JP5017018B2 - 顕微鏡 - Google Patents
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Description
図3および図4は、特許文献1に記載の従来の顕微鏡ユニット101の断面図およびその要部を拡大した断面図である。
図3、4に示すように、顕微鏡ユニット101は、内部に観察光軸Aおよび照明光軸Bが形成される本体110と、この本体110の物体面(図中の下方)側の端部に着脱自在に取り付けられるレボルバ103と、本体110にレボルバ103を介して取り付けられる対物レンズ102とを備えている。
第1本体111は、CCDカメラ等の観察装置(不図示)に接続される筒状部材106と、この筒状部材106に接続される角筒部材105と、これら角筒部材105および第2本体112に接続される分岐部材104とから構成されている。
また、板状のハーフミラー107を保持する保持部材108が観察光軸Aに沿って、分岐部材104にねじ止めされている。
第2本体112の一端は分岐部材104の開口部に挿入され、第2本体112の他端には、光ファイバ109が接続されている。この光ファイバ109は、図示しない照明光源から発せられる照明光を第2本体112内部に照射するようになっている。
ここで、前記被照射面は、前記照明光の照射方向に尖った円錐状の曲面に形成されていることが好ましい。
また、ハーフミラーを透過した照明光の一部は、筒状の保持部材の内部を通って、閉塞端に形成された被照射面に照射される。照射された光は、被照射面すなわち照明光の照射方向に尖った円錐状の曲面によって反射される。さらに、被照射面で反射した光は、保持部材における被照射面およびハーフミラー間の保持部材の筒状の内側面によっても反射される。このように被照射面および内側面で複数回反射されることによって光が減衰するので、再びハーフミラーに到達する光量が小さくなり、フレア光をさらに軽減させることができる。
ここで、筒状の保持部材をその軸方向に延長させれば、保持部材の内側面での反射回数が増加するので光がより減衰し、フレア光を一層軽減させることができる。
また、ハーフミラーが保持部材によって保持され、この保持部材の内部に被照射面が形成されているので、従来と同じ部品点数のままとすることができ、構造を複雑化することなく、安価にフレア光を軽減させることができる。
本発明によれば、保持部材が、本体に形成された開口部に挿入された状態で固定され、この開口部が照明光の光軸上に形成されているので、組立調整時に、保持部材を照明光の光軸に沿って容易に移動させることができ、観察光の光軸に対するハーフミラーの位置決め作業が容易となる。
図1および図2は、本実施形態の顕微鏡としての顕微鏡ユニット1を示す断面図およびその要部を拡大して示す断面図である。
図1に示すように、顕微鏡ユニット1は、内部に観察光軸Aおよび照明光軸Bが形成される本体10と、この本体10の物体面(図中の下方)側の端部に着脱自在に取り付けられるレボルバ3と、本体10に直接あるいはレボルバ3を介して間接に取り付けられる対物レンズ2とを備えて構成されている。レボルバ3には複数の対物レンズ2が取り付けられるとともに、レボルバ3は本体10に回動自在に取り付けられている。
角筒部材5は、複数のレンズを有するレンズホルダ51を収納し、また、角筒部材5の一外側面を被設置機器(不図示)に取り付けることによって、顕微鏡ユニット1を被設置機器に組込むことができるように構成されている。
また、分岐部材4に対してレボルバ3は、取付リング31及び取付ねじ32で取り付け可能とされている。
物体面で反射した光は、対物レンズ2によって平行光とされ、ハーフミラー7を透過する。ハーフミラー7を透過した光は、レンズホルダ51内の複数のレンズに導かれ、レンズホルダ51内の複数のレンズによって集光される。さらに、集光された光は、筒状部材6を通って、CCDカメラ等の観察装置において結像される。
また、顕微鏡ユニット1は、例えば、画像処理装置を備えた被設置機器に組込まれ、画像処理装置と併用されることによって、寸法測定・形状検査・位置決め等ができるように構成されている。
保持部材8は、図2に示すように、照明光軸Bと同一軸を有する筒状に形成され、第2本体12側の開口端83に、ハーフミラー7を斜め45度に傾斜した状態で保持している。
保持部材8の第2本体12とは反対側の閉塞端86の内部には、照明光軸B上に位置する被照射面81が形成されている。この被照射面81は、照明光の照射方向に尖った円錐曲面状に形成され、本発明の照明光軸Bに直交しない面を構成する。
また、保持部材8の図中の上側には、物体面から対物レンズ2を介してハーフミラー7を透過した光を観察像側に照射するための通過孔82が形成されている。
このようにして保持部材8が製造され、キリ穴の先端部に円錐状の曲面である被照射面81が形成される。
このように形成された保持部材8によって、ハーフミラー7に照射された照明光の一部がハーフミラー7を透過した場合に、その照明光が保持部材8の被照射面81を照射するようになっている。
光ファイバ9からの照明光は、ハーフミラー7に入射されると、照明光の一部は、ハーフミラー7によって対物レンズ2側に反射されるが、照明光の残りの一部は、ハーフミラー7を透過する。ハーフミラー7を透過した照明光は、保持部材8の内部を通って、照明光とは反対側の閉塞端に形成された被照射面81に照射される。被照射面81に照射された光は、照明光の照射方向に尖った円錐状の曲面によって反射される。被照射面81が照明光軸Bと直交していないので、被照射面81によって反射される光の光軸は、照明光軸Bと平行でなくなる。さらに、被照射面81によって反射される光は、筒状の保持部材8におけるハーフミラー7および被照射面81との間に位置する内側面84によっても複数回(図2では、2回)反射されることになる。このようにして、ハーフミラー7を透過した照明光は、被照射面81および内側面84での反射によって減衰する。
まず、保持部材8にハーフミラー7を固定し、保持部材8を分岐部材4に形成された開口部42に挿入する。
次に、保持部材8を照明光軸Bに沿って移動させて、観察光軸Aに対してハーフミラー7が所定の位置となるように、保持部材8の位置を調整する。
保持部材8の位置が決まったら、分岐部材4と保持部材8とを連通する雌ねじを加工し、この雌ねじに止めねじ85を螺合させて、保持部材8と分岐部材4とを締結固定する。
このようにして、ハーフミラー7を位置決め調整し、保持部材8を分岐部材4に固定することができる。
(1)従来のように照明光軸Bと直交する保持部材の内壁181(図4)によって反射され再びハーフミラー107に到達する光量と比べて、本発明では、被照射面81によって反射された光の光軸が照明光軸Bと平行でなくなるので、再びハーフミラー7に到達する光量が減少する。よって、ハーフミラー7によって観察像側に反射される光量が少なくなり、フレア光を軽減させることができる。
例えば、前記実施形態のハーフミラーとしては、光の一部を反射し、残りの一部を透過するものであれば、前記実施形態のような板状の光学素子に限らず、例えば、プリズム型の光学素子であってもよい。
2…対物レンズ
7…ハーフミラー
8…保持部材
10…本体
42…本体の開口部
81…被照射面
82…通過孔
83…開口端
86…閉塞端
A…観察光軸(対物レンズの光軸)
B…照明光軸。
Claims (3)
- 本体と、この本体の物体面側の端部に取り付けられた対物レンズと、この対物レンズの光軸上に配置され当該対物レンズよりも観察像側の前記本体内部に設けられたハーフミラーとを備え、このハーフミラーに照明光が入射され、このハーフミラーに入射された照明光は、このハーフミラーで反射して前記対物レンズを通して前記物体面を照射するとともに、前記物体面から前記対物レンズに入射された光は、前記ハーフミラーを透過して前記観察像側で結像される顕微鏡であって、
前記本体は、前記ハーフミラーを保持する保持部材を有し、
前記保持部材は、前記照明光の光軸と同一の中心軸を有する筒状に形成され、
前記筒状の保持部材の開口端を覆うように前記ハーフミラーが固定され、
前記保持部材の前記開口端とは反対側の閉塞端の内部には、前記ハーフミラーを透過した照明光が照射される被照射面が設けられ、
前記被照射面は、前記照明光の光軸と直交しない面に形成され、
前記保持部材には、前記物体面から前記対物レンズを介してハーフミラーを透過した光を観察像側に照射するための通過孔が形成されている
ことを特徴とする顕微鏡。 - 請求項1に記載の顕微鏡において、
前記被照射面は、前記照明光の照射方向に尖った円錐状の曲面に形成されていることを特徴とする顕微鏡。 - 請求項1または請求項2に記載の顕微鏡において、
前記本体には、前記照明光の光軸上に本体内部と連通する開口部が形成され、
前記保持部材は、前記開口部に挿入された状態で前記本体に固定されていることを特徴とする顕微鏡。
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JPH10197800A (ja) * | 1997-01-09 | 1998-07-31 | Nikon Corp | 落射照明光学系 |
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2007
- 2007-08-21 JP JP2007214605A patent/JP5017018B2/ja active Active
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