JP5001391B2 - Dust collector for scribe head - Google Patents

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Description

本発明はスクライブヘッドに取付けて用いられるスクライブヘッド用集塵器に関するものである。   The present invention relates to a dust collector for a scribe head used by being attached to a scribe head.

従来ガラス基板等の脆性材料基板を分断する場合には、スクライブヘッドでスクライブを行い、その後ブレイク装置で分断することによって脆性材料基板を分断している。ここでスクライブ装置でスクライブを行うときには、脆性材料基板に微小なガラス粉末（以下、カレットという）が生じる。   Conventionally, when a brittle material substrate such as a glass substrate is cut, the brittle material substrate is cut by scribing with a scribe head and then with a break device. Here, when scribing with a scribing apparatus, a fine glass powder (hereinafter referred to as cullet) is generated on the brittle material substrate.

特許文献１にはスクライブラインに沿ってスクライブし、分断したときに生じるガラスカレットを除去するカレット除去装置が提案されている。このカレット除去装置はエア供給手段と、吹きつけたエアをその中央から吸引する吸引部とを設けて脆性材料基板上に残ったカレットを除去するものである。   Patent Document 1 proposes a cullet removing device that removes glass cullet that is generated when scribing along a scribe line and dividing. This cullet removing device is provided with an air supply means and a suction part for sucking the blown air from its center to remove the cullet remaining on the brittle material substrate.

特開２００８−９４６９０号公報JP 2008-94690 A

特許文献１に示されたカレット除去装置はスクライブ装置によってスクライブラインを形成した後、又はブレイク装置によって基板を分断した後に、基板上に残存するカレットを除去するものであるが、スクライブ工程の後にカレット除去のための工程が必要となり、作業工程が増加してしまうという問題があった。   The cullet removing device disclosed in Patent Document 1 is for removing cullet remaining on a substrate after forming a scribe line by a scribe device or after dividing a substrate by a break device. There is a problem that a process for removal is required and the number of work processes increases.

本発明はこのような従来の問題点に着目してなされたものであって、脆性材料基板をスクライブする際に生じるカレットをスクライブと共に取り除くことができるようにすることを目的とする。   The present invention has been made paying attention to such a conventional problem, and an object thereof is to enable removal of cullet generated when scribing a brittle material substrate together with scribing.

この課題を解決するために、本発明のスクライブヘッド用集塵器は、中央に貫通孔を有し、該貫通孔の周囲の噴出孔より空気を噴出すると共に、前記貫通孔に向けて設けられた吸気孔より空気を吸気するノズルと、前記ノズルの噴出孔に連結され、空気を圧送するポンプと、前記ノズルの吸気孔に連結され、空気を吸引するときに吸引した空気に含まれる粉塵を分離する集塵器と、を具備するものである。   In order to solve this problem, the dust collector for a scribe head according to the present invention has a through hole in the center, and ejects air from an ejection hole around the through hole and is provided toward the through hole. A nozzle that sucks air from the suction holes, a pump that is connected to the nozzle holes and pumps the air, and a dust that is connected to the suction holes of the nozzle and sucked when sucking air. And a dust collector to be separated.

ここで前記ノズルは、ノズルベースと、前記貫通孔よりスクライブチップが露出するように前記ノズルベースをスクライブヘッドに取付ける取付部と、を有するものであり、前記ノズルベースは、前記貫通孔の周囲に環状に形成された環状溝と、前記環状溝に連結され前記貫通孔の中央に向けて空気を噴出する複数の噴出孔と、前記貫通孔に向けて形成され、前記噴出孔より噴出させた空気を吸引する吸気孔と、を有するようにしてもよい。   Here, the nozzle has a nozzle base and a mounting portion for attaching the nozzle base to the scribe head so that the scribe chip is exposed from the through hole, and the nozzle base is disposed around the through hole. An annular groove formed in an annular shape, a plurality of ejection holes connected to the annular groove and ejecting air toward the center of the through hole, and air formed toward the through hole and ejected from the ejection hole And an intake hole for sucking air.

ここで前記ノズルベースの噴出孔は、前記環状溝から貫通孔の中心のスクライブ用チップに向けて形成されている少なくとも３つの噴出孔としてもよい。   Here, the ejection holes of the nozzle base may be at least three ejection holes formed from the annular groove toward the scribe tip at the center of the through hole.

ここで前記集塵器はサイクロン集塵器としてもよい。   Here, the dust collector may be a cyclone dust collector.

このような特徴を有する本発明によれば、ノズルをスクライブヘッドに取付けておくことにより、スクライブ時には噴出孔より貫通孔の中央に向けて空気が噴出され、生じたカレットを巻き上げることができる。そして巻き上げられたカレットを含む空気を貫通孔より吸い出し集塵することができる。従ってスクライブを行った場合にも脆性材料基板上にカレットが残存することがなくなる。   According to the present invention having such a feature, by attaching the nozzle to the scribe head, air is ejected from the ejection hole toward the center of the through hole during scribing, and the generated cullet can be wound up. And the air containing the curled up can be sucked out and collected from the through-hole. Therefore, even when scribing is performed, cullet does not remain on the brittle material substrate.

図１は本発明の実施の形態によるスクライブ用集塵器のノズルの斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a nozzle of a scribing dust collector according to an embodiment of the present invention. 図２は本実施の形態によるノズルの組立構成図である。FIG. 2 is an assembly configuration diagram of the nozzle according to the present embodiment. 図３（ａ）〜（ｅ）は本実施の形態によるノズルの背面図、平面図、正面図、底面図及び側面図である。3A to 3E are a rear view, a plan view, a front view, a bottom view, and a side view of the nozzle according to the present embodiment. 図４（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は夫々本実施の形態によるノズルのＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図、Ｃ−Ｃ線断面図及びＤ−Ｄ線断面図である。4A, 4B, 4C, and 4D are cross-sectional views of the nozzle according to the present embodiment, taken along line AA, BB, CC, and DD, respectively. It is line sectional drawing. 図５（ａ），（ｂ），（ｃ），は夫々本実施の形態によるノズルを構成するノズルベースの平面図、側面図及び底面図である。5A, 5B, and 5C are a plan view, a side view, and a bottom view of a nozzle base that constitutes the nozzle according to the present embodiment, respectively. 図６（ａ）は本実施の形態によるノズルベースのＥ−Ｅ線断面図、図６（ｂ）はＦ−Ｆ線断面図である。6A is a cross-sectional view of the nozzle base according to the present embodiment taken along line EE, and FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line FF. 図７は本実施の形態によるノズルベースの組立構成図である。FIG. 7 is an assembly configuration diagram of the nozzle base according to the present embodiment. 図８は本実施の形態によるカバーの裏面図である。FIG. 8 is a rear view of the cover according to the present embodiment. 図９はスクライブヘッドの斜視図である。FIG. 9 is a perspective view of the scribe head. 図１０は本実施の形態によるノズルをスクライブヘッドに取付けた状態を示す斜視図である。FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the nozzle according to the present embodiment is attached to the scribe head. 図１１はノズル、サイクロン集塵器及びポンプの接続状態を示す図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a connection state of the nozzle, the cyclone dust collector, and the pump.

図１は本発明の実施の形態によるスクライブヘッド用集塵器に用いられるノズルの構成を示す斜視図である。ノズル１０はスクライブヘッドの側方にねじ止めにより固定して用いられ、スクライブヘッドによって脆性材料基板をスクライブしたときに、脆性材料基板のスクライブラインに清浄な空気を吹きつけると共に、カレットを吸引するものである。   FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a nozzle used in a scribe head dust collector according to an embodiment of the present invention. The nozzle 10 is used by being fixed to the side of the scribe head by screwing. When the brittle material substrate is scribed by the scribe head, clean air is blown to the scribe line of the brittle material substrate and the cullet is sucked. It is.

次にこのノズルについて詳細に説明する。ノズル１０は図２に組立構成図を示すように、ノズルベース２０にカバー３０及び取付部４０を一体化して構成したものである。図３（ａ）〜（ｅ）は本実施の形態によるノズルの背面図、平面図、正面図、底面図及び側面図であり、図４（ａ），（ｂ），（ｃ），（ｄ）は夫々ノズルのＡ−Ａ線断面図、Ｂ−Ｂ線断面図、Ｃ−Ｃ線断面図及びＤ−Ｄ線断面図である。ノズルベース２０は平板状の部材で中央に貫通孔が設けられ、貫通孔に向けて空気を噴出する多数の噴出孔とカレットを含む空気を吸引する吸気孔を有している。カバー３０は中央部に切欠きが形成された平板状の部材である。取付部４０はノズルベース２０、カバー３０を連結すると共に、ノズル１０をスクライブヘッドの側方に固定するものである。   Next, this nozzle will be described in detail. As shown in the assembly configuration diagram of FIG. 2, the nozzle 10 is configured by integrating a cover 30 and a mounting portion 40 with the nozzle base 20. 3A to 3E are a rear view, a plan view, a front view, a bottom view, and a side view of the nozzle according to this embodiment, and FIGS. 4A, 4B, 4C, and 4D are used. ) Are an AA line sectional view, a BB line sectional view, a CC line sectional view, and a DD line sectional view of the nozzle, respectively. The nozzle base 20 is a flat plate member having a through hole in the center, and has a large number of ejection holes for ejecting air toward the through hole and an intake hole for sucking air including cullet. The cover 30 is a flat plate member having a notch formed in the center. The attachment portion 40 connects the nozzle base 20 and the cover 30 and fixes the nozzle 10 to the side of the scribe head.

次に各ブロックについて更に説明する。まず図５（ａ），（ｂ），（ｃ）はノズルベース２０の平面図、側面図及び底面図である。図６（ａ）はＥ−Ｅ線断面図、図６（ｂ）はＦ−Ｆ線断面図であり、図７はノズルベース２０の製造過程を示す斜視図である。ノズルベース２０は図７（ａ），（ｂ）に斜視図を示すように、下部部材２１と、上部部材２２とを貼り合わせたものである。下部部材２１は平板状の部材であって、その上面には環状、ここではトラック形状の溝２１ａと、溝２１ａの対称な２点より側方に連なるブロー溝２１ｂ，２１ｃを有している。トラック状溝２１ａには図５（ｃ），図６（ａ）に示すように下面の中央部に向けて斜め下方向に多数の噴出孔２１ｄが連通するように形成されている。   Next, each block will be further described. 5A, 5B, and 5C are a plan view, a side view, and a bottom view of the nozzle base 20, respectively. 6A is a cross-sectional view taken along the line E-E, FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line F-F, and FIG. 7 is a perspective view showing a manufacturing process of the nozzle base 20. As shown in the perspective views of FIGS. 7A and 7B, the nozzle base 20 is obtained by bonding a lower member 21 and an upper member 22 together. The lower member 21 is a flat plate member having an annular, track-shaped groove 21a on the upper surface thereof, and blow grooves 21b and 21c continuous from two symmetrical points of the groove 21a. As shown in FIGS. 5 (c) and 6 (a), a large number of ejection holes 21d are formed in the track-like groove 21a so as to communicate obliquely downward toward the center of the lower surface.

上部部材２２は図５（ｃ），図７（ａ）に示すように、下面にＬ字状の切欠き２２ａを有し、下部部材２１より厚くやや大きい平板状の部材である。上部部材２２のＬ字状切欠き２２ａが形成された領域の上面には、トラック形状の溝２１ａの上部に溝２１ａより径が大きく略１／２のトラック状の溝２２ｂとその中央の側壁を切欠いた切欠き２２ｃが形成されている。又上部部材２２には側方より長手方向に向けた円筒形溝２２ｄが形成される。円筒形溝２２ｄには図３（ｄ）に示すように、溝２２ｄの最も奥の部分と開口部に近い部分とに下方から開口２２ｅ，２２ｆが形成されている。円筒形溝２２ｄの開口部分にはねじ溝が形成されている。この下部部材２１を上部部材２２のＬ字状の切欠き２２ａに組み合わせ、貼り付けることにより、図７（ｂ）に示す部材となる。更にこの部材の上部よりトラック状の溝２１ａの内側に同軸に、トラック形状で開口面積が図４（ｂ）に示すように下方に向けて狭くなったテーパー状の貫通孔２３を切削加工する。これにより図２に示すノズルベース２０を形成することができる。こうして形成されたノズルベース２０は、円筒形溝２２ｄが開口２２ｅ，２２ｆによって下部部材２１のブロー溝２１ｂ，２１ｃ及びトラック状溝２１ａ、更には複数の噴出孔２１ｄに連通している。   As shown in FIGS. 5C and 7A, the upper member 22 is a flat plate member having an L-shaped notch 22 a on the lower surface and thicker and slightly larger than the lower member 21. On the upper surface of the region where the L-shaped notch 22a of the upper member 22 is formed, a track-shaped groove 22b having a diameter approximately half larger than the groove 21a and a central side wall is formed above the track-shaped groove 21a. A notch 22c is formed. The upper member 22 is formed with a cylindrical groove 22d extending from the side in the longitudinal direction. In the cylindrical groove 22d, as shown in FIG. 3D, openings 22e and 22f are formed from below at the innermost part of the groove 22d and the part close to the opening. A screw groove is formed in the opening of the cylindrical groove 22d. By combining and affixing the lower member 21 to the L-shaped notch 22a of the upper member 22, the member shown in FIG. 7B is obtained. Further, a tapered through hole 23 having a track shape and having an opening area narrowed downward as shown in FIG. 4B is cut from the upper portion of the member coaxially inside the track-shaped groove 21a. Thereby, the nozzle base 20 shown in FIG. 2 can be formed. In the nozzle base 20 formed in this way, a cylindrical groove 22d communicates with the blow grooves 21b and 21c and the track-shaped grooves 21a of the lower member 21 through the openings 22e and 22f, and further with a plurality of ejection holes 21d.

次にこのノズルベース２０は図１，図２に示すように、カバー３０に一体に取付けられる。カバー３０は上部部材２２の半トラック状の溝２２ｂの上部を覆う平板状の部材である。又図２に示すように、カバー３０にはノズルベース２０の貫通孔２３の内周面に沿う形でトラック状の切欠き３１ｂが形成されている。更にこの切欠き３１ｂに対して図８に裏面図を示すように切欠き３１ｂの淵に沿った一対の段部３１ｃ，３１ｄが形成されている。この段部３１ｃ，３１ｄによってカバー３０をノズルベース２０の上部面に取付けたときに貫通孔２３と半トラック状の溝２２ｂが連通することとなる。   Next, the nozzle base 20 is integrally attached to the cover 30 as shown in FIGS. The cover 30 is a flat plate-like member that covers the upper part of the semi-track-like groove 22 b of the upper member 22. As shown in FIG. 2, the cover 30 is formed with a track-shaped notch 31 b along the inner peripheral surface of the through hole 23 of the nozzle base 20. Further, a pair of step portions 31c and 31d are formed along the notches 31b with respect to the notches 31b as shown in the rear view of FIG. When the cover 30 is attached to the upper surface of the nozzle base 20 by the step portions 31c and 31d, the through hole 23 and the semi-track groove 22b communicate with each other.

次に取付部４０は図２に示すように一方の側面にノズルベース２０とカバー３０の厚さに相当する切欠き４１が形成された直方体の部材である。取付部４０はノズルベース２０の上部部材２２に取付けられる切欠き２２ｃに連通する貫通孔４２を中央に有している。貫通孔４２は図３（ｂ）に示すように外側よりねじ溝が形成されている。又取付部４０の上部にはノズル１０をスクライブヘッドに取付けるための一対のねじ溝４３ａ，４３ｂが形成されている。   Next, as shown in FIG. 2, the mounting portion 40 is a rectangular parallelepiped member in which a cutout 41 corresponding to the thickness of the nozzle base 20 and the cover 30 is formed on one side surface. The attachment portion 40 has a through hole 42 in the center that communicates with a notch 22 c attached to the upper member 22 of the nozzle base 20. As shown in FIG. 3B, the through hole 42 is formed with a thread groove from the outside. A pair of screw grooves 43a and 43b for attaching the nozzle 10 to the scribe head are formed in the upper portion of the attachment portion 40.

このように形成されたノズル１０は図３（ｄ）に示すように、円筒形溝２２ｄからブロー溝２１ｂ，２１ｃを介してトラック状の溝２１ａに連通し、更に溝２１ａから下方に向けてトラック状の中心に向けた噴出孔２１ｄまで連通しており、噴出孔２１ｄが空気を吹きつけるための噴出孔となる。又カバー３０の淵に沿った段部３１ｃ，３１ｄより上部部材２２の切欠き２２ｃ、更に取付部４０の貫通孔４２まで連通しており、この段部３１ｃ，３１ｄと上部部材２２で形成される開口がトラック状切欠き３１ｂの側方から空気を吸引するための吸引孔となる。   As shown in FIG. 3D, the nozzle 10 thus formed communicates with the track-shaped groove 21a from the cylindrical groove 22d through the blow grooves 21b and 21c, and further tracks downward from the groove 21a. It communicates with the ejection hole 21d directed toward the center of the shape, and the ejection hole 21d serves as an ejection hole for blowing air. Further, the step portions 31 c and 31 d along the flange of the cover 30 communicate with the notch 22 c of the upper member 22 and further through the through hole 42 of the mounting portion 40, and the step portions 31 c and 31 d and the upper member 22 are formed. The opening serves as a suction hole for sucking air from the side of the track-shaped notch 31b.

次にこのように形成されたノズル１０のスクライブヘッドへの取付けについて説明する。図９はスクライブ装置に取付けられるスクライブヘッドの斜視図であり、図１０はこれにノズル１０を取付けた状態を示す斜視図である。スクライブヘッド５０は取付板５１上にサーボモータ５２、円筒カム５３が設けられ、カムフォロワ５４が円筒カム５３に接しており、円筒カム５３の回転によってスクライブヘッドの下部のホルダ部材５５が上下動自在に保持される。ホルダ部材５５の下端にはチップホルダ５６が設けられている。この実施の形態のノズル１０は、このホルダ部材５５の側方よりねじ溝４３ａ，４３ｂにボルトによって取付けられる。このときノズル１０は図３（ｄ）に示すトラック状の貫通孔２３より下方にチップの先端が露出するように取付けられる。   Next, attachment of the nozzle 10 thus formed to the scribe head will be described. FIG. 9 is a perspective view of a scribe head attached to the scribe device, and FIG. 10 is a perspective view showing a state in which the nozzle 10 is attached thereto. The scribe head 50 is provided with a servo motor 52 and a cylindrical cam 53 on a mounting plate 51, and a cam follower 54 is in contact with the cylindrical cam 53, and the holder member 55 below the scribe head can be moved up and down by the rotation of the cylindrical cam 53. Retained. A chip holder 56 is provided at the lower end of the holder member 55. The nozzle 10 of this embodiment is attached to the screw grooves 43a and 43b by bolts from the side of the holder member 55. At this time, the nozzle 10 is mounted so that the tip of the chip is exposed below the track-shaped through hole 23 shown in FIG.

ノズル１０を固定した後、図１０，図１１に示すように取付部４０の貫通孔４２にはエルボユニオン６１及びパイプ７１を介してサイクロン集塵器７０を連結する。サイクロン集塵器７０には更にパイプ７２を介してポンプ８０を接続する。又ノズルベース２０のねじ溝２２ｄには、エルボユニオン６２及びパイプ８１を介してポンプ８０の排気口に連結する。   After fixing the nozzle 10, a cyclone dust collector 70 is connected to the through hole 42 of the mounting portion 40 via an elbow union 61 and a pipe 71 as shown in FIGS. 10 and 11. A pump 80 is further connected to the cyclone dust collector 70 via a pipe 72. The thread groove 22 d of the nozzle base 20 is connected to the exhaust port of the pump 80 through an elbow union 62 and a pipe 81.

次に本実施の形態による集塵ユニットの動作例について説明する。スクライブ装置を動作させる際にはスクライブヘッド５０のサーボモータ５２を動作させ、所定の高さにスクライブヘッドを設定する。そしてスクライブする際にはサイクロン集塵器７０及びポンプ８０を動作させ、矢印方向に還流させて空気をノズル１０に送り込む。こうすればノズル１０の円筒形溝２２ｄを介してブロー溝２１ｂ，２１ｃ及びトラック状溝２１ａを通じて、噴出孔２１ｄから貫通孔２３の中央部のチップに向けて空気が噴出される。従ってスクライブした際のカレットをこの空気流によって巻き上げることができる。更にポンプ８０の吸引力により噴出した空気は貫通孔２３の吸引孔、溝２２ｂを通じて吸引され、エルボユニオン６１を介してサイクロン集塵器７０に還流する。このときカレットも空気と共にサイクロン集塵器７０に導かれる。従ってスクライブが生じたカレットをスクライブ装置のテーブル上から排除することができる。サイクロン集塵器７０ではカレットと空気とを分離することができる。   Next, an operation example of the dust collection unit according to the present embodiment will be described. When operating the scribing device, the servo motor 52 of the scribing head 50 is operated to set the scribing head to a predetermined height. When scribing, the cyclone dust collector 70 and the pump 80 are operated to recirculate in the direction of the arrow and feed air into the nozzle 10. In this way, air is ejected from the ejection hole 21d toward the tip at the center of the through hole 23 through the blow grooves 21b and 21c and the track-shaped groove 21a through the cylindrical groove 22d of the nozzle 10. Therefore, the cullet when scribed can be rolled up by this air flow. Further, the air ejected by the suction force of the pump 80 is sucked through the suction hole of the through hole 23 and the groove 22 b, and returns to the cyclone dust collector 70 through the elbow union 61. At this time, the cullet is guided to the cyclone dust collector 70 together with the air. Therefore, the cullet where scribe occurs can be excluded from the table of the scribe device. The cyclone dust collector 70 can separate cullet and air.

尚この実施の形態では、サイクロン集塵器とポンプを連結して吸引と圧送とを行うようにしているが、本発明のスクライブヘッド用集塵器は夫々独立したポンプを用いて空気の吸引と圧送を行うようにしてもよいことはいうまでもない。又ノズルはスクライブヘッドの周囲より空気を噴出するものであればよく、少なくとも３個の噴出孔より空気を噴出することが好ましい。そして巻き上げた空気を周囲から吸引するものであればよく、本実施の形態の構造に限定されるものではない。   In this embodiment, a cyclone dust collector and a pump are connected to perform suction and pressure feeding. However, the scribe head dust collector of the present invention uses an independent pump for suctioning air. Needless to say, pumping may be performed. The nozzle may be any nozzle that ejects air from the periphery of the scribe head, and preferably ejects air from at least three ejection holes. And what is necessary is just to attract | suck the air which wound up from the circumference | surroundings, and is not limited to the structure of this Embodiment.

本発明は脆性材料基板をスクライブするスクライブユニットに用いられ、スクライブの際にカレットの飛散を防止することができ、スクライブユニットに有効に適用することができる。   INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention is used in a scribe unit that scribes a brittle material substrate, can prevent cullet from being scattered during scribe, and can be effectively applied to a scribe unit.

１０ ノズル
２０ ノズルベース
２１ 下部部材
２１ａ トラック状溝
２１ｂ，２１ｃ ブロー溝
２１ｄ 噴出孔
２２ 上部部材
２２ａ 切欠き
２２ｂ 溝
２２ｃ 切欠き
２２ｄ 円筒形溝
２３ 貫通孔
３０ カバー
３１ｂ トラック状切欠き
３１ｃ，３１ｄ 段部
４０ 取付部
４２ 貫通孔
４３ａ，４３ｂ ねじ溝
５０ スクライブホルダ
５５ ホルダ部材
５６ チップホルダ
７０ サイクロン集塵器
７１，７２，８２ パイプ
８０ ポンプ 10 Nozzle 20 Nozzle base 21 Lower member 21a Track groove 21b, 21c Blow groove 21d Ejection hole 22 Upper member 22a Notch 22b Groove 22c Notch 22d Cylindrical groove 23 Through hole 30 Cover 31b Track notch 31c, 31d Step 40 mounting portion 42 through hole 43a, 43b thread groove 50 scribe holder 55 holder member 56 chip holder 70 cyclone dust collector 71, 72, 82 pipe 80 pump

Claims (4)

中央に貫通孔を有し、該貫通孔の周囲の噴出孔より空気を噴出すると共に、前記貫通孔に向けて設けられた吸気孔より空気を吸気するノズルと、
前記ノズルの噴出孔に連結され、空気を圧送するポンプと、
前記ノズルの吸気孔に連結され、空気を吸引するときに吸引した空気に含まれる粉塵を分離する集塵器と、を具備するスクライブヘッド用集塵器。 A nozzle that has a through-hole in the center, ejects air from the ejection holes around the through-hole, and sucks air from an intake hole provided toward the through-hole;
A pump connected to the nozzle orifice and pumping air;
A dust collector for a scribe head, comprising: a dust collector connected to an intake hole of the nozzle and separating dust contained in the sucked air when sucking the air. 前記ノズルは、
ノズルベースと、
前記貫通孔よりスクライブチップが露出するように前記ノズルベースをスクライブヘッドに取付ける取付部と、を有するものであり、
前記ノズルベースは、
前記貫通孔の周囲に環状に形成された環状溝と、
前記環状溝に連結され前記貫通孔の中央に向けて空気を噴出する複数の噴出孔と、
前記貫通孔に向けて形成され、前記噴出孔より噴出させた空気を吸引する吸気孔と、を有する請求項１記載のスクライブヘッド用集塵器。 The nozzle is
A nozzle base;
An attachment portion for attaching the nozzle base to the scribe head so that the scribe tip is exposed from the through hole,
The nozzle base is
An annular groove formed annularly around the through hole;
A plurality of ejection holes that are connected to the annular groove and eject air toward the center of the through hole;
The dust collector for a scribe head according to claim 1, further comprising: an air intake hole that is formed toward the through hole and sucks air ejected from the ejection hole. 前記ノズルベースの噴出孔は、
前記環状溝から貫通孔の中心のスクライブ用チップに向けて形成されている少なくとも３つの噴出孔である請求項２記載のスクライブヘッド用集塵器。 The nozzle base ejection holes are:
The dust collector for a scribe head according to claim 2, wherein the dust collector is at least three ejection holes formed from the annular groove toward a scribe chip at the center of the through hole. 前記集塵器はサイクロン集塵器である請求項１記載のスクライブヘッド用集塵器。   The dust collector for a scribe head according to claim 1, wherein the dust collector is a cyclone dust collector.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9260629B2 (en) 2010-09-02 2016-02-16 United Technologies Corporation Hydrophobic coating for coated article

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101410038B1 (en) * 2012-02-01 2014-06-20 (주) 인텍플러스 Glass cutting apparatus
US8893600B2 (en) 2012-09-28 2014-11-25 Shenzhen China Star Optroelectronics Technology Co., Ltd. Dust protection method for glass substrate cutter
CN102849934B (en) * 2012-09-28 2014-10-22 深圳市华星光电技术有限公司 Dust-proof method of glass substrate cutting machine
JP6254876B2 (en) * 2014-03-14 2017-12-27 三星ダイヤモンド工業株式会社 Scribe head and scribing device
KR101641916B1 (en) * 2014-11-19 2016-07-22 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Scribe head for bonded substrate
KR101821638B1 (en) * 2016-05-16 2018-01-24 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) Dust removal device for brittle substrate scriber

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002355516A (en) * 2001-05-31 2002-12-10 Scs:Kk Dust collector utilizing cyclone in router type board splitter
JP2003292331A (en) * 2002-03-29 2003-10-15 Matsushita Electric Ind Co Ltd Manufacturing device and manufacturing method for flat display panel
JP2005067971A (en) * 2003-08-26 2005-03-17 Fuji Photo Film Co Ltd Device and method for cutting substrate
KR100818138B1 (en) * 2004-05-20 2008-04-01 고마쓰 산기 가부시끼가이샤 Cutting machine and method of moving cutting head
JP4763254B2 (en) * 2004-06-16 2011-08-31 コマツ産機株式会社 Thermal cutting machine
KR100978259B1 (en) * 2005-06-20 2010-08-26 엘지디스플레이 주식회사 System for cutting liquid crystal display panel and method of fabricating liquid crystal display device using thereof
JP2008094635A (en) * 2006-10-06 2008-04-24 Citizen Seimitsu Co Ltd Cutter holder unit and scribing device equipped with the cutter holder unit
JP2008094690A (en) * 2006-10-16 2008-04-24 Seiko Epson Corp Apparatus and method for removing glass cullet and substrate cutting apparatus
KR100812300B1 (en) * 2007-05-07 2008-03-10 (주)성현 테크놀로지 Glass processing apparatus and method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9260629B2 (en) 2010-09-02 2016-02-16 United Technologies Corporation Hydrophobic coating for coated article

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