JP5132333B2 - 超音波探触子及び超音波探触子の製造方法 - Google Patents
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- 2次元状に配置された複数の圧電体と、
前記複数の圧電体に形成された複数の電極と、
前記複数の電極上に配置され、四角柱に含まれ前記電極に垂直な4つの稜部のうちの少なくとも一つが前記電極に略平行する両面にわたって欠かれたことによって形成された壁面をそれぞれ有する複数の非導電体と、
前記複数の壁面にそれぞれ形成された複数の第1導電性薄膜と、
を具備する超音波探触子であって、
前記複数の非圧電体は、所定の厚みを有し、格子状の切削溝を隔ててそれぞれ配置され、
前記切削溝は、前記厚み方向に略直交する縦方向に沿って第1間隔をおいて、前記厚み方向と前記縦方向とに略直交する横方向とに沿って第2間隔をおいて複数の交点を有し、
前記複数の交点位置のうちの前記縦方向、前記横方向、及び斜め方向に沿って所定個数おきにある交点位置には、前記切削溝の幅より大きい径を有する略円柱状の貫通孔が形成され、
前記複数の第1導電性薄膜の各々は、前記貫通孔に接する、
超音波探触子。 - 前記非導電体は、前記電極に略平行する上面及び下面と、前記上面及び下面に略直交する5つの側面とを有し、
前記壁面は、前記5つの側面のうちの一つである、
請求項1記載の超音波探触子。 - 前記貫通孔は、前記切削溝の全交点のうち1/4以上の割合で形成される請求項1記載の超音波探触子。
- 前記非導電体は、音響インピーダンスが9〜15MRaylの無機物から構成される請求項1記載の超音波探触子。
- 前記非導電体は、雲母を主成分とするセラミックから構成される請求項1記載の超音波探触子。
- 前記第1導電性薄膜は、ニッケル、クロム、銅、金のうちの少なくとも一つの成分を含む請求項1記載の超音波探触子。
- 前記非導電体の前記上下面には、第2導電性薄膜が形成される請求項1記載の超音波探触子。
- 前記第2導電性薄膜は、ニッケル、クロム、銅、金のうちの少なくとも一つの材料を含む請求項7記載の超音波探触子。
- 前記貫通孔の径は、0.1〜0.3mmである請求項1記載の超音波探触子。
- 前記貫通孔には、前記切削溝と重なる部分を除いて樹脂が充填されている、請求項1記載の超音波探触子。
- 厚さ方向に略直交する表面に電極が形成された板状の圧電体部材と、前記厚さ方向に略直交する縦方向に沿って第1間隔をおいて、前記厚さ方向と前記縦方向とに略直交する横方向に沿って第2間隔おいて設けられた複数の貫通孔を有し、前記複数の貫通孔の内面に導電性薄膜がそれぞれ形成された板状の非導電性部材と、を前記厚さ方向に沿って接合することによってブロックを構成し、
前記構成されたブロックを、切削溝が前記貫通孔と隣り合う2つの前記貫通孔の中心とを通るように、前記縦方向に沿って前記第1間隔の半分の間隔で、前記横方向に沿って前記第2間隔の半分の間隔で切削することにより、複数の素子を形成する、
超音波探触子の製造方法。 - 2次元上に配置された複数の圧電体と前記複数の圧電体にそれぞれ形成された複数の電極とを有する複数の圧電素子と、
前記複数の電極上に配置される複数の音響整合素子と、を具備し、
前記複数の音響整合素子のそれぞれは、
前記複数の電極上に配置され、交点部分に円柱形状の空洞領域を有する略十字状の切削溝が形成された非導電体と、
前記空洞領域の内面に形成された導電性薄膜と、
を具備する超音波探触子。 - 格子状に設けられた切削溝が形成された圧電振動子と、
前記圧電振動子上に設けられ、前記切削溝が形成された非導電性を有する音響整合層とを具備し、
前記音響整合層は、
前記切削溝の複数の交点位置に、前記音響整合層を貫通する複数の貫通孔を有し、
前記複数の貫通孔の内面には第1導電性薄膜が形成されている、
超音波探触子。
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