JP5013959B2 - 位置確認装置 - Google Patents

Description

この発明は、被検出体の着座確認等に用いる位置確認装置に関する。

位置確認装置として、加工機械のテーブルに着座した工作物の着座状態を出力する着座確認装置があげられるが、この着座確認装置について図８、図９を用いて説明する。
この着座確認装置は、工作物の加工機械において、被検出体であるワークＷを着座させるテーブル１に設置するが、このテーブル１には検出孔２を形成している。この従来の着座確認装置は、上記検出孔２に配管を介して接続する下流ポート３を設けた検出圧通路４を備えるとともに、この検出圧通路４にオリフィス５を設けている。また、上記検出圧通路４であって、オリフィス５よりも上流側には上流ポート６を設けるとともに、この上流ポート６には配管を介して圧力源７を接続している。また、上記検出圧通路４であって、オリフィス５よりも下流ポート３側には、圧力検出手段８を接続している。そして、圧力源７からエアを供給すると、検出圧通路４を介して下流ポート３からテーブル１の上方に向けてエアが噴出するとともに、圧力検出手段８が、このときのオリフィス５よりも下流ポート３側の圧力を検出するようにしている。

また、上記圧力検出手段８には演算処理部９を接続しているが、この演算処理部９は、ワークＷとテーブル１との隙間量ｈと、圧力検出手段８が検出する圧力Ｐとの関係を記憶している。上記隙間量ｈと、圧力検出手段８が検出する圧力Ｐとの関係は次の通りである。
すなわち、圧力源７からエアを供給するとともに、検出孔２からエアを噴出させた状態で、工作物であるワークＷを、検出孔２を塞ぐようにしてテーブル１上に着座させる。すると、検出圧である検出用エアが、圧力源７から検出圧通路４に供給されるとともに、オリフィス５→検出孔２を介してワークＷに向かって噴出する。

図９からも明らかなように、このとき、ワークＷがテーブル１に対してぴったりと着座している場合、言い換えれば、ワークＷとテーブル１との間に隙間ｈがない場合には、検出用エアが噴出することができないため、圧力検出手段８が出力する圧力が、圧力源７の吐出圧と等しくなる。したがって、ワークＷとテーブル１との間に隙間ｈがないとき、圧力検出手段８が出力する圧力が最大となる。

これに対して、ワークＷとテーブル１との間に隙間ｈがある場合には、この隙間ｈから検出用エアが噴出するので、オリフィス５よりも下流ポート３側の圧力が低くなるとともに、この隙間量ｈが大きくなるにつれて圧力が徐々に低くなる。
上記のように、圧力検出手段８が検出する圧力は、ワークＷとテーブル１との間の隙間量ｈに応じて変化するので、演算処理部９に図９に示すようなプロット図を記憶させるとともに、圧力検出手段８が検出する圧力を、このプロット図に基づいて変換すれば、ワークＷとテーブル１との間の隙間量ｈを特定することができる。
特開平７−０４０１９９号公報

上記の着座確認装置においては、演算処理部９にプロット図を記憶させるために、隙間量ｈを徐々に変動させながら、この隙間量ｈに対応する圧力Ｐを実測しなければならず、この実測作業に手間と時間がかかってしまう。したがって、着座確認装置の製造にあたって、実測作業が製造期間を長期化させてしまうという問題があった。
しかも、圧力源７は、使用によるがたつきによって、供給圧が変動してしまうことがあるが、圧力源７の供給圧が変動してしまうと、圧力検出手段８が検出する圧力Ｐも変動してしまう。演算処理部９は、圧力検出手段８が検出した圧力Ｐに基づいて隙間量ｈを特定するので、圧力源７の供給圧が変動してしまうと、演算処理部９が特定する隙間量ｈが実際とは全く異なってしまう。
したがって、圧力源７の供給圧が変動した場合には、圧力源７における変動後の供給圧に基づいて、圧力Ｐと隙間量ｈとの関係を再度実測して演算処理部９に記憶させなければならず、メンテナンス作業にも手間と時間がかかってしまうという問題があった。

また、圧力源７の供給圧は、温度等の使用環境や配管長等の設置状況によっても変動してしまう。このように、使用環境や設置状況に応じて圧力源７の供給圧が変動してしまうので、設置場所によっては予め演算処理部９にプロット図を記憶させておくことができない。したがって、着座確認装置の取り付け現場において、演算処理部９にプロット図を記憶させなければならないため、取り付け作業が煩雑になってしまうという問題があった。

この発明の目的は、実測作業を簡略化することで、製造期間の短縮化を図るとともに、メンテナンス作業や取り付け作業を簡略化することができる位置確認装置を提供することである。

第１の発明は、圧力源に接続する上流ポートおよびテーブルに設けた検出孔に接続する下流ポートを連通する検出圧通路と、この検出圧通路に設ける検出オリフィスと、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブルと被検出体との間の隙間量ｈを演算する演算処理部とを備え、この演算処理部は、
ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α） ^１／２ ｝／β
からなる基本式を記憶する一方、
隙間量０のとき差圧０となる０点以外の２点を実測したとき、この２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）から上記αおよびβを特定するとともに、この特定したαおよびβを上記基本式に入力した式を、上記０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式として特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する点に特徴を有する。

第２の発明は、演算処理部が、上記２点の実測値である（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）において、ｈ_１＝２ｈ_２の条件を満たすと判断したとき、上記近似式を特定する点に特徴を有する。
第３の発明は、圧力源に接続する上流ポートおよびテーブルに設けた検出孔に接続する下流ポートを連通する検出圧通路と、この検出圧通路に設ける検出オリフィスと、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブルと被検出体との間の隙間量ｈを演算する演算処理部とを備え、この演算処理部が、
ｈ＝｛ΔＰＣ／（α−βΔＰ）｝ ^１／２
からなる基本式を記憶する一方、
隙間量０のとき差圧０となる０点以外の２点を実測したとき、この２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）から上記αおよびβを特定するとともに、この特定したαおよびβを上記基本式に入力した式を、上記０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式として特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する構成にした点に特徴を有する。

第４の発明は、上記演算処理部は、ΔＰ_１＜ΔＰ_２としたとき、２点の実測値であるΔＰ_１およびΔＰ_２を下限出力値および上限出力値として記憶するとともに、差圧検出手段が出力した出力値ΔＰが、上記下限出力値および上限出力値の範囲内にあるとき、隙間量ｈを特定する点に特徴を有する。
第５の発明は、圧力源に接続する上流ポートおよびテーブルに設けた検出孔に接続する下流ポートを連通する検出圧通路と、この検出圧通路に設ける検出オリフィスと、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブルと被検出体との間の隙間量ｈを演算する演算処理部とを備え、この演算処理部は、ΔＰ _１ ＜ΔＰ _２ としたとき、２点の実測値であるΔＰ _１ およびΔＰ _２ を下限出力値および上限出力値として記憶するとともに、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力した出力値ΔＰが、上記下限出力値および上限出力値の範囲内にあるとき、上記出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する点に特徴を有する。
第６の発明は、演算処理部が、（ΔＰ_１−ｘ_１）〜（ΔＰ_２＋ｘ_２）の範囲内を使用範囲として特定する点に特徴を有する。

第１の発明によれば、ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α） ^１／２ ｝／β
からなる基本式を記憶させたので、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を、２点を実測するだけで得られるので、実測作業を非常に簡略化しながらも、高い検出精度を維持することができる。したがって、位置確認装置の製造期間を短縮化することができる。
また、実測作業を簡略化することができるので、圧力源の供給圧が変動した場合のメンテナンス作業や、位置確認装置の取り付け作業を簡略化することができる。

第２の発明によれば、ｈ_１＝２ｈ_２の条件を満たす場合に近似式を特定するようにしたので、演算処理部における演算機能を簡略化することができる。
第３の発明によれば、上記第１の発明と同様、２点の実測値を入力するだけで、実測値特性線に極めて近似した近似特性線を得ることができる。したがって、実測作業を簡略化しながらも、高い検出精度を維持することができる。
第４及び第５の発明によれば、差圧検出手段が出力する出力値が、下限出力値および上限出力値の範囲内にあるときに隙間量を特定するので、精度の高い範囲を使用範囲とすることができる。
第６の発明によれば、（ΔＰ_１−ｘ_１）〜（ΔＰ_２＋ｘ_２）の範囲内を使用範囲として特定するので、検出精度の高い範囲を使用範囲に含ませることができ、検出精度を低下させずに使用範囲を広げることができる。

図１〜図５を用いてこの発明の第１実施形態について説明する。
なお、図１に示す位置確認装置は、工作物が加工機械のテーブルに着座している状態を出力する着座確認装置である。
この着座確認装置は、工作物の加工機械において、被検出体であるワークＷを着座させるテーブル１０に設置するが、このテーブル１０には検出孔１１を形成している。
そして、この着座確認装置は、配管を介して上記検出孔１１に接続する下流ポート１２を一端に設けた検出圧通路１３を備える。この検出圧通路１３の他端側には上流ポート１４を設けるとともに、この上流ポート１４に配管を介して圧力源１５を接続している。したがって、検出圧通路１３を介して上記下流ポート１２および上流ポート１４が連通するとともに、圧力源１５と検出孔１１とが検出圧通路１３を介して連通することとなる。

また、上記検出圧通路１３には検出オリフィス１６を設けるとともに、この検出オリフィス１６に差圧検出手段１７を接続している。この差圧検出手段１７は、上記検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、検出した差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する。
なお、差圧検出手段１７が出力する出力値とは、出力電圧、出力電流、あるいは出力電圧等を所定の変換式に基づいて変換したもの等を広く含むものであり、検出オリフィス１６前後に実際に生じる差圧に基づいて変化するものである。ただし、この実施形態における出力値は、差圧検出手段１７が差圧を検出したときに出力する電圧を差圧値に変換したものとし、この出力値（差圧値）は、検出オリフィス１６前後に生じる実際の差圧と等しいものとして説明する。

上記の差圧検出手段１７には、演算処理部１８を接続している。この演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力する出力値ΔＰを基にして、上記ワークＷとテーブル１０との間の隙間量ｈを特定するものである。
ここで、上記差圧検出手段１７が出力する出力値ΔＰ（検出オリフィス１６前後に生じる実際の差圧）と、ワークＷとテーブル１０との間の隙間量ｈとの関係について説明する。
図２は、差圧検出手段１７が出力する出力値ΔＰと、ワークＷとテーブル１０との間の隙間量ｈとを実測した実測値である。
図からも明らかなように、ワークＷとテーブル１０との間の隙間量ｈが０のとき、出力値ΔＰ＝０となり、隙間量ｈが大きくなるにつれて、検出オリフィス１６前後の差圧、すなわち出力値ΔＰも大きくなる。そして、隙間量ｈが所定の距離に達したところで、出力値ΔＰが一定となる関係を有している。

そして、上記演算処理部１８は、実測値に基づく実測値特性線Ｌ１に近似する近似特性線を得られる近似式を記憶するとともに、差圧検出手段１７が差圧を検出したときに出力する出力値ΔＰを近似式に入力することによって、実測値に近似した隙間量ｈを特定する。
なお、この第１実施形態において、演算処理部１８は、
ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α）^１／２｝／β・・・（１）基本式
を記憶している。また、この（１）基本式において、αおよびβの数値が特定されている式（αおよびβに数値が代入されている式）を近似式という。

そして、演算処理部１８は、
第１の機能として、（１）基本式を記憶するとともに、２点の実測値が入力されたとき、入力された実測値から、（１）基本式においてαおよびβに数値を入力した近似式を特定するための近似式特定演算機能を有する。
第２の機能として、上記のように特定した近似式を記憶する近似式記憶機能を有する。
第３の機能として、隙間量ｈを測定する場合において、差圧検出手段１７が差圧を検出して出力値ΔＰを出力したとき、記憶している上記近似式に、出力したΔＰを入力して隙間量ｈを演算する隙間量演算機能を有する。
なお、演算処理部１８は、（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）の２点を実測することにより、上記（１）基本式から近似式を特定することができる。言い換えれば、２点を実測することで、（１）基本式における定数αおよびβを特定することができるが、その理由は次の通りである。

すなわち、所定の隙間量ｈ_１を有するマスターゲージをテーブル１０上に載置するとともに、この状態で差圧検出手段１７によって検出オリフィス１６前後の差圧を検出して出力値ΔＰ_１を出力する。そして、上記隙間量ｈ_１および出力値ΔＰ_１を演算処理部１８に入力する。次に、隙間量ｈ_２（＝２ｈ_１）を有するマスターゲージをテーブル１０上に載置するとともに、この状態で差圧検出手段１７によって出力値ΔＰ_２を出力する。そして、上記隙間量ｈ_２および出力値ΔＰ_２を演算処理部１８に入力する。
このように、２点の実測値（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）を実測したら、演算処理部１８が次の演算処理を行う。
すなわち、演算処理部１８は、
ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α）^１／２｝／β・・・（１）基本式
を記憶しており、この（１）基本式に、（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）の実測値を代入する。
ただし、
ｈ＝被検出体Ｗとテーブル１０との隙間量、
ΔＰ＝差圧検出手段１７が出力する出力値（＝検出オリフィス１６前後の差圧）
ｈ_１（ｈ_２）＝所定の隙間量の実測値
ΔＰ_１（ΔＰ_２）＝被検出体Ｗとテーブル１０との隙間量がｈ_１（ｈ_２）の場合に、差圧検出手段１７が出力する出力値（検出オリフィス１６前後の差圧）
を示す。

上記（１）基本式は、次のように変換することができる。
まず、２点の実測値のうちの１点（ｈ_１ΔＰ_１）を上記（１）基本式に代入すると、
ｈ_１＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ_１／α）^１／２｝／β・・・（２）式
となる。また、他の１点（ｈ_２ΔＰ_２）を上記（１）基本式に代入すると、
ｈ_２＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ_２／α）^１／２｝／β・・・（３）式
となる。
上記（２）式および（３）式を展開すると
α＝ΔＰ_１／（ｓｉｎβｈ_１）^２・・・（４）式
α＝ΔＰ_２／（ｓｉｎβｈ_２）^２・・・（５）式
となる。

ここで、上記したようにｈ_２＝２ｈ_１なので、ｈ_２＝ｎ×ｈ_１とすると、上記（４），（５）式は、
α＝ΔＰ_１／（ｓｉｎβｈ_１）^２＝ΔＰ_２／（ｓｉｎβｈ_２）^２・・・（６）式
となり、ｈ_２＝ｎ×ｈ_１より
α＝ΔＰ_１／（ｓｉｎβｈ_１）^２＝ΔＰ_２／（ｓｉｎβｎｈ_１）^２・・・（７）式
となる。よって、
α^1/2＝ΔＰ_１ ^1/2／（ｓｉｎβｈ_１）＝ΔＰ_２ ^1/2／（ｓｉｎβｎｈ_１）・・・（８）式

ここで、βｎｈ_１＝βｈ_１＋βｈ_１（ｎ−１）とすると、
加法定理により
ｓｉｎ（βｎｈ_１）
＝ｓｉｎ（βｈ_１＋βｈ_１（ｎ−１））
＝ｓｉｎ（βｈ_１）ｃｏｓ（βｈ_１（ｎ−１））＋ｃｏｓ（βｈ_１）ｓｉｎ（βｈ_１（ｎ−１））・・・（９）式
さらに、βｈ_１（ｎ−１）＝βｈ_１＋βｈ_１（ｎ−２）とすると、
＝ｓｉｎ（βｈ_１）ｃｏｓ（βｈ_１＋βｈ_１（ｎ−２））＋ｃｏｓ（βｈ_１）ｓｉｎ（βｈ_１＋βｈ_１（ｎ−２））・・・（１０）式
さらに加法定理により、上記（１０）式は
sin(βh_１)×{cos(βh₁)×cosβh₁(n−2)−sin(βh₁)×sinβh₁(n−2)}＋cos(βh₁)×{sin(βh₁)cosβh₁(n−2)＋cos(βh₁)sinβh₁(n−2)} ・・・（１１）式
＝ｓｉｎ（βｎｈ_１）
となる。

ここで、ｎ＝２を代入すると
ｓｉｎ（β２ｈ_１）＝
sin(βh_１)×{cos(βh₁)×cosβh₁(0)−sin(βh₁)×sinβh₁(0)}＋cos(βh₁)×{sin(βh₁)cosβh₁(0)＋cos(βh₁)sinβh₁(0)}・・・（１２）式
となり、さらに、
ｓｉｎ（β２ｈ_１）＝
sin(βh_１)×{cos(βh₁)×1−sin(βh₁)×0}＋cos(βh₁)×{sin(βh₁)×1＋cos(βh₁)×0}・・・（１３）式
となる。そして、
ｓｉｎ（β２ｈ_１）＝
sin(βh_１)×cos(βh₁)＋cos(βh₁)×sin(βh₁)・・・（１４）式
となり、
ｓｉｎ（β２ｈ_１）＝
2×sin(βh_１)×cos(βh₁) ・・・（１５）式
となる。

よって上記（８）式
α^1/2＝ΔＰ_１ ^1/2／（ｓｉｎβｈ_１）＝ΔＰ_２ ^1/2／（ｓｉｎβｎｈ_１）
にn＝２を代入すると（１５）式より
α^1/2＝ΔＰ_１ ^1/2／（ｓｉｎβｈ_１）＝ΔＰ_２ ^1/2／（ｓｉｎβ２ｈ_１）
＝ΔＰ_２ ^1/2／（2×sin(βh_１)×cos(βh₁)）・・・（１６）式
よって、
（2×sin(βh_１)×cos(βh₁)）＝ΔＰ_２ ^1/2／｛ΔＰ_１ ^1/2／（ｓｉｎβｈ_１）｝・・・（１７）式
となる。よって、
cos(βh₁)=｛(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2｝・・・（１８）式
となる。
ここで、βｈ_１＝Arccos｛(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2｝となるので、
β=[Arccos｛(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2｝]/h₁・・・（１９）式
となる。
上記（４）式より、
α＝ΔＰ_１／（ｓｉｎβｈ_１）^２
なので、βに上記（１９）式を代入すると、
α=ΔP₁/(sin[[Arccos｛(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2}]/h₁]h₁)²・・・（２０）式
α=ΔP₁/(sin[Arccos｛(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2}])²・・・（２１）式

上記のように、上記（１９）式と（２１）式とによってαおよびβが求められるので、上記（１９）式と（２１）式とを、（１）基本式に代入すると
ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α）^１／２｝／β
ｈ＝{Arcsin(ΔP/{ΔP₁/(sin[Arccos{(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2}])²})^１／２}/{[Arccos{(ΔP₁ ^1/2/ΔP₂ ^1/2)/2}]/h₁}・・・（２２）式
したがって、２点の実測値（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）を上記（２２）式に代入すれば、
ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α）^１／２｝／βからなる（１）基本式において、αおよびβの数値が入力された近似式を特定することができる。

このように、（１）基本式に２点の実測値を入力して近似式を特定するとともに、この特定した近似式を記憶し、差圧検出手段１７が出力値を出力したとき、記憶した近似式に出力値を入力して、隙間量ｈを算出する。このように、差圧検出手段１７が出力する出力値から、隙間量ｈを算出する演算処理を演算処理部１８が行うので、実測値に近似した隙間量ｈを特定することができる。
なお、上記のようにして特定される近似式は、当然のこととして、実測値である（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）によって異なる。言い換えれば、２点の実測値を、いずれの隙間量ｈの場合に実測するかによって異なる近似式が特定される。
すなわち、図３は、図２に示す隙間量ｈと出力値ΔＰとの関係を座標変換しており、隙間量ｈと出力値ΔＰとの関係を実測してプロットしたのが実測値特性線Ｌ１である。また、近似特性線Ｌ２は、２点の実測値をｈ_１＝５０μ、ｈ_２＝１００μとしてΔＰ_１、ΔＰ_２を検出するとともに、αおよびβを特定して近似式を特定したものである。

これに対して、近似特性線Ｌ３は、２点の実測値をｈ_１＝８０μ、ｈ_２＝１６０μとしてΔＰ_１、ΔＰ_２を検出するとともに、αおよびβを特定して近似式を特定したものである。
このように、２点の実測値を変えれば、実測値特性線Ｌ１に対して、異なる近似特性線を得る近似式を特定することとなるが、いずれの近似式によっても、差圧検出手段１７が出力した出力値ΔＰから、実測値にほぼ等しい隙間量ｈを算出することができる。
なお、演算処理部１８は、２点の実測値（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）を実測する際に、ｈ_１，ｈ_２≦π／２βの条件を満たした場合のみ隙間量ｈを特定し、上記の条件を満たさない場合には、図示しない表示部等にNG表示を行うようにしているが、その理由は次の通りである。

すなわち、上記（１）基本式を変換すると、
ΔＰ＝α（sinβｈ）^２・・・（２３）式
となり、この式は図４に示すＬ４の軌跡を描く。そして、（２３）式と実測値特性線Ｌ１との関係は、１／２周期の範囲内、つまりｈ≦π／２βの範囲内でのみ近似する。言い換えれば、ｈ≦π／２βの範囲内でのみ、近似特性線を得ることができる。
したがって、実測値特性線Ｌ１に近似した近似特性線を得るためには、ｈ_１，ｈ_２≦π／２βの条件を満たさなければならないのである。
そこで、近似式を特定するために２点の実測値を特定した際、ｈ_１，ｈ_２≦π／２βの条件を満たしているかを演算処理部１８が判断するとともに、上記の条件を満たした場合のみ、隙間量ｈを出力することで、実測値に近似した隙間量ｈを確実に特定するようにしたのである。

また、図４からも明らかなように、周期性を無限に有するsin式の特性上、一つのΔＰから算出される隙間量ｈは無限に存在する。
したがって、差圧検出手段１７が出力した出力値ΔＰに基づいて演算処理部１８が隙間量ｈを特定すると、一の隙間量ｈを特定することができず、いくつもの隙間量ｈを特定してしまう。そこで、演算処理部１８が隙間量ｈを特定する際には、ｈ≦π／２βの条件を満たす隙間量ｈのみを特定するようにしている。
このように、演算処理部１８が、ｈ≦π／２βの条件を満たす隙間量ｈのみを特定すれば、正しい隙間量ｈを特定することができる。

また、上記（２３）式より、（sinβｈ）^２≦１であるため、ΔＰ≦αとなる。
したがって、図４からも明らかなように、ΔＰ＞αとなる場合には、近似特性線上にΔＰが存在しなくなってしまう。そのため、このようなΔＰ＞αとなる場合には、隙間量ｈを特定することができない。
そこで、演算処理部１８は、ΔＰ≦αとなる条件を満たした場合にのみ隙間量ｈを特定するとともに、上記の条件を満たさない場合には、図示しない表示部等にＮＧ表示をするようにしている。

なお、２点の実測値をそれぞれ変更して特定した近似式に、出力値ΔＰを入力して算出される隙間量ｈは図５（ａ）に示すとおりである。
例えば、２点の実測値をｈ_１＝６０、ｈ_２＝１２０として近似式を特定した場合において、この近似式にΔＰ＝１９を代入すると隙間量６９μを特定する。ΔＰ＝１９となるときの実測隙間量（ΔＰ＝１９となる場合に隙間量を実測してえられた距離）は７０μであるため、この場合の演算誤差は、図５（ｂ）に示すように僅かに−１％程度である。
このように、近似式に基づいて特定する隙間量ｈと、実測隙間量との差は極僅かしかないため、出力値ΔＰと隙間量ｈとの関係を細かく実測しなくても、隙間量ｈを精度よく出力することができる。

このように、演算処理部１８が、ワークＷとテーブル１０との間の隙間量ｈを特定したら、当該隙間量ｈを図示しない表示部に表示すれば、ワークＷがテーブル１０上にしっかりと位置しているか、言い換えれば、加工作業を行ってよい状態であるかどうかを、容易に判別することができる。
なお、図５（ａ），（ｂ）からも明らかなように、実測値特性線および近似特性線の特性上、２点の実測値間が離れるほど、実測隙間量と算出した隙間量ｈとの差、すなわち演算誤差が大きくなる傾向にある。また、２点の実測値間（ｈ_１とｈ_２とを実測した場合には隙間量ｈがｈ_１〜ｈ_２の範囲内にあるとき）においては、演算誤差をある程度小さな範囲内に納めることができるが、２点の実測値の範囲外（隙間量ｈが、〜ｈ_１またはｈ_２〜の範囲のとき）においては、実測値から離れるにしたがって、演算誤差が大きくなる。

したがって、２点の実測値の範囲を狭くすれば、当該実測値間にある隙間量ｈの検出精度を高めることができる。一方、検出精度をある程度低くしてでも、広い範囲で隙間量ｈを検出したい場合には、２点の実測値間の距離を遠くすればよい。
また、上記のような特性を利用して、演算処理部１８に次のような機能をもたせれば、さらに着座確認装置としての機能を高めることができる。
すなわち、ΔＰ_１＜ΔＰ_２として、２点の実測値を（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）とし、演算処理部１８に、一方の実測値であるΔＰ_１を下限出力値として記憶させ、他方の実測値であるΔＰ_２を上限出力値として記憶させる。

そして、演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力した出力値ΔＰが、下限出力値および上限出力値の範囲内にあるときを使用範囲とするように設定する。つまり、演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力した出力値ΔＰが上限出力値および下限出力値の範囲内であると判別したとき隙間量ｈを特定し、出力した出力値ΔＰが下限出力値および上限出力値の範囲外にあると判別したとき、隙間量ｈを特定せず、図示しない表示部等にＮＧ表示をする。
このように、演算処理部１８が、下限出力値および上限出力値の範囲内にあるときに隙間量ｈを特定すれば、精度の高い範囲を使用範囲とすることができる。

また、図５（ａ），（ｂ）からも明らかなように、近似式を特定するための２点の実測値地点においては、近似式を演算して特定した隙間量ｈと実測隙間量との誤差が全く生じない。これは、近似式を特定する際に、当該２点を実測しているからであるが、もっとも検出精度を高くしたい隙間量ｈを２点の実測値とすれば、当該実測値における検出精度を最大に高めることができる。
なお、２点の実測値を（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）としたとき、ΔＰ_１およびΔＰ_２の地点においては演算誤差が生じないこと上記した通りであるが、さらにΔＰ_１およびΔＰ_２から±ｘの範囲においても、演算誤差が小さくなる。
したがって、ΔＰ_１＜ΔＰ_２としたとき、演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力する出力値ΔＰが、（ΔＰ_１−ｘ_１）〜（ΔＰ_２＋ｘ_２）の範囲内にあると判別したとき隙間量ｈを特定し、出力した出力値ΔＰが（ΔＰ_１−ｘ_１）〜（ΔＰ_２＋ｘ_２）の範囲外にあると判別したとき、隙間量ｈを特定せず、図示しない表示部等にＮＧ表示をすれば、検出精度の高い範囲を使用範囲とすることができる。言い換えれば、使用範囲を広げながらも高い検出精度を維持することができる。ただし、上記ｘ（ｘ_１，ｘ_２）の値は、任意に決定すればよいものであり、ｘ（ｘ_１，ｘ_２）が大きくなるほど演算誤差が大きくなる。

このように、この第１実施形態における着座確認装置によれば、使用状況やニーズに臨機応変に対応することができる。
また、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を、２点を実測するだけで得られるので、実測作業を非常に簡略化することができる。したがって、着座確認装置の製造期間を短縮化することができる。
また、実測作業を簡略化することができるので、圧力源１５の供給圧が変動した場合にも、２点を実測するだけで容易に近似式を補正することができる。したがって、メンテナンス作業や、着座確認装置の取り付け作業を簡略化することができる。
しかも、
ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α）^１／２｝／β
からなる基本式にαおよびβを特定した式を近似式とするので、実測値特性線に極めて近似した近似特性線を得ることができる。したがって、実測作業を簡略化しながらも、高い検出精度を維持することができる。

なお、上記第１実施形態における着座確認装置によれば、近似式を特定するための２点の実測値を、ｈ_２＝２ｈ_１となることを条件として説明したが、２点の実測値は必ずしもｈ_２＝２ｈ_１となる必要は無い。例えば、ｈ_１＝３ｈ_２の場合であっても、上記のように加法定理によって近似式を特定することができる。
ただし、具体的には述べないが、演算処理部１８が演算をする際に、ｈ_２＝２ｈ_１の条件を満たす場合には、他の場合に比べて演算処理を容易にすることができる。したがって、ｈ_１＝２ｈ_２の条件を満たす場合に近似式を記憶するとともに、上記の条件を満たす２点の実測値を用いるようにすれば、演算処理部１８における演算機能を簡略化することができる。

図６、図７を用いてこの発明の第２実施形態について説明する。
なお、この第２実施形態の位置確認装置は、演算処理部１８に記憶させる基本式のみ異なり、その他の構成および作用は、上記第１実施形態の位置確認装置と全て同じである。
したがって、ここでは、上記演算処理部１８の演算機能について説明するとともに、その他の構成については同様の符号を付し、詳細な説明は省略する。

この第２実施形態の位置確認装置においても、演算処理部１８は、上記第１実施形態と同様、以下の機能を有する。すなわち、演算処理部１８は、
ｈ＝｛ΔＰＣ／（α−βΔＰ）｝^１／２・・・（３１）基本式
を記憶している。そして、
第１の機能として、２点の実測値が入力されたとき、入力された実測値から、上記（３１）基本式においてαおよびβに数値を入力した近似式を特定するための近似式特定演算機能を有する。
第２の機能として、上記のように特定した近似式を記憶する近似式記憶機能を有する。
第３の機能として、隙間量ｈを測定する場合において、差圧検出手段１７が差圧を検出して出力値ΔＰを出力したとき、記憶している上記近似式に、出力したΔＰを入力して隙間量ｈを演算する隙間量演算機能を有する。

以下に、上記演算処理部１８の機能について詳細に説明する。
まず、所定の隙間量ｈ_１を有するマスターゲージをテーブル１０上に載置する。この状態で差圧検出手段１７によって検出オリフィス１６前後の差圧を検出し、そのときの差圧検出手段１７における出力値ΔＰ_１を演算処理部１８に入力する。
次に、隙間量ｈ_２を有するマスターゲージをテーブル１０上に載置する。この状態で差圧検出手段１７によって検出オリフィス１６前後の差圧を検出し、そのときの差圧検出手段１７における出力値ΔＰ_２を演算処理部１８に入力する。
このように、２点の実測値（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）を実測したら、演算処理部１８が次の演算処理を行う。

演算処理部１８は、
ｈ＝｛ΔＰＣ／（α−βΔＰ）｝^１／２・・・（３１）基本式
に、（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）の実測値を代入する。
ただし、
ｈ＝被検出体Ｗとテーブル１０との隙間量、
ΔＰ＝差圧検出手段１７が出力する出力値（＝検出オリフィス１６前後の差圧）
ｈ_１（ｈ_２）＝所定の隙間量の実測値
ΔＰ_１（ΔＰ_２）＝被検出体Ｗとテーブル１０との隙間量がｈ_１（ｈ_２）の場合に、差圧検出手段１７が出力する出力値（検出オリフィス１６前後の差圧）
Ｃ＝任意の定数
を示す。

上記（３１）基本式は、次のように変換することができる。
まず、２点の実測値のうちの１点（ｈ_１ΔＰ_１）を上記（３１）基本式に代入すると、
ｈ_１＝｛ΔＰ_１Ｃ／（α−βΔＰ_１）｝^１／２・・・（３２）式
となる。また、他の１点（ｈ_２ΔＰ_２）を上記（３１）基本式に代入すると、
ｈ_２＝｛ΔＰ_２Ｃ／（α−βΔＰ_２）｝^１／２・・・（３３）式
となる。
上記（３２）式および（３３）式を展開すると
α＝ΔＰ_１（Ｃ＋βｈ_１ ^２）／ｈ_１ ^２・・・（３４）式
α＝ΔＰ_２（Ｃ＋βｈ_２ ^２）／ｈ_２ ^２・・・（３５）式
となる。

上記（３４）式および（３５）式より、
ΔＰ_１（Ｃ＋βｈ_１ ^２）／ｈ_１ ^２＝ΔＰ_２（Ｃ＋βｈ_２ ^２）／ｈ_２ ^２・・・（３６）式
となり、これを展開すると、
β＝Ｃ（ΔＰ_２ｈ_１ ^２−ΔＰ_１ｈ_２ ^２）／｛ｈ_１ ^２ｈ_２ ^２（ΔＰ_１−ΔＰ_２）｝・・・（３７）式
となる。
また、
α＝ΔＰ_１（Ｃ＋βｈ_１ ^２）／ｈ_１ ^２・・・（３４）式
なので、βに上記（３７）式を代入すると、

となり、さらに展開すると
α=ＣΔＰ_１ΔＰ_２（ｈ_１ ^２−ｈ_２ ^２）／｛ｈ_１ ^２ｈ_２ ^２（ΔＰ_１−ΔＰ_２）｝・・・（３９）式
となる。

上記のように、（３７）式と（３９）式とによってαおよびβが求められるので、上記（３７）式と（３９）式とを、（３１）基本式に代入すると

となり、これを更に展開すると

となる。

そして、上記（４１）式からは定数Ｃを除去することができるので、

となる。
このように、２点の実測値（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）を上記（４２）式に代入すれば、
ｈ＝｛ΔＰＣ／（α−βΔＰ）｝^１／２からなる（３１）基本式において、αおよびβの数値が入力された近似式を特定することができる。

なお、上記第２実施形態においては、基本式（３１）中に任意の定数Ｃを含んでいるが、この定数Ｃは、演算処理部１８の性能に係らず演算処理を可能にするためのものである。
すなわち、演算処理部１８は、その演算過程において、小数点第３位以下を「０」と判断したり、あるいは小数点第４位以下を「０」と判断したりすることがある。これは演算処理部１８の性能に依存するものであり、例えば、演算過程において「０．００００５」という数値が生じると、これを演算処理部１８が「０」と判断して演算を続けてしまうことがある。そして、演算過程に「０」が生じるとともに、この「０」という数値が乗算されることにより、以後の演算結果が「０」となってしまい、正確な演算結果を得られなくなってしまう。

そこで、定数Ｃとして、例えば「１００００」という数値を入力することにより、演算過程で小数点以下の小さな数値が生じたとしても、正確な演算を可能にしようとしたのである。
例えば、定数Ｃに「１００００」という数値を入力しておくと、基本式（３１）は、
ｈ＝｛１００００ΔＰ／（α―βΔＰ）｝^１／２
となる。
これに対して、定数Ｃに「１」という数値を入力すると、基本式（３１）は、
ｈ＝｛ΔＰ／（α―βΔＰ）｝^１／２
となる。
したがって、定数Ｃ＝１のときに演算過程で「０．００００５」という数値が生じるとすれば、定数Ｃ＝１００００のときには、同じ演算過程で「０．５」という数値を生じることとなる。
このように、定数Ｃに大きな数値を入力しておけば、演算過程で小数点以下の数値を繰り上げることができるので、例えば、演算処理部１８の性能上、小数点第４位以下を「０」と判断する場合であっても、正確な演算結果を得ることができる。

なお、上記のように、定数Ｃに「１００００」を入力した場合と、他の数値を入力した場合とで、演算結果に差異が生じることはない。
なぜなら、上記（３４）式からも明らかなように、αおよびβも定数Ｃを乗算した数値として特定されるため、最終的には演算過程で定数Ｃが相殺されるからである。
例えば、Ｃ＝１の場合に、（３１）基本式が、
ｈ＝｛ΔＰ／（２―３ΔＰ）｝^１／２・・・（４３）式
となったとする。
これと全く同条件において、Ｃ＝１００と入力すると（３１）基本式は、
ｈ＝｛１００ΔＰ／（２００―３００ΔＰ）｝^１／２・・・（４４）式
となり、
ｈ＝｛１００ΔＰ／１００（２―３ΔＰ）｝^１／２・・・（４５）式
となるので、上記（４３）式と同様の演算結果を得ることとなる。

