JP5066678B2 - 磁歪式ガスバルブ - Google Patents
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Description
その中でも磁歪式ガスバルブは非接触での駆動が可能であるため、微小な流量の制御が必要となる分野において、近年大変注目され始めている。
2、9、16 磁歪複合合金
3、10、17 弁体
4、11、18 ハウジング
5、12、19 界磁コイル
6、13、20 外装ケース
7、14、21 弁座
22 流体粉体制御バルブ
23 流入口
24 ノズル部
25 流出口
26 磁歪磁性体
27 密閉容器
28 電磁コイル
29 制御部
Claims (7)
- 磁歪の符号が正負反対の2種類の合金から構成される磁歪複合合金を用いた磁歪式ガスバルブにおいて、
前記磁歪の符号が正負反対の2種類の合金の内、正磁歪材はFe−Ga合金であって、
前記磁歪複合合金は、厚さ0.01〜1mmの板状であって、
前記磁歪複合合金に弁体を備えており、
非磁性体で形成されるハウジング内に流体の流路を形成し、前記ハウジングを隔てて前記流路と界磁コイルを配置することによって、前記流体と前記界磁コイルとが非接触であるように構成されたことを特徴とする磁歪式ガスバルブ。 - 前記磁歪複合合金は短冊形状であって、前記磁歪複合合金に備えられた前記弁体と、前記磁歪複合合金をその内壁に固定するハウジングと、界磁コイルと、前記ハウジングと前記界磁コイルとを包含する外装ケースと、から構成されたことを特徴とする請求項1記載の磁歪式ガスバルブ。
- 前記磁歪複合合金は、片持ち状態で前記ハウジングの内壁に固定されたことを特徴とする請求項1〜2記載の磁歪式ガスバルブ。
- 前記磁歪複合合金は、両持ち状態で前記ハウジングの内壁に固定されたことを特徴とする請求項1〜2記載の磁歪式ガスバルブ。
- 前記磁歪複合合金は円板形状であって、前記磁歪複合合金に備えられた前記弁体と、前記磁歪複合合金の外周をその内壁に固定するハウジングと、界磁コイルと、前記ハウジングと前記界磁コイルとを包含する外装ケースと、から構成され、前記磁歪複合合金の外周を前記ハウジングの内壁に固定したことを特徴とする請求項1記載の磁歪式ガスバルブ。
- 前記ハウジングと前記外装ケースとを一体形成したことを特徴とする請求項2〜5記載の磁歪式ガスバルブ。
- 前記弁体と、流体が流入する弁座と、が線接触となることを特徴とする請求項1〜6記載の磁歪式ガスバルブ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007075451A JP5066678B2 (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 磁歪式ガスバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007075451A JP5066678B2 (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 磁歪式ガスバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008232359A JP2008232359A (ja) | 2008-10-02 |
JP5066678B2 true JP5066678B2 (ja) | 2012-11-07 |
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ID=39905400
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007075451A Expired - Fee Related JP5066678B2 (ja) | 2007-03-22 | 2007-03-22 | 磁歪式ガスバルブ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5066678B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102003565B (zh) * | 2010-09-29 | 2012-08-22 | 中国航天科技集团公司烽火机械厂 | 一种超磁致伸缩驱动器及其驱动的高速电磁阀 |
IL274196A (en) * | 2020-04-23 | 2021-10-31 | Veev Group Inc | Thermal wall and its applications |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS602645A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-08 | Toshiba Corp | 磁歪バイメタル |
JPS6065971A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-15 | Shoketsu Kinzoku Kogyo Co Ltd | 電歪素子を組合せた弁装置 |
JP2687213B2 (ja) * | 1987-02-16 | 1997-12-08 | 財団法人 半導体研究振興会 | 流体粉体制御バルブ |
JPH03285578A (ja) * | 1990-03-31 | 1991-12-16 | Toshiba Corp | リニアアクチュエータ |
JP2608981B2 (ja) * | 1990-09-26 | 1997-05-14 | 日本電信電話株式会社 | 小形流量制御素子 |
JPH05263956A (ja) * | 1992-03-13 | 1993-10-12 | I N R Kenkyusho:Kk | フローバルブ |
JPH06224485A (ja) * | 1993-01-26 | 1994-08-12 | Toshiba Corp | 磁歪アクチュエータ |
SE9600913L (sv) * | 1996-03-08 | 1997-02-03 | Siemens Elema Ab | Ventil |
JP2006342711A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Namiki Precision Jewel Co Ltd | 流体ポンプ |
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2007
- 2007-03-22 JP JP2007075451A patent/JP5066678B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008232359A (ja) | 2008-10-02 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110526 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150824 Year of fee payment: 3 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |