JP5068941B2

JP5068941B2 - Dust-proof device in roller hearth heat treatment furnace

Info

Publication number: JP5068941B2
Application number: JP2005262098A
Authority: JP
Inventors: 巌穂森本
Original assignee: Koyo Thermo Systems Co Ltd
Current assignee: Koyo Thermo Systems Co Ltd
Priority date: 2005-09-09
Filing date: 2005-09-09
Publication date: 2012-11-07
Anticipated expiration: 2025-09-09
Also published as: JP2007071510A

Description

この発明は、例えば、プラズマディスプレイパネル製造工程等に用いられるガラス基板やその中間加工物のような処理品を熱処理するために使用されるローラハース式熱処理炉内に塵が侵入することを防止する防塵装置に関する。 The present invention, for example, prevents dust from entering a roller hearth heat treatment furnace used for heat treating a processed product such as a glass substrate used in a plasma display panel manufacturing process or the like and an intermediate processed product thereof. Relates to the device.

この種の防塵装置としては、炉体側壁に、処理品搬送用ハースローラが貫通させられてその端部を側方に突出させており、ハースローラの突出端部に、２つのシールリングがローラ軸方向に並んで互いに相対する側面同士を当接させるようにはめ被せられており、炉体側壁に近い側の一方のシールリングは、炉体側壁外面に密着状に固定されており、他方のシールリングは、ローラ軸方向に移動自在かつバネによって一方のシールリングに接近する方向に付勢されているものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。 In this type of dustproof device, a hearth roller for conveying a processed product is passed through a furnace body side wall, and its end protrudes sideways. Two seal rings are provided in the axial direction of the roller at the protruding end of the hearth roller. One seal ring on the side close to the furnace body side wall is fixed in close contact with the outer surface of the furnace body side wall, and the other seal ring is placed in contact with each other. Is known that is urged in a direction that is movable in the roller axis direction and approaches one seal ring by a spring (see, for example, Patent Document 1).

この従来の防塵装置には、つぎのような問題点がある。第１に、シールリング材質の耐熱性に難がある。第２に、炉体側壁のローラ貫通部から発塵する。第３に、ローラおよびシールリング間の隙間を皆無とすることはできず、その隙間を通じて、炉外から炉内に塵が侵入する。２つのシールリングおよびバネを、炉体側壁およびハースローラに組立てるための構造が複雑であり、コストが掛かる。
特開平６−２６５２７３号公報 This conventional dustproof device has the following problems. First, the heat resistance of the seal ring material is difficult. Second, dust is generated from the roller penetrating portion on the side wall of the furnace body. Third, the gap between the roller and the seal ring cannot be completely eliminated, and dust enters the furnace from the outside of the furnace through the gap. The structure for assembling the two seal rings and springs into the furnace body side wall and the hearth roller is complicated and expensive.
JP-A-6-265273

この発明の目的は、簡単な構造でもって、炉内への塵の侵入を防止できるローラハース式熱処理炉における防塵装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a dustproof device in a roller hearth heat treatment furnace having a simple structure and capable of preventing dust from entering the furnace.

この発明による防塵装置は、炉体側壁に、処理品搬送用ハースローラを貫通させてその端部を側方に突出させたローラ貫通孔が形成されているローラハース式熱処理炉において、ローラ貫通孔より上方レベルに位置するように同炉体側壁外側面にクリンエアーダクトが取付られており、クリンエアーダクトにエアー吹出口が下向きに設けられており、エアー吹出口を側方から被覆するようにクリンエアーダクトにスカートが設けられているものである。 The dust-proof device according to the present invention is a roller hearth type heat treatment furnace in which a hearth side wall is provided with a roller through-hole in which a processed product carrying hearth roller is penetrated and an end thereof is protruded laterally. A clean air duct is attached to the outer side wall of the furnace body so as to be located at the level, and an air outlet is provided downward in the clean air duct, so that the air is covered from the side. A skirt is provided in the duct.

この発明による防塵装置では、ローラ貫通孔の外方開口縁部の周囲は、クリンエアーダクトおよびスカートによって挟まれたスペースに臨ませられ、そのスペース内には吹出口から吹出されたクリーンエアーによって充満され、同スペース内には塵が侵入することがない。ローラ貫通孔周面およびハースローラ外面間から炉外のエアーが侵入したとしても、そのエアーはクリンエアーだけでそれには塵が含まれていない。したがって、炉内への塵の侵入を防止することができる。 In the dustproof device according to the present invention, the periphery of the outer opening edge of the roller through-hole faces the space sandwiched between the clean air duct and the skirt, and the space is filled with the clean air blown from the air outlet. Dust does not enter the space. Even if air outside the furnace enters from between the peripheral surface of the roller through hole and the outer surface of the hearth roller, the air is only clean air and does not contain dust. Accordingly, it is possible to prevent dust from entering the furnace.

さらに、スカートの下縁部がハースローラの突出端部より下方レベルに位置させられており、スカートの下縁部に、ハースローラの突出端部を貫通させた切欠が形成されていると、ローラ貫通孔の周囲がスカートによって広く覆われることとなって、塵の侵入防止効果が大である。 Further, when the lower edge of the skirt is positioned at a lower level than the protruding end of the hearth roller, and a notch that penetrates the protruding end of the hearth roller is formed in the lower edge of the skirt, the roller through hole The periphery of the door is widely covered with the skirt, and the effect of preventing the intrusion of dust is great.

また、ローラ貫通孔周面およびハースローラ外面間に、金属または耐熱ガラス製保護スリーブが介在させられていると、通常断熱材でできている炉体側壁のローラ貫通孔周面からの塵の発生を防止することができる。 Also, if a metal or heat-resistant glass protective sleeve is interposed between the peripheral surface of the roller through hole and the outer surface of the hearth roller, dust is generated from the peripheral surface of the roller through hole on the side wall of the furnace body, which is usually made of a heat insulating material. Can be prevented.

この発明によれば、簡単な構造でもって、炉内への塵の侵入を防止することができる。 According to the present invention, it is possible to prevent dust from entering the furnace with a simple structure.

この発明の実施の形態を図面を参照しながらつぎに説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

以下の説明において、左右とは、図１を基準として、その左右の側を左右というものとする。 In the following description, the left and right refers to the left and right sides with reference to FIG.

ローラハース式熱処理炉は、横断面方形状炉体11を備えている。炉体11は、頂壁21、底壁22および左右の両側壁23よりなる。これらの頂壁21、底壁22および両側壁23は、断熱材によって形成されている。また、頂壁21、底壁22および両側壁23にはヒータ（図示略）が備えられている。さらに、頂壁21、底壁22および両側壁23の内面には耐熱ガラス製防塵壁（図示略）で被覆されている。 The roller hearth-type heat treatment furnace includes a furnace body 11 having a transverse cross section. The furnace body 11 includes a top wall 21, a bottom wall 22, and left and right side walls 23. These top wall 21, bottom wall 22 and both side walls 23 are formed of a heat insulating material. Further, the top wall 21, the bottom wall 22, and the side walls 23 are provided with heaters (not shown). Furthermore, the inner surfaces of the top wall 21, the bottom wall 22, and the side walls 23 are covered with a heat-resistant glass dustproof wall (not shown).

両側壁23の長さ方向複数カ所には、ローラ貫通孔31が各所において同心となるように形成されている。各ローラ貫通孔31には金属製保護スリーブ32が挿入されている。保護スリーブ32の材質としては、金属に代わって、耐熱ガラスを採用してもよい。 Roller through holes 31 are formed at a plurality of locations in the length direction of both side walls 23 so as to be concentric at each location. A metal protective sleeve 32 is inserted into each roller through hole 31. As the material of the protective sleeve 32, heat resistant glass may be employed instead of metal.

保護スリーブ32を介して、各所におけるローラ貫通孔31にはセラミック製水平丸棒状処理品搬送用ハースローラ33がその端部を側方に突出させるように貫通させられている。 Through the protective sleeve 32, a ceramic horizontal round bar-shaped processed product carrying hearth roller 33 is passed through the roller through holes 31 in various places so that the end portion protrudes sideways.

左右のローラ貫通孔31よりもそれぞれ上方レベルに位置するように両側壁23外側面に、左右の横断面方形状クリンエアーダクト41が片持状に取付られている。両クリンエアーダクト41は、左右の向きは逆であるが、同一構造のものである。以下、右側のクリンエアーダクト41について説明する。 Left and right transverse cross-section clean air ducts 41 are attached to the outer side surfaces of both side walls 23 so as to be positioned above the left and right roller through-holes 31, respectively. Both the clean air ducts 41 have the same structure, although the left and right directions are opposite. Hereinafter, the clean air duct 41 on the right side will be described.

