JP5040143B2 - 二次元放射線検出器およびその製造方法 - Google Patents
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なお、研磨した後は十分洗浄と乾燥をし、次の製造工程へ移行する。
次に、図3に示すごとくカーボン厚膜4の上にカーボン基板で構成される第二の基板5を接合する。次の第三および第四の製造工程においては、機械的強度が必要であり、該第二の基板5は、保持基板として機能する。また、カーボン材はX線透過率が高く、X線は第二の基板5およびカーボン厚膜4を透過して積層膜32に入射し、放射線強度に応じた電子正孔対を生起する。
前記アクティブマトリクス基板6上には画素電極(図示しない)が例えば1024×1024個のマトリクス状に配設されている。また、各画素電極に対応して電荷を読み出すためのスイッチング素子が配設されている。導電性ペーストで構成されるバンプ電極7はマトリクス状の電極であり、前記画素電極上にスクリーン印刷によって形成される。次に、図5に示すごとく、バンプ電極7を積層膜32で挟んで常温で放置すれば硬化し、二次元放射線検出器1が完成する。なお、図5では説明の都合上バンプ電極7の数は8個であるが、実際には、例えば1024×1024個でマトリクス状に配設される。
2 第一の基板
3 積層膜
4 カーボン厚膜
5 第二の基板
6 アクティブマトリクス基板
7 バンプ電極
31 積層膜
32 積層膜
Claims (1)
- CdTeまたはCdZnTeの積層膜で構成される放射線感応膜を備えた二次元放射線検出器の製造方法であって、
第一の基板上に前記積層膜を成膜する第一の工程と、
前記積層膜が露出している膜面に導電性接着層を介して第二の基板を貼り付ける第二の工程と、
前記第一の基板と前記積層膜の一部を研磨除去して膜面を露出させる第三の工程と、
該膜面にアクティブマトリクス基板を貼り付ける第四の工程
を含んでいることを特徴とする二次元放射線検出器の製造方法。
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