JPS639805A - 流体噴射による位置決め装置 - Google Patents
流体噴射による位置決め装置Info
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- JPS639805A JPS639805A JP15372786A JP15372786A JPS639805A JP S639805 A JPS639805 A JP S639805A JP 15372786 A JP15372786 A JP 15372786A JP 15372786 A JP15372786 A JP 15372786A JP S639805 A JPS639805 A JP S639805A
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
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- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、流体噴射による位置決め装置に関し、さらに
詳しくは、エアマイクロメータを利用する微小位置決め
において、空気圧振動による検出信号の微小振動の影響
、いわゆるノイズの影響を抑圧して、微小間隙を高速か
つ安定に設定できるような空気噴射による位置決め装置
に関する。
詳しくは、エアマイクロメータを利用する微小位置決め
において、空気圧振動による検出信号の微小振動の影響
、いわゆるノイズの影響を抑圧して、微小間隙を高速か
つ安定に設定できるような空気噴射による位置決め装置
に関する。
［従来の技術］
被検査物体等を所定の微小至近距離から撮像または観察
するために、観測系を微小間隙位置に位置決めするもの
としてエアマイクロメータが用いられる。このような従
来のエアマイクロメータ利用の位置決め装置の一例とし
て、いわゆるエアマイクロ利用自動焦点側御系を挙げる
ことができる。
するために、観測系を微小間隙位置に位置決めするもの
としてエアマイクロメータが用いられる。このような従
来のエアマイクロメータ利用の位置決め装置の一例とし
て、いわゆるエアマイクロ利用自動焦点側御系を挙げる
ことができる。
この側御系は、第４図に示すように、被検査物体を所定
の微小至近距離から撮像または観察するために、エアマ
イクロメータによる設定距離（基皇ギャップ）に等しい
焦点距離の位置に、検査用対物レンズを位置付は被検査
物体に対し自動的に距離設定を行うシステムである。
の微小至近距離から撮像または観察するために、エアマ
イクロメータによる設定距離（基皇ギャップ）に等しい
焦点距離の位置に、検査用対物レンズを位置付は被検査
物体に対し自動的に距離設定を行うシステムである。
第４図中、１は基型側ノズルであり、２は４−１定側ノ
ズル、３は基準ギャップ、４はマイクロメータヘッド、
５は被検査物体、６は検査用対物レンズ、そして７はエ
アマイクロメータの感度を一ヒげるために空気流の供給
側と噴出側の圧力比をほぼ２：１とするための圧力発生
部である。圧力発生部７が、−・般に、絞り部又は１つ
乃至は複数のオリフィスにより形成されている。
ズル、３は基準ギャップ、４はマイクロメータヘッド、
５は被検査物体、６は検査用対物レンズ、そして７はエ
アマイクロメータの感度を一ヒげるために空気流の供給
側と噴出側の圧力比をほぼ２：１とするための圧力発生
部である。圧力発生部７が、−・般に、絞り部又は１つ
乃至は複数のオリフィスにより形成されている。
８は空気供給口であり、９は差圧センサ、ｌＯは差圧ア
ンプ、１１はノイズ除去用積分回路、１２はアクチュエ
ータドライバ、１３は上下動用アクチュエータ、１４は
−に下動微動機構、１５は上ド動支点、そして１６は板
ばねである。
ンプ、１１はノイズ除去用積分回路、１２はアクチュエ
ータドライバ、１３は上下動用アクチュエータ、１４は
−に下動微動機構、１５は上ド動支点、そして１６は板
ばねである。
ここで、基準側ノズル１と測定側ノズル２とは、それぞ
れ基準ギャップ３と、被検査物体５と対物レンズ６との
間のギャップとを設定するためのエアマイクロメータの
空気噴出ノズルである。ここで、基をギャップ３をマイ
クロメータヘッド４によって、予め対物レンズ６の焦点
距離に等しく設定しておく。
れ基準ギャップ３と、被検査物体５と対物レンズ６との
間のギャップとを設定するためのエアマイクロメータの
空気噴出ノズルである。ここで、基をギャップ３をマイ
クロメータヘッド４によって、予め対物レンズ６の焦点
距離に等しく設定しておく。
さて、被検査物体５と対物レンズ６との距離が基をギャ
ップ３と一致すれば、基準側ノズル１の噴出空気圧と測
定側ノズル２の噴出空気圧とが一致する。したがって、
−・致しない間は、差圧センサ９が１−配置空気圧の差
を検出し、この差を電圧に変換して出力する。この出力
が差圧アンプ１０やアクチュエータドライバ１２を介し
て上下動アクチュエータ１３を差動させ、差圧センサ９
がもはや差圧を検出しなくなるまで対物レンズ６と被検
査物体５の距離（焦点距離）が調整される制御が行われ
る。
ップ３と一致すれば、基準側ノズル１の噴出空気圧と測
定側ノズル２の噴出空気圧とが一致する。したがって、
−・致しない間は、差圧センサ９が１−配置空気圧の差
を検出し、この差を電圧に変換して出力する。この出力
が差圧アンプ１０やアクチュエータドライバ１２を介し
て上下動アクチュエータ１３を差動させ、差圧センサ９
がもはや差圧を検出しなくなるまで対物レンズ６と被検
査物体５の距離（焦点距離）が調整される制御が行われ
る。
［解決しようとする問題点］
しかし、実際には空気にも、慣性や粘性などがあり、曲
がった配管やオリフィスを通過させると必ず乱流、振動
が生じ、そのため差圧センサから得られる検出電圧に微
振動が発生し、いわゆるノイズが現れ、これが出力され
ることになる。
がった配管やオリフィスを通過させると必ず乱流、振動
が生じ、そのため差圧センサから得られる検出電圧に微
振動が発生し、いわゆるノイズが現れ、これが出力され
ることになる。
その結果、位置決め精度の向上に影響を与え、特に、被
測定間隔の最小検出限界が制限されて微小な間隙に対す
る位置決めが難しい。
測定間隔の最小検出限界が制限されて微小な間隙に対す
る位置決めが難しい。
［発明のＬｌｌコ
コ発明は、このような従来技術の問題点を解決するもの
であって、エアマイクロメータを利用する場合に生ずる
空気圧の振動による検出信号の微小振動を抑圧して、微
小間隙を高速かつ安定に設定できる流体噴射による位置
決め装置を提供することを目的とする。
であって、エアマイクロメータを利用する場合に生ずる
空気圧の振動による検出信号の微小振動を抑圧して、微
小間隙を高速かつ安定に設定できる流体噴射による位置
決め装置を提供することを目的とする。
〔問題点を解決するための手段］
このような［目的を達成するためのこの発明の流体噴射
による位置決め装置における手段は、流体供給側に接続
される第１室及び噴射ノズル側に接続される第２室とが
多孔部材を介して連通された第１の圧力比発生部と、第
２室に連通ずる第１の噴射ノズルと、流体供給側に接続
される第１室及び噴射ノズル側に接続される第２室とが
多孔部材を介して連通された第２の圧力比発生部と、こ
の第２の圧力比発生部の第２室に連通ずる第２の噴射ノ
ズルと、第１の噴射ノズルからの流体の吹付対象となり
第１の噴射ノズルとの間に基準ギャップを形成する第１
の部材と、肢位１δ決め側に設けられ第２の噴射ノズル
からの流体の吹付対象となり第２の噴射ノズルとの間に
ギャップを形成する第２の部材とを備え、第２の噴射ノ
ズルの噴出圧力と第１の噴射ノズルの噴出圧力とが所定
の関係になるように、噴出圧力を電気的に検出して第２
の噴射ノズルの位置を設定するというものである。
による位置決め装置における手段は、流体供給側に接続
される第１室及び噴射ノズル側に接続される第２室とが
多孔部材を介して連通された第１の圧力比発生部と、第
２室に連通ずる第１の噴射ノズルと、流体供給側に接続
される第１室及び噴射ノズル側に接続される第２室とが
多孔部材を介して連通された第２の圧力比発生部と、こ
の第２の圧力比発生部の第２室に連通ずる第２の噴射ノ
ズルと、第１の噴射ノズルからの流体の吹付対象となり
第１の噴射ノズルとの間に基準ギャップを形成する第１
の部材と、肢位１δ決め側に設けられ第２の噴射ノズル
からの流体の吹付対象となり第２の噴射ノズルとの間に
ギャップを形成する第２の部材とを備え、第２の噴射ノ
ズルの噴出圧力と第１の噴射ノズルの噴出圧力とが所定
の関係になるように、噴出圧力を電気的に検出して第２
の噴射ノズルの位置を設定するというものである。
〔作用コ
このように多孔部材により介して圧力比発生部の第１室
と第２室とを連通させることにより、第１室から第２室
に噴射される気流に対して各多孔にいくつもの乱流を発
生させて、相互−ト渉させ、大きな乱流を抑制して以て
第２室の空気圧の変動を小さく抑１［、て、かつ第２室
の圧力変化に迅速に追従させることができる。
と第２室とを連通させることにより、第１室から第２室
に噴射される気流に対して各多孔にいくつもの乱流を発
生させて、相互−ト渉させ、大きな乱流を抑制して以て
第２室の空気圧の変動を小さく抑１［、て、かつ第２室
の圧力変化に迅速に追従させることができる。
その結果、被測定間隔の精度が向上し、微小間隙を高速
かつ安定に設定できる。しかも、最小検出限界をより小
さなものとすることも可能である。
かつ安定に設定できる。しかも、最小検出限界をより小
さなものとすることも可能である。
［実施例］
以下、この発明の一実施例について図面を用いて詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、この発明の流体噴射による位置決め装置を適
用した圧力比発生部の断面図、第２図は、その全体的な
構成図、第３図（ａ）は、その圧力比発生部の圧力比を
ほぼ２：１付近に採り、オリフィスを使用した場合のエ
アー供給圧力とノイズとの関係を示すグラフ、第３図（
ｂ）は、元圧を０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｔｌとして圧力
比発生部の圧力比とオリフィスの孔径及びメツシュフィ
ルタ径との関係を示すグラフ、第３図（ｃ）は、元圧を
０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｒｌとして４０μｍのメツシュ
フィルタとオリフィスを使用した場合のＳ／Ｎ比の関係
を示すグラフ、第３図（ｄ）は、元圧を０．１ ｋｇｆ
／ ｃ ｃｌとして各種のメツシュフィルタを組合わせ
使用した場合のＳ／Ｎ比の関係を示すグラフである。な
お、第４図と同一のものは同一・の符吟で示す。
用した圧力比発生部の断面図、第２図は、その全体的な
構成図、第３図（ａ）は、その圧力比発生部の圧力比を
ほぼ２：１付近に採り、オリフィスを使用した場合のエ
アー供給圧力とノイズとの関係を示すグラフ、第３図（
ｂ）は、元圧を０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｔｌとして圧力
比発生部の圧力比とオリフィスの孔径及びメツシュフィ
ルタ径との関係を示すグラフ、第３図（ｃ）は、元圧を
０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｒｌとして４０μｍのメツシュ
フィルタとオリフィスを使用した場合のＳ／Ｎ比の関係
を示すグラフ、第３図（ｄ）は、元圧を０．１ ｋｇｆ
／ ｃ ｃｌとして各種のメツシュフィルタを組合わせ
使用した場合のＳ／Ｎ比の関係を示すグラフである。な
お、第４図と同一のものは同一・の符吟で示す。
第２図に見るように、第４図の基を側ノズル１及び測定
側ノズル２がそれぞれ接続される従来の単なる絞り又は
オリフィスの圧力比発生部７に代えて、メツシュフィル
タ２０を有する圧力比発生部２１からなるものである。
側ノズル２がそれぞれ接続される従来の単なる絞り又は
オリフィスの圧力比発生部７に代えて、メツシュフィル
タ２０を有する圧力比発生部２１からなるものである。
圧力発生部２１は、第１図に見るように、２枚重ねのメ
ツシュフィルタからなるメツシュフィルタ２０で仕切ら
れた第１室２２及び第２室２３から構成され、第１室２
２の上流側は空気供給口８に接続され、第２室２３の下
流側は、基準側にあっては基準側噴射ノズルｌに、測定
側にあっては測定側噴射ノズル２に接続されている。
ツシュフィルタからなるメツシュフィルタ２０で仕切ら
れた第１室２２及び第２室２３から構成され、第１室２
２の上流側は空気供給口８に接続され、第２室２３の下
流側は、基準側にあっては基準側噴射ノズルｌに、測定
側にあっては測定側噴射ノズル２に接続されている。
そして、このメツシュフィルタ２０は、第１室２２の圧
力ＰＩと第２室２３の圧力Ｐ２の圧力比をほぼＰ／：Ｐ
２＝２：１付近に設定する開口率を有している。なお、
２０ａはオーリング、２２ａ＊２３ａは、それぞれメツ
シュフィルタ２０を保持するホルダーの役割を果たして
いる。
力ＰＩと第２室２３の圧力Ｐ２の圧力比をほぼＰ／：Ｐ
２＝２：１付近に設定する開口率を有している。なお、
２０ａはオーリング、２２ａ＊２３ａは、それぞれメツ
シュフィルタ２０を保持するホルダーの役割を果たして
いる。
このような構成によれば、ノイズが小さくなる上に、そ
の幅がほぼ一定となる。このようなことから第２図にあ
っては、このノイズレベルに対応する人力分に対して出
力を発生しない不感帯部分１９ａを設けた、いわゆる不
感帯を有する増幅器１９を作動アンプ１０とアクチュエ
ータドライバ１２との間に挿入している。なお、図中、
１９ｂはノイズ信号を、」（す。
の幅がほぼ一定となる。このようなことから第２図にあ
っては、このノイズレベルに対応する人力分に対して出
力を発生しない不感帯部分１９ａを設けた、いわゆる不
感帯を有する増幅器１９を作動アンプ１０とアクチュエ
ータドライバ１２との間に挿入している。なお、図中、
１９ｂはノイズ信号を、」（す。
ところで、従来、ノイズ抑圧するために、時定数の大き
な積分回路を用いた場合、例えば１００μｍストローク
で自動焦点合わせに約３秒を要していたのが、前記のよ
うに不感帯をイｒする増幅器を負帰還ループに挿入する
ことで、高速な＄制御ができ、同じ吠況下゛で、約０．
１秒以ドでの自動焦点合わせを行うことができる。
な積分回路を用いた場合、例えば１００μｍストローク
で自動焦点合わせに約３秒を要していたのが、前記のよ
うに不感帯をイｒする増幅器を負帰還ループに挿入する
ことで、高速な＄制御ができ、同じ吠況下゛で、約０．
１秒以ドでの自動焦点合わせを行うことができる。
次に、メツシュフィルタ２０の作用について説明する。
圧力比発生部７の圧力比をほぼ２：１付近に採り、オリ
フィスを使用した場合のエアー供給圧力（以下元圧）と
ノイズとの関係示した第３図（ａ）に見るように、Ｓ／
Ｎ比はよくても４０程度までである。
フィスを使用した場合のエアー供給圧力（以下元圧）と
ノイズとの関係示した第３図（ａ）に見るように、Ｓ／
Ｎ比はよくても４０程度までである。
すなわち、このグラフ中、元圧を０．０４ ｋｇｆ／
ｃぜ〜０．４ ｋｇｆ ／ ｃ ｍ’に変化させた時に
実線で示す特性２４がＳ／Ｎ比であり、太い点線で示す
特性２５が差圧センサ９の信号出力、細い点線で示す特
性２６がノイズの電圧である。ここで元圧を０．０４ｋ
ｇｆ／ ｃ Ｉ／−０，４ｋｇｆ ／ ｃ ｒ／に変化
させた時のＳｌＮ比を見ると、元圧の上昇にともない差
圧センサ９の信号出力が増大するがノイズも増大してし
まうことが分かる。
ｃぜ〜０．４ ｋｇｆ ／ ｃ ｍ’に変化させた時に
実線で示す特性２４がＳ／Ｎ比であり、太い点線で示す
特性２５が差圧センサ９の信号出力、細い点線で示す特
性２６がノイズの電圧である。ここで元圧を０．０４ｋ
ｇｆ／ ｃ Ｉ／−０，４ｋｇｆ ／ ｃ ｒ／に変化
させた時のＳｌＮ比を見ると、元圧の上昇にともない差
圧センサ９の信号出力が増大するがノイズも増大してし
まうことが分かる。
この場合のノイズの増大の仕方は、特異性があって、０
．璽５ ｋｇｆ／ ｃ ｄでピークとなり、そのときの
Ｓ／Ｎ比を見ると、元圧が０．１ ｋｇｆ／ｃ♂が最良
となり、０．０９ ｋｇｆ／ ｃ ｄ 〜１．１ ｋｇ
ｆ ／ ｃ ＋／程度で制御するとよいことが分かる。
．璽５ ｋｇｆ／ ｃ ｄでピークとなり、そのときの
Ｓ／Ｎ比を見ると、元圧が０．１ ｋｇｆ／ｃ♂が最良
となり、０．０９ ｋｇｆ／ ｃ ｄ 〜１．１ ｋｇ
ｆ ／ ｃ ＋／程度で制御するとよいことが分かる。
そこで、元圧が０．１ ｋｇｆ／ｃ♂として圧力比発生
部７の圧力比とオリフィスの孔径、メツシュフィルタ径
との関係を圧力比２：１前後で調べると、第３図（ｂ）
のグラフ特性となる。グラフ中、実線で示す特性２７が
各種の径のメツシュフィルタの特性であり、太い点線で
示す特性２８が径４０μｍメツシュフィルタ＋オリフィ
ス特性の一例であり、細い点線で示す特性２９がオリフ
ィスの特性である。
部７の圧力比とオリフィスの孔径、メツシュフィルタ径
との関係を圧力比２：１前後で調べると、第３図（ｂ）
のグラフ特性となる。グラフ中、実線で示す特性２７が
各種の径のメツシュフィルタの特性であり、太い点線で
示す特性２８が径４０μｍメツシュフィルタ＋オリフィ
ス特性の一例であり、細い点線で示す特性２９がオリフ
ィスの特性である。
この結果から、元圧を０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｔｌとし
て４０μｍのメツシュフィルタとオリフィスを使用して
ｊ「すＪ発生部７の圧力比をほぼ２：１付近に採った場
合のノイズに対するＳ／Ｎ比等の特性を見ると、第３図
（Ｃ）のようになり、実線で示す特性３０がＳ／Ｎ比で
ある。なお、３１はこのときの検出信号（電圧）の特性
であり、３２は圧力比特性を示している。
て４０μｍのメツシュフィルタとオリフィスを使用して
ｊ「すＪ発生部７の圧力比をほぼ２：１付近に採った場
合のノイズに対するＳ／Ｎ比等の特性を見ると、第３図
（Ｃ）のようになり、実線で示す特性３０がＳ／Ｎ比で
ある。なお、３１はこのときの検出信号（電圧）の特性
であり、３２は圧力比特性を示している。
前記特性３０から理解できるように、第３図（ａ）に見
る最良のＳ／Ｎ比４０よりもはるかに１４０という高い
値を示す。また、元圧を０．１ ｋｇｆ／ｃＩ／として
各種のメツシュフィルタを組合わせ使用した場合のＳ／
Ｎ比の関係を示す第３図（ｄ）の特性グラフから分かる
ように、径４０μｍ＋径１０μｍの２層構造のメツシュ
フィルタを使用した場合では、そのＳ／Ｎ比がさらに向
トしてＳ／Ｎ比が１７０となる。なお、実線で示す特性
３３がＳ／Ｎ比特性であり、３４はこのときの検出信号
（電圧）特性、３５は圧力比特性を示している。
る最良のＳ／Ｎ比４０よりもはるかに１４０という高い
値を示す。また、元圧を０．１ ｋｇｆ／ｃＩ／として
各種のメツシュフィルタを組合わせ使用した場合のＳ／
Ｎ比の関係を示す第３図（ｄ）の特性グラフから分かる
ように、径４０μｍ＋径１０μｍの２層構造のメツシュ
フィルタを使用した場合では、そのＳ／Ｎ比がさらに向
トしてＳ／Ｎ比が１７０となる。なお、実線で示す特性
３３がＳ／Ｎ比特性であり、３４はこのときの検出信号
（電圧）特性、３５は圧力比特性を示している。
以１−説明してきたが、実施例で示したオリフィス径＋
メツシュフィルタの孔径、メツシュフィルタだけの場合
の孔径については、これら缶径が元圧との関係で決まる
。したがって、元圧が相違すえば、相違する。したがっ
て、エア噴射による位置決め装置の構造に応じて、Ｓｌ
Ｎ比の高い元圧が選択され、これに応じてこれら数値が
決定されることになる。
メツシュフィルタの孔径、メツシュフィルタだけの場合
の孔径については、これら缶径が元圧との関係で決まる
。したがって、元圧が相違すえば、相違する。したがっ
て、エア噴射による位置決め装置の構造に応じて、Ｓｌ
Ｎ比の高い元圧が選択され、これに応じてこれら数値が
決定されることになる。
また、メツシュフィルタだけの場合には、Ｉｆ−力発生
部の圧力比がほぼ２：１付近に採れれば必ずしも２層構
造を採る必要はない。
部の圧力比がほぼ２：１付近に採れれば必ずしも２層構
造を採る必要はない。
さらに、実施例では、基準側と測定側との圧力が一致す
るように制御するものであるが、これは、ｌ：ｎになる
ように制御してもよく、必ずしも一致するような制御に
よる必要はない。要するに所定の圧力関係になるように
制御されればよい。
るように制御するものであるが、これは、ｌ：ｎになる
ように制御してもよく、必ずしも一致するような制御に
よる必要はない。要するに所定の圧力関係になるように
制御されればよい。
実施例では、メツシュフィルタを使用しているが、これ
は、第１室から第２室に噴射される気流に対して各多孔
にいくつもの小さな乱流を発生させる効果をねらったも
のであって、これら小さな乱流を相りに１渉させて、大
きな乱流を抑制するものであるので、メツシュフィルタ
に限らず、メツシュ部材答、隣接して多くの孔をイｆす
る多孔部材ならばどのようなものであってもよい。
は、第１室から第２室に噴射される気流に対して各多孔
にいくつもの小さな乱流を発生させる効果をねらったも
のであって、これら小さな乱流を相りに１渉させて、大
きな乱流を抑制するものであるので、メツシュフィルタ
に限らず、メツシュ部材答、隣接して多くの孔をイｆす
る多孔部材ならばどのようなものであってもよい。
また、エア噴射の例を挙げているが、気体は、空気に限
定されるものではな（、例えばＮ２ガス等を使用しても
よい。さらに液体であってもよく、いわゆる流体噴射に
よる位置決め装置一般に使用できる。
定されるものではな（、例えばＮ２ガス等を使用しても
よい。さらに液体であってもよく、いわゆる流体噴射に
よる位置決め装置一般に使用できる。
［発明の効果コ
以りの説明から理解できるように、この発明にあっては
、多孔部材により介して圧力比発生部の第１室と第２室
とを連通させているので、第１室から第２室に噴射され
る気流に対して各多孔にいくつもの乱流を発生させて、
相互干渉させ、大きな乱流を抑制して以て第２室の空気
圧の変動を小さく抑１−でき、かつ第２室の圧力変化に
迅速に追従させることができる。
、多孔部材により介して圧力比発生部の第１室と第２室
とを連通させているので、第１室から第２室に噴射され
る気流に対して各多孔にいくつもの乱流を発生させて、
相互干渉させ、大きな乱流を抑制して以て第２室の空気
圧の変動を小さく抑１−でき、かつ第２室の圧力変化に
迅速に追従させることができる。
その結果、被測定間隔の精度が向１−シ、微小間隙を高
速かつ安定に設定できる。しかも、最小検出限界をより
小さなものとすることも可能となる。
速かつ安定に設定できる。しかも、最小検出限界をより
小さなものとすることも可能となる。
さらに、ノイズ抑圧のために従来の積分回路に換えて不
感帯増幅器を使用すれば、遥かに高速、かつ、安定した
調整、制御を行えるようになる。
感帯増幅器を使用すれば、遥かに高速、かつ、安定した
調整、制御を行えるようになる。
第１図は、この発明の流体噴射による位置決め装置を適
用したｊＬ力比発生部の断面図、第２図は、その全体的
な構成図、第３図（ａ）は、その圧力比発生部の圧力比
をほぼ２：ｌ付近に採り、オリフィスを使用した場合の
エアー供給圧力とノイズとの関係を示すグラフ、第３図
（ｂ）は、元圧を０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｒｌとして圧
力比発生部の圧力比とオリフィスの孔径及びメツシュフ
ィルタ径との関係を示すグラフ、第３図（ｃ）は、元圧
をＯ，ｌ ｋｇｆ／ ｃ ｒｌとして４０μｍのメツシ
ュフィルタとオリフィスを使用した場合のＳ／Ｎ比の関
係を示すグラフ、第３図（ｄ）は、元圧をＯ０凰ｋｇｆ
／ ｃ Ｉ／とじて各種のメツシュフィルタを組合わせ
使用した場合のＳ／Ｎ比の関係を示すグラフ、第４図は
、従来のエア噴射による位置決め装置の構成図である。 １・・・基準側ノズル、２・・・測定側ノズル、３・・
・基準ギャップ、４・・・マイクロメータヘッド、５・
・・被検査物体、６・・・検査用対物レンズ、７．２１
・・・圧力比発生部、８・・・空気供給口、９・・・差
圧センサ、１０・・・差圧アンプ、１１・・・ノイズ除
去用積分回路、 １２・・・アクチュエータドライバ、 １３・・・ヒ丁動用アクチュエータ、 １４・・・ヒト動微動機構、１５・・・上下動支点、１
６・・・板ばね、１９・・・不感帯幅、２０・・・メツ
シュフィルタ、２２・・・第１室、２３・・・第２室、
用したｊＬ力比発生部の断面図、第２図は、その全体的
な構成図、第３図（ａ）は、その圧力比発生部の圧力比
をほぼ２：ｌ付近に採り、オリフィスを使用した場合の
エアー供給圧力とノイズとの関係を示すグラフ、第３図
（ｂ）は、元圧を０．１ ｋｇｆ／ ｃ ｒｌとして圧
力比発生部の圧力比とオリフィスの孔径及びメツシュフ
ィルタ径との関係を示すグラフ、第３図（ｃ）は、元圧
をＯ，ｌ ｋｇｆ／ ｃ ｒｌとして４０μｍのメツシ
ュフィルタとオリフィスを使用した場合のＳ／Ｎ比の関
係を示すグラフ、第３図（ｄ）は、元圧をＯ０凰ｋｇｆ
／ ｃ Ｉ／とじて各種のメツシュフィルタを組合わせ
使用した場合のＳ／Ｎ比の関係を示すグラフ、第４図は
、従来のエア噴射による位置決め装置の構成図である。 １・・・基準側ノズル、２・・・測定側ノズル、３・・
・基準ギャップ、４・・・マイクロメータヘッド、５・
・・被検査物体、６・・・検査用対物レンズ、７．２１
・・・圧力比発生部、８・・・空気供給口、９・・・差
圧センサ、１０・・・差圧アンプ、１１・・・ノイズ除
去用積分回路、 １２・・・アクチュエータドライバ、 １３・・・ヒ丁動用アクチュエータ、 １４・・・ヒト動微動機構、１５・・・上下動支点、１
６・・・板ばね、１９・・・不感帯幅、２０・・・メツ
シュフィルタ、２２・・・第１室、２３・・・第２室、
Claims (4)
- （１）流体供給側に接続される第１室及び噴射ノズル側
に接続される第２室とが多孔部材を介して連通された第
１の圧力比発生部と、第２室に連通する第１の噴射ノズ
ルと、前記流体供給側に接続される第１室及び噴射ノズ
ル側に接続される第２室とが多孔部材を介して連通され
た第２の圧力比発生部と、この第２の圧力比発生部の第
２室に連通する第２の噴射ノズルと、第１の噴射ノズル
からの流体の吹付対象となり第１の噴射ノズルとの間に
基準ギャップを形成する第１の部材と、被位置決め側に
設けられ第２の噴射ノズルからの流体の吹付対象となり
第２の噴射ノズルとの間にギャップを形成する第２の部
材とを備え、第２の噴射ノズルの噴出圧力と第１の噴射
ノズルの噴出圧力とが所定の関係になるように、噴出圧
力を電気的に検出して第２の噴射ノズルの位置を設定す
ることを特徴とする流体噴射による位置決め装置。 - （２）流体は空気であり、第１の部材は移動可能に設置
され、多孔部材はメッシュフィルタであることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の流体噴射による位置決
め装置。 - （３）第１室と第２室の圧力比がほぼ２：１であり、第
１の部材はマイクロメータに結合されてその位置が設定
され、多孔部材は第１室側に面する大きい孔のメッシュ
フィルタと第２室側に面する小さい孔のメッシュフィル
タとからなることを特徴とする特許請求の範囲第２項記
載の流体噴射による位置決め装置。 - （４）第２の噴射ノズルと第２の部材との間隔がほぼ５
０μｍ〜５００μｍの範囲であり、空気供給圧力が０．
０９ｋｇｆ／ｃｍ＾２〜０．１１ｋｇｆ／ｃｍ＾２であ
って、メッシュフィルタの大きい方の孔径が４０μｍ、
小さい方の孔径が１０μｍの２層構造であることを特徴
とする特許請求の範囲第３項記載の流体噴射による位置
決め装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15372786A JPS639805A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 流体噴射による位置決め装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15372786A JPS639805A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 流体噴射による位置決め装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS639805A true JPS639805A (ja) | 1988-01-16 |
| JPH0330087B2 JPH0330087B2 (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=15568775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15372786A Granted JPS639805A (ja) | 1986-06-30 | 1986-06-30 | 流体噴射による位置決め装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS639805A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008032687A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-02-14 | Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd | 位置確認装置 |
| JP2009085968A (ja) * | 2004-03-30 | 2009-04-23 | Asml Holding Nv | 圧力センサ、近接センサおよびリソグラフィトポグラフィマッピング装置 |
| JP2010050449A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-03-04 | Asml Holding Nv | 共通の検知およびノズルシェーピングを用いるマルチノズルの近接センサ |
| JP2012058213A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Tokai Kiyouhan Kk | エアマイクロメータ |
| JP2019507894A (ja) * | 2015-12-21 | 2019-03-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 高さ測定装置、リソグラフィ装置、高さ測定方法、および高さ測定装置を製造する方法 |
-
1986
- 1986-06-30 JP JP15372786A patent/JPS639805A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009085968A (ja) * | 2004-03-30 | 2009-04-23 | Asml Holding Nv | 圧力センサ、近接センサおよびリソグラフィトポグラフィマッピング装置 |
| JP2008032687A (ja) * | 2006-06-27 | 2008-02-14 | Nippon Pneumatics Fluidics System Co Ltd | 位置確認装置 |
| JP2010050449A (ja) * | 2008-08-11 | 2010-03-04 | Asml Holding Nv | 共通の検知およびノズルシェーピングを用いるマルチノズルの近接センサ |
| US8390782B2 (en) | 2008-08-11 | 2013-03-05 | Asml Holding N.V. | Multi nozzle proximity sensor employing common sensing and nozzle shaping |
| JP2012058213A (ja) * | 2010-09-13 | 2012-03-22 | Tokai Kiyouhan Kk | エアマイクロメータ |
| JP2019507894A (ja) * | 2015-12-21 | 2019-03-22 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | 高さ測定装置、リソグラフィ装置、高さ測定方法、および高さ測定装置を製造する方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0330087B2 (ja) | 1991-04-26 |
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