limited to these.

10 積層セラミックコンデンサ
12 セラミック素体
13 第1の端面
14 第2の端面
15 第1の側面
16 第2の側面
17 第1の主面
18 第2の主面
20 内層用セラミック層
22 第1の内部電極
24 第2の内部電極
26 内層部
28、30 外層部
32、34 サイドマージン部
32a、34a アウター部
32b、34b インナー部
40、42 外部電極
40a、42a 電極層
40b、42b 第1のめっき層
40c、42c 第2のめっき層
50a、50b セラミックグリーンシート
52a、52b 導電膜
60 積層体チップ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Multilayer ceramic capacitor 12 Ceramic body 13 1st end surface 14 2nd end surface 15 1st side surface 16 2nd side surface 17 1st main surface 18 2nd main surface 20 Inner ceramic layer 22 1st inside Electrode 24 Second inner electrode 26 Inner layer part 28, 30 Outer layer part 32, 34 Side margin part 32a, 34a Outer part 32b, 34b Inner part 40, 42 External electrode 40a, 42a Electrode layer 40b, 42b First plating layer 40c , 42c Second plating layer 50a, 50b Ceramic green sheet 52a, 52b Conductive film 60 Laminated chip

Claims (12)

積層された複数の誘電体層と複数の内部電極を含む積層体と、前記内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直
交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、
前記複数の内部電極は、前記第1の端面に露出する第1の内部電極と、前記第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように前記第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、
前記複数の外部電極は、前記第1の端面を覆うように形成され、且つ前記第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、前記第2の端面を覆うように形成され、且つ前記第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、
前記積層体を積層方向からみた断面で、前記第1主面から前記第2の主面まで前記第1の側面及び前記第2の側面に沿って延び、前記第1の内部電極と前記第2の内部電極が存在しない領域をサイドマージン部とすると、
前記サイドマージン部は、前記積層体の前記第1および第2の側面側にそれぞれ位置するアウター層と、前記第1および第2内部電極側に位置するインナー層を有し
前記アウター層の厚み寸法は、前記インナー層の厚み寸法よりも大きい、積層セラミックコンデンサ。
A multilayer ceramic capacitor including a stacked body including a plurality of stacked dielectric layers and a plurality of internal electrodes, and an external electrode electrically connected to the internal electrodes,
The laminate has a first main surface and a second main surface facing each other in the laminating direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction perpendicular to the laminating direction, and a direction perpendicular to the laminating direction and the width direction. Formed in a rectangular parallelepiped shape including a first end face and a second end face opposed in the length direction
The plurality of internal electrodes are a first internal electrode exposed on the first end face, and a second internal electrode exposed on the second end face so as to face the first internal electrode via a dielectric layer. Including an internal electrode,
The plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and are formed so as to cover a first external electrode electrically connected to the first internal electrode and the second end face. And a second external electrode connected to the second internal electrode,
In a cross section of the stacked body viewed from the stacking direction, the stacked body extends from the first main surface to the second main surface along the first side surface and the second side surface, and the first internal electrode and the second If the area where the internal electrode does not exist is the side margin part,
The side margin portion includes an outer layer located on the first and second side surfaces of the laminate, and an inner layer located on the first and second internal electrode sides, and a thickness dimension of the outer layer. Is a multilayer ceramic capacitor having a thickness larger than the thickness of the inner layer.
積層された複数の誘電体層と複数の内部電極を含む積層体と、前記内部電極に電気的に接続された外部電極とを備えた積層セラミックコンデンサであって、
前記積層体は、積層方向において相対する第1の主面および第2の主面、積層方向と直交する幅方向において相対する第1の側面および第2の側面、並びに積層方向および幅方向と直交する長さ方向において相対する第1の端面および第2の端面を含む直方体状に形成され、
前記複数の内部電極は、前記第1の端面に露出する第1の内部電極と、前記第1の内部電極と誘電体層を介して対向するように前記第2の端面に露出する第2の内部電極とを含み、
前記複数の外部電極は、前記第1の端面を覆うように形成され、且つ前記第1の内部電極に電気的に接続された第1の外部電極と、前記第2の端面を覆うように形成され、且つ前記第2の内部電極に接続された第2の外部電極とを含み、
前記積層体を積層方向からみた断面で、前記第1主面から前記第2の主面まで前記第1の側面及び前記第2の側面に沿って延び、前記第1の内部電極と前記第2の内部電極が存在しない領域をサイドマージン部とすると、
前記サイドマージン部は、前記積層体の前記第1および第2の側面側にそれぞれ位置するアウター層と、前記第1および第2内部電極側に位置するインナー層の2層によって構成され、
前記アウター層の厚み寸法は、前記インナー層の厚み寸法よりも大きい、積層セラミックコンデンサ。
A multilayer ceramic capacitor including a stacked body including a plurality of stacked dielectric layers and a plurality of internal electrodes, and an external electrode electrically connected to the internal electrodes,
The laminate has a first main surface and a second main surface facing each other in the laminating direction, a first side surface and a second side surface facing each other in a width direction perpendicular to the laminating direction, and a direction perpendicular to the laminating direction and the width direction. Formed in a rectangular parallelepiped shape including a first end face and a second end face opposed in the length direction
The plurality of internal electrodes are a first internal electrode exposed on the first end face, and a second internal electrode exposed on the second end face so as to face the first internal electrode via a dielectric layer. Including an internal electrode,
The plurality of external electrodes are formed so as to cover the first end face, and are formed so as to cover a first external electrode electrically connected to the first internal electrode and the second end face. And a second external electrode connected to the second internal electrode,
In a cross section of the stacked body viewed from the stacking direction, the stacked body extends from the first main surface to the second main surface along the first side surface and the second side surface, and the first internal electrode and the second If the area where the internal electrode does not exist is the side margin part,
The side margin portion includes two layers, an outer layer located on the first and second side surfaces of the laminate, and an inner layer located on the first and second internal electrode sides,
A multilayer ceramic capacitor, wherein a thickness dimension of the outer layer is larger than a thickness dimension of the inner layer.
前記アウター層の幅方向の寸法は、5μm以上20μm以下である、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。   3. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein a dimension of the outer layer in a width direction is 5 μm or more and 20 μm or less. 4. 前記インナー層の幅方向の寸法は、0.1μm以上20μm以下である、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein a dimension of the inner layer in a width direction is 0.1 μm or more and 20 μm or less. 前記誘電体層の厚みは、0.3μm以上10μm以下である、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein a thickness of the dielectric layer is 0.3 μm or more and 10 μm or less. 前記内部電極の厚みは、0.3μm以上2.0μm以下である、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。   3. The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein a thickness of the internal electrode is 0.3 μm or more and 2.0 μm or less. 4. 前記サイドマージンは、前記内部電極のための導電膜が露出する積層体チップの両側面にセラミックスラリー、またはセラミックグリーンシートが付着されることで形成される、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。
3. The side margin portion according to claim 1, wherein a ceramic slurry or a ceramic green sheet is attached to both side surfaces of the multilayer chip where the conductive film for the internal electrode is exposed. 4. Multilayer ceramic capacitors.
前記積層体は、複数の前記誘電体層および前記複数の誘電体層同士の界面に配設された複数の前記第1の内部電極および前記第2の内部電極により構成される内層部と、
前記内層部を積層方向に挟むように配設された外層部と、
を含む、請求項1または請求項2に記載の積層セラミックコンデンサ。
An inner layer portion including a plurality of the first internal electrodes and a plurality of the second internal electrodes disposed at an interface between the plurality of dielectric layers and the plurality of dielectric layers;
An outer layer portion disposed so as to sandwich the inner layer portion in the stacking direction,
The multilayer ceramic capacitor according to claim 1, comprising:
前記外層部の厚みは、15μm以上である、請求項8に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 8, wherein the thickness of the outer layer portion is 15 µm or more. 前記外層部の厚みは、40μm以下である、請求項8に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 8, wherein the thickness of the outer layer portion is 40 µm or less. 前記外層部は、前記内層部を構成する誘電体層と同じ誘電体セラミック材料で構成されている、請求項8に記載の積層セラミックコンデンサ。   9. The multilayer ceramic capacitor according to claim 8, wherein the outer layer portion is made of the same dielectric ceramic material as a dielectric layer forming the inner layer portion. 前記外層部は、前記内層部を構成する誘電体層と異なる誘電体セラミック材料で構成されている、請求項8に記載の積層セラミックコンデンサ。   The multilayer ceramic capacitor according to claim 8, wherein the outer layer portion is made of a dielectric ceramic material different from a dielectric layer forming the inner layer portion.
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