JP5038865B2 - 超音波探触子、超音波診断装置、及び超音波探触子の製造方法 - Google Patents
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Claims (19)
- 2次元状に配置された複数の圧電体と、
前記複数の圧電体にそれぞれ形成された複数の電極と、
前記複数の電極上に配置された柱状の複数の非導電性部材と、
前記非導電性部材の配置面側と、前記配置面側に対向する前記非導電性部材の他面側とに露出するように、前記複数の非導電性部材にそれぞれ形成された複数の第1導電性薄膜と、
を具備する超音波探触子であって、
前記複数の非導電性部材の各々は、板形状を有する第1の非導電性部材と板形状を有する第2の非導電性部材とから構成され、
前記複数の第1導電性薄膜の各々は、前記第1の非導電性部材と前記第2の非導電性部材とに挟まれている、
ことを特徴とする超音波探触子。 - 前記配置面と前記他面とには、第2導電性薄膜が形成されている請求項1記載の超音波探触子。
- 前記第1導電性薄膜は、前記電極に対して略垂直になるように前記非導電性部材に形成されている請求項1及び2の何れか一項に記載の超音波探触子。
- 前記複数の第1導電性薄膜は、互いに平行である請求項1から3の何れか一項に記載の超音波探触子。
- 前記配置面は、略直交する第1の方向及び第2の方向によって規定され、
前記非導電性部材の各々は、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って配置され、
前記第1導電性薄膜の各々は、前記第1又は第2の方向に略直交するように形成され、
前記第1導電性薄膜間の間隔は、前記第1又は第2の方向に沿う前記非導電性部材の中心間の間隔に略一致する、又は、前記第1又は第2の方向に沿う前記非導電性部材の中心間の間隔よりも狭い、
請求項4記載の超音波探触子。 - 前記配置面は、略直交する第1の方向及び第2の方向によって規定され、
前記非導電性部材の各々は、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って配置され、
前記第1導電性薄膜の各々は、前記第1又は第2の方向に略直交するように形成され、
前記第1導電性薄膜間の間隔は、前記第1又は第2の方向に沿う前記非導電性部材の中心間の間隔よりも狭い第1間隔と、前記第1間隔の略2倍の長さを有する第2間隔とである、
請求項4記載の超音波探触子。 - 前記配置面は、略直交する第1の方向及び第2の方向によって規定され、
前記非導電性部材の各々は、前記第1の方向及び前記第2の方向に沿って配置され、
前記第1導電性薄膜の各々は、前記第1又は第2の方向に対して傾くように形成され、
前記導電性薄膜間の間隔は、前記配置面の対角線の長さよりも狭い、
請求項4記載の超音波探触子。 - 前記第1導電性薄膜は、第1層の第1導電性薄膜と第2層の第1導電性薄膜とを有し、
前記第1層の第1導電性薄膜と前記第2層の第1導電性薄膜とは、樹脂系接着剤により接着されている、
請求項1から7の何れか一項に記載の超音波探触子。 - 前記第1導電性薄膜は、第1層の第1導電性薄膜と第2層の第1導電性薄膜とを有し、
前記第1層の第1導電性薄膜と前記第2層の第1導電性薄膜とは、金属溶着されている、
請求項1から8の何れか一項に記載の超音波探触子。 - 前記第1導電性薄膜は、ニッケル、クロム、銅、錫、銀、金のうち少なくとも一つの材料を含む、請求項1から9の何れか一項に記載の超音波探触子。
- 前記第2導電性薄膜は、ニッケル、クロム、銅、錫、銀、金のうち少なくとも一つの材料を含む、請求項2記載の超音波探触子。
- 前記非導電性部材は、音響インピーダンスが9〜15Mraylの無機物から構成される、請求項1から11の何れか一項に記載の超音波探触子。
- 前記非導電性部材は、雲母を含むセラミックスである、請求項1から12の何れか一項に記載の超音波探触子。
- 超音波探触子を介して超音波で被検体をスキャンする超音波診断装置において、
前記超音波探触子は、
2次元状に配置された複数の圧電体と、
前記複数の圧電体にそれぞれ形成された複数の電極と、
前記複数の電極上に配置された柱状の複数の非導電性部材と、
前記非導電性部材の配置面側と、前記配置面側に対向する前記非導電性部材の他面側とに露出するように、前記複数の非導電性部材にそれぞれ形成された複数の導電性薄膜と、
を具備し、
前記複数の非導電性部材の各々は、板形状を有する第1の非導電性部材と板形状を有する第2の非導電性部材とから構成され、
前記複数の第1導電性薄膜の各々は、前記第1の非導電性部材と前記第2の非導電性部材とに挟まれている、
ことを特徴とする超音波診断装置。 - 前記複数の電極をそれぞれ電気的に引き出すための複数の配線が形成されたフレキシブルプリント板をさらに備え、
前記複数の電極は、前記フレキシブルプリント板を介して、前記超音波探触子に駆動信号を送信する送信回路、前記超音波探触子からのエコー信号を受信する受信回路、及び接地レベルの少なくとも1つに接続される、
請求項14記載の超音波診断装置。 - 前記フレキシブルプリント板は、前記複数の非導電性部材、又は、前記複数の非導電性部材の前記他面にそれぞれ接合された複数の導電性部材に接続される、
請求項15記載の超音波診断装置。 - 複数の板状の非導電性部材それぞれの少なくとも一面に導電性薄膜を形成し、
前記導電性薄膜が形成された複数の非導電性部材を接合することにより、非導電性部材ブロックを構成し、
前記構成された非導電性部材ブロックを前記一面に略直交する方向に切削することにより、複数の板状の整合層部材を形成する、
超音波探触子の製造方法。 - 両面に電極が接合された板状の圧電材料と、互いに平行な複数の導電性薄膜を有する板状の整合層部材とを、前記電極と前記導電性薄膜とが略直交するように接合し、
前記接合された整合層部材と前記圧電部材とを、前記整合層部材と前記圧電部材との接合面に関し縦横に切削することにより、複数の素子を形成する、
超音波探触子の製造方法。 - 2次元状に配置された複数の圧電体と前記複数の圧電体に形成された複数の電極とを有する圧電振動子と、
前記圧電振動子上に設けられ、2次元状に配置された複数の非導電性部材と前記複数の電極を前記複数の非導電性部材の表面にそれぞれ電気的に引き出すための複数の導電性薄膜と、を有する音響整合層と、
を具備する超音波探触子であって、
前記複数の非導電性部材の各々は、板形状を有する第1の非導電性部材と板形状を有する第2の非導電性部材とから構成され、
前記複数の導電性薄膜の各々は、前記第1の非導電性部材と前記第2の非導電性部材とに挟まれている、
ことを特徴とする超音波探触子。
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