JP5063929B2 - 赤外線センサ - Google Patents
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Description
従来、人体から放射される赤外線を検出するいくつかの手法において、InSbの様な化合物半導体による量子型の赤外線センサは高速、高感度という優れた性質を持っていることが知られている。しかしながら、量子型の赤外線センサを用いて、人体から放射される赤外線を室温において検知する場合、検出素子の漏れ電流が非常に大きく、使用は極めて困難であることも知られている。例えばpn接合を持つ光ダイオード型の素子において、その漏れ電流の主な原因となっているのが拡散電流である。拡散電流は素子を構成している半導体の真性キャリア密度niの2乗に比例する。また、ni 2は式(1)で表される。
図2の赤外線検出素子に赤外線が入射した場合、赤外線は光吸収層であるπ層(p型ドーピングされたInSb層)において吸収され、電子正孔対を生成する。生成した電子正孔対は、n+層であるn型ドーピングされたInSb層11と、p+層である高濃度にp型ドーピングされたInSb層14、および光吸収層であるp型ドーピングされたInSb層(またはInAsSb層)12のポテンシャル差、すなわちビルトインポテンシャルによって分離され、電子はn+層側へ、正孔はp+層側へと移動し光電流となる。この時、発生した電子がPINダイオードの順方向、すなわちp+層側に拡散すると光電流として取り出すことは出来ない。この順方向へのキャリアの拡散が拡散電流である。ここで、光吸収層であるπ層と、p+層である高濃度にp型ドーピングされたInSb層14との間に、第2化合物半導体層として用いることができるInSbやInAsSbよりもバンドギャップのより大きな層、例えばAlInSb層を設けると、図3に示すように光吸収層としてのp型ドーピングされたInSb層(またはInAsSb層)12と、p+層としてのInSb層14との間にエネルギーの壁を設けることが出来る。このエネルギーの壁(すなわちバリア層)により、光吸収層からp+層への電子の拡散、すなわち拡散電流を防ぐこと、ないしは上記拡散電流を低減することが可能となる。この結果素子の感度を飛躍的に上げることが出来る。
MBE法により、半絶縁性の、GaAs単結晶基板40上にSnを7×1018原子/cm3ドーピングしたInSb層41(n+層、第1化合物半導体層)を1.0μm成長し、この上にZnを6×1016原子/cm3ドーピングしたInSb層42(π層、第2化合物半導体層)を1.0μm成長し、この上にAlの組成がX=0.2(20%)であり、Znを2×1018原子/cm3ドーピングしたAl0.2In0.8Sb層43(バリア層、第3化合物半導体層)を成長し、この上にZnを2×1018原子/cm3ドーピングしたInSb層44(p+層、第4化合物半導体層)を0.5μm成長した。ここで、Al0.2In0.8Sb層43の膜厚は、15nm、20nm、25nm、40nmとした。また、Snはn型ドーパント、Znはp型ドーパントである。これらの材料はInSbにおいて活性化率が高く、好ましいドーピング材料である。
図6の結果から分かるように、Alの組成が0.17より大きくても、小さくてもセンサの出力は減少している。
11 n型ドーピングされたInSb層
12 p型ドーピングされたInSb層
13 π層よりも高濃度にp型ドーピングされたAlxIn1-xSb層
14 π層よりも高濃度にp型ドーピングされたInSb層
Claims (9)
- 基板と、該基板上に形成された複数の化合物半導体層が形成された化合物半導体の積層体とを備え、
前記化合物半導体の積層体は、
該基板上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、n型ドーピングされた材料である第1化合物半導体層と、
該第1化合物半導体層上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、p型ドーピングされた材料である第2化合物半導体層と、
該第2化合物半導体層上に形成された、前記第2化合物半導体層よりも高濃度にp型ドーピングされ、かつ前記第1化合物半導体層、及び前記第2化合物半導体層よりも大きなバンドギャップを有する材料である第3化合物半導体層とを備え、
前記第3化合物半導体層の膜厚が、2nm以上50nm以下であり、
前記第2化合物半導体層のp型ドーピング濃度が、4×1016(原子/cm3)以上1×1017(原子/cm3)以下であることを特徴とする赤外線センサ。 - 前記第3化合物半導体層の膜厚が、3nm以上32nm以下であることを特徴とする請求項1記載の赤外線センサ。
- 前記第1化合物半導体層はInSbであり、前記第2化合物半導体層は、InSb、InAsSb、InSbNのいずれかであり、前記第3化合物半導体層は、AlInSb、GaInSb、またはAlAs、InAs、GaAs、AlSb、GaSb及びそれらの混晶のいずれかであることを特徴とする請求項1または2記載の赤外線センサ。
- 前記第3化合物半導体層はAlxIn1−xSb(0<x<1)であり、
前記AlxIn1−xSbの組成が、X=0.16以上、X=0.22以下であることを特徴とする請求項1または2記載の赤外線センサ。 - 前記AlxIn1−xSbの組成が、X=0.163以上、X=0.204以下であることを特徴とする請求項4記載の赤外線センサ。
- 前記第1化合物半導体のn型ドーパントはSnであり、前記第2化合物半導体及び前記第3化合物半導体のp型ドーパントはZnであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の赤外線センサ。
- 前記第3化合物半導体層上に形成された、インジウム及びアンチモンを含み、該第3化合物半導体層と同等か、またはそれ以上の濃度にp型ドーピングされた材料である第4化合物半導体層をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の赤外線センサ。
- 前記第4化合物半導体層はInSbであることを特徴とする請求項7記載の赤外線センサ。
- 前記第4化合物半導体及び前記第3化合物半導体のp型ドーパントはZnであることを特徴とする請求項7または8記載の赤外線センサ。
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