JP5016677B2 - 光電子水準器を備えた傾斜センサ - Google Patents
光電子水準器を備えた傾斜センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5016677B2 JP5016677B2 JP2009537495A JP2009537495A JP5016677B2 JP 5016677 B2 JP5016677 B2 JP 5016677B2 JP 2009537495 A JP2009537495 A JP 2009537495A JP 2009537495 A JP2009537495 A JP 2009537495A JP 5016677 B2 JP5016677 B2 JP 5016677B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- cover glass
- light source
- bubble
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/02—Details
- G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/18—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids
- G01C9/24—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels by using liquids in closed containers partially filled with liquid so as to leave a gas bubble
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C9/00—Measuring inclination, e.g. by clinometers, by levels
- G01C9/02—Details
- G01C9/06—Electric or photoelectric indication or reading means
- G01C2009/066—Electric or photoelectric indication or reading means optical
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Measurement Of Levels Of Liquids Or Fluent Solid Materials (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Optical Measuring Cells (AREA)
Description
この傾斜センサの問題点は、傾斜の方向と程度を把握できないことである。このような傾斜センサを備えた装置の自動位置合わせは不可能である。更なる問題点は、全反射の成分が発光器と検出器との間隔が十分大きい場合のみ有効であることであり、その結果大型で高価なセンサが必要になる。水準器の寸法や所望される調整範囲(傾斜角)によっては、気泡−ガラス接触面での全反射を利用できなくなる恐れがある。
・センサの側方寸法及びこれに伴う製造コストを大幅に削減できる。
・全反射方式と異なり光源の最大明度の領域でも散乱光の生成が行われる。これにより非常に良好なSN比と高い検出感度が達成される。
・傾斜測定の再現性に対する温度変化の好ましくない影響が、JP10227635Aによる全反射方式に比べて著しく低減する。なぜならば、発光する気泡−カバーガラス接触面の温度変化による相対的変化は、上記接触面の外周におけるリング状又はストライプ状の領域から出る全反射光の相対的変化よりも常に小さいからである。
・光源からガラス−気泡接触面を通って前方に伝達される光成分は、気泡の球状内面で公知のウルブリヒト球の作用に類似する方式により反射され、それによって気泡とガラスの微細粗さを有する境界面での散乱光生成に追加的に寄与する。
図2は光電子水準器の光学的機構を示す。
図3は拡散効果の説明図である。
図4はチップ基板の平面図である。
図5はチップ基板の平面図である。
液体3はガラスと液体の境界面5でカバーガラス1.3と接触している。測定モジュール2においてチップ基板2.1内に光学素子が設けられている。凹部2.2内に好ましくはLEDから成る光源2.3がある。受光器2.4は光源からほぼ等間隔でチップ基板2.1の表面に配置されている。
E1:光源(LED)と受光器(ピン・ダイオード)の直接的な光学的クロストーク。
E2:水準器ハウジングの床及び壁並びにカバーガラス周囲における反射若しくは発光。
E3:屈折率が等しくない場合のカバーガラスと液体の境界面におけるフレネル反射又は拡散光生成。
E4:光学的に平滑な境界面におけるフレネル反射及び/又はガラスと気泡の微細粗さを有する境界面における拡散光生成。
E5:気泡内側のフレネル反射。
E6:限界角度条件を超えた場合のガラスと気泡の境界面における全反射。
E7:気泡のメニスカスにおける全反射。
チップ基板2.1は直接カバーガラス1.3上に取り付けるか、或いはカバーガラス1.3とチップ基板2.1との間にあってカバーガラス(1.3)と共に光学的ユニットを構成するガラス基板と接合できる。
1.1 ハウジング
1.2 吸光面
1.3 カバーガラス
1.3.1 微細粗さを有する表面
2 測定モジュール
2.1 チップ基板
2.2 凹部
2.3 光源
2.4 受光器
2.4.1 第1の受光器
2.4.2 第2の受光器
2.4.3 第3の受光器
2.4.4 第4の受光器
2.5 接続区域
3 液体
4 気泡
5 ガラス−液体境界面
E1 光学的クロストーク
E2 内壁における反射及び発光
E3 屈折率が等しくない場合のガラス−液体境界面におけるフレネル反射又は拡散光生成
E4 ガラス−空気境界面におけるフレネル反射又は拡散光生成
E5 気泡内側のフレネル反射
E6 ガラス−空気境界面における全反射
E7 気泡のメニスカスにおける全反射
Claims (9)
