JP5017975B2 - 表面改質方法及び表面改質装置 - Google Patents
表面改質方法及び表面改質装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5017975B2 JP5017975B2 JP2006247651A JP2006247651A JP5017975B2 JP 5017975 B2 JP5017975 B2 JP 5017975B2 JP 2006247651 A JP2006247651 A JP 2006247651A JP 2006247651 A JP2006247651 A JP 2006247651A JP 5017975 B2 JP5017975 B2 JP 5017975B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- surface modification
- workpiece
- spraying
- light emitting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
- Y02P20/50—Improvements relating to the production of bulk chemicals
- Y02P20/52—Improvements relating to the production of bulk chemicals using catalysts, e.g. selective catalysts
Landscapes
- Paints Or Removers (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
Description
以下、本発明を具体化した実施例について図面に従って説明する。
尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
本実施形態では、本発明の特徴的な表面改質装置と、この表面改質装置を用いて表面改質する場合の例について図1〜図9に従って説明する。
最初に表面改質装置について説明する。図1は、表面改質装置の構成を示す模式斜視図である。表面改質装置1により、紫外線が照射され、ワークの表面が改質される。
図1に示すように、表面改質装置1には、直方体形状に形成される基台2が備えられている。本実施形態では、この基台2の長手方向をY方向とし、同Y方向と直交する方向をX方向とする。
UV光源制御装置17は、発光装置14に電力を供給すると共に、誘導体バリアランプを冷却して、温度管理を行う装置である。
次に本発明の表面改質方法について図3〜図6にて説明する。図3は、表面改質方法のフローチャートであり、図4〜図6は表面改質方法を説明する図である。
図6(a)は、発光装置14と対向する場所を、テーブル4が通過し終えた図である。テーブル4は、基板7,8に紫外線37が照射される場所から移動して、紫外線37が照射されない場所に移動するまで、気体36が吹付けられる。
(1)本実施形態によれば、基板7,8に酸素を含有する気体36を吹付ける吹付け工程と、基板7,8に紫外線37を照射する照射工程とが同時に行われる。気体36中にて、紫外線37を照射することで、基板7,8の表面を活性化し、酸素と接触させることにより、酸化することができる。このとき、酸素も紫外線37の照射を受け活性化し、オゾンガスに変化する。オゾンガスは酸化作用が強いことから、基板7,8を酸化し過ぎてしまう場合がある。
次に、本発明を具体化した表面改質装置の一実施形態について図7の表面改質装置の模式斜視図を用いて説明する。
この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、図1に示した吹付け装置9,10の配置が異なる点にある。
(1)本実施形態によれば、第1の実施形態において図1に示す吹付け装置9,10が、無くなっていることから、吹付け装置9,10に気体を供給する配管が不要となる。テーブル4は移動することから、テーブル4に配置される配管は、柔軟性が要求され、痛み易くなる。一方、発光装置14は固定されている為、発光装置14に配置される配管は、固定され、痛みにくい配置となる。従って、配管の保守を容易にすることができる。
次に、本発明を具体化した表面改質装置の一実施形態について図8の表面改質装置の模式斜視図を用いて説明する。
この実施形態が第1の実施形態と異なるところは、図1に示した吹付け装置15,16の配置が異なる点にある。
(1)本実施形態によれば、第1の実施形態において図1に示す吹付け装置15,16が、排除されている。発光装置14の内部には、紫外線を発光するランプが配置されている。このランプが発光する紫外線強度は、経時変化して弱くなり、所定の紫外線強度になったとき、ランプを交換する必要がある。本実施形態では、発光装置14の周囲に吹付け装置15,16がないことから、ランプを交換し易い構造となっている。従って、紫外線を発光するランプ交換をし易い表面改質装置45とすることができる。
次に、本発明を具体化した表面改質装置の一実施形態について図9の表面改質装置の模式斜視図を用いて説明する。
この実施形態が第3の実施形態と異なるところは、図8に示したテーブル4が固定され、発光装置14が移動可能となっている点にある。
(1)本実施形態によれば、吹付け装置9,10,46,47は、基台2に対して固定している。つまり、吹付け装置9,10,46,47に気体を供給する配管も基台2に対して、固定されることとなる。第3の実施形態の様に、配管が移動することなく、固定されることから配管の劣化が少なくなり、保守し易い装置とすることができる。
前記第1の実施形態において、発光装置14は、キセノンガスを封入した誘電体バリアランプを採用し、波長172nmの紫外線を照射したが、クリプトンガス、アルゴンガスを封入した誘電体バリアランプを用いても良い。同様な効果が得られる。
前記第1の実施形態では、制御装置20のメモリ25内に動作手順に沿ったプログラム32を記憶し、プログラム32により表面改質装置1の制御を行ったが、これに限らず、電気回路にて構成される制御装置にて制御しても良い。周辺機器が手順通りに制御されれば良い。
Claims (10)
- 被加工物の表面に紫外線を照射して、前記表面を改質する表面改質方法であって、
酸素を含有する気体から水分を除去する乾燥工程と、
前記被加工物に乾燥した前記気体を吹付ける吹付け工程と、
発光装置が発光する紫外線を前記被加工物の前記表面に照射する照射工程と、
前記吹付け工程で吹付ける気体を排気する排気工程と
を有し、
前記排気工程では、前記被加工物の間に形成された排気孔を通って排気することを特徴とする表面改質方法。 - 請求項1に記載の表面改質方法であって、
前記吹付け工程において、前記気体を吹付けるとき、前記被加工物に向けて前記気体を吹付けることを特徴とする表面改質方法。 - 請求項1又は2に記載の表面改質方法であって、
前記吹付け工程において、前記気体を吹付けるとき、前記被加工物に対して周囲から取り囲むように行うことを特徴とする表面改質方法。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の表面改質方法であって、
前記照射工程では、前記発光装置と前記被加工物とを相対移動して、前記被加工物に紫外線を照射することを特徴とする表面改質方法。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の表面改質方法であって、
前記発光装置は、エキシマを形成するキセノン、もしくはキセノンを主成分とする放電用ガスを充たした誘電体バリア放電エキシマランプを放電して、前記紫外線を発光することを特徴とする表面改質方法。 - 被加工物の表面に紫外線を照射して、前記表面を改質する表面改質装置であって、
前記紫外線を発光する発光装置と、
酸素を含む気体を供給する気体供給装置と、
前記気体から水分を除去する乾燥装置と、
