JP5012633B2 - 有機エレクトロルミネッセンス装置、並びにその製造方法および製造装置 - Google Patents
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Description
図3(a)、(b)は、本発明を適用した有機EL装置の断面構成を模式的に示す断面図、および第1基板110の平面構成を模式的に示す説明図であり、図3(a)は、図3(b)のK−K′線に沿って有機EL装置を切断したときの断面図に相当する。このため、図3(a)には、有機EL素子として、赤色(R)、緑色(G)に対応する有機EL素子を1つずつ示し、青色(B)に対応する有機EL素子については2つ示してある。図4(a)、(b)は各々、本発明を適用した有機EL装置の相隣接する画素2つ分の平面図、および画素1つ分の断面図である。図4(b)は図4(a)のB−B′線における断面図であり、図4(a)では、第1電極層140は長い点線で示し、データ線6aおよびそれと同時形成された薄膜は一点鎖線で示し、走査線3aは実線で示し、半導体層は短い点線で示してある。また、図4(a)では、補助配線に右上がりの斜線を付してある。
図3(a)および図4(a)、(b)に示すように、本形態の有機EL装置100において、第2電極層171は、複数の画素100aに跨るように形成された薄膜によって形成されており、かかる第2電極層171の電気的抵抗が高い場合や、電気的抵抗が場所によってばらついた場合、有機EL装置100では輝度ばらつきが発生してしまう。特に、本形態の有機EL装置100は、有機EL素子180から出射された光を第2電極層171が位置する側(支持基板110dが位置する側とは反対側)から出射するトップエミッションタイプであるため、第2電極層171に透光性が求められる。このためら、第2電極層171の膜厚が薄いので、第2電極層171には場所毎に電気的抵抗がばらつき、かかる電気的抵抗のばらつきは、有機EL装置100において輝度ばらつきの原因となる。
図1〜図4を参照して説明した有機EL装置100は、図5(a)、(b)を参照して説明する製造装置において、真空雰囲気(減圧雰囲気)や窒素雰囲気など、大気と異なる状態での複数の処理を行なうことにより製造される。
本形態の有機EL装置100の製造装置10のうち、サブチャンバ14eは、補助配線172に対する補助配線検査室として利用される。すなわち、本形態では、図3(b)に示すように、第1基板110には、複数本の補助配線172の両端に補助配線172の幅寸法よりも幅広の補助配線用端子172aが形成されている一方、サブチャンバ14e(補助配線検査室)には検査装置200が配置されている。検査装置200は、コネクタカード状に形成されており、本体部分220に複数の検査端子210が形成されている。かかる複数の検査端子210は、検査装置200の本体部分220を第1基板110に重ねた際、補助配線用端子172aに一対一で接触するように構成されている。また、サブチャンバ14eには検査装置200に対する昇降装置(図示せず)が構成されており、補助配線172が形成された第1基板110がサブチャンバ14e内に搬入されてステージ(図示せず)上に載置されると、検査装置200が下降し、複数の検査端子210が各々補助配線用端子172aに接触する。
図1〜図4を参照して説明した有機EL装置100を製造するには、例えば、単品サイズの基板に対して各工程を行なう方法と、第1基板110を多数取りできる大型基板に各工程を行なった後、大型基板に対して、第2基板120を多数取りできる大型基板を貼り合わせ、しかる後に単品サイズの有機EL装置100を切断する方法が採用される。いずれの方法でも基本的な内容は同様であるので、以下の説明では、単品サイズの基板を用いる場合を説明する。
以上説明したように、本形態では、複数の画素100aに跨るように形成された第2電極層171の下層側に、第2電極層171と接する複数本の補助配線172が一方向に延在しているため、第2電極層171の電気的抵抗が高いのを補助配線172によって補うことができるとともに、第2電極層171の電気的抵抗の場所毎のばらつきを補助配線172によって吸収することができる。それ故、有機EL装置100の輝度ばらつきを解消することができる。
図6は、本発明を適用した別の有機EL装置に用いた第1基板110の平面構成を模式的に示す説明図である。上記実施の形態において、複数本の補助配線172は、互いに独立して形成され、1本の補助配線172の各両端に補助配線用端子172aが形成されている構成を採用したが、図6に示すように、複数本の補助配線172が互いに直列され、直列に接続された複数本の補助配線172のうち、両端に位置する補助配線172の端部に補助配線用端子172aが形成されている構成を採用してもよい。このように構成すると、複数本の補助配線172の良否を一括して検査することができる。
図1〜図5を参照して説明した実施の形態では、複数本の補助配線172は、互いに独立して形成され、1本の補助配線172の各両端に補助配線用端子172aが形成されている構成を採用したが、複数本の補助配線172の一方の端部については共通の補助配線用端子を形成し、補助配線172の他方の端部について個別の補助配線用端子を形成してもよい。このように構成すると、検査装置に設ける検査端子の数を減らすことができるなど、検査装置の構成を簡素化することができる。
上記実施の形態では、補助配線172と補助配線用端子172aとを同時形成したが、補助配線172が、絶縁膜のコンタクトホールを介して、データ線6aや走査線3aと同時形成された補助配線用端子に電気的接続された構造を採用してもよい。
上記形態では、真空蒸着法により形成された有機機能層を検査対象としたが、インクジェット法などで形成した有機機能層を備えた有機EL装置に本発明を適用してもよい。すなわち、有機EL素子の正孔注入層を形成するにあたっては、3、4−ポリエチレンジオシチオフェン/ポリスチレンスルホン酸(PEDOT/PSS)などを溶媒に溶かした液状組成物をドット状に吐出した後、それを定着する方法が採用される場合があり、かかる方法を採用した場合に本発明を適用してもよい。また、有機EL素子の発光層を形成するにあたっては、ポリフルオレン誘導体、ポリフェニレン誘導体、ポリビニルカルバゾール、ポリチオフェン誘導体、またはこれらの高分子材料にペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素、例えばルブレン、ペリレン、1910−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン6、キナクリドン等をドープした材料などを溶媒に溶かした液状組成物をドット状に吐出した後、それを定着する方法が採用される場合があり、かかる方法を採用した場合に本発明を適用してもよい。
次に、上述した実施形態に係る有機EL装置100を適用した電子機器について説明する。図7(a)に、有機EL装置100を備えたモバイル型のパーソナルコンピュータの構成を示す。パーソナルコンピュータ2000は、表示ユニットとしての有機EL装置100と本体部2010を備える。本体部2010には、電源スイッチ2001及びキーボード2002が設けられている。図7(b)に、有機EL装置100を備えた携帯電話機の構成を示す。携帯電話機3000は、複数の操作ボタン3001及びスクロールボタン3002、並びに表示ユニットとしての有機EL装置100を備える。スクロールボタン3002を操作することによって、有機EL装置100に表示される画面がスクロールされる。図7(c)に、有機EL装置100を適用した情報携帯端末(PDA:Personal Digital Assistants)の構成を示す。情報携帯端末4000は、複数の操作ボタン4001及び電源スイッチ4002、並びに表示ユニットとしての有機EL装置100を備える。電源スイッチ4002を操作すると、住所録やスケジュール帳といった各種の情報が有機EL装置100に表示される。
Claims (3)
- 支持基板上に複数の画素が配列された画素領域を有し、前記複数の画素の各々に、少なくとも第1電極層、発光層、および第2電極層が順に積層された有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法において、
前記複数の画素に跨るように前記第2電極層を形成する第2電極層形成工程と、
前記第2電極層形成工程の前あるいは後に、前記第2電極の上層側または下層側で一方向に延在して前記第2電極層と接する複数本の補助配線を形成する補助配線形成工程と、
を有し、
前記補助配線形成工程では、前記補助配線の幅寸法よりも広い幅寸法をもって前記補助配線の両端の各々に電気的接続する複数の補助配線用端子を形成しておき、
当該補助配線形成工程の後、前記補助配線用端子に検査端子を接触させて前記補助配線の電気特性を検査する補助配線検査工程を行なうことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 少なくとも、前記第2電極層形成工程および前記補助配線形成工程を大気と異なる雰囲気中で行い、
前記補助配線形成工程の後、前記支持基板を大気に晒すことなく前記補助配線検査工程を行なうことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。 - 支持基板上の複数の画素が配列された画素領域を有し、前記複数の画素の各々に、少なくとも第1電極層、発光層、および第2電極層が順に積層された有機エレクトロルミネッセンス素子を備えた有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置において、
少なくとも、
大気と異なる雰囲気中で、前記複数の画素に跨るように前記第2電極層を形成する第2電極層形成部と、
大気と異なる雰囲気中で、前記第2電極の上層側または下層側で一方向に延在して前記第2電極層と接する複数本の補助配線、および前記補助配線の幅寸法より広い幅寸法をもって当該補助配線の両端の各々に電気的接続する複数の補助配線用端子を形成する補助配線形成部と、
大気と異なる雰囲気中で、前記補助配線用端子に検査端子を接触させて前記補助配線の電気特性を検査する補助配線検査部と、
を有することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置の製造装置。
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