- ハウジング(1.1)内でカバーガラス(1.3)の下に液体(3)と気泡(4)を入れた水準器(1)を備え、カバーガラス(1.3)の上方に光源(2.3)が配置されている傾斜センサにおいて、カバーガラス(1.3)の上方に少なくとも2個の受光器(2.4)が配置されており、光源(2.3)から放出されて、気泡(4)が中心にある場合には気泡(4)と接するカバーガラス(1.3)の表面で拡散する光(L)を前記少なくとも2個の受光器(2.4)によって検出でき、気泡(4)が中心にない場合には、前記受光器(2.4)によって異なる量の光を検出でき、光源(2.3)と受光器(2.4)は共通のチップ基板(2.1)の上に配置され、チップ基板(2.1)の機能面がカバーガラス(1.3)の上に、又はカバーガラス(1.3)と共に光学的ユニットを形成するガラス基板の上に配置され、カバーガラス(1.3)の液室に向いた面が微細粗さを備えていることを特徴とする傾斜センサ。
- 光源(2.3)の周囲に少なくとも4個の受光器(2.4.1、2.4.2...2.4.4)が配置されており、光源(2.3)から放出されて、気泡(4)が中心にある場合は気泡(4)と接するカバーガラス(1.3)の表面で拡散する光(L)を前記少なくとも4個の受光器(2.4.1、2.4.2...2.4.4)によって検出できることを特徴とする、請求項1記載の傾斜センサ。
- 気泡(4)が中心にある場合には光源(2.3)は気泡(4)の上の中心に配置されていることを特徴とする、請求項1又は2記載の傾斜センサ。
- 光源(2.3)の周囲に少なくとも4個の受光器(2.4.1...2.4.4)が配置されており、それら受光器(2.4.1...2.4.4)はカバーガラス(1.3)と平行な平面上で光源(2.3)と関連する受光器(2.4.1...2.4.4)の間とを通る仮想線にそれぞれ沿って複数のセグメントに分割されており、拡散する光が前記セグメントによってそれぞれ他のセグメントと関わりなく検出できることを特徴とする、請求項1記載の傾斜センサ。
- ハウジング(1.1)は内側に吸光面(1.2)を有することを特徴とする、請求項1乃至4のいずれか1項に記載の傾斜センサ。
- 光源(2.3)が単色光を放出し、この波長の光を吸収する水準器液が使用されることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の傾斜センサ。
- 前記液体が光源(2.3)の波長範囲で吸収を引き起こす色素を含むことを特徴とする、請求項6に記載の傾斜センサ。
- カバーガラス(1.3)と液体(3)との間の屈折率の差を小さくするために、カバーガラス(1.3)に液体(1.3)の屈折率に近似する素材が使用されることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の傾斜センサ。
- カバーガラス(1.3)と液体(3)との間の屈折率の差を小さくするために、液体(3)の屈折率は容積比の異なる種々の液体の混合によって調整されることを特徴とする、請求項1乃至8のいずれか1項に記載の傾斜センサ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102006056072.8 | 2006-11-28 | ||
DE102006056072A DE102006056072B3 (de) | 2006-11-28 | 2006-11-28 | Neigungssensor mit optoelektronischer Libelle |
PCT/EP2007/008406 WO2008064731A1 (de) | 2006-11-28 | 2007-09-27 | Neigungssensor mit optoelektronischer libelle |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010510503A JP2010510503A (ja) | 2010-04-02 |
JP5016677B2 true JP5016677B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=38895798
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009537495A Active JP5016677B2 (ja) | 2006-11-28 | 2007-09-27 | 光電子水準器を備えた傾斜センサ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7818891B2 (ja) |
EP (1) | EP2095071B1 (ja) |
JP (1) | JP5016677B2 (ja) |
CN (1) | CN101589291B (ja) |
AT (1) | ATE536529T1 (ja) |
DE (1) | DE102006056072B3 (ja) |
WO (1) | WO2008064731A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4279829B2 (ja) * | 2005-11-21 | 2009-06-17 | ローム株式会社 | 傾斜センサ |
US7497021B2 (en) * | 2006-01-24 | 2009-03-03 | Trimble Navigation Limited | Multi-axis bubble vial device |
DE102006059260B4 (de) * | 2006-12-15 | 2013-02-07 | Sartorius Weighing Technology Gmbh | Elektronische Waage mit Libelle |
DE102008053754A1 (de) | 2008-10-28 | 2010-04-29 | Klapper, Franz, Dr. rer. nat. | Neigungssensor |
DE102010016968A1 (de) | 2010-05-17 | 2011-11-17 | Sartorius Ag | Verfahren zum Betrieb eines Messgerätes mit einem mindestens drei Füße aufweisenden Chassis |
