JP5043530B2 - 液体吐出ヘッド用基板の製造方法 - Google Patents
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液体を吐出口から吐出させるための熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換素子と、該電気熱変換素子への電流の供給を制御するためのスイッチング素子と、該複数の電気熱変換素子を複数のグループに分けたときに、1つの前記グループに属する複数の前記電気熱変換素子に接続し、夫々が電気的に分離された複数のVH配線と、該VH配線と対となり前記グループに属する複数の前記熱変換素子に接続し、夫々が電気的に分離された複数のGNDH配線と、を表面に備えた基板を用意する工程と、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間に電圧を印加し、一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程と、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程の後に、1つの前記VH配線に対して2つが接続して設けられるように、前記表面と該表面の反対側の裏面とを貫通する複数の第1の貫通電極を設ける工程と、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程の後に、1つの前記GNDH配線に対して2つが接続して設けられるように、前記表面と前記裏面とを貫通する複数の第2の貫通電極を設ける工程と、
前記裏面に、異なる前記VH配線に接続する2つの前記第1の貫通電極に接続するように、複数の第1の裏面配線を設ける工程と、
前記裏面に、異なる前記GNDH配線に接続する2つの前記第2の貫通電極に接続するように、複数の第2の裏面配線を設ける工程と、
前記複数の第1の裏面配線のうち2つの間に電圧を印加し、2つの前記第1の裏面配線の間の抵抗値を検査する工程と、
前記複数の第2の裏面配線のうち2つの間に電圧を印加し、2つの前記第2の裏面配線の間の抵抗値を検査する工程と、
を有する。
まず、第1の電気検査の対象となる液体吐出ヘッド用基板の構成について説明する。
第2の電気検査では、第1の電気検査が行われた後の液体吐出ヘッド用基板であって、図2に示した半導体基板(チップ)に貫通電極を形成し、基板裏面より電極を取り出した基板を検査対象とする。
102 スイッチング素子
201a、201b ボンディングパッド
202a VH配線
202b GNDH配線
301a、301b プローブピン
302 電気検査回路
Claims (6)
- 液体を吐出口から吐出させるための熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換素子と、該電気熱変換素子への電流の供給を制御するためのスイッチング素子と、該複数の電気熱変換素子を複数のグループに分けたときに、1つの前記グループに属する複数の前記電気熱変換素子に接続し、夫々が電気的に分離された複数のVH配線と、該VH配線と対となり前記グループに属する複数の前記熱変換素子に接続し、夫々が電気的に分離された複数のGNDH配線と、を表面に備えた基板を用意する工程と、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間に電圧を印加し、一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程と、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程の後に、1つの前記VH配線に対して2つが接続して設けられるように、前記表面と該表面の反対側の裏面とを貫通する複数の第1の貫通電極を設ける工程と、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程の後に、1つの前記GNDH配線に対して2つが接続して設けられるように、前記表面と前記裏面とを貫通する複数の第2の貫通電極を設ける工程と、
前記裏面に、異なる前記VH配線に接続する2つの前記第1の貫通電極に接続するように、複数の第1の裏面配線を設ける工程と、
前記裏面に、異なる前記GNDH配線に接続する2つの前記第2の貫通電極に接続するように、複数の第2の裏面配線を設ける工程と、
前記複数の第1の裏面配線のうち2つの間に電圧を印加し、2つの前記第1の裏面配線の間の抵抗値を検査する工程と、
前記複数の第2の裏面配線のうち2つの間に電圧を印加し、2つの前記第2の裏面配線の間の抵抗値を検査する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程は、一対の前記VH配線と前記GNDH配線とを直流電源を備える電気検査回路の端子に接続することで行われることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
- 前記VH配線と前記GNDH配線とは、絶縁材料からなる絶縁層で被覆されており、
一対の前記VH配線と前記GNDH配線との間の抵抗値を検査する工程は、前記絶縁層に設けられた開口部に露出する前記VH配線の部分と前記GNDH配線の部分とに前記端子を接続することで行われることを特徴とする請求項2に記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 2つの前記第1の裏面配線の間の抵抗値を検査する工程は、2つの前記第1の裏面配線に直流電源を備える電気検査回路の端子を接続することで行われ、
2つの前記第2の裏面配線の間の抵抗値を検査する工程は、2つの前記第2の裏面配線に直流電源を備える電気検査回路の端子を接続することで行われることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記複数の第1の貫通電極は列状の第1の列を構成しており、導通を確認するために用いられる2つの前記第1の裏面配線は、前記第1の列の両端部の前記第1の貫通電極に接続されており、
前記複数の第2の貫通電極は列状の第2の列を構成しており、導通を確認するために用いられる2つの前記第2の裏面配線は、前記第2の列の両端部の前記第2の貫通電極に接続されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。 - 前記複数の第1の裏面配線と前記複数の第2の裏面配線との夫々には、基板外部との電気的な接続を取るための複数の接続端子が設けられていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の液体吐出ヘッド用基板の製造方法。
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