JP5046712B2 - エンコーダを初期化する方法 - Google Patents
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Description
3つのスケール2が、物体1に固定されている。これらのスケール2はそれぞれ、インクリメンタルトラック3及びアブソリュートトラック4を支持する。走査ヘッド5が、測定フレーム6に固定されている。これらの測定ヘッド5は、それぞれのスケール2に割り当てられている。そしてこれらの測定ヘッド5は、インクリメンタルトラック3及びアブソリュートトラック4の双方を読み取って電気信号に変換され得る。
整合ステップ200では、走査ヘッド5が、スケール2に対してより良好に整合されているように、物体1が、初期化ステップ100で算定されたおおよその位置値に基づいて位置決めされる。
2 スケール
3 インクリメンタルトラック
4 アブソリュートトラック
5 走査本体
6 測定フレーム
10 エンコーダ
11 エンコーダ
12 エンコーダ
Claims (10)
- 測定フレーム(6)に対して少なくとも2つの自由度(Rx,Ry,Z)で移動する物体(1)に対して位置測定系を初期化するための方法であって、前記位置測定系には、相対位置を測定するインクリメンタルトラック(3)と絶対位置を測定するアブソリュートトラック(4)とを有するスケール(2)を1つずつ備えた少なくとも1つのエンコーダ(10,11,12)が、1つの自由度(Rx,Ry,Z)ごとに存在し、且つ、前記インクリメンタルトラック(3)と前記アブソリュートトラック(4)とを読み取るための、前記スケール(1)に割り当てられた走査ヘッド(5)が存在する当該方法において、
初期化ステップ(100)では、前記インクリメンタルトラック(3)又は前記アブソリュートトラック(4)が、走査ヘッド(5)と対応するスケール(2)との整合に関して大きい許容誤差を有する第1の評価方法によって評価され、評価結果が生成され、整合ステップ(200)では、移動する前記物体(1)が、前記評価結果に基づいて前記測定フレーム(6)に対して整合され、検出ステップ(300)では、前記アブソリュートトラック(4)が、走査ヘッド(5)と対応するスケール(2)との整合に関する僅かな許容誤差を有する第2の評価方法によって評価され、正確な絶対位置が、各自由度(Rx,Ry,Z)に対して算定されることを特徴とする方法。 - 前記初期化ステップ(100)では、前記アブソリュートトラック(4)が、前記第1の評価方法によって評価され、おおよその絶対位置が、評価結果として各自由度(Rx,Ry,Z)に対して算定され、前記第1の評価方法は、走査ヘッド(5)と対応するスケール(2)との整合に関して大きい許容誤差を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記初期化ステップ(100)で算出された前記おおよその絶対位置に基づいて、前記物体(1)が、前記測定フレーム(6)に対して整合され、すなわち前記走査ヘッド(5)が、前記スケール(2)に対して整合される結果、前記僅かな許容誤差が、前記検出ステップ(300)で保持されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記アブソリュートトラック(4)は、基準マークを有し、この基準マークは、前記第1の評価方法及び前記第2の評価方法に基づいて評価されることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- 前記第1の評価方法は、おおよその割り当てだけを可能にし、前記第2の評価方法は、前記インクリメンタルトラック(3)に対する前記基準マークの正確な割り当てを保証することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記アブソリュートトラック(4)は、コードを有し、複数の絶対位置が、このコードでコード化されていること、及び、このコードは、前記第1の評価方法及び前記第2の評価方法に基づいて評価されることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- 前記おおよその絶対位置は、前記アブソリュートトラック(4)だけに基づいて算定されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 前記初期化ステップ(100)では、前記インクリメンタルトラック(3)が、前記第1の評価方法によって評価され、各自由度(Rx,Ry,Z)に対して、前記インクリメンタルトラック(3)のアブソリュート信号(9、A,B)の信号特性が、評価結果として算定されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記初期化ステップ(100)で算出された前記信号特性に基づいて、前記物体(1)が、前記測定フレーム(6)に対して整合され、すなわち前記走査ヘッド(5)が、前記スケール(2)に対して整合される結果、前記僅かな許容誤差が、前記検出ステップ(300)で保持されることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記走査信号(9、A,B)の前記信号特性は、信号強度であることを特徴とする請求項8又は9に記載の方法。
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