JP5075568B2 - シールド付回路配線基板及びその製造方法 - Google Patents

シールド付回路配線基板及びその製造方法 Download PDF

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Description

本発明はシールド付回路配線基板に関し、特に多層配線基板の内層部分に設けられたシールド端子配線層と外層部分を覆うシールド層との接続形態の改良に関する。
近年、携帯電話や各種デジタル電子機器等の小型化及び多機能化の要求が高まるに伴い、この機器に使用される半導体IC素子などの電子部品並びにこのような部品が実装されるプリント配線基板の小型化、多機能化及びパターン化導電層の微細化もまた強く要求されている。
特に多機能化の向上を目的として回路配線基板の多層化が益々進行すると共に、電磁波障害或いは妨害(Electro−Magnetic Interference:以下EMIと称する)対策が益々必要となってきている。このようなEMI対策に関する技術は、例えば特許文献1や特許文献2などにみられる。
即ち、EMI対策を目的として、特許文献1では、多層プリント配線板の内層に設けられたグランドまたは電源電位の配線層とシールドストリップラインとを接続するために、前記プリント配線板にスルーホールやビアホールによる導電路が形成される。同様に、特許文献2では、回路配線基板の内層に設けられたグランド回路と配線基板の片面に設けられたシールド層とを接続するために、配線基板内の層間絶縁基板に絶縁除去部(ブラインドビアホール)を設け、前記ビアホールに導電性接着剤が充填される。
一方、この種の回路配線基板は、多数の電子部品の実装に適する多層配線基板からなる回路機能部と前記機能部へ電源電位や信号を供給するフラットフレキシブルケーブル(FFC)のようなケーブル部とを一体化して形成され、更なる多機能化を図るために、複数の回路機能部を組合わせ、それら相互を連結するケーブル部を備えるなど様々な形態をとることがある。
そこで、前記のような回路機能部及びケーブル部を備え、EMI対策を取り込んだ従来技術におけるシールド付回路配線基板の一例について、図3を参照して説明する。
即ち、前記従来のシールド付回路配線基板は回路機能部A及びこれに隣接するケーブル部Bを備えている。そして、前記回路機能部A及びケーブル部Bに対して共通する配線基板31は、前記回路機能部A及びケーブル部Bにそれぞれ対応する大面積部分及びリボン状の小面積部分を有する形状の絶縁基板31a及びその上表面に前記各部A、Bにそれぞれ対応してパターンニング形成された配線層(図には一部の配線層31bを示す)を有する。また、ケーブル部Bでは配線層31bが絶縁性カバーレイCL1で被覆されている。
前記回路機能部Aにおいては、前記配線基板31上に複数の絶縁層32a、33aと配線層32b(及び32c)、33bを交互に積層した所謂多層配線基板が形成され、その内層に位置する前記配線層32b及び32cは、それぞれ信号回路層、及びグランド或いは特定電源電位が付与されるシールド電位端子層を構成する。そして、前記配線層31b、32b、33bに対する層間導電ビア32V及び33V、更には前記配線層32cの一部を露出させるビアホールVHが形成されており、最外層の配線層33bは絶縁性カバーレイCL2で被覆されている。また、前記回路機能部A及びケーブル部Bを全体的に覆う導電性のシールド層SH1は、導電性塗料または導電性接着材からなり、前記カバーレイCL1、前記多層配線基板の急峻に立ち上がる側壁面及びカバーレイCL2に亘って被覆され、前記ビアホールVHを通じてシールド電位の配線層32cに接続されている。
ところが、前記従来技術においては、シールド層SH1と多層配線構造の内層側に位置する前記シールド電位端子用配線層32cとを接続するために、配線層のパターニング工程、多層化積層工程及び層間導電ビア(32V、33V)の形成工程などの通常の工程の他に格別にレーザやドリル加工になどによってスルーホールやビアホールVHの高寸法精度形成並びに後処理などの種々の工程を追加しなければならない。従って、その製造工程数並びに製造コストが増大し、また、シールド層接続用のスルーホールやビアホールは、前記回路機能部Aの限られた面積内に、前記多層間導電ビア用のスルーホールやビヤホールとは別に形成するために設計上の制約が生る。更には、前記シールド層として使用される導電性塗料または導電性接着材からなる被覆材料を前記ホールへ充填する際に空気泡が混入したりしてシールド層とシールド電位端子用配線層との電気的な接続状態が不充分となり易いなどの問題がある。
特開2005−302799号特許公開公報 特開2006−319216号特許公開公報
本発明は、前記従来技術の問題点を解決するために、特に多層配線基板の内層部分に設けられたシールド端子配線層と外層部分を覆うシールド層との接続形態が改良されたシールド付回路配線基板を提供することを目的とする。
本発明に係るシールド付回路配線基板は、相互に隣接する回路機能部及びケーブル部に対応した平面部分を有する絶縁基板の表面に配線層が形成された一配線基板材と、前記回路機能部に対応して前記一配線基板材の表面上に積層されていて絶縁基板表面に信号回路配線層及びシールド端子配線層が形成された内層配線基板材と、前記内層配線基板材上に積層されていて絶縁基板表面に配線層が形成された外層配線基板材と、少なくとも前記回路機能部を覆って設けられ前記シールド端子配線層と接続されたシールド層と、前記各配線基材の各配線層相互間に設けられた層間導電ビアとを備え、前記回路機能部とケーブル部との境界において、前記内層配線基板材及び前記外層配線基板材における各絶縁基板の端面の位置が相互にずれており、前記内層配線基板材及び前記外層配線基板材の各側壁端部が相互にステップ状に形成され、前記シールド端子配線層少なくとも一部が、前記内層配線基板材の側壁端部に設けられ、前記ステップ上面に露出するように配置されていると共に、前記内層配線基板材の側壁端部における前記シールド端子配線層の端面と前記内層配線基板材の絶縁基板の端面とが一致して形成されており、前記シールド層が前記シールド端子配線層の露出面に接続されていることを特徴とする。
本発明に係るシールド付回路配線基板において、前記シールド層は、前記内層配線基板材の側壁端部における前記シールド端子配線層の端面と前記内層配線基板材の絶縁基板の端面とを覆っていることを特徴とする。
本発明に係るシールド付回路配線基板において、前記シールド層は、印刷形成された導電性塗料及び加熱圧着された導電性接着フィルムから選択された材料で形成されていることを特徴とする。
本発明に係るシールド付回路配線基板において、前記層間導電ビアは、銅めっき及び導電ペーストから選択された材料で形成されていることを特徴とする。
本発明に係るシールド付回路配線基板の製造方法は、相互に隣接する回路機能部及びケーブル部に対応した平面部分を有する絶縁基板の表面に配線層が形成された一配線基板材と、前記回路機能部に対応して前記一配線基板材の表面上に積層されていて絶縁基板表面に信号回路配線層及びシールド端子配線層が形成された内層配線基板材と、前記内層配線基板材上に積層されていて絶縁基板表面に配線層が形成された外層配線基板材と、少なくとも前記回路機能部を覆って設けられ前記シールド端子配線層と接続され、導電性塗料及び導電性接着フィルムから選択された材料で形成されたシールド層と、前記各配線基材の各配線層相互間に設けられた層間導電ビアと、を備えるシールド付回路配線基板の製造方法であって、前記回路機能部とケーブル部との境界において、前記内層配線基板材及び前記外層配線基板材における各絶縁基板の端面の位置を相互にずらし、前記内層配線基板材及び外層配線基板材の各側壁端部を相互にステップ状に形成し、前記シールド端子配線層の少なくとも一部を、前記内層配線基板材の側壁端部に設けて、前記ステップ上面に露出するように配置すると共に、前記内層配線基板材の側壁端部における前記シールド端子配線層の端面と前記内層配線基板材の絶縁基板の端面とを一致させて形成し、前記シールド層を前記シールド端子配線層の露出面に接続することを特徴とする。
本発明のシールド付回路配線基板によれば、前記回路機能部とケーブル部との境界において、相互に積層された前記内層及び外層配線基板材に形成されたステップ状の側壁部分は、スルーホールやビヤホール形成のような高寸法精度を要することなく、前記シールド端子配線層を露出させるだけの簡単な製造技術で形成できる。従って、その製造工程数並びに製造コストを低減でき、多層間導電ビア用のスルーホールやビヤホール形成との関係における設計上の制約が低減できる。更には、前記ステップ状の部分の周囲は、スルーホールやビヤホールのような閉空間を形成せず開放されているので、シールド層形成のために、導電性塗料または導電性接着材のような被覆材料を被覆する際に、シールド端子配線層との接続部への空気泡の混入が生じ難く良好な電気的接続が得られるという効果を奏することができる。
以下、本発明のシールド付回路配線基板の第1の実施形態について、図1を参照して説明する。
図1に示すように、本実施形態のシールド付回路配線基板は回路機能部X及びこれに平面方向に隣接するケーブル部Yを備えている。そして、前記回路機能部X及びケーブル部Yに対して共通する第1配線基板材1は、前記回路機能部X及びケーブル部Yにそれぞれ対応する大面積部分及びリボン状の小面積部分を有する形状の第1絶縁基板1aを有する。前記第1絶縁基板1aの上表面には、前記各部X、Yにそれぞれ対応してパターンニング形成された第1の配線層(図には一部の配線層1bを示す)が形成されている。また、ケーブル部Yでは第1配線層1bが絶縁性カバーレイCLaで被覆されている。
前記第1配線基板材1は、例えばポリイミド樹脂フィルムからなる可撓性の第1絶縁基板1aの片側表面に銅箔が張り合わされた所謂CCLを基材として用い、前記銅箔に回路パターンニングを施して、第1配線層1bを含む回路配線層を形成したフレキシブル回路配線基板(FPC)で構成されている。前記回路配線層は、前記回路機能部Xにおいては主として信号用回路機能層としてのパターンを有し、ケーブル部Yにおいては、並行する複数の通電路及び信号伝達路層としてのパターンを有する。また、ケーブル部Yの回路配線層は、図示の例では、一端がフリーな状態にあり、外部コネクタとの接続端子部を含むケーブル配線を構成することができる。また、複数の回路機能部Xを組み込む場合には、ケーブル部Yの回路配線層は、これら回路機能部相互間の電気的接続ラインとして構成することもできる。
また、前記第1配線基板材1の前記回路機能部Xに対応する大面積部分表面(上面)上に積層された第2配線基板材2は、第2絶縁基板2a、前記第2絶縁基板の表面にパターンニング形成された信号回路配線層2b及びシールド端子配線層2cを有する。前記シールド端子配線層2cは、前記回路機能部Xとケーブル部Yとの境界において、第2配線基板材2の一側壁端部に配置されている。
前記第2配線基板材2の表面上に積層された第3配線基板材3は、第3絶縁基板3a及び前記第3絶縁基板の表面にパターンニング形成された信号回路配線層3bを有し、前記信号回路配線層3b表面は、表面保護用の絶縁性カバーレイCLbの層で被覆されている。
前記第3配線基板材3は、前記回路機能部Xとケーブル部Yとの境界部では、前記第3絶縁基板3a及び回路配線層3bの一側壁端部が、シールド端子配線層2cの少なくとも一部を露出(図中2c1参照)させるように、前記第2配線基板材2の一側壁端部との関係において、相互にステップ状(段差状或いは階段状)となるように形成されている。換言すれば、前記境界部において、前記第3配線基板材3の一側壁端部は、シールド端子配線層2cを露出させるように、前記第2配線基板材2の一側壁端部よりも横方向に凹む凹部を有するということもできる。
また、ステップ状部分(段差部)を得るための前記第3配線基板材3への前記凹部の形成は、第3絶縁基板3aに対して、前記シールド端子配線層2cの露出面2c1に対応する部分をプレス、カッティング或いは化学的エッチングなどの手法を用いて高寸法精度を要せず簡単に形成することができる。なお、前記絶縁性カバーレイCLbは前記シールド端子配線層2cの露出面2c1の露出を妨げないように被覆されている。
前記第2及び第3配線基板材2及び3にそれぞれ設けられた層間導電ビア(IVH:Interstitial Via Hole)2V及び3Vは、前記各絶縁基板2a及び3aを貫通して形成された各ビアホールに例えば導電性ペーストを充填或いは金属めっきなどを施すことによって形成され、前記各回路配線層1b、2b/2c及び3b相互間が簡単かつ確実に電気的に接続される。前記導電性ペーストは、例えばニッケル、銀及び銅の群から選択された少なくとも1種類の低電気抵抗の金属粒子と、錫、ビスマス、インジウム及び鉛の群から選択された少なくとも1種類の低融点金属粒子とを含み、エポキシ樹脂を主成分とするバインダ成分を混合して構成され、充填時は軟質或いは半硬化状態にあるが、加熱加圧することによって硬化して前記導電ビアを形成する。
そして、前記回路機能部Xとケーブル部Yを全体的に覆うシールド層SHaは、前記絶縁性カバーレイCLa及びCLbの上表面、前記第1〜第3配線基板材1〜3のステップ状の側壁面、前記第2配線基板材2の一側壁端部のステップ上面に位置する露出するシールド端子配線層2cの露出面2c1に被覆され、前記シールド端子配線層2cと電気的に接続されている。従って、前記シールド端子配線層2cは、動作時にグランド或いは特定電源電位とされ、前記露出面2c1の部分がシールド層SHaにその電位を供給する接続部を構成している。
前記シールド層SHaは、前記回路機能部X及びケーブル部Yに亘って前述のような前記各部材の表面に、例えば導電性塗料を印刷かつステップ状空間に充填することによって形成したり、絶縁樹脂層と導電性接着剤層とを一体化したシールドフィルムを加熱加圧により貼り合わせることによって形成することができる。また、このようなシールド層は、前記第1配線基板材1の裏面にも設けて、より一層のシールド効果向上を図ってもよいし、逆に、シールド効果の要求度に応じて、ケーブル部Yへの被覆を省略することも可能であり、本発明の目的達成のためには、少なくとも前記回路機能部Xに被覆すればよい。
ところで、前記回路機能部Xは、前述のように前記第1〜第3配線基板材1〜3からなる多層配線基板構成とされている。そして、前記第2及び第3配線基板材2、3は、例えば銅箔張りポリイミド樹脂フイルム(CCL)を基材として用いたフレキシブル配線基板材(FPC)或いは銅張りガラスエポキシ樹脂板(CCL)を基材として用いたリジッド配線基板(RPC)のいずれで形成してもよい。
また、前記多層配線基板構成は、この実施形態においては、前記第1配線基板材1上に積層した前記第2配線基板材2を内層配線基板材とし、その上の第3配線基板材3を外層
配線基板材として構成されている。しかしながら、前記多層配線基板構成は、前記第2及び第3配線基板材2、3に対して、それらの内側或いは外側に、希望する数だけ他の配線基板材を積層して構成されてもよい。このような多層配線基板構成において、前記シールド端子配線層は、最外層配線基板よりも第1配線基板材1側に位置する内層配線基板材に設けられ、前記ステップ状の部分(段差部)は、内層配線基板材の外側に位置する配線基板材に加工を施すことによって、2つ以上の階段形状に構成される。
このような本発明の第1実施形態のシールド付回路配線基板によれば、前記回路機能部Xとケーブル部Yとの境界において、相互に積層された前記内層及び外層配線基板材2、3に形成されたステップ状の側壁部分は、スルーホールやビヤホール形成のような高寸法精度を要することなく、前記シールド端子配線層2cを露出(2c1)させるだけの簡単な製造技術で形成できる。従って、その製造工程数並びに製造コストを低減でき、多層間導電ビア用のスルーホールやビヤホール形成との関係における設計上の制約が低減できる。
更には、前記ステップ状の部分の周囲は、スルーホールやビヤホールのような閉空間を形成せず開放されているので、シールド層SHa形成のための前記導電性塗料の印刷並びにステップ状空間への充填、前記シールドフィルムの加熱加圧による貼り合わせの際に、シールド端子配線層2cとの接続部に空気泡が過度に混入され難く良好な電気的接続が容易に得られる。
また、前記層間導電ビア2V、3Vに前記導電ペーストを使用し、前記シールド層SHaに前記シールドフィルムを使用する場合は、前記第1〜第3配線基板材1〜3を重ね、更にその上に前記シールドフィルムを重ねた後、これらを一括加熱プレスすることによって、シールド端子配線層とシールド層との接続、及び層間導電接続を含む多層配線基板の積層が簡単にして一挙に得られるという利点がある。更に、前記加熱プレスを真空または減圧中で行えば、シールド端子配線層とシールド層との接続部への空気泡の侵入が防止され接続部の密着性が向上する。
次に、本発明のシールド付回路配線基板の第2の実施形態について、図2を参照して説明する。図2に示された本実施形態は、その上半分が図1に示された前記第1実施形態とほぼ同一であるので、同一部分については、同一符号を付してその詳細な説明を省略する。
本実施形態のシールド付回路配線基板は、回路機能部X1及びケーブル部Y1有し、前記回路機能部X1においては、前記第1配線基板1の第1絶縁基板1aの裏面(下面)に、信号回路配線層1cがパターンニング形成されている。この場合、前記第1配線基板1は、例えばポリイミド樹脂フィルムからなる可撓性の第1絶縁基板1aの両表面に銅箔が張り合わされた両面CCLを基材として用いるとよい。
前記回路機能部X1における前記第1配線基板材1の裏面に信号回路配線層1cを覆って積層された第4配線基板材4は、第4絶縁基板4a、この第4絶縁基板の表面にパターンニング形成された信号回路配線層4b及びシールド端子配線層4cを有する。前記シールド端子配線層4cは、前記回路機能部X1とケーブル部Y1との境界において、第4配線基板材4の一側壁端部に配置されている。
前記第4配線基板材4の表面上に積層された第5配線基板材5は、第5絶縁基板5a及びその表面にパターンニング形成された信号回路配線層5bを有し、前記信号回路配線層5b表面は、表面保護用の絶縁性カバーレイCLbの層で被覆されている。
前記第5配線基板材5は、前記回路機能部X1とケーブル部Y1との境界部では、前記第5絶縁基板5a及び回路配線層5bの一側壁端部が、シールド端子配線層4cの少なくとも一部を露出(図中4c1参照)させるように、前記第4配線基板材4の一側壁端部との関係において、相互にステップ状となるように形成されている。換言すれば、前記境界部において、前記第5配線基板材5の一側壁端部は、シールド端子配線層4cを露出させるように、前記第4配線基板材4の一側壁端部よりも横方向に凹む凹部を有するということもできる。なお、前記絶縁性カバーレイCLcは前記シールド端子配線層4cの露出面4c1の露出を妨げないように被覆されている。
前記第1配線基板材1には、その両側の回路配線層(1bや1c)相互を層間接続する層間導電ビア1Vが設けられている。そして、前記第4及び第5配線基板材4及び5にそれぞれ設けられた層間導電ビア(IVH)4V及び5Vは、前記各絶縁基板4a及び5aを貫通して形成された各ビアホールに例えば導電性ペーストを充填或いは金属めっきなどを施して形成され、前記各回路配線層1c、4bや4c及び5b相互間を電気的に接続している。
そして、前記回路機能部X1とケーブル部Y1を全体的に覆うシールド層SHbは、前記絶縁性カバーレイCLc及び第1絶縁基板1aの裏面(下面)、前記第1、第4及び第5配線基板材1、4、5のステップ状の側壁面、前記第4配線基板材4の一側壁端部のステップ上面に位置するシールド端子配線層4cの露出面4c1に被覆され、前記シールド端子配線層4cと電気的に接続されている。なお、シールド端子配線層4cは、グランド或いは特定電源電位が付与される。
前記シールド層SHbは、第1実施形態にて説明した前記シールド層SHaと同様に形成することができる。また、ケーブル部Y1において、前記第1配線基板材1の裏面にケーブル用などの配線層が設けられている場合には、その配線層を絶縁性カバーレイで被覆し、更に、そのカバーレイを前記シールド層SHbで被覆することになる。
ところで、前記回路機能部X1は、前記第1、第4及び第5配線基板材1、4、5からなる多層配線基板構成とされていて、前記第1、第4及び第5配線基板材1、4、5は、前記第2及び第3配線基板材2、3と同様のCCL基材を用いたFPC或いはRPCとすることができる。
また、前記第1、第4及び第5配線基板材1、4、5からなる多層配線基板構成において、前記第4配線基板材4を内層配線基板材とし、その上の第5配線基板材5を外層配線基板材と称することや、更に、他の配線基板材を積層した際の、内層及び外層の配線基板材の使い分けは、第1実施形態における説明と同様に扱ってよい。
このような本発明の第2実施形態のシールド付回路配線基板によれば、前記第1実施形態の場合よりも多層化及び多機能化された回路配線基板が両面のシールド層SHa及びSHbによって、電磁波シールド効果を確実に達成することができる。前記各シールド端子配線層2c及び4cの各露出面2c1及び4c1を形成するように、前記回路機能部X1とケーブル部Y1との境界において、相互に積層された前記内層及び外層配線基板材2、4にステップ状の側壁部分が形成されているので、前記第1実施形態の場合と同様に、簡単な製造技術で、製造工程数並びに製造コストや設計上の制約が低減できる。更には、シールド層SHa、SHbとシールド端子配線層2c、4cとの接続部がステップ状の側壁部分の開放空間にあるために、前記シールド層の被覆工程時に、その接続部への空気泡の混入が生じ難く良好な電気的接続状態が得られる。
なお、前記第1〜第5絶縁基板1a〜5aにおける絶縁基板は、いずれも絶縁層と表現しても、前記第1〜第5配線基板材の配線基板材は、いずれも配線基板部と表現しても同等の意味を有する。
本発明の第1実施形態のシールド付回路配線基板を示す断面図である。 本発明の第2実施形態のシールド付回路配線基板を示す断面図である。 従来のシールド付回路配線基板を示す断面図である。
符号の説明
1、2、3、4、5 配線基板材
1a、2a、3a、4a、5a 絶縁基板
1b、2b、3b、4b、5b 配線層
1V、2V、3V、4V、5V 層間導電ビア
2c、4c シールド端子配線層
2c1、4c1 シールド端子配線層の露出面(シールド層との接続部)
SHa、SHb シールド層
X、X1 回路機能部
Y、Y1 ケーブル部

Claims (5)

  1. 相互に隣接する回路機能部及びケーブル部に対応した平面部分を有する絶縁基板の表面に配線層が形成された一配線基板材と、
    前記回路機能部に対応して前記一配線基板材の表面上に積層されていて絶縁基板表面に信号回路配線層及びシールド端子配線層が形成された内層配線基板材と、
    前記内層配線基板材上に積層されていて絶縁基板表面に配線層が形成された外層配線基板材と、
    少なくとも前記回路機能部を覆って設けられ前記シールド端子配線層と接続されたシールド層と、
    前記各配線基材の各配線層相互間に設けられた層間導電ビアとを備え、
    前記回路機能部とケーブル部との境界において、前記内層配線基板材及び前記外層配線基板材における各絶縁基板の端面の位置が相互にずれており、前記内層配線基板材及び前記外層配線基板材の各側壁端部が相互にステップ状に形成され、
    前記シールド端子配線層少なくとも一部が、前記内層配線基板材の側壁端部に設けられ、前記ステップ上面に露出するように配置されていると共に、前記内層配線基板材の側壁端部における前記シールド端子配線層の端面と前記内層配線基板材の絶縁基板の端面とが一致して形成されており、
    前記シールド層が前記シールド端子配線層の露出面に接続されていることを特徴とするシールド付回路配線基板。
  2. 前記シールド層は、前記内層配線基板材の側壁端部における前記シールド端子配線層の端面と前記内層配線基板材の絶縁基板の端面とを覆っていることを特徴とするシールド付回路配線基板。
  3. 前記シールド層は、印刷形成された導電性塗料及び加熱圧着された導電性接着フィルムから選択された材料で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載のシールド付回路配線基板。
  4. 前記層間導電ビアは、銅めっき及び導電ペーストから選択された材料で形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載のシールド付回路配線基板。
  5. 相互に隣接する回路機能部及びケーブル部に対応した平面部分を有する絶縁基板の表面に配線層が形成された一配線基板材と、
    前記回路機能部に対応して前記一配線基板材の表面上に積層されていて絶縁基板表面に信号回路配線層及びシールド端子配線層が形成された内層配線基板材と、
    前記内層配線基板材上に積層されていて絶縁基板表面に配線層が形成された外層配線基板材と、
    少なくとも前記回路機能部を覆って設けられ前記シールド端子配線層と接続され、導電性塗料及び導電性接着フィルムから選択された材料で形成されたシールド層と、
    前記各配線基材の各配線層相互間に設けられた層間導電ビアと、を備えるシールド付回路配線基板の製造方法であって、
    前記回路機能部とケーブル部との境界において、前記内層配線基板材及び前記外層配線基板材における各絶縁基板の端面の位置を相互にずらし、前記内層配線基板材及び外層配線基板材の各側壁端部を相互にステップ状に形成し、
    前記シールド端子配線層の少なくとも一部を、前記内層配線基板材の側壁端部に設けて、前記ステップ上面に露出するように配置すると共に、前記内層配線基板材の側壁端部における前記シールド端子配線層の端面と前記内層配線基板材の絶縁基板の端面とを一致させて形成し、
    前記シールド層を前記シールド端子配線層の露出面に接続することを特徴とするシールド付回路配線基板の製造方法。
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