JP2007279038A - エンコーダを初期化する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定フレームに対して少なくとも2つの自由度で移動する物体に対して、スケールは、相対位置を測定するインクリメンタルトラック及び絶対位置を測定するアブソリュートトラックを有する。初期化ステップでは、インクリメンタルトラック又はアブソリュートトラックが、第1の評価方法によって評価され、評価結果が生成される。整合ステップでは、移動する物体が、評価結果に基づいて測定フレームに対して整合される。検出ステップでは、アブソリュートトラックが、第2の評価方法によって走査ヘッドと付随するスケールとの整合に関する僅かな許容誤差で評価され、正確な絶対位置が、各自由度に対して算定される。
【選択図】 図1
Description
3つのスケール2が、物体1に固定されている。これらのスケール2はそれぞれ、インクリメンタルトラック3及びアブソリュートトラック4を支持する。走査ヘッド5が、測定フレーム6に固定されている。これらの測定ヘッド5は、それぞれのスケール2に割り当てられている。そしてこれらの測定ヘッド5は、インクリメンタルトラック3及びアブソリュートトラック4の双方を読み取って電気信号に変換され得る。
整合ステップ200では、走査ヘッド5が、スケール2に対してより良好に整合されているように、物体1が、初期化ステップ100で算定されたおおよその位置値に基づいて位置決めされる。
2 スケール
3 インクリメンタルトラック
4 アブソリュートトラック
5 走査本体
6 測定フレーム
10 エンコーダ
11 エンコーダ
12 エンコーダ
Claims (10)
- 測定フレーム(6)に対して少なくとも2つの自由度(Rx,Ry,Z)で移動する物体(1)に対して位置測定系を初期化する方法にあって、この場合、この位置測定系は、1つの自由度(Rx,Ry,Z)ごとに1つのスケール(2)を有する少なくとも1つのエンコーダ(10,11,12)及びスケール(1)に割り当てられた走査ヘッド(5)を備え、スケール(2)は、相対位置を測定するインクリメンタルトラック(3)及び絶対位置を測定するアブソリュートトラック(4)を有し、走査ヘッド(5)は、インクリメンタルトラック(3)及びアブソリュートトラック(4)を読み取る方法において、初期化ステップ( 100) では、インクリメンタルトラック(3)又はアブソリュートトラック(4)が、第1の評価方法によって評価され、評価結果が生成され、整合ステップ(200)では、移動する物体(1)が、評価結果に基づいて測定フレーム(6)に対して整合され、検出ステップ(300)では、アブソリュートトラック(4)が、第2の評価方法によって走査ヘッド(5)と付随するスケール(2)との整合に関する僅かな許容誤差で評価され、正確な絶対位置が、各自由度(Rx,Ry,Z)に対して算定されることを特徴とする方法。
- 初期化ステップ(100)では、アブソリュートトラック(4)が、第1の評価方法によって評価され、各自由度(Rx,Ry,Z)に対して、おおよその絶対位置が、評価結果として算定され、この場合、この第1の評価方法は、走査ヘッド(5)と付随するスケール(2)との整合に関して大きい許容誤差を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 初期化ステップ(100)で算出されたおおよその絶対位置に基づいて、物体(1)が、測定フレーム(6)に対して整合され、すなわち走査ヘッド(5)が、スケール(2)に対して整合され、その結果、僅かな許容誤差が、検出ステップ(300)で保持されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- アブソリュートトラック(4)は、基準マークを有し、この基準マークは、第1の評価方法及び第2の評価方法に基づいて評価されることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- 第1の評価方法は、おおよその割り当てを可能にし、第2の評価方法は、インクリメンタルトラック(3)に対する正確な割り当てを保証することを特徴とする請求項4に記載の方法。
- アブソリュートトラック(4)は、コードを有し、多数の絶対位置が、このコードでコード化されていること、及び、このコードは、第1の評価方法及び第2の評価方法に基づいて評価されることを特徴とする請求項2又は3に記載の方法。
- おおよその絶対位置は、アブソリュートトラック(4)だけに基づいて算定されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 初期化ステップ(100)で、インクリメンタルトラック(3)が、第1の評価方法によって評価され、このときに各自由度(Rx,Ry,Z)に対して、インクリメンタルトラック(3)のアブソリュート信号(9、A,B)の信号特性が、評価結果として算定されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 初期化ステップ(100)で算出された信号特性に基づいて、物体(1)が、測定フレーム(6)に対して整合され、すなわち走査ヘッド(5)が、スケール(2)に対して整合され、その結果、僅かな許容誤差が、検出ステップ(300)で保持されることを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 走査信号(9、A,B)の信号特性は、信号強度であることを特徴とする請求項8又は9に記載の方法。
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