乾燥した前記気体を前記被加工物と前記発光装置との間に吹付ける吹付け装置と、
前記吹付け装置で吹付ける気体を排気する排気孔と
を有し、
前記排気孔は、前記被加工物の載置面に形成されていることを特徴とする表面改質装置。 - 請求項6に記載の表面改質装置であって、
前記吹付け装置は、前記気体を吹付けるとき、前記被加工物に向けて前記気体を吹付けることを特徴とする表面改質装置。 - 請求項6又は7に記載の表面改質装置であって、
前記吹付け装置は、前記気体を吹付けるとき、前記被加工物に対して周囲から取り囲むように行うことを特徴とする表面改質装置。 - 請求項6〜8のいずれか一項に記載の表面改質装置であって、
移動テーブルを備え、前記移動テーブルは、前記発光装置と前記被加工物とを相対移動して、前記被加工物に紫外線を照射することを特徴とする表面改質装置。 - 請求項6〜9のいずれか一項に記載の表面改質装置であって、
前記発光装置は、ランプと反射鏡とを備え、不活性ガスが充填されたランプハウス内に配置されていることを特徴とする表面改質装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006247651A JP5017975B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 表面改質方法及び表面改質装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006247651A JP5017975B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 表面改質方法及び表面改質装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008069390A JP2008069390A (ja) | 2008-03-27 |
JP5017975B2 true JP5017975B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=39291235
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006247651A Expired - Fee Related JP5017975B2 (ja) | 2006-09-13 | 2006-09-13 | 表面改質方法及び表面改質装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5017975B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2015162714A1 (ja) * | 2014-04-23 | 2015-10-29 | 日産自動車株式会社 | 表面処理装置及び表面処理方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4014729B2 (ja) * | 1998-06-05 | 2007-11-28 | クリーン・テクノロジー株式会社 | Uv洗浄装置 |
JP2000286251A (ja) * | 1999-03-31 | 2000-10-13 | Japan Storage Battery Co Ltd | 紫外線処理装置 |
JP2001079387A (ja) * | 1999-09-17 | 2001-03-27 | Hoya Schott Kk | 紫外光照射装置及び方法 |
JP4046636B2 (ja) * | 2003-04-11 | 2008-02-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
-
2006
- 2006-09-13 JP JP2006247651A patent/JP5017975B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008069390A (ja) | 2008-03-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5019156B2 (ja) | エキシマランプ装置 | |
US7514015B2 (en) | Method for surface cleaning | |
JP5043406B2 (ja) | 基板乾燥方法および基板乾燥装置 | |
KR100677661B1 (ko) | 자외광 조사장치 및 방법 | |
US7695570B2 (en) | Processing-subject cleaning method and apparatus, and device manufacturing method and device | |
US6701942B2 (en) | Method of and apparatus for removing contaminants from surface of a substrate | |
US20080047577A1 (en) | Substrate Cleaning Device and Cleaning Method Thereof | |
US20050205521A1 (en) | Wet etching apparatus and wet etching method | |
JP3768440B2 (ja) | 基板周縁処理装置および基板周縁処理方法 | |
US6588122B2 (en) | Method for treating surfaces of substrates and apparatus | |
JP5017975B2 (ja) | 表面改質方法及び表面改質装置 | |
WO2016208110A1 (ja) | 光処理装置および光処理方法 | |
JP2008103556A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
KR100420251B1 (ko) | 성막 장치 | |
JP2007227496A (ja) | アッシング処理装置およびアッシング処理方法 | |
JP4811208B2 (ja) | 表面改質方法及び表面改質装置 | |
JP2010017732A (ja) | レーザ加工装置 | |
WO2018159006A1 (ja) | 露光装置、基板処理装置、基板の露光方法および基板処理方法 | |
JP5783472B2 (ja) | アッシング装置 | |
JP3992894B2 (ja) | 洗浄装置 | |
JP7038004B2 (ja) | 光学部品の洗浄方法及び洗浄装置 | |
JP2003077885A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2008068278A (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP2008049255A (ja) | 光照射装置 | |
JP2017017070A (ja) | 光処理装置および光処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111129 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120412 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120528 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5017975 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150622 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |