JP5005436B2 - Component mounting equipment - Google Patents
Component mounting equipmentInfo
- Publication number
- JP5005436B2 JP5005436B2 JP2007158770A JP2007158770A JP5005436B2 JP 5005436 B2 JP5005436 B2 JP 5005436B2 JP 2007158770 A JP2007158770 A JP 2007158770A JP 2007158770 A JP2007158770 A JP 2007158770A JP 5005436 B2 JP5005436 B2 JP 5005436B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- mounting
- time
- mark
- standby time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 118
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 36
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 32
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 description 16
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 3
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000004886 process control Methods 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Description
本発明は、電子部品を基板上に実装する部品実装装置に関するものである。 The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting electronic components on a substrate.
従来から、部品吸着用のヘッドを搭載した移動可能なヘッドユニットを駆動することにより、部品供給部から電子部品を吸着して実装作業位置に位置決めされたプリント基板(PWB)等(以下、「基板」という)に実装する部品実装装置が知られている。この種の装置では、通常、ヘッドユニットに基板認識用のカメラが搭載されており、このカメラで基板上のマークを撮像し、基板の位置を事前に認識することにより部品の実装精度を確保するようにしている。また最近では、このような基板の位置認識に際し、ヘッドユニット停止時の慣性力による振動等の影響を排除して基板の認識精度を高めるように、目標位置にヘッドユニットが完全に停止するまでの整定時間、あるいは整定みなし時間を待ち合わせた後、前記マークを撮像するようにしたものも提案されている(例えば特許文献1)。
ところで、部品実装装置には、ヘッドユニットを各々備えた複数の実装ステージ(実装処理部)を基板の搬送路に沿って配備し、搬送される基板を可動テーブル上に保持して各実装ステージ側に引き込んで実装処理を行うものがある。この装置では、基板を実装ステージの所定の作業位置に引き込んだ(移動させた)後に前記位置認識を行うこととなるが、その際、可動テーブルの慣性力により基板が振動を伴い、認識精度に支障が出ることが考えられる。従って、従来のように、ヘッドユニット(カメラ)側の制御に整定時間を設定するだけでは、基板の位置認識を精度良く行うことは難しく、この点に改善の余地がある。 By the way, in the component mounting apparatus, a plurality of mounting stages (mounting processing units) each having a head unit are arranged along the substrate transport path, and the substrate to be transported is held on a movable table, and each mounting stage side There is something that pulls in and implements the mounting process. In this apparatus, the position recognition is performed after the substrate is pulled (moved) to a predetermined work position on the mounting stage. At that time, the substrate is vibrated by the inertial force of the movable table, and the recognition accuracy is improved. It may be a problem. Therefore, it is difficult to accurately recognize the position of the substrate simply by setting the settling time for the control on the head unit (camera) side as in the prior art, and there is room for improvement in this respect.
なお、基板は、その品種やサイズによって重さが異なるため、基板が目標位置に安定的に停止するまでの時間も厳密には基板の種類毎に異なる。また、複数ステージが近接する場合には、隣設するステージの振動が相互に影響することも考えられる。そのため、上記改善策を講じる場合、この点を考慮することも必要となる。 Since the weight of the substrate varies depending on the type and size of the substrate, the time required for the substrate to stably stop at the target position also varies depending on the substrate type. Further, when a plurality of stages are close to each other, it is conceivable that vibrations of adjacent stages affect each other. Therefore, when taking the above improvement measures, it is necessary to take this point into consideration.
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、基板を所定の作業位置に引き込んで(移動させて)実装処理を行う部品実装装置において、基板上の対象物をより精度良く認識できるようにすることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above circumstances, and in a component mounting apparatus that performs a mounting process by pulling (moving) a board to a predetermined work position, the object on the board is recognized more accurately. The purpose is to be able to.
上記課題を解決するために、本発明は、可動テーブルにより所定の作業位置に搬送されて位置決めされる基板上の対象物を、前記作業位置に対応して配置される撮像手段により撮像して認識するように構成された部品実装装置において、前記可動テーブルが前記作業位置に配置された後、予め設定された待機時間が経過した時点で前記基板上の対象物を撮像するように前記撮像手段を制御する制御手段を有し、この制御手段は、前記待機時間が経過した時点で前記基板上の対象物を連続して複数回撮像し、これら画像の対象物同士の位置誤差が所定の基準値を超える場合には、前記対象物の撮り直しを行うように前記撮像手段を制御するものである(請求項1)。
In order to solve the above-described problems, the present invention captures and recognizes an object on a substrate which is transported to a predetermined work position by a movable table and positioned by an image pickup unit arranged corresponding to the work position. In the component mounting apparatus configured to, the imaging unit is configured to capture an image of the object on the substrate when a preset standby time has elapsed after the movable table is disposed at the working position. have a control means for controlling, the control means, the objects on the substrate when the waiting time has elapsed successively captured a plurality of times, the position error is a predetermined reference value of the object between these images In the case of exceeding the above, the image pickup means is controlled so as to retake the object .
この構成によれば、基板を前記作業位置に対してより安定的に停止させた状態で対象物を撮像することが可能となり、当該対象物の認識、あるいは当該対象物を介した基板の位置認識等を正確に行えるようになる。 According to this configuration, the object can be imaged in a state where the substrate is more stably stopped with respect to the work position, and the object is recognized or the position of the substrate is recognized via the object. Etc. can be performed accurately.
特に、前記基板上の対象物が連続して複数回撮像され、これらの画像の対象物同士の位置誤差が所定の基準値を超える場合には撮り直しが行われる、すなわち、撮像された画像に基づいて基板が安定的に停止しているかが調べられ、基板が安定的に停止していない場合(対象物の位置誤差が基準値を超えている場合)には撮り直しが行われる。そのため、位置決め時の慣性力により基板(可動テーブル)が継続的に振動している場合、あるいは他の要因で基板が振動している場合等、待機時間を経過した後も依然として基板が振動等しているような状態下で、対象物の最終的な認識が行われるといった不都合が回避される。
In particular, when the object on the substrate is continuously imaged a plurality of times and the positional error between the objects of these images exceeds a predetermined reference value, re-shooting is performed, i.e., on the captured image Based on this, it is checked whether or not the substrate is stably stopped. When the substrate is not stably stopped (when the position error of the object exceeds the reference value), re-shooting is performed. Therefore , when the substrate (movable table) continuously vibrates due to the inertial force during positioning, or when the substrate vibrates due to other factors, the substrate still vibrates after the standby time has elapsed. Inconveniences such as the final recognition of the object being avoided.
なお、前記制御手段は、撮り直しの際、さらに所定の待機時間が経過した時点で前記対象物を撮像するように前記撮像手段を制御するものであるのが好適である(請求項2)。
Incidentally, the control means, when photographing again, it is preferred that is to further control the imaging means to image the object at the time when the predetermined standby time has elapsed (claim 2).
この構成によれば、撮り直しの際に、基板をより安定的に停止させた状態で対象物を撮像することが可能となる。 According to this configuration, it is possible to capture an image of a target object in a state where the substrate is more stably stopped during re-taking.
この場合、前記制御手段は、前記撮り直しの際の待機時間として、前記基準値と前記位置誤差との偏差に応じた時間を決定するものであるのが好適である(請求項3)。
In this case, the control means, as the waiting time for the retaking, it is preferable that is what determines the time according to the deviation between the reference value and the position error (claim 3).
この構成によれば、撮り直しの際の待機時間を必要最小源に抑えることが可能となる。 According to this configuration, it is possible to reduce the standby time for re-taking to the minimum necessary source.
なお、上記の構成(請求項2又は3に記載の部品実装装置)において、基板が前記作業位置に配置された直後の前記待機時間を初期待機時間、前記撮り直しの際の待機時間を追加待機時間としたとき、前記制御手段は、前記撮り直しを行った場合には、初期待機時間と追加待機時間との合計時間を前記初期待機時間として更新設定するものであってもよい。
In the above configuration (the component mounting apparatus according to claim 2 or 3 ), the standby time immediately after the board is placed at the work position is set as the initial standby time, and the standby time at the time of the re-taking is additionally set as standby. When time is taken, the control unit may update and set the total time of the initial standby time and the additional standby time as the initial standby time when the re-taking is performed.
この構成によれば、次回の基板(後続基板)の初期待機時間について前回の結果が反映されることとなる。つまり、後続基板については、作業位置への配置後、前回、基板が作業位置に安定的に停止するまでに要した時間が経過してから、対象物の最初の撮像が行われることとなり、これによって不要な撮り直しを軽減することが可能となる。 According to this configuration, the previous result is reflected in the initial standby time of the next substrate (subsequent substrate). In other words, for subsequent substrates, the first imaging of the target object is performed after the time required for the substrate to stably stop at the working position after the previous placement, and the object is first imaged. Therefore, unnecessary re-shooting can be reduced.
また、上記の構成(請求項1乃至3の何れか一項に記載の部品実装装置)において、基板が前記作業位置に配置された直後の前記待機時間を初期待機時間、前記基準値を第1基準値としたときに、前記制御手段は、前記位置誤差が第2基準値(<第1基準値)よりも小さい場合には、前記初期待機時間を短縮し、この短縮後の時間を前記初期待機時間として更新設定するものでもよい。この場合、前記制御手段は、短縮時間として、前記第2基準値と前記位置誤差との偏差に応じた時間を決定するものであるのが好適である。このような構成によれば、必要以上に待機時間が長期化するのを回避することができる。
Further, in the above configuration (the component mounting apparatus according to any one of
本発明に係る部品実装装置によると、可動テーブルによって作業位置に搬送、位置決めされる基板上の対象物を、当該基板がより安定的に前記作業位置に停止した状態で画像認識することが可能となる。そのため、当該対象物の認識、あるいは当該対象物を介した基板の位置認識等をより正確に行えるようになる。 According to the component mounting apparatus of the present invention, it is possible to recognize an image of an object on a board that is transported and positioned to a work position by a movable table in a state where the board is more stably stopped at the work position. Become. Therefore, the recognition of the object or the position recognition of the substrate through the object can be performed more accurately.
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。 A preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
図1,図2は本発明に係る部品実装装置の一実施形態を概略的に示しており、図1は平面図で、図2は断面図でそれぞれ部品実装装置を示している。 1 and 2 schematically show an embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention. FIG. 1 is a plan view and FIG. 2 is a sectional view showing the component mounting apparatus.
これらの図において、部品実装装置1(以下、実装機1という)は、上流側から下流側(図1では右側から左側)に向かってプリント基板P(以下、基板Pと略す)を搬送しながら、この搬送方向に沿って設けられた複数の実装ステージ、図示の例では4つの実装ステージ4〜7(第1実装ステージ4〜第4実装ステージ7)によって基板Pに電子部品をそれぞれ実装するものである。なお、以下の説明では、基板Pの搬送方向と平行な方向をX方向、これと直交する方向をY方向とする。また、単に上流側、下流側というときには基板Pの搬送方向に従うものとする。 In these drawings, a component mounting apparatus 1 (hereinafter referred to as a mounting machine 1) conveys a printed board P (hereinafter abbreviated as a board P) from the upstream side to the downstream side (in FIG. 1, from the right side to the left side). The electronic components are respectively mounted on the substrate P by a plurality of mounting stages provided along the transport direction, in the illustrated example, four mounting stages 4 to 7 (first mounting stage 4 to fourth mounting stage 7). It is. In the following description, the direction parallel to the transport direction of the substrate P is defined as the X direction, and the direction orthogonal thereto is defined as the Y direction. Further, when simply referring to the upstream side and the downstream side, it follows the transport direction of the substrate P.
実装機1は、第1〜第6の6つのYフレーム16〜21を含む基台11を有しており、この基台11上に、上述した4つの実装ステージ4〜7と、図外の上流側機器から基板Pを受け取って最上流の第1実装ステージ4に搬入する搬入装置12を具備した搬入ステージ8と、最下流に位置する第4実装ステージ7から基板Pを受け取って図外の下流側機器に搬出する搬出装置13を具備した搬出ステージ9と、基板PをX方向にその上流側から下流側に向かって移動させるための基板搬送装置3とを備えている。
The
上記第1〜第6のYフレーム16〜21はY方向に延びるフレームで、X方向に所定間隔おきに設けられている。これらYフレーム16〜21のうち、X方向両端のYフレーム16,21(第1Yフレーム16,第6Yフレーム21)は基台11上のほぼ全体に亘って設けられている。また、第3、第5のYフレーム18,20は、装置前端(図1では下端)から基台11上のY方向中央部に亘って設けられており、他方、第2,第4のYフレーム17,19は、装置後端から基台11上のY方向中央部に亘って設けられている。これらYフレーム16〜21における基台11のY方向中央部に対応する箇所には、図2に示すように基板Pを通過させるための凹部22が形成されている。
The first to
上記実装ステージ4〜7は、図1に示すように、搭載位置、方向等が異なる他は基本的には共通の構造を有している。そのため、ここでは、最も上流側に位置する第1の実装ステージ4について説明し、他の実装ステージ5〜7については、同一符号を付し詳細な説明は省略することとする。 As shown in FIG. 1, the mounting stages 4 to 7 basically have a common structure except that the mounting positions and directions are different. Therefore, here, the first mounting stage 4 positioned on the most upstream side will be described, and the other mounting stages 5 to 7 will be assigned the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.
実装ステージ4は、同図および図2に示すように、基板Pを後述する搬送位置と実装位置(作業位置)との間でY方向に移動させる移送手段23と、この移送手段23に隣設され、多数のテープフィーダー24‥‥を具備する部品供給手段25と、上記テープフィーダー24から部品を基板P上に移載するための部品移載手段26とを備えている。
As shown in FIG. 2 and FIG. 2, the mounting stage 4 has a transfer means 23 for moving the substrate P in the Y direction between a transfer position (to be described later) and a mounting position (work position), and is adjacent to the transfer means 23. Are provided with a plurality of
上記移送手段23は、Y方向に延びる一対のガイドレール31と、これらガイドレール31に移動自在に支持される可動テーブル32と、この可動テーブル32をY方向に移動させるY方向駆動装置33と、上記可動テーブル32の上に設けられたコンベア34と、上記テーブル32に対する基板Pの移動を規制するためのクランプ機構35とから構成されている。Y方向駆動装置33は、Y方向に延び、かつ回転自在に支持されたボールねじ軸33aと、このボールねじ軸33aを回転させるモータ33bと、上記ボールねじ軸33aに螺合するとともにテーブル32に固定されるボールナット33c等とを有し、上記モータ33bによるボールねじ軸33aの回転駆動に伴い、上記テーブル32を、ガイドレール31に沿って、図1中に実線で示す搬送位置と二点鎖線で示す実装位置とに亘って移動させるように構成されている。上記搬送位置は、上記基台11のY方向中央部に位置付けられ、上記実装位置は、テープフィーダー24に近接する位置に位置付けられている。
The transfer means 23 includes a pair of
上記コンベア34は、基板PのY方向両端を支持して、当該基板PをX方向に搬送する一対の無端ベルト34aを有している。これら無端ベルト34aは周回移動自在に支持されており、当該ベルト34a上に支持された基板Pが後述する基板搬送装置3によりX方向(搬送方向)に押圧されることにより供回りし、これによって基板PをX方向に移動させるように構成されている。また、上記クランプ機構35は、基板PのY方向両端の上方に位置する一対の受圧部材35a,35aと、基板Pを下方から押し上げる押し上げ装置35bとから構成されており、上記コンベア34上の基板Pを前記押し上げ装置35bによりその下側から持ち上げて前記受圧部材35a,35aに押し付けることにより基板Pをクランプするように構成されている。
The
上記部品移載手段26は、第1、第3のYフレーム16,18の上端部に設けられてY方向に延びる一対の第1のガイドレール41と、これらガイドレール41間に横架されてX方向に延び、かつ当該ガイドレール41に移動自在に支持される支持部材42と、この支持部材42を駆動する一対のY方向駆動装置43,43と、上記支持部材42に設けられてX方向に延びる第2のガイドレール44と、この第2のガイドレール44に移動自在に支持されるヘッドユニット45と、このヘッドユニット45を駆動するX方向駆動装置46と、上記ヘッドユニット45に昇降可能に支持され、Z軸モータ47等からなる昇降装置により個別に駆動される複数の吸着ヘッド48等により構成されている。上記各吸着ヘッド48は、図2に示すように、部品を吸着する吸着ノズル48aと、この吸着ノズル48aを上下方向の軸線回りに回動させるためのR軸モータ48b等からなる回転駆動装置とを備えている。
The component transfer means 26 is provided at the upper ends of the first and third Y frames 16 and 18 and extends in the Y direction, and is horizontally mounted between the guide rails 41. A
上記Y方向駆動装置43は、第1、第3のYフレーム16,18の一端部に固定されるY軸モータ43aと、このY軸モータ43aに接続されてY方向に延び、Yフレーム16,18に回転自在に支持されたボールねじ軸43bと、上記支持部材42に回転自在に支持されるとともに上記ボールねじ軸43bに螺合するボールナット43cなどによって構成されている。また、X方向駆動装置46は、詳しく図示していないが、上記支持部材42におけるX方向の一端部に固定されるX軸モータ46a(図3に示す)と、このX軸モータ46aに一端部が接続されてX方向に延び、支持部材42に回転自在に支持された図外のボールねじ軸と、上記ヘッドユニット45に支持されるとともに上記ボールねじに螺合するボールナット(図示せず)などによって構成されている。
The Y-
つまり、上記部品移載手段26は、Y方向およびX方向の各駆動装置43,46の作動により前記ヘッドユニット45をX方向およびY方向に移動させ、これにより当該ヘッドユニット45に搭載される上記吸着ヘッド48によって任意の前記テープフィーダー24から部品を吸着して実装位置にある基板P上の任意の位置に移載し得るように構成されている。
That is, the component transfer means 26 moves the
なお、前記ヘッドユニット45には、実装位置に配置される基板Pを認識するための第1撮像装置49a(本発明に係る撮像手段)が設けられている。この第1撮像装置49aは、CCDエリアセンサを含むカメラ本体と、撮像用の照明を提供する照明装置とを一体に備えたもので、実装位置に配置される基板P上の各種マーク(フィデューシャルマーク等)を撮像してその画像信号を後記コントローラ60に出力するように構成されている。
The
また、基台11上には、ヘッドユニット45の各吸着ヘッド48aに吸着された部品を認識するための第2撮像装置49b(図3参照)が設けられている。この第2撮像装置49bも、カメラ本体がCCDリニアセンサを含む点を除いて上記第1撮像装置49aとほぼ共通の構成を有しており、部品吸着後、実装位置に移動するヘッドユニット45の吸着部品をその下側から撮像してその画像信号を後記コントローラ60に出力するように構成されている。
Further, on the
上記のように構成された実装ステージ4〜7は、図1に示すように、搬送方向の上流側から下流側に向けて千鳥足状に並び、かつ、各実装ステージ4〜7の可動テーブル32がそれぞれ搬送位置に配置されると、これら可動テーブル32の上記コンベア34がちょうどX方向に一列に並び、基板Pの搬送路を形成するように配設されている。
As shown in FIG. 1, the mounting stages 4 to 7 configured as described above are arranged in a staggered pattern from the upstream side to the downstream side in the transport direction, and the movable tables 32 of the mounting stages 4 to 7 are provided. When arranged at the transfer position, the
そして、このように各可動テーブル32(コンベア34)が並ぶ位置の上方に前記基板搬送装置3が配備されている。
The
基板搬送装置3は、詳しく図示していないが、X方向に延びる搬送軸52と、この搬送軸52をX軸方向に進退移動させるエアシリンダ等を具備する図外の軸駆動装置と、上記搬送軸52に、下方に向かって出没可能に設けられる押圧部材53等とから構成されており、当該押圧部材53を下方に突出させた状態(図2に示す状態)で、当該搬送軸52が一定ストロークだけX方向に前進駆動されることにより、前記搬送位置に配置された各可動テーブル32(コンベア34)上の基板Pを前記押圧部材53により押圧しつつ下流側に移動させるように構成されている。前記押圧部材53は、各実装ステージ4〜7に対応してそれぞれ一対設けられており、基板Pの搬送時には、各実装ステージ4〜7の基板Pをそれぞれ一対の押圧部材53によりX方向両側から挟んでその位置を規制するようになっている。なお、基板Pを下流側に搬送した後は、前記押圧部材53が搬送軸52内に収納され、その後、搬送軸52が上記一定ストロークだけ後退駆動されることにより、搬送軸52が元の位置にリセットされるようになっている。
Although not shown in detail, the
図3は、上記実装機1を制御するためのコントローラ60(本発明の制御手段に相当する)の構成をブロック図で概略的に示している。
FIG. 3 schematically shows a configuration of a controller 60 (corresponding to the control means of the present invention) for controlling the mounting
この図において、コントローラ60は、CPU等で構成される演算処理部61と、実装プログラムを記憶する実装プログラム記憶部62と、実装作業に必要な基板や部品に関する各種データを記憶するデータ記憶部63と、ヘッドユニット45を駆動する各モータ46a,43a,47,48b等、各種モータ(同図では一部のモータのみ図示)の駆動を制御するモータ制御部64と、実装機1に配備される各種センサ類70等の外部入出力部65と、撮像装置49a,49bにより取得された画像データに所定の画像処理を施す画像処理部66と、液晶表示器等の表示ユニット67等を有している。
In this figure, a
上記演算処理部61は、実装プログラム記憶部62に記憶されている所定の実装プログラムに従い、各実装ステージ4〜7におけるヘッドユニット45等の駆動を制御するとともに、この実装処理に伴い要求される各種演算処理を行うことにより、各実装ステージ4〜7の一連の実装処理を統括的に制御するもので、特に、この実施形態では、各実装ステージ4〜7において実装作業前に行う基板Pの認識(位置認識)処理に際し、前記撮像装置49による基板Pの撮像、およびその画像に基づく基板Pの認識等の処理を、前記データ記憶部63に格納されている待機時間データ等に基づいて制御するように構成されている。
The
なお、基板Pの位置認識は、具体的には、基板P上面の対角線上に付されている一対のフィデューシャルマーク(FIDマーク;以下、第1マーク、第2マークという)を順次第1撮像装置49aで撮像し、画像上の各マークの位置関係から基板PのX方向、Y方向およびR方向の位置を演算することにより行う。
Specifically, the position recognition of the substrate P is performed by sequentially using a pair of fiducial marks (FID marks; hereinafter referred to as a first mark and a second mark) attached on a diagonal line on the upper surface of the substrate P. The image is picked up by the
以下、上記演算処理部61による基板Pの一連の実装処理制御について図4、図5のフローチャートに基づいて説明する。
Hereinafter, a series of mounting process control of the substrate P by the
このフローチャートがスタートすると、演算処理部61は、第1実装ステージ4への基板Pの搬入を開始する(ステップS1〜S5)。具体的には、各実装ステージ4〜7の可動テーブル32を搬送位置に配置することにより基板Pの上記搬送路を形成した後、搬入装置12を駆動することによって基板Pを搬入ステージ8から第1実装ステージ4の可動テーブル32上(コンベア34)に搬入する。次いで、前記クランプ機構35を駆動し、基板Pを可動テーブル32に対して固定(クランプ)した後、Y方向駆動装置33を駆動して可動テーブル32を上記搬送位置から実装位置に移動させる。
When this flowchart starts, the
また、これと並行して、ヘッドユニット45を、実装位置上方のマーク撮像位置、すなわち基板Pの第1マークの撮像位置へ移動させる(ステップS7)。この際、演算処理部61は、基板Pが実装位置に配置されるよりも早いタイミングでヘッドユニット45が上記撮像位置に配置されるように当該ヘッドユニット45を駆動制御する。
In parallel with this, the
次いで、演算処理部61は、基板P(可動テーブル32)が実装位置に到着したかを判断し(ステップS9)、到着したと判断すると、撮り直しカウンタをリセットし(ステップS11)、予め記憶された待機時間(FID認識待ち時間(T1);本発明に係る初期待機時間に相当する)に従い、前記到達時点から当該待機時間を図外のタイマにより計時し、この時間の経過後、第1撮像装置49aによって第1マークを二度連続して撮像する(ステップS15,S17)。
Next, the
そして、演算処理部61は、これらの画像データに基づき、両マークのX方向およびY方向の各位置誤差(Δx,Δy)を演算し、さらに各方向の誤差と予め設定された規格値α(0<α)とを比較して当該誤差の値(Δx,Δyの少なくとも一方)が規格値α未満か否かを判断する(ステップS19)。
Then, based on these image data, the
ここでNOと判断した場合には、撮り直しカウンタnをインクリメントし(ステップS55)、予め設定されている待機時間(FID認識待ち時間(Δt);本発明に係る追加待機時間に相当する)を前記タイマにより計時した後(ステップS57)、再度ステップS15に移行し、第1マークの撮り直しを行う。そして、最終的に、前記誤差(Δx,Δy)が規格値α未満となるまで第1マークを繰り返し撮像する。 If NO is determined here, the re-taking counter n is incremented (step S55), and a preset standby time (FID recognition wait time (Δt); corresponding to the additional standby time according to the present invention) is set. After counting by the timer (step S57), the process proceeds to step S15 again, and the first mark is taken again. Finally, the first mark is repeatedly imaged until the error (Δx, Δy) is less than the standard value α.
すなわち、上記の規格値αは、基板Pが安定的に停止しているときの第1マークの撮像結果に基づき設定された値であって、演算処理部61は、第1マークを二度連続して撮像した時の上記誤差(Δx,Δy)をこの規格値αと比較することにより、基板Pが実装位置に安定的に停止しているか否かを評価し、安定していると評価できる場合にだけ、次の処理(ステップS21の処理)に移行するようになっている。
That is, the standard value α is a value set based on the imaging result of the first mark when the substrate P is stably stopped, and the
上記誤差(Δx,Δy)の値が規格値α未満であると判断した場合には(ステップS19でYES)、演算処理部61は、直前に撮像した第1マーク(ステップS17で撮像された画像)の座標位置(x1,y1)を求めるとともにこのデータを第1マークの認識結果として記憶する(ステップS21)。そしてさらに、ステップS13における初期待機時間(T1)を撮り直しカウンタの値(n)に応じて更新する(ステップS23)。具体的には、追加された待機時間(Δt×n)を初期待機時間(T1)に加算した値を新たな初期待機時間(T1)として更新的に記憶する。
If it is determined that the value of the error (Δx, Δy) is less than the standard value α (YES in step S19), the
次いで、演算処理部61は、ステップS19の処理で最終的に求められた位置誤差の値(Δx,Δyの双方)が予め設定された回数(N)だけ所定の規格値β(0<β<α)以下であるか否かを判断する(ステップS25)。換言すれば、連続して生産されるN枚の基板Pについて、最終的な前記位置誤差(Δx,Δy)の値が連続して上記規格値β以下か否かを判断し、ここでYESと判断した場合には、ステップS13における初期待機時間(T1)を予め設定された減算値(ΔT)だけ短縮する。
Next, the
すなわち、最終的に求められる上記位置誤差(Δx,Δy)が規格値β以下となる場合には、誤差(Δx,Δy)<規格値αの条件を満たしてから誤差(Δx,Δy)<規格値βの条件を満たすまでの時間、必要以上の待機時間が設定されていると考えることができる。そのため、最終的な上記位置誤差の値(Δx,Δy)が規格値β以下となる状況が所定回数(N)続く場合には、初期待機時間(T1)を予め設定された減算値(ΔT)だけ短縮するようになっている。 That is, when the finally obtained position error (Δx, Δy) is equal to or less than the standard value β, the error (Δx, Δy) <standard after satisfying the condition of error (Δx, Δy) <standard value α. It can be considered that a time until the condition of the value β is satisfied and a standby time longer than necessary is set. Therefore, when the situation where the final position error values (Δx, Δy) are equal to or less than the standard value β continues for a predetermined number of times (N), the initial waiting time (T1) is set to a preset subtraction value (ΔT). Only to shorten.
こうして第1マークの認識が終了すると、演算処理部61は、ヘッドユニット45を第2マークの撮像位置に移動させ、ヘッドユニット45が当該撮像位置に到着したと判断すると、予め記憶されている待機時間(FID認識待ち時間(T2))に従い、前記到達時点から当該待機時間(T2)をタイマにより計時し、当該時間の経過後、第1撮像装置49aによって第2マークを撮像し、その座標位置(x2,y2)を求める(ステップS31〜S37)。なお、上記待機時間(T2)は、ヘッドユニット45が第2マークの撮像位置に安定的に停止するまでの整定時間とされており、試験等により求められた実測値が適用されている。
When the recognition of the first mark is completed in this manner, the
第2マークの撮像,認識が終わると、演算処理部61は、ステップS21で記憶された第1マークの認識結果(x1,y1)と、ステップS37における第2マークの認識結果(x2,y2)に基づき、基板Pの位置認識、つまり基板PのX方向、Y方向およびR方向の位置を求め(ステップS39)、その後、部品の実装動作に移行する。
When the second mark is imaged and recognized, the
この部品実装動作では、演算処理部61は、まず、ヘッドユニット45をテープフィーダー24の上方に移動させ、各吸着ヘッド48による部品の吸着を行う(ステップS41)。具体的には、吸着ヘッド48が対象となるテープフィーダー24の上方に位置するようにヘッドユニット45を移動させた後、吸着ヘッド48を昇降駆動することによりテープ内の部品を吸着ヘッド48aにより吸着した状態で取り出させる。この際、可能な場合には、複数の吸着ヘッド48により同時に複数のテープフィーダー24から部品の吸着を行わせる。
In this component mounting operation, the
部品の吸着が終了すると、演算処理部61は、ヘッドユニット45を基板Pの上方へ移動させ、この移動途中、各吸着ヘッド48に吸着された各部品を、第2撮像装置49bの上方で所定の経路に沿って移動させる。これによって各吸着ヘッド48の吸着部品を第2撮像装置49bにより撮像し、その画像に基づいて部品の吸着状態(吸着ずれ)を認識する(ステップS43)。そして、その認識結果とステップS39で求めた基板Pの認識結果とに基づいてヘッドユニット45の目標位置を補正し、ヘッドユニット45が基板P上に到達すると、吸着ヘッド48を昇降駆動して最初の部品を基板P上に実装し、さらにヘッドユニット45を間欠的に移動させながら順次残りの部品を基板P上に実装する(ステップS45)。
When the suction of the components is completed, the
こうして吸着部品全部を基板P上に実装すると、演算処理部61は、第1実装ステージ4が担当する全ての部品を基板Pに実装したか否かを判断し(ステップS47)、ここでNOと判断した場合には、ステップS41に移行し、引き続き上記のステップS41〜S45の処理に従って部品の実装作業を継続する。そして、最終的にステップS47でYESと判断すると、基板Pを前記実装位置から搬出する(ステップS49〜S53)。具体的には、可動テーブル32を実装位置から搬送位置に移動させ、前記クランプ機構35による基板Pの固定を解除した後、基板搬送装置3を駆動することにより第1実装ステージ4の可動テーブル32から下流側の第2実装ステージ5の可動テーブル32上に基板Pを搬送する。
When all the suction components are mounted on the substrate P in this way, the
なお、以上の説明では、主に、第1実装ステージ4の制御について説明したが、他の実装ステージ5〜7の制御も基本的には同じである。 In the above description, the control of the first mounting stage 4 has been mainly described, but the control of the other mounting stages 5 to 7 is basically the same.
以上のように、この実装機1では、搬送位置で受け取った基板Pを、可動テーブル32の移動に伴い実装位置に移動させ、ここで実装処理を行うとともに、この実装処理に先立ち、予め実装位置の上方に配置した第1撮像装置49aにより、当該基板P上の第1,第2マークを撮像することにより基板Pの位置認識を行うように構成されているが、上記の通り、この実装機1では、実装位置へ基板Pを移動させた後、所定の待機時間(T1)が経過した後に第1マークを撮像、認識する構成となっているので、基板P(可動テーブル32)が実装位置に安定的に停止する前に、すなわち、実装位置への配置直後、慣性力により可動テーブル32(基板P)が振動しているような状況下で第1マークの認識が行われるといった不都合を回避することが可能となる。また、第2マークの撮像、認識についても、ヘッドユニット45を撮像位置に移動させた後、整定時間に相当する待機時間(T2)が経過した後に行うので、ヘッドユニット45(第1撮像装置49a)が安定的に停止する前に第2マークの認識が行われるといった不都合を回避することができる。従って、基板Pや第1撮像装置49a等が不安定な状態のままで第1,第2マークが撮像,認識されるという不都合を回避して、基板Pの位置認識の精度を高めることができるという効果がある。
As described above, in the mounting
特に、第1マークの認識に際しては、上記の通り、待機時間(T1)の経過後、第1マークを連続して二度撮像し、それらの位置誤差(Δx,Δy)と所定の規定値αとを比較することにより基板Pが安定的に停止しているかを評価し(図4のステップS19)、当該評価が否定的である場合には、第1マークの撮り直しを行い、最終的に基板Pが安定的に停止したと評価できた場合に、当該画像に基づき最終的な第1マークの認識を行う構成となっているので(図4のステップS21)、第1マークの認識を、基板Pがより確実に停止した状態で行うことができるという効果がある。他方、第2マークの認識も、このように基板Pが安定的に停止したと評価された場合にのみ行われるので(図4のステップS37)、基板Pが安定的に停止しないうちに上記待機時間(T2)が経過して第2マークの認識が行われてしまうといった不都合を良好に回避することがでる。従って、第2マークの認識についてもその信頼性を高めることができるという効果がある。 In particular, when recognizing the first mark, as described above, after the standby time (T1) has elapsed, the first mark is imaged twice in succession, and their position error (Δx, Δy) and a predetermined specified value α. To evaluate whether or not the substrate P is stably stopped (step S19 in FIG. 4). If the evaluation is negative, the first mark is retaken and finally When it can be evaluated that the substrate P is stably stopped, the first mark is finally recognized based on the image (step S21 in FIG. 4). There exists an effect that it can carry out in the state where the board | substrate P stopped more reliably. On the other hand, since the second mark is recognized only when the substrate P is evaluated to be stably stopped in this way (step S37 in FIG. 4), the above-described standby is performed before the substrate P is stably stopped. It is possible to satisfactorily avoid the inconvenience that the second mark is recognized after the time (T2) has elapsed. Therefore, there is an effect that the reliability of the recognition of the second mark can be improved.
なお、このように待機時間(T1)の経過後、基板Pが安定的に停止しているかを評価した上で各マークの認識を行う構成は、複数の実装ステージ4〜7を有する実装機1において特に有効である。すなわち、複数の実装ステージ4〜7が隣接する上記構成では、実装位置に基板Pを位置決めする際の慣性力による振動以外に、隣接する実装ステージ4〜7の振動が互いに影響して基板Pが振動することが考えられる。従って、このような状況下で各マークの認識が行われることを避ける必要があるが、この点、上記実装機1によれば、待機時間(T1)の経過後であっても、基板Pが安定的に停止したと評価できない場合には、実質的な第1マークの認識(図4のステップS21の処理)が行われることがない。そのため、待機時間(T1)の経過後、隣接する実装ステージ4〜7の影響を受けて基板Pが振動しているような状況下でマークの認識が行われるといった不都合を有効に回避することができる。さらに、基板Pは、その品種によって重さが異なり、基板Pを実装位置に位置決めする際の慣性力も基板Pの品種毎に相違する。そのため、基板Pの品種によっては、待機時間(T1)の経過後も基板Pの振動が続く場合が考えられるが、このような場合も、上記実装機1によれば、基板Pが安定的に停止したと評価できるまでは、第1マークの実質的な認識は行われないため、何れの品種についても、基板Pが安定的に停止した後にマークの認識を行うことが可能となる。
In addition, the structure which recognizes each mark after evaluating whether the board | substrate P has stopped stably after progress of waiting time (T1) in this way is the mounting
また、上記実装機1では、第1マークの撮り直しを行った場合には、追加した待機時間(Δt×n)を初期待機時間(T1)に加算した新たな初期待機時間(T1)を設定することにより当該初期待機時間(T1)を更新するとともに、第1マークの認識時に最終的に求められるマーク画像の位置誤差(Δx,Δy)が規格値β以下となる状況が所定回数(N)続く場合には、初期待機時間(T1)を予め設定された減算値(ΔT)だけ短縮することにより初期待機時間(T1)を更新し、後続基板Pの第1マークの撮像時には、この更新後の初期待機時間(T1)に従って第1撮像装置49aを制御するようにしているので、実装機1の具体的な作動状況等に応じて初期待機時間(T1)を最適化することができる。従って、第1マークの撮り直し回数がいたずらに増加して演算処理部61による処理負担が増加し、あるいは第1マーク撮像時の待機時間(T1)がいたずらに長期化するといった不都合を有効に回避できるという効果もある。
In the mounting
なお、以上説明した実装機1は、本発明に係る部品実装装置の好ましい実施形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
In addition, the mounting
例えば、上記実施形態では、第1マークの撮り直しの際、一定の追加待機時間(Δt)を設定して第1マークを撮像するようにしているが(図4のステップS57)、例えば、直前に撮像された第1マーク画像の位置誤差(Δx,Δy)と規格値αとの比較に基づき、当該規格値αと前記誤差(Δx,Δy)との偏差に応じた追加待機時間(Δt)を設定するようにしてもよい。つまり、当該偏差と、基板Pが安定的に停止するまでに時間を要する時間との間には相関があり、従って、当該偏差に応じた追加待機時間(Δt)を設定することで、第1マークの撮り直しループ(処理)の実行回数を低減して、演算処理部61等による処理負担を軽減することが可能になるとう利点がある。同様に、初期待機時間(T1)を短縮する場合(図4のステップS27)も、直前に連続して撮像されたマーク画像の位置誤差(Δx,Δy)と規格値βとの比較に基づき、当該規格値βに対する前記誤差(Δx,Δy)の偏差に応じた時間だけ短縮するようにしてもよい。
For example, in the above embodiment, when the first mark is retaken, the first mark is imaged by setting a certain additional waiting time (Δt) (step S57 in FIG. 4). Based on the comparison between the position error (Δx, Δy) of the first mark image captured at the standard value α and the standard value α, an additional waiting time (Δt) corresponding to the deviation between the standard value α and the error (Δx, Δy) May be set. In other words, there is a correlation between the deviation and the time required for the substrate P to stably stop. Therefore, by setting the additional standby time (Δt) according to the deviation, the first There is an advantage that it is possible to reduce the processing load of the
また、上記実施形態では、第1マークの認識時にのみ、同マークを二度連続して撮像して基板Pが安定的に停止しているかを評価し(図4のステップS15〜S19)、必要に応じて撮り直し処理(図4のステップS55,S57)を行っているが、第2マークの認識時についても、同様の処理を行うように構成してもよい。 In the above embodiment, only when the first mark is recognized, the same mark is imaged twice in succession to evaluate whether the substrate P is stably stopped (steps S15 to S19 in FIG. 4). The re-taking process (steps S55 and S57 in FIG. 4) is performed according to the above, but the same process may be performed when the second mark is recognized.
また、上記実施形態では、毎回、必要に応じて待機時間(T1,T2)を更新するようにしているが、例えば、一定枚数毎、あるいは生産開始直後の一定枚数だけ、といった条件を設けて待機時間(T1,T2)を更新可能とし、それ以外は、設定された待機時間(T1,T2)を維持するようにしてもよい。つまり、基板Pの生産が進むと、上記待機時間(T1,T2)も大きく変動すること無く安定化する傾向がある。そのため、ある程度基板Pの生産が進んだ後は、当該安定した待機時間(T1,T2)を固定的に維持することにより演算処理部61による処理負担を軽減するようにしてもよい。具体的には、図4、図5のステップS15〜19,S23〜27,S55,S57の処理をスキップするようにすればよい。
In the above-described embodiment, the standby time (T1, T2) is updated every time as necessary. For example, the standby time is set for every fixed number of sheets or only for a certain number of sheets immediately after the start of production. The time (T1, T2) may be updated, and otherwise, the set waiting time (T1, T2) may be maintained. That is, as the production of the substrate P progresses, the standby time (T1, T2) tends to be stabilized without greatly changing. Therefore, after the production of the substrate P has progressed to some extent, the processing load on the
また、上記実施形態では、本発明の適用例として、第1撮像装置49aにより基板P上のフィデューシャルマークを撮像する場合について説明したが、撮像対象物は、必ずしもマークである必要はなく、例えば基板P上に実装されている部品であってもよい。
In the above embodiment, as an application example of the present invention, the case where the
1 部品実装装置
3 プリント基板
4〜7 実装ステージ
8 搬入ステージ
9 搬出ステージ
60 コントローラ
61 演算処理部
62 実装プログラム記憶部
63 データ記憶手段
64 モータ制御手段
65 外部入出力手段
66 画像処理手段
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記可動テーブルが前記作業位置に配置された後、予め設定された待機時間が経過した時点で前記基板上の対象物を撮像するように前記撮像手段を制御する制御手段を有し、
この制御手段は、前記待機時間が経過した時点で前記基板上の対象物を連続して複数回撮像し、これら画像の対象物同士の位置誤差が所定の基準値を超える場合には、前記対象物の撮り直しを行うように前記撮像手段を制御することを特徴とする部品実装装置。 In a component mounting apparatus configured to capture and recognize an object on a substrate that is transported to a predetermined work position by a movable table and positioned by an image pickup unit that is arranged corresponding to the work position.
After the movable table is placed on the working position, it has a control unit for controlling the imaging means to image the object on the substrate when the predetermined standby time has elapsed,
When the standby time has elapsed, the control means continuously images the object on the substrate a plurality of times, and when the position error between the objects of these images exceeds a predetermined reference value, the object A component mounting apparatus , wherein the imaging means is controlled so as to re-shoot an object.
前記制御手段は、前記撮り直しの際には、さらに所定の待機時間が経過した時点で前記対象物を撮像するように前記撮像手段を制御することを特徴とする部品実装装置。 The component mounting apparatus according to claim 1,
Wherein, when the prior SL Ta Ri re further component mounting apparatus characterized by controlling the imaging means to image the object at the time when the predetermined standby time has elapsed.
前記制御手段は、前記撮り直しの際の待機時間として、前記基準値と前記位置誤差との偏差に応じた時間を決定することを特徴とする部品実装装置。
In the component mounting apparatus according to claim 2,
The component mounting apparatus, wherein the control means determines a time according to a deviation between the reference value and the position error as a standby time at the time of re-taking .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007158770A JP5005436B2 (en) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | Component mounting equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007158770A JP5005436B2 (en) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | Component mounting equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008311487A JP2008311487A (en) | 2008-12-25 |
JP5005436B2 true JP5005436B2 (en) | 2012-08-22 |
Family
ID=40238832
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007158770A Active JP5005436B2 (en) | 2007-06-15 | 2007-06-15 | Component mounting equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5005436B2 (en) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5911645B1 (en) * | 2014-05-12 | 2016-04-27 | 三菱電機株式会社 | Positioning device |
JP6550589B2 (en) * | 2015-02-24 | 2019-07-31 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Component mounting method |
JP7286456B2 (en) * | 2019-07-19 | 2023-06-05 | 株式会社ディスコ | Processing equipment control method |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3166816B2 (en) * | 1995-06-23 | 2001-05-14 | エヌイーシーマシナリー株式会社 | Pattern position finding method and apparatus by image recognition |
JP2003124112A (en) * | 2002-08-23 | 2003-04-25 | Hitachi Ltd | Pattern exposure method |
JP4371832B2 (en) * | 2004-01-27 | 2009-11-25 | 富士機械製造株式会社 | Method for controlling movement of moving table in electronic component mounting apparatus and matrix substrate used in the method |
JP2006093536A (en) * | 2004-09-27 | 2006-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic component mounting device and electronic component mounting method |
JP2006216852A (en) * | 2005-02-04 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | Positioning device and control method thereof |
JP4660309B2 (en) * | 2005-07-27 | 2011-03-30 | Juki株式会社 | Electronic component mounting equipment |
-
2007
- 2007-06-15 JP JP2007158770A patent/JP5005436B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008311487A (en) | 2008-12-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2008007744A1 (en) | Position matching method and screen printing device | |
JP4237158B2 (en) | Mounting board manufacturing apparatus and manufacturing method | |
JP4712623B2 (en) | Component conveying method, component conveying apparatus and surface mounter | |
JP6219838B2 (en) | Component mounter | |
JP4416899B2 (en) | Component mounting position correction method and surface mounter | |
JP4607679B2 (en) | Method for confirming component suction position of suction nozzle and electronic component mounting device in electronic component mounting device | |
JP5005436B2 (en) | Component mounting equipment | |
JP4331054B2 (en) | Adsorption state inspection device, surface mounter, and component testing device | |
JP2009016673A (en) | Method for correcting component suction position and component transferring apparatus | |
JP2008098386A (en) | Method and apparatus of performing predetermined work on printed board | |
JP2009016673A5 (en) | ||
JP4091950B2 (en) | Component mounting position correction method and surface mounter | |
JP2001196799A (en) | Method for inspecting substrate-supporting state | |
JP2007214494A (en) | Mark recognition method and surface mounter | |
JP5338767B2 (en) | Calibration method for electronic component mounting apparatus | |
JP2010267916A (en) | Mounting machine | |
JP5047772B2 (en) | Mounting board manufacturing method | |
JP2008010554A (en) | Substrate processing device and component mounting system | |
JP2007287838A (en) | Parts transfer device, mounting machine, and parts transfer device for parts inspection machine | |
JP7307546B2 (en) | Board working device | |
JP6059813B2 (en) | Component mounting apparatus, control method thereof, and program for component mounting apparatus | |
JP4795263B2 (en) | Component mounter | |
JP4833103B2 (en) | Component mounter | |
JP4684867B2 (en) | Component mounting method | |
JP4712766B2 (en) | Parts transfer device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100402 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110930 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111011 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120515 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150601 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5005436 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |