JP5035700B2 - 逆バイアス安全動作領域測定装置 - Google Patents
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図1は、この発明の実施の形態1に従う逆バイアス安全動作領域測定装置の構成を示す図である。図1において、被測定素子1に対し、逆バイアス安全動作領域測定回路2が接続される。被測定素子1は、たとえばベアチップ状態のIGBT4が構成される。被測定素子1は、IGBTではなくバイポーラトランジスタであってもよく、ベアチップ状態で、逆バイアス安全動作領域の測定を行うことが可能な素子であればよい。以下の説明においては、被測定素子1として、IGBT4が示されるが、バイポーラトランジスタであってもよいため、単に被測定素子1と称す。
図10は、この発明の実施の形態2に従う逆バイアス安全動作領域測定装置の構成を示す図である。この図10に示す測定回路2は、以下の点で、図1に示す測定回路1とその構成が異なる。すなわち、被測定素子1のコレクタ−エミッタ間に逆方向に接続されるダイオード素子として、ショットキーダイオード18が用いられる。この図10示す測定回路2の他の構成は、図1に示す測定回路の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
図11は、この発明の実施の形態3に従う測定回路の構成を示す図である。図11においては、被測定素子1のコレクタ−エミッタ間には、ダイオード素子は設けられない。一方、クランプ回路10において、クランプダイオード15のカソードとクランプコンデンサ17の間に順方向にダイオード20が接続される。すなわち、ダイオード20は、アノードがクランプダイオード15のカソードに接続され、そのカソードがコンデンサ17の正電極に接続される。この図11に示す測定回路の他の構成は、図1に示す測定回路の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
図12は、この発明の実施の形態4に従う逆バイアス安全動作領域測定装置の構成を示す図である。図12に示す測定装置は、以下の点で、図11に示す測定装置とその構成が異なる。すなわち、測定回路2内のクランプ回路10において、逆流防止ダイオード20と並列に、クランプダイオード15のカソードとクランプコンデンサ17の正電極の間に抵抗素子22が接続される。この図12に示す測定装置の他の構成は、図11に示す測定装置の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
図13は、この発明の実施の形態5に従う逆バイアス安全動作領域測定装置の構成を示す図である。図13に示す測定装置は、図12に示す測定装置と以下の点で、その構成が異なる。すなわち、クランプ回路10において、逆流防止ダイオード20に接続されるクランプコンデンサ17と別に、抵抗素子22と接地ノードの間に第2のクランプコンデンサ24を設ける。図13に示す測定回路2の他の構成は、図12に示す測定回路2の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
図14は、この発明の実施の形態6に従う逆バイアス安全動作領域測定装置の構成を示す図である。この図14に示す測定回路2は、以下の点で、図13に示す測定回路の構成と異なる。すなわち、クランプ回路10において、抵抗素子22とダイオード26の直列体が、クランプダイオード15のカソードと接地ノードの間に接続される。ダイオード26は、カソードがクランプダイオード15のカソードに接続され、アノードが抵抗22に接続される。図14に示す測定回路2の他の構成は、図13に示す測定回路2の構成と同じであり、対応する部分には同一参照番号を付し、その詳細説明は省略する。
Claims (6)
- 第1および第2の主電極と制御電極とを有するトランジスタ素子の逆バイアス安全動作領域を測定するための装置であって、
前記トランジスタ素子の第1および第2の主電極の間に逆並列に接続される、前記トランジスタ素子の耐圧よりも高い耐圧を有するダイオード素子、および
前記トランジスタ素子の第1主電極の電圧をクランプするクランプ回路を備える、逆バイアス安全動作領域測定装置。 - 前記ダイオード素子は、逆回復電流の小さなダイオード素子である、請求項1記載の逆バイアス安全動作領域測定装置。
- 第1および第2の主電極と制御電極とを有するトランジスタ素子の逆バイアス安全動作領域を測定するための装置であって、
クランプ電源、
前記クランプ電源の生成する電圧により充電されるクランプコンデンサ、
前記トランジスタ素子の第1の主電極と前記クランプ電源との間に接続されるクランプダイオード、および
前記クランプダイオードと前記コンデンサとの間に前記クランプダイオードと同一方向に接続される逆流防止ダイオードを備える、逆バイアス安全動作領域測定装置。 - 前記逆流防止ダイオードと並列に接続される抵抗素子をさらに備える、請求項3記載の逆バイアス安全動作領域測定装置。
- 前記クランプ電源と並列に接続される抵抗および第2コンデンサの直列体をさらに備える、請求項3記載の逆バイアス安全動作領域測定装置。
- 前記クランプ電源と並列に接続される抵抗および第2ダイオードの直列体をさらに備え、前記第2ダイオードは、前記クランプ電源に対して逆方向に接続される、請求項3記載の逆バイアス安全動作領域測定装置。
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