クリンエアーダクト41の頂壁適所にはクリンエアー供給パイプ42が接続されている。クリンエアーダクト41の底壁には長さ方向に一定間隔をおいてエアー吹出口43が下向きに設けられている。クリンエアーダクト41の、炉体11と反対側の側壁には垂直板状テフロン（登録商標）製スカート44が設けられている。スカート44の下縁部は、ハースローラ33突出端部よりも下方レベルに位置させられている。スカート44の下縁部に、ハースローラ33の突出端部を貫通させた切欠45が形成されている。切欠45は、逆Ｕ字状の輪郭をなし、上部に円弧状部を有している。この円弧状部とハースローラ33外面上半部の間には若干の隙間がある。この隙間は、空気の流通を殆ど許さない程度に小さい方が好ましい。 A clean air supply pipe 42 is connected to an appropriate position of the top wall of the clean air duct 41. An air outlet 43 is provided downward on the bottom wall of the clean air duct 41 at regular intervals in the length direction. A vertical plate-like Teflon (registered trademark) skirt 44 is provided on the side wall of the clean air duct 41 opposite to the furnace body 11. The lower edge portion of the skirt 44 is positioned at a lower level than the protruding end portion of the hearth roller 33. At the lower edge of the skirt 44, a notch 45 is formed through the protruding end of the hearth roller 33. The notch 45 has an inverted U-shaped outline and has an arcuate portion at the top. There is a slight gap between the arcuate portion and the upper half of the outer surface of the hearth roller 33. The gap is preferably as small as to allow little air flow.

エアー吹出口43から吹出されたクリーンエアは、炉体側壁23、クリンエアーダクト41およびスカート44によって区画された下方開放スペース内に充満させられる。ハースローラ33および保護スリーブ32間の隙間から炉体11内にエアが浸入したとしても、そのエアはクリーンエアであり、炉体11外の塵が炉体11内に浸入する心配はない。とくに、熱処理炉のうち、昇温・脱バインダーゾーンでは炉体11内排気により、マイナス圧に保持されるため、炉体11外の塵が炉内に浸入する恐れが大であるが、同スペース内のクリーンエアにより、その恐れが皆無となる。さらに、ローラ貫通孔31の周面からは、炉体11を形成している断熱材の繊維状ないし粒子状の塵が発生するが、その飛散を保護スリーブ32が阻止する。 The clean air blown out from the air outlet 43 is filled into a lower open space defined by the furnace body side wall 23, the clean air duct 41, and the skirt 44. Even if air enters the furnace body 11 through the gap between the hearth roller 33 and the protective sleeve 32, the air is clean air, and there is no concern that dust outside the furnace body 11 enters the furnace body 11. In particular, in the heat treatment furnace, the temperature rise / debinder zone is maintained at a negative pressure by the exhaust inside the furnace body 11, so there is a great risk that dust outside the furnace body 11 will enter the furnace. The clean air inside eliminates that fear. Furthermore, although the fibrous or particulate dust of the heat insulating material forming the furnace body 11 is generated from the peripheral surface of the roller through hole 31, the protective sleeve 32 prevents the scattering.

上記において、クリーンエアダクト、エア吹出口、スカートおよび切欠の形状は、図示のものに限定されない。切欠は、これに代えて、例えば、丸孔としてもよい。さらに、スカートの材質とし、テフロン（登録商標）に代えて、耐熱性プラスチックを採用してもよい。 In the above, the shapes of the clean air duct, the air outlet, the skirt, and the notch are not limited to those illustrated. Instead of this, for example, the notch may be a round hole. Further, as the material of the skirt, heat-resistant plastic may be adopted instead of Teflon (registered trademark).

この発明による防塵装置をローラハース式熱処理炉とともに示す横断面図である。It is a cross-sectional view showing a dustproof device according to the present invention together with a roller hearth heat treatment furnace. 図１の一部を拡大して示す断面図である。It is sectional drawing which expands and shows a part of FIG. 図２に示す部分の斜視図である。It is a perspective view of the part shown in FIG.

Explanation of symbols

23 炉体側壁
31 ローラ貫通孔
33 ハースローラ
41 クリーンエアダクト
43 エア吹出口
44 スカート 23 Furnace side wall
31 Roller through hole
33 Hearth Roller
41 Clean air duct
43 Air outlet
44 Skirt

Claims

Furnace to the side walls, the roller hearth type heat treating furnace is passed through the treated product conveying Hasurora by rollers through hole to protrude the end portion on the side is formed,
A clean air duct is attached to the outer side wall of the furnace body so that it is positioned above the roller through-hole, and the air blower outlet is provided downward on the clean air duct, covering the air blower from the side. A skirt is provided on the clean air duct,
The lower edge of the skirt is positioned at a lower level than the protruding end of the hearth roller, and a notch that penetrates the protruding end of the hearth roller is formed at the lower edge of the skirt,
The clean air duct is cantilevered with respect to the outer surfaces of both side walls, a clean air supply pipe is connected to the top wall of the clean air duct, and a downward open space is defined by the clean air duct and the skirt, A dustproof device in which clean air is blown downward from the air blower outlet toward the downward open space through the clean air duct.

The dustproof device according to claim 1, wherein a protective sleeve made of metal or heat-resistant glass is interposed between the peripheral surface of the roller through hole and the outer surface of the hearth roller.