このように、定数Ｃにいずれの数値を入力したとしても、演算結果に何ら影響を及ぼすことはない。つまり、定数Ｃは、演算結果に影響を及ぼすことなく、演算過程における桁を調整するために入力するものである。
したがって、この第２実施形態の基本式において、定数Ｃは必ず入力できなければならないものではなく、例えば「１００」という数値が予め特定されていてもよいし、あるいは定数Ｃを「１」として、単にΔＰのみを演算しても構わない。

そして、演算処理部１８は、２点の実測値を（３１）基本式に入力するとともに、上記の演算を行って近似式を特定して記憶する。そして、差圧検出手段１７が出力値を出力したとき、上記近似式に出力値を入力して、隙間量ｈを算出する。
ただし、上記のようにして特定される近似式は、当然のこととして、実測値である（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）によって異なる。
すなわち、図６は、隙間量ｈと出力値ΔＰとの関係を実測してプロットした実測値特性線Ｌ４と、近似特性線Ｌ５，Ｌ６との関係を示す。近似特性線Ｌ５は、２点の実測値をｈ_１＝５０μ、ｈ_２＝１００μとしてΔＰ_１、ΔＰ_２を検出し、（３１）基本式のαおよびβを特定した近似式を示す。

これに対して、近似特性線Ｌ５は、２点の実測値をｈ_１＝３０μ、ｈ_２＝６０μとしてΔＰ_１、ΔＰ_２を検出し、（３１）基本式のαおよびβを特定した近似式を示す。
このように、２点の実測値を変えれば、実測値特性線Ｌ４に対して、異なる近似特性線を得る近似式を特定することとなるが、いずれの近似特性線Ｌ５，Ｌ６も実測値特性線Ｌ４に近似した軌跡を描く。
なお、２点を実測して特定される近似式に、出力値ΔＰを入力して算出される隙間量ｈは図７（ａ）に示すとおりである。
例えば、２点の実測値をｈ_１＝３０、ｈ_２＝６０として近似式を特定した場合において、この近似式にΔＰ＝２６を代入すると隙間量６８．３μを特定する。ΔＰ＝２６となるときの実測隙間量（ΔＰ＝２６となる場合に隙間量を実測してえられた距離）は７０μであるため、この場合の演算誤差は、図７（ｂ）に示すように僅かに−２％程度である。

これと同様に、２点の実測値をｈ_１＝４０、ｈ_２＝８０とした場合と、ｈ_１＝５０、ｈ_２＝１００とした場合とのいずれの場合においても、実測隙間量との差は図７（ｂ）に示すとおり僅かである。
このように、近似式に基づいて特定する隙間量ｈと、実測隙間量との差は極僅かしかないため、出力値ΔＰと隙間量ｈとの関係を細かく実測しなくても、隙間量ｈを精度よく出力することができる。

そして、演算処理部１８が、ワークＷとテーブル１０との間の隙間量ｈを特定したら、当該隙間量ｈを図示しない表示部に表示すれば、ワークＷがテーブル１０上にしっかりと位置しているか、言い換えれば、加工作業を行ってよい状態であるかどうかを、容易に判別することができる。
なお、図７（ａ），（ｂ）からも明らかなように、この第２実施形態においても、上記第１実施形態と同様、実測値特性線および近似特性線の特性上、２点の実測値間が離れるほど、実測隙間量と算出した隙間量ｈとの差、すなわち演算誤差が大きくなる傾向にある。また、２点の実測値間（ｈ_１とｈ_２とを実測した場合には隙間量ｈがｈ_１〜ｈ_２の範囲内にあるとき）においては、演算誤差をある程度小さな範囲内に納めることができるが、２点の実測値の範囲外（隙間量ｈが、〜ｈ_１またはｈ_２〜の範囲のとき）においては、実測値から離れるにしたがって、演算誤差が大きくなる。

したがって、２点の実測値の範囲を狭くすれば、当該実測値間にある隙間量ｈの検出精度を高めることができる。一方、検出精度をある程度低くしてでも、広い範囲で隙間量ｈを検出したい場合には、２点の実測値間の距離を遠くすればよい。
また、上記のような特性を利用して、演算処理部１８に次のような機能をもたせれば、さらに着座確認装置としての機能を高めることができる。
すなわち、ΔＰ_１＜ΔＰ_２として、２点の実測値を（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）とし、演算処理部１８に、一方の実測値であるΔＰ_１を下限出力値として記憶させ、他方の実測値であるΔＰ_２を上限出力値として記憶させる。

そして、演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力した出力値ΔＰが、下限出力値および上限出力値の範囲内にあるときを使用範囲とするように設定する。つまり、演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力した出力値ΔＰが上限出力値および下限出力値の範囲内であると判別したとき隙間量ｈを特定し、出力した出力値ΔＰが下限出力値および上限出力値の範囲外にあると判別したとき、隙間量ｈを特定せず、図示しない表示部等にＮＧ表示をする。
このように、演算処理部１８が、下限出力値および上限出力値の範囲内にあるときに隙間量ｈを特定すれば、精度の高い範囲を使用範囲とすることができる。

また、図７（ａ），（ｂ）からも明らかなように、近似式を特定するための２点の実測値地点においては、近似式を演算して特定した隙間量ｈと実測隙間量との誤差が全く生じない。これは、近似式を特定するにあたって、当該２点を実測しているためであり、近似式が必ず２点の実測値を通るからである。したがって、もっとも検出精度を高くしたい隙間量ｈを２点の実測値とすれば、当該実測値における検出精度を最大に高めることができる。
なお、２点の実測値を（ｈ_１，ΔＰ_１）および（ｈ_２，ΔＰ_２）としたとき、ΔＰ_１およびΔＰ_２の地点においては演算誤差が生じないこと上記した通りであるが、さらにΔＰ_１およびΔＰ_２から±ｘの範囲においても、演算誤差が小さくなる。
したがって、ΔＰ_１＜ΔＰ_２としたとき、演算処理部１８は、差圧検出手段１７が出力する出力値ΔＰが、（ΔＰ_１−ｘ）〜（ΔＰ_２＋ｘ）の範囲内にあると判別したとき隙間量ｈを特定し、出力した出力値ΔＰが（ΔＰ_１−ｘ）〜（ΔＰ_２＋ｘ）の範囲外にあると判別したとき、隙間量ｈを特定せず、図示しない表示部等にＮＧ表示をすれば、検出精度の高い範囲を使用範囲とすることができる。言い換えれば、使用範囲を広げながらも高い検出精度を維持することができる。ただし、上記ｘの値は、任意に決定すればよいものであり、ｘが大きくなるほど演算誤差が大きくなる。

なお、近似特性線を得られる近似式は上記各実施形態に示した式に限らず、他の式を用いてもよい。いずれにしても、近似特性線が、出力値ΔＰ＝０、隙間量ｈ＝０となるゼロ点を通るとともに、２点を実測することによって実測値特性線に近似する近似特性線を得られる式であればよい。つまり、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる式であれば、特にその式が限定されることはない。
また、上記実施形態では、着座確認装置を用いて説明したが、この発明は、着座確認装置に限らず、被検出体の位置等を確認する装置に広く用いることができる。

この発明の第１実施形態における着座確認装置の概念図である。 検出オリフィス前後の差圧と、被検出体とテーブルとの間の隙間量との関係を実測したときのプロット図である。 第１実施形態における実測値特性線と近似特性線との関係を示すグラフである。 実測値特性線とＳｉｎ式（近似特性線）との関係を示すグラフである。 第１実施形態において、実測隙間量および近似式に基づいて求められる隙間量を、差圧検出手段が出力する出力値ごとに表した表である。 第１実施形態において、近似式に基づいて求められる隙間量の実測隙間量に対する演算誤差の比率を、出力値ごとに表した表である。 第２実施形態における実測値特性線と近似特性線との関係を示すグラフである。 第２実施形態において、実測隙間量および近似式に基づいて求められる隙間量を、差圧検出手段が出力する出力値ごとに表した表である。 第２実施形態において、近似式に基づいて求められる隙間量の実測隙間量に対する演算誤差の比率を、出力値ごとに表した表である。 従来の着座確認装置の概念図である。 圧力検出手段が検出する圧力と被検出体とテーブルとの間の隙間量との関係を実測したときのプロット図である。

符号の説明

１０ テーブル
１１ 検出孔
１２ 下流ポート
１３ 検出圧通路
１４ 上流ポート
１５ 圧力源
１６ 検出オリフィス
１７ 差圧検出手段
１８ 演算処理部
ｈ 隙間量
ｘ（ｘ_１，ｘ_２） 任意の数値
Ｌ１ 実測値特性線
Ｌ２，３ 近似特性線
ΔＰ 差圧検出手段が出力する出力値
Ｗ 被検出体であるワーク

Claims (6)

1. 圧力源に接続する上流ポートおよびテーブルに設けた検出孔に接続する下流ポートを連通する検出圧通路と、この検出圧通路に設ける検出オリフィスと、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブルと被検出体との間の隙間量ｈを演算する演算処理部とを備え、
   この演算処理部は、
   ｈ＝｛Ａｒｃｓｉｎ（ΔＰ／α） ^１／２ ｝／β
   からなる基本式を記憶する一方、
   隙間量０のとき差圧０となる０点以外の２点を実測したとき、この２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）から上記αおよびβを特定するとともに、この特定したαおよびβを上記基本式に入力した式を、
   上記０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式として特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する構成にした位置確認装置。
2. 上記演算処理部は、上記２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）において、ｈ _１ ＝２ｈ _２ の条件を満たすと判断したとき、上記近似式を特定する構成にした請求項１記載の位置確認装置。
3. 圧力源に接続する上流ポートおよびテーブルに設けた検出孔に接続する下流ポートを連通する検出圧通路と、この検出圧通路に設ける検出オリフィスと、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブルと被検出体との間の隙間量ｈを演算する演算処理部とを備え、
   この演算処理部は、
   ｈ＝｛ΔＰＣ／（α−βΔＰ）｝ ^１／２
   からなる基本式を記憶する一方、
   隙間量０のとき差圧０となる０点以外の２点を実測したとき、この２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）から上記αおよびβを特定するとともに、この特定したαおよびβを上記基本式に入力した式を、
   上記０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式として特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力する出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する構成にした位置確認装置。
4. 上記演算処理部は、ΔＰ _１ ＜ΔＰ _２ としたとき、２点の実測値であるΔＰ _１ およびΔＰ _２ を下限出力値および上限出力値として記憶するとともに、差圧検出手段が出力した出力値ΔＰが、上記下限出力値および上限出力値の範囲内にあるとき、隙間量ｈを特定する構成にした請求項１〜３のいずれか１に記載の位置確認装置。
5. 圧力源に接続する上流ポートおよびテーブルに設けた検出孔に接続する下流ポートを連通する検出圧通路と、この検出圧通路に設ける検出オリフィスと、この検出オリフィス前後の差圧を検出するとともに、この差圧に基づいて変化する出力値ΔＰを出力する差圧検出手段と、この差圧検出手段が出力する出力値ΔＰを基にして、テーブルと被検出体との間の隙間量ｈを演算する演算処理部とを備え、
   この演算処理部は、ΔＰ_１＜ΔＰ_２としたとき、２点の実測値であるΔＰ_１およびΔＰ_２を下限出力値および上限出力値として記憶するとともに、隙間量０のとき差圧０となる０点を基点にした実測値に基づく実測値特性線に対して近似するとともに、上記０点以外の２点の実測値である（ｈ _１ ，ΔＰ _１ ）および（ｈ _２ ，ΔＰ _２ ）を特定することによって、実測値特性線に近似する近似特性線を得られる近似式を特定し、かつ、この近似式に基づいて上記差圧検出手段が出力した出力値ΔＰが、上記下限出力値および上限出力値の範囲内にあるとき、上記出力値ΔＰから隙間量ｈを特定する構成にした位置確認装置。
6. 上記演算処理部は、（ΔＰ_１−ｘ_１）〜（ΔＰ_２＋ｘ_２）の範囲内を使用範囲として特定する請求項４又は５記載の位置確認装置。

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