JP5074862B2

JP5074862B2 - 載置台の覆い部材

Info

Publication number: JP5074862B2
Application number: JP2007227326A
Authority: JP
Inventors: 久嶋田
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2007-09-03
Filing date: 2007-09-03
Publication date: 2012-11-14
Anticipated expiration: 2027-09-03
Also published as: JP2009059981A

Description

本発明は、検査装置を梱包、搬送し、保管する際に検査装置の載置台を保護するために用いられる覆い部材に関するものである。

検査装置は、例えば図５に示すように、ウエハＷを搬送するローダ室１と、ウエハＷの検査を行うプローバ室２と、を備えている、プローバ室２は、ウエハＷを載置する載置台３と、載置台３をＸ、Ｙ方向へ移動させるＸ、Ｙテーブル４と、載置台３の上方に配置され且つヘッドプレート５の中央に設けられたプローブカード６と、載置台３上のウエハＷとプローブカード６のプローブ６Ａのアライメントを行うアライメント機構７と、を備え、アライメント機構７によるアライメントによりプローブカード６のプローブ６ＡがウエハＷと電気的に接触し、ウエハＷの電気的特性検査を行うように構成されている。尚、Ｔはテストヘッド、Ｒは接続リングであり、プローブカード６は、テストヘッドＴ及び接続リングＲを介してテスタ（図示せず）との間で信号を授受し、ウエハＷの検査を行う。また、７Ａはアライメントブリッジ７Ｂに固定された上カメラ、７Ｃは載置台３の側方に固定された下カメラである。

而して、工場で検査装置を組み立て、所定の検査を終えるとユーザーに引き渡すために、検査装置を工場で梱包し、工場から出荷、搬送される。例えば載置台３のようにウエハの載置面となるトッププレート（図示せず）の表面は高い仕上げ精度で精密加工されているため、トッププレートに傷つかないようにトッププレートの上面にビニール部材等の保護材を置き、スポンジ等のクッション材でトッププレートを押さえて載置台３を梱包している。このようにすることで精密加工された載置台３のトッププレートを保護している。

ユーザーは、梱包されたまま検査装置を受け取り、半導体製造ラインへ直接設置することもあれば、予備機として保管倉庫内で長期間に渡って保管することもある。

しかしながら、検査装置を予備機として保管倉庫内で長期間に渡って保管することになると、梅雨などの高湿度の時期に保管倉庫等で保管されることになる。梅雨時に保管倉庫の内部が高湿度環境になると、従来のように載置台３のトッププレートをビニール袋で保護しただけでは導電性金属からなるトッププレートの表面に染みや錆びを発生することもあり、高価なトッププレートを交換せざるを得ないことになる。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、検査装置を出荷する際にトッププレートを傷つけることなく梱包することができ、また、高湿度下であってもトッププレートに染みや錆びが発生することなくトッププレートの品質を保持することができる載置台の覆い部材を提供することを目的としている。

尚、製品を梱包し、搬送する際に製品を保護する方法としては、例えば眼鏡用プラスチックレンズを保存する方法（特許文献１）、電子部品を輸送するための機器類の輸送用箱（特許文献２）あるいは薬を含む加圧容器の貯蔵方法および包装（特許文献３）などがある。しかし、これらはいずれも小物を梱包し、搬送するための技術である。

特開２００７-０２４９９８特開２００３−２３７８８４特表２００２−５３２２１６

本発明の請求項１に記載の載置台の覆い部材は、検査装置を梱包する際に、表面が導電性金属で形成された被検査体の載置台を保護するために用いられる覆い部材であって、上記覆い部材は、袋状に形成された通気性のない柔軟なシート部材と、上記シート部材の内面に袋状に形成され且つ上記載置台のトッププレート側の中央部に通気孔を有する保持部と、この保持部に収納された除湿剤と、上記シート部材で上記載置台を包み込んで上記シート部材を上記載置台に固定するために上記シート部材の開口部側の端部に沿って取り付けられた紐と、を備えたことを特徴とするものである。

また、本発明の請求項２に記載の載置台の覆い部材は、請求項１に記載の発明において、上記除湿剤は、シリカゲルを主体とすることを特徴とするものである。

本発明によれば、検査装置を出荷する際にトッププレートを傷つけることなく梱包することができ、また、高湿度下であってもトッププレートに染みや錆びが発生することなくトッププレートの品質を保持することができる載置台の覆い部材を提供することができる。

以下、図１〜図４に示す実施形態に基づいて従来と同一部分または相当部分には同一符号を付して本発明を説明する。尚、各図中、図１の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の載置台の保護方法を示す図で、（ａ）は覆い部材で載置台を保護する直前を示す側面図、（ｂ）は覆い部材で載置台を保護した状態を示す側面図、図２の（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の載置台の覆い部材の一実施形態を示す図で、（ａ）は全体の側面図、（ｂ）は要部の断面図、（ｃ）は要部の平面図、図３の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図２に示す覆い部材の保持部に除湿材を収納する状態を説明するための図、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその平面図、図４の（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図２に示す覆い部材の保持部における除湿材の収納状態を示す図、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその平面図である。

本実施形態の載置台の保護方法では、例えば図１の（ａ）に矢印で示すように覆い部材１０を載置台３に被せ、同図の（ｂ）に示すように覆い部材１０で載置台３を包み込み、覆い部材１０の内部を除湿して、載置台３のトッププレート３Ａの表面に乾燥環境を形成し、トッププレート３Ａの表面での染みや錆びの発生を防止するものである。

そこで、本実施形態の覆い部材１０について図１、図２を参照しながら更に説明する。本実施形態の覆い部材１０は、図１の（ａ）及び図２の（ａ）に示すように、例えば矩形状に形成されたビニール袋１１と、ビニール袋１１の開口部側（同図の下側）とは反対側の内面に装着された除湿剤１２と、ビニール袋１１の開口部側の端部に沿って取り付けられた紐１３と、を有し、ビニール袋１１の内部を除湿剤１２で除湿し、乾燥するように構成されている。尚、図１の（ａ）、（ｂ）において、４はＸＹテーブルである。

また、例えば図１の（ａ）及び図２の（ａ）に示すようにビニール袋１１の内部の上側中央には除湿剤１２を保持する矩形状のポケット１１Ａが除湿剤１２の保持部として設けられ、このポケット１１Ａ内に除湿剤１２（図１の（ａ）参照）が収納されている。即ち、同図の（ｂ）、（ｃ）に示すようにポケット１１Ａの三辺が溶着された溶着部１１Ｂとして形成され、一辺が除湿剤１２を出し入れする開口部１１Ｃとして形成されている。このポケット１１Ａには複数の通気孔１１Ｄ（同図の（ｃ）参照）が形成され、これらの通気孔１１Ｄ及び開口部１１Ｃを介してビニール袋１１の内部を除湿し、乾燥するようになっている。また、ビニール袋１１の開口部端縁には全周に渡って紐１３を通す中空部１１Ｅが形成され、その一部に紐１３の両端部１３Ａ、１３Ａを引き出す開口が形成されている。紐１３は、図１の（ａ）、図２の（ａ）に示すように中空部１１Ｅに通され、その両端部１３Ａ、１３Ａが中空部１１Ｅの開口から引き出されている。尚、図１の（ａ）及び図２の（ａ）ではポケット１１Ａがビニール袋１１の上側中央に設けられているが、ポケット１１Ａは必要に応じてビニール袋１１内の上側端部等の適宜の場所に設けられる。

除湿剤１２は、除湿性能を有する物質があれば特に制限されず、従来公知の物質（例えばシリカゲル）を使用することができる。シリカゲルを使用する場合には塩化コバルトを担持したシリカゲルを使用することができる。このシリカゲルは、吸湿量が飽和状態に近づくと着色される。従って、除湿剤１２は、塩化コバルトの変色により取替え時期を判断することができる。

載置台３を梱包し、保護する場合には、まず覆い部材１０を構成するポケット付きのビニール袋１１と除湿剤１２を準備する。そして、ビニール袋１１の開口部を開き、図３の（ａ）、（ｂ）に示すようにビニール袋１１内のポケット１１Ａに除湿剤１２を収納する。これにより、図４の（ａ）、（ｂ）に示すように除湿剤１２がポケット１１Ａ内で保持された覆い部材１０が得られる。

その後、ビニール袋１１を開き、図１の（ａ）に矢印で示すようにビニール袋１１を載置台３に被せ、同図の（ｂ）に示すようにビニール袋１１で載置台３を覆って、ビニール袋１１内に載置台３を包み込み、開口部側の紐１３の両端部１３Ａ、１３Ａを結んで載置台３にビニール袋１１を締付けて固定する。

覆い部材１０で載置台３を包み込んで梱包し、検査装置全体を木枠等で梱包した後、工場から検査装置を出荷し、ユーザーの保管倉庫まで搬送し、保管倉庫内で検査装置を保管する。検査装置を半導体製造ラインに直接設置する場合には、梱包を解いて検査装置を所定の場所へ搬送し、設置する。

検査装置を予備機として保管倉庫内で保管する時には梱包を解かずにそのまま保管する。保管倉庫が空調機を備えていない場合には季節によっては保管倉庫内の湿度が高くなることがある。このような高湿度下で保管期間が長くなると、導電性金属からなる載置台３のトッププレート３Ａは、前述したように湿気の影響で染みや錆びが発生する虞がある。

ところが、本実施形態では、覆い部材１０で載置台３を包み込み、ビニール袋１１内の空間を除湿剤１２によって常に除湿しているため、ビニール袋１１内のトッププレート３Ａは常に乾燥した環境下にあって染みや錆びが発生することがない。従って、載置台３のトッププレート３Ａは長期間に渡って初期の品質を保持することができる。また、トッププレート３Ａは覆い部材１０で包み込まれているため、傷つき難い。

以上説明したように本実施形態によれば、検査装置を梱包する際に表面が導電性金属で形成されたトッププレート３Ａを有する載置台３を覆い部材１０で覆って保護する時に、覆い部材１０を構成するビニール袋１１の内面に形成されたポケット１１Ａ内に除湿剤１２を収納、保持した後、ビニール袋１１の内面を載置台側に向け且つポケット１１Ａを載置台３のトッププレート３Ａ表面に配置してビニール袋１１で載置台３を覆い、除湿剤１２によってトッププレート３Ａの表面とビニール袋１１の間で除湿するため、梅雨時等の高湿度環境に検査装置を梱包状態のまま保管しても、ビニール袋１１内のトッププレート３Ａは常に乾燥した環境下にあり、トッププレート３Ａの表面に錆等を発生することなく初期の品質を維持することができる。

また、本実施形態によれば、ビニール袋１１のポケット１１Ａは、載置台３側に通気孔１１Ｄを有し、更に除湿剤１２としてシリカゲルを用いるため、ビニール袋１１内で効率よく除湿し、トッププレート３Ａの表面を効率よく乾燥させることができる。

尚、本発明は上記実施形態に何等制限されるものではなく、各構成要素を必要に応じて適宜設計変更することができる。例えば、上記実施形態では覆い部材１０のシート部材として矩形状のビニール袋１１を使用し、紐１３でビニール袋１１の開口部１１Ｃを結ぶようにしているが、シート部材はビニール袋以外の通気性のないシート状の部材を使用することができ、シート部材で載置台を包み込む際に使用する固定部材も紐１３以外の粘着テープ等を使用しても良い。要は、覆い部材を載置台に被せ、覆い部材の内面の保持部で保持された除湿剤によって載置台の表面に常に除湿した環境を形成することができれば良い。

本発明は、検査装置の梱包に好適に利用することができる。

（ａ）、（ｂ）はそれぞれ本発明の載置台の保護方法を示す図で、（ａ）は覆い部材で載置台を保護する直前を示す側面図、（ｂ）は覆い部材で載置台を保護した状態を示す側面図である。（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ本発明の載置台の覆い部材の一実施形態を示す図で、（ａ）は全体の側面図、（ｂ）は要部の断面図、（ｃ）は要部の平面図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図２に示す覆い部材の保持部に除湿材を収納する状態を説明するための図、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその平面図である。（ａ）、（ｂ）はそれぞれ図２に示す覆い部材の保持部における除湿材の収納状態を示す図、（ａ）はその断面図、（ｂ）はその平面図である。検査装置の一例を示す図で、正面の一部を破断して示す正面図ある。

符号の説明

３載置台
３Ａトッププレート（載置面）
１０覆い部材
１１ビニール袋
１１Ａポケット（保持部）
１２除湿剤
１３紐（固定部材）

Claims

検査装置を梱包する際に、表面が導電性金属で形成された被検査体の載置台を保護するために用いられる覆い部材であって、上記覆い部材は、袋状に形成された通気性のない柔軟なシート部材と、上記シート部材の内面に袋状に形成され且つ上記載置台のトッププレート側の中央部に通気孔を有する保持部と、この保持部に収納された除湿剤と、上記シート部材で上記載置台を包み込んで上記シート部材を上記載置台に固定するために上記シート部材の開口部側の端部に沿って取り付けられた紐と、を備えたことを特徴とする載置台の覆い部材。
上記除湿剤は、シリカゲルを主体とすることを特徴とする請求項１に記載の載置台の覆い部材。