DE102012110693A1 (de) | 2012-11-08 | 2014-05-08 | Sartorius Lab Instruments Gmbh & Co. Kg | Optoelektronischer Neigungssensor |
JP2014178273A (ja) * | 2013-03-15 | 2014-09-25 | Topcon Corp | 傾斜角検出装置 |
CN105333862B (zh) * | 2014-08-08 | 2018-05-25 | 梅特勒-托利多仪器(上海)有限公司 | 测量水准泡气泡位置的设备和方法及包含该设备的水准泡 |
CN105751249B (zh) * | 2016-04-27 | 2019-01-29 | 小煷伴(深圳)智能科技有限公司 | 机器人肢体感知反馈系统 |
US10145941B2 (en) | 2016-07-26 | 2018-12-04 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | LIDAR sensor attached to an actuator |
WO2018055620A1 (en) * | 2016-09-25 | 2018-03-29 | Israel Aerospace Industries Ltd. | Method of calibrating a computerized leveling offset meter |
TWI673477B (zh) * | 2018-06-26 | 2019-10-01 | 晶翔機電股份有限公司 | 表面斜度鑑別裝置及其鑑別方法 |
CN109459085A (zh) * | 2018-10-30 | 2019-03-12 | 郑州海威光电科技有限公司 | 一种用于发电机的固定检测装置 |
CN110542411A (zh) * | 2019-09-29 | 2019-12-06 | 莱赛激光科技股份有限公司 | 一种新型传感器及其在激光水平仪上的应用 |
US11378395B1 (en) * | 2021-01-14 | 2022-07-05 | Hamar Laser Instruments, Inc. | Electro-optical level apparatus |
WO2023124628A1 (zh) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | 青岛海尔洗衣机有限公司 | 水平传感器及衣物处理设备 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3324564A (en) * | 1963-04-01 | 1967-06-13 | Randall J Wright | Level with electrically responsive instrument |
US3464276A (en) * | 1965-06-01 | 1969-09-02 | Edward E Leibert | Inclinometer or accelerometer |
US4164077A (en) * | 1978-07-07 | 1979-08-14 | Hopkins Manufacturing Corporation | Level indicating devices |
US4589730A (en) * | 1982-07-28 | 1986-05-20 | Ricoh Company, Ltd. | Light transmission control apparatus using air bubbles |
DE3634244A1 (de) * | 1986-10-08 | 1988-04-21 | Telefunken Electronic Gmbh | Optoelektronischer neigungssensor |
NL8801678A (nl) * | 1988-07-01 | 1990-02-01 | Sopha Bodewes Geb Tunhau | Hellingsmeter. |
JPH02150707A (ja) * | 1988-12-01 | 1990-06-11 | Kyoto Pref Gov | 水準器 |
GB2238382B (en) * | 1989-11-03 | 1993-09-01 | Sure Right Webb Ltd | Level detecting devices |
DE3938848A1 (de) * | 1989-11-23 | 1991-05-29 | Mitec Mikroelektronik Mikrotec | Neigungssensor |
US5761818A (en) * | 1996-05-31 | 1998-06-09 | Evan L. Hopkins | Digital inclinometer |
US5794355A (en) * | 1996-06-03 | 1998-08-18 | Gateway 2000, Inc. | Rotationally actuated position sensor |
JPH10227635A (ja) * | 1997-02-13 | 1998-08-25 | Yazaki Corp | 傾斜センサ |
DE19854812A1 (de) * | 1997-12-03 | 1999-08-26 | Ricklefs | Winkelmeßvorrichtung zum Erfassen von Winkelabweichungen gegenüber einer Bezugslage |
US6343422B1 (en) * | 1999-05-31 | 2002-02-05 | Kabushiki Kaisha Topcon | Tilt angel measuring device |
TW479809U (en) * | 2001-06-13 | 2002-03-11 | Sue-Zeng Yang | Photoelectronic tilt angle sensing device |
CN2572340Y (zh) * | 2002-10-15 | 2003-09-10 | 林富商 | 气泡光电式水平度传感器 |
DE102005056736B4 (de) * | 2005-11-23 | 2008-02-21 | Sartorius Ag | Neigungssensor |
US7497021B2 (en) * | 2006-01-24 | 2009-03-03 | Trimble Navigation Limited | Multi-axis bubble vial device |
US7350305B2 (en) * | 2006-02-21 | 2008-04-01 | Molitech Corporation | Laser activated audible signal emitting leveler |
-
2006
- 2006-11-28 DE DE102006056072A patent/DE102006056072B3/de active Active
-
2007
- 2007-09-27 AT AT07818489T patent/ATE536529T1/de active
- 2007-09-27 WO PCT/EP2007/008406 patent/WO2008064731A1/de active Application Filing
- 2007-09-27 EP EP07818489A patent/EP2095071B1/de active Active
- 2007-09-27 JP JP2009537495A patent/JP5016677B2/ja active Active
- 2007-09-27 CN CN200780042957.0A patent/CN101589291B/zh active Active
-
2009
- 2009-05-28 US US12/473,886 patent/US7818891B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2095071A1 (de) | 2009-09-02 |
US7818891B2 (en) | 2010-10-26 |
ATE536529T1 (de) | 2011-12-15 |
CN101589291B (zh) | 2011-08-10 |
US20090293297A1 (en) | 2009-12-03 |
JP2010510503A (ja) | 2010-04-02 |
DE102006056072B3 (de) | 2008-03-06 |
WO2008064731A1 (de) | 2008-06-05 |
EP2095071B1 (de) | 2011-12-07 |
CN101589291A (zh) | 2009-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5016677B2 (ja) | 光電子水準器を備えた傾斜センサ | |
US7526870B2 (en) | Inclination sensor | |
US7271883B2 (en) | Refractive index sensor using internally reflective light beams | |
US5917605A (en) | Fluorescence sensing device | |
US20130037727A1 (en) | Fluorescence sensor | |
US6088090A (en) | Inclination measuring apparatus | |
US9091568B2 (en) | Optical encoder system including a structured code wheel | |
US4332090A (en) | Directional two axis optical inclinometer | |
US8792092B2 (en) | Optoelectronic inclination sensor | |
JP2002513922A (ja) | 光学クリノメータ | |
JP2609554B2 (ja) | 気泡計測装置 | |
CN114234925A (zh) | 一种微型光学角度传感器与电子设备 | |
KR100899088B1 (ko) | 렌즈미터 | |
JP2016183863A (ja) | 光学式センサ | |
CN217059274U (zh) | 光学检测仪 | |
TWI780846B (zh) | 可量測液體濃度之稜鏡 | |
JP4270180B2 (ja) | 水平センサ | |
JPH08114546A (ja) | 液体濃度測定装置 | |
TW202223358A (zh) | 用於偵測粒子的系統及方法 | |
JP2000019110A (ja) | 屈折率測定装置 | |
JP2002148102A (ja) | 液体検出方法及び液体検出装置 | |
JPH10176927A (ja) | 傾斜センサ | |
JP2021148590A (ja) | 光学式レベル検出装置及びその計量方法 | |
CN101750400A (zh) | 一种光电方法 | |
JPH05240608A (ja) | 光ファイバーコーティングの幾何学的位置を測定する装 置及びその方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20110711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20110711 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111220 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120316 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120326 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120410 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120608 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5016677 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |