KR101821638B1 - Dust removal device for brittle substrate scriber - Google Patents

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한국미쯔보시다이아몬드공업(주)
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Abstract

본 발명은 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치에 관한 것이다. 이는, 스크라이빙용 절단휠을 하향 통과시키는 헤드통로를 구비하고, 외부로부터 공급된 공기를 받아 분출하여 상기 절단휠을 둘러싸는 에어커튼을 형성함과 아울러 스크라이빙시 발생하는 분진을 기판으로부터 리프팅시키는 분진 리프팅부와, 상기 분진 리프팅부로 공기를 공급하는 공기공급수단과, 상기 분진 리프팅부로 공급되는 공기의 유동량을 제어하여 분진 리프팅부로부터 분출하는 공기의 유속을 조절하는 유속조절부와, 상기 분진 리프팅부의 작용에 의해 리프팅된 분진을 공기와 함께 에어커튼의 내측 영역으로부터 외부로 배출하는 배출수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치는, 절단휠의 주변을 둘러싸는 에어커튼을 형성하여 분진의 유실이 없으며, 또한 에어커튼을 이루는 공기의 운동에너지를 이용해 분진을 기판으로부터 리프팅시킴과 동시에 배출하므로 분진제거가 신속하고 제거효율이 뛰어나며, 에어커튼을 형성하는 공기의 유속을 필요에 따라 조절할 수 있어, 분진 파티클의 무게에 맞추어 유속을 최적 조절함으로써 기판의 종류나 스크라이빙 작업특성에 관계없이 완벽한 분진제거가 가능하다.The present invention relates to a dust removal apparatus for a brittle substrate scriber. It has a head passage for passing a cutting wheel for scribing downward, and receives air supplied from the outside to form an air curtain surrounding the cutting wheel, and also dust generated during scribing is lifted from the substrate An air supply unit for supplying air to the dust lifting unit, a flow rate controller for controlling a flow rate of air blown from the dust lifting unit by controlling a flow rate of air supplied to the dust lifting unit, And discharging means for discharging the dust lifted by the action of the air from the inner region of the air curtain to the outside together with the air.
According to the dust removing device for a brittle substrate scriber of the present invention, an air curtain surrounding the cutting wheel is formed to prevent dust from being lost, and dust can be removed from the substrate by using the kinetic energy of the air forming the air curtain. It is possible to adjust the flow rate of the air forming the air curtain as necessary so as to optimize the flow rate according to the weight of the dust particle, Perfect dust removal is possible regardless of work characteristics.

Description

취성기판 스크라이버용 분진 제거장치{DUST REMOVAL DEVICE FOR BRITTLE SUBSTRATE SCRIBER}DUST REMOVAL DEVICE FOR BRITTLE SUBSTRATE SCRIBER

본 발명은 취성(brittleness)을 갖는 각종 기판을 절단하기 위해 사용되는 스크라이버(scriber)에 관한 것으로서 보다 상세하게는 스크라이빙시 발생하는 분진을 제거할 수 있는 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a scriber used for cutting various substrates having brittleness, and more particularly to a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber capable of removing dust generated during scribing will be.

유리기판을 포함하는 각종 취성 기판을 필요한 사이즈로 절단하기 위한 도구로서 절단휠을 구비한 스크라이버가 사용되고 있다. 상기 스크라이버는 절단휠을 기판의 표면에 압접(壓接)시킨 상태에서 하중을 가하면서 주행시켜, 구름운동하는 절단휠로 하여금 기판 표면에 스크라이브 라인을 형성하도록 한다. 상기 스크라이브 라인이 형성된 후에는, 스크라이브 라인을 중심으로 기판에 벤딩력을 인가하여 절단하는 분단(分斷)과정이 진행된다.A scriber having a cutting wheel is used as a tool for cutting various brittle substrates including a glass substrate into a required size. The scriber travels while applying a load in a state in which the cutting wheel is pressed against the surface of the substrate so that the scribing line is formed on the surface of the substrate by rolling motions. After the scribe line is formed, a dividing process is performed to cut the substrate by applying a bending force to the substrate around the scribe line.

한편, 상기 절단휠은 스크라이브 헤드의 하단부에 지지된 상태로 기판에 대해 구름운동 하며 스크라이브 라인을 형성하는데, 이 때 많은 양의 분진을 발생한다. 스크라이브 라인을 형성하는 동안 기판으로부터 분리된 미세한 기판의 입자, 가령 유리가루가 날리는 것이다.On the other hand, the cutting wheel is supported on the lower end of the scribe head and rolls against the substrate to form a scribe line, which generates a large amount of dust. Particles of the fine substrate separated from the substrate during formation of the scribe line, for example glass powder, are blown.

이러한 분진은 스크라이브 헤드 자체는 물론 헤드 주변을 오염시켜 작업의 정밀성을 저하시키는 원인이 됨은 물론 작업자의 호흡기로 들어가 산업재해를 야기하기도 한다. These dusts pollute the periphery of the scribe heads as well as the head itself, which causes the precision of the work to deteriorate, as well as causing industrial accidents by entering the worker's respiratory tract.

상기한 분진의 문제를 해결하기 위하여, 진공흡착장치를 이용해 분진을 빨아내거나 에어를 분사하여 날리거나 또는 브러싱하는 등의 방법이 제안되고 있지만, 불규칙적으로 비산하면서 발생되는 분진 등을 만족스럽게 제거하기에는 한계가 있었다.In order to solve the problem of dust, there has been proposed a method of sucking dust or blowing air by blowing or brushing by using a vacuum adsorption device. However, there are limitations to satisfactorily remove dust or the like generated by scattering in an irregular manner .

가령 국내등록특허공보 제10-1256092호(스크라이브 헤드용 집진기)에는, 노즐베이스와 커버와 부착부로 조립 구성된 노즐이 개시되어 있는데, 상기 노즐을 이용해 분진을 완벽하게 제거할 수 는 없었다. 그 이유는 분출된 공기의 배출이 원활하지 않기 때문이다.For example, in Korean Patent Publication No. 10-1256092 (dust collector for a scribe head), there is disclosed a nozzle assembled with a nozzle base, a cover, and a mounting portion. However, dust can not be completely removed using the nozzle. This is because the ejected air is not smoothly discharged.

상기 종래의 집진기에 있어서, 공기의 배출통로는 반트랙형 홈과 관통구멍인데, 상기 반트랙형 홈은 관통구멍의 절반만 커버하기 때문에 관통구멍의 상부로 올라온 공기와 분진의 일부분은 반트랙형 홈으로 들어가지 못하고 대기중으로 그대로 배출되는 것이다.In the above-described conventional dust collector, the exhaust passage for air is a half-rack type groove and a through hole. Since the half-rack type groove covers only half of the through hole, a part of the dust and air raised to the upper part of the through hole enters the half- It can not go to the atmosphere and it is discharged as it is.

본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 절단휠의 주변을 둘러싸는 에어커튼을 형성하여 분진의 유실이 없으며, 또한 에어커튼을 이루는 공기의 운동에너지를 이용해 분진을 기판으로부터 리프팅시킴과 동시에 배출하므로 분진제거가 신속하고 제거효율이 뛰어난 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치를 제공함에 목적이 있다.An object of the present invention is to provide an air curtain which surrounds a cutting wheel and eliminates the loss of dust. Also, the dust is lifted from the substrate by using the kinetic energy of the air forming the air curtain, And to provide a dust removing device for a brittle substrate scriber that is quick in dust removal and excellent in removal efficiency.

또한, 본 발명은, 에어커튼을 형성하는 공기의 유속을 필요에 따라 조절할 수 있어, 분진 파티클의 무게에 맞추어 유속을 최적 조절함으로써 기판의 종류나 스크라이빙 작업특성에 관계없이 완벽한 분진제거가 가능한 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치를 제공함에 목적이 있다.Further, the present invention can adjust the flow rate of the air forming the air curtain as required, and optimize the flow rate according to the weight of the dust particle, thereby making it possible to completely remove the dust regardless of the type of substrate or scribing operation characteristics It is an object of the present invention to provide a dust removing device for a brittle substrate scriber.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치는, 스크라이빙용 절단휠을 구비한 헤드부가 고정된 프레임에 장착되는 것으로서, 상기 절단휠을 하향 통과시키는 헤드통로를 구비하고, 외부로부터 공급된 공기를 받아 분출하여 상기 절단휠을 둘러싸는 에어커튼을 형성함과 아울러 스크라이빙시 발생하는 분진을 기판으로부터 리프팅시키는 분진 리프팅부와, 상기 분진 리프팅부로 공기를 공급하는 공기공급수단과, 상기 분진 리프팅부로 공급되는 공기의 유동량을 제어하여 분진 리프팅부로부터 분출하는 공기의 유속을 조절하는 유속조절부와, 상기 분진 리프팅부의 작용에 의해 리프팅된 분진을 공기와 함께 에어커튼의 내측 영역으로부터 외부로 배출하는 배출수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber according to the present invention is a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber, wherein a head portion having a cutting wheel for scribing is mounted on a fixed frame and includes a head passage for passing the cutting wheel downwardly, A dust lifting unit for spraying air supplied from the outside to form an air curtain surrounding the cutting wheel and lifting dust generated during scribing from the substrate, air supplying means for supplying air to the dust lifting unit, A flow control unit for controlling the flow rate of the air blown from the dust lifting unit by controlling the flow rate of the air supplied to the dust lifting unit and a control unit for controlling the flow rate of the dust from the inside area of the air curtain And discharge means for discharging it to the outside.

또한, 상기 분진 리프팅부는, 기판에 대해 수평을 이루는 플레이트의 형태를 취하며, 상기 공기공급수단을 통해 공급된 공기를 받아들이는 에어챔버와, 상기 에어챔버 내의 공기를 기판을 향해 토출하는 공기분출부를 갖는 베이스 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다.The dust lifting unit may include an air chamber for receiving the air supplied through the air supply unit and an air blowing unit for blowing air in the air chamber toward the substrate, And a base plate having a base plate.

아울러, 상기 공기분출부는, 상기 헤드통로의 주변에 형성되며 에어챔버내의 공기를 상기 절단휠측으로 편향되도록 분출하는 다수의 분사구멍 또는 분사슬릿을 포함하는 것을 특징으로 한다.The air ejecting unit may include a plurality of ejection holes or ejection slits formed in the periphery of the head passage for ejecting air in the air chamber toward the cutting wheel side.

또한, 상기 에어챔버는 상기 헤드통로를 둘러싸도록 연장되며 상부로 개방되는 트랜치형 홈이고, 상기 분진 리프팅부에는, 상기 베이스 플레이트의 상면에 고정되어 상기 에어챔버를 밀폐하고 그 내부에는 상기 공기공급수단을 통해 공급된 공기를 에어챔버로 유도하는 다수의 급기로를 갖는 커버 플레이트가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.Further, the air chamber is a trench-like groove that extends to surround the head passage and opens upward, and the dust lifting unit is fixed to the upper surface of the base plate to seal the air chamber, And a cover plate having a plurality of air supply passages for guiding the air supplied through the plurality of air supply passages to the air chamber.

또한, 상기 커버 플레이트에는, 리프팅된 분진과 공기를 통과시켜 상기 배출수단으로 유도하는 메인배출구 및 배출유도로가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.In addition, the cover plate is provided with a main discharge port and a discharge guide path for leading the lifted dust and air to the discharge means.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치는, 절단휠의 주변을 둘러싸는 에어커튼을 형성하여 분진의 유실이 없으며, 또한 에어커튼을 이루는 공기의 운동에너지를 이용해 분진을 기판으로부터 리프팅시킴과 동시에 배출하므로 분진제거가 신속하고 제거효율이 뛰어나다.According to the dust removing device for a brittle substrate scriber of the present invention, an air curtain surrounding the cutting wheel is formed to prevent dust from being lost, and dust can be removed from the substrate by using the kinetic energy of the air forming the air curtain. Simultaneously lifting and discharging, dust removal is fast and removal efficiency is excellent.

또한, 본 발명의 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치는, 에어커튼을 형성하는 공기의 유속을 필요에 따라 조절할 수 있어, 분진 파티클의 무게에 맞추어 유속을 최적 조절함으로써 기판의 종류나 스크라이빙 작업특성에 관계없이 완벽한 분진제거가 가능하다.Further, the dust removing device for a brittle substrate scriber of the present invention can adjust the flow rate of air forming the air curtain as needed, and by optimally adjusting the flow velocity in accordance with the weight of the dust particle, Perfect dust removal is possible regardless of the characteristics.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치가 적용된 스크라이버의 전체적인 모습을 나타내 보인 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치의 작동원리를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 상기 도 1에 도시한 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치의 분진 리프팅부의 구조를 설명하기 위한 도면이다.
도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치에서의 공기의 유동경로를 설명하기 위해 도시한 도면이다.
도 6 및 도 7은 상기 도 3에 도시한 분진 리프팅부의 구조를 설명하기 위하여 도시한 부분 절제 사시도이다.
도 8은 상기 도 3에 도시한 분진 리프팅부의 다른 예를 도시한 도면이다.1 is a perspective view showing an overall structure of a scriber to which a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber according to an embodiment of the present invention is applied.
2 is a side view for explaining the operation principle of a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining the structure of the dust lifting unit of the dust removing apparatus for the brittle substrate scriber shown in FIG.
4 and 5 are views for explaining a flow path of air in a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber according to an embodiment of the present invention.
6 and 7 are partially cutaway perspective views illustrating the structure of the dust lifting unit shown in FIG.
8 is a view showing another example of the dust lifting unit shown in FIG.

이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, one embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치가 적용된 스크라이버의 전체적인 모습을 나타내 보인 사시도이다. 또한, 도 2는 상기 도 1에 도시한 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치의 작동원리를 설명하기 위한 측면도이며, 도 3은 상기 도 1에 도시한 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치의 분진 리프팅부의 구조를 설명하기 위한 도면이다.1 is a perspective view showing an overall structure of a scriber to which a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber according to an embodiment of the present invention is applied. Fig. 2 is a side view for explaining the operation principle of the dust removing apparatus for the brittle substrate scriber shown in Fig. 1. Fig. 3 is a sectional view of the dust lifting unit of the brittle substrate scriber dust removing apparatus shown in Fig. Fig.

기본적으로, 본 실시예에 따른 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치는, 스크라이버(11)를 구성하는 헤드부(47)의 하부에 설치되며 스크라이빙 과정시 발생하는 분진을 흡기하여 외부로 배출하는 기본 목적을 갖는 것으로서, 절단날을 둘러싸는 에어커튼을 형성하고 특히 에어커튼을 이루는 공기의 분출압력 즉 운동에너지를 조절할 수 있다는 특징을 갖는다.Basically, the dust removing device for a brittle substrate scriber according to the present embodiment is installed at the lower part of the head part 47 constituting the scriber 11, and absorbs dust generated during the scribing process and discharges it to the outside And is characterized in that an air curtain surrounding the cutting edge is formed, and in particular, the ejection pressure or kinetic energy of the air constituting the air curtain can be controlled.

도시한 바와같이, 본 실시에에 따른 분진 제거장치는, 일정두께를 갖는 수직의 프레임(13) 하단부에 고정되는 분진 리프팅부(51)와, 상기 분진 리프팅부(51)에 공기를 공급하는 공기공급수단과, 상기 공기공급수단을 통해 공급되는 공기의 유속을 조절하는 유속조절스위치(17)와, 분진 리프팅부(51)에 의해 리프팅된 분진을 공기와 함께 배출하는 배출수단을 포함한다.As shown in the drawing, the dust removing apparatus according to the present embodiment includes a dust lifting section 51 fixed to a lower end of a vertical frame 13 having a predetermined thickness, A flow rate control switch 17 for controlling the flow rate of the air supplied through the air supply means, and a discharge means for discharging the dust lifted by the dust lifting portion 51 together with the air.

먼저, 상기 프레임(13)은 일정두께를 갖는 평판의 형태를 취하며 스크라이버장치(미도시)를 구성하는 바디(미도시)에 고정되는 부재로서 기판(A)에 대해 수직을 이루며 지지력을 제공한다.First, the frame 13 takes the form of a flat plate having a predetermined thickness and is fixed to a body (not shown) constituting a scriber device (not shown). The frame 13 is perpendicular to the substrate A, do.

또한 상기 프레임(13)의 도면상 전면(前面)에는 두 세트의 헤드부(47)가 좌우로 배치되어 있다. 상기 헤드부(47)는 동일한 구성을 가지며 같은 동작을 하는 것으로서 각각의 하부에 분진 제거장치를 갖는다. 경우에 따라 헤드부(47)의 적용개수가 늘어나거나 줄어들 수 도 있음은 물론이다.Two sets of head portions 47 are arranged laterally on the front surface of the frame 13 in the drawing. The head unit 47 has the same configuration and performs the same operation, and each of the head units 47 has a dust removing device at the lower part thereof. It goes without saying that the number of applications of the head portion 47 may be increased or decreased depending on circumstances.

아울러 상기 각 헤드부(47)의 상부에는 제 1 매니폴드 블록(15)이 구비되어 있다. 상기 제 1 매니폴드 블록(15)은 그 내부에 다수의 독립된 공기통로가 형성되어 있는 부재로서, 프레임(13)에 고정된다.In addition, a first manifold block 15 is provided on each of the head portions 47. The first manifold block 15 is a member having a plurality of independent air passages formed therein, and is fixed to the frame 13.

기본적으로 상기 제 1 매니폴드 블록(15)은 하나의 헤드부(47)와 일대일 매칭되는 것이 원칙이지만, 도 1에서는 일체형 매니폴드 블록이 적용되어 있다.Basically, the first manifold block 15 is in principle one-to-one matched with one head 47, but in FIG. 1, the integral manifold block is applied.

상기 제 1 매니폴드 블록(15)의 일측 상부에는 입구포트(19)와 유속조절스위치(17)와 두 개의 추가 출구포트(31)와 하나의 메인 출구포트(29)가 구비되어 있고, 그 하부에는 두 개의 제 2 배출포트(43)와 하나의 상부 커넥팅포트(41)와, 네 개의 제 1 중간포트(도 5의 21)가 배치되어 있다.An upper portion of the first manifold block 15 is provided with an inlet port 19, a flow rate control switch 17, two additional outlet ports 31 and one main outlet port 29, Two second discharge ports 43, one upper connecting port 41, and four first intermediate ports (21 in FIG. 5) are disposed.

상기 입구포트(19)는 네 개의 제 1 중간포트(21)와 연통하며, 추가 출구포트(31)는 제 2 배출포트(43)에, 메인 출구포트(29)는 상부 커넥팅포트(41)와 연통한다.The inlet port 19 is in communication with the four first intermediate ports 21 and the further outlet port 31 is connected to the second outlet port 43 and the main outlet port 29 is connected to the upper connecting port 41 Communicate.

따라서, 상기 입구포트(19)로 주입된 공기는 제 1 매니폴드 블록(15)의 내부에서 갈라셔 네 개의 제 1 중간포트(21)로 분산된 후 급기튜브(23)를 통해 하부로 공급된다.Therefore, the air injected into the inlet port 19 is divided into four first intermediate ports 21 which are divided inside the first manifold block 15, and then supplied downward through the air supply tube 23 .

특히 상기 입구포트(19)에서 제 1 중간포트(21)로 이동하는 공기의 유량은 유속조절스위치(17)에 의해 조절된다. 상기 유속조절스위치(17)는 입구포트(19) 내부의 유동단면적을 조절하여, 분진 리프팅부(51)의 하부로 분출하는 공기의 속도를 가감하는 역할을 한다. Particularly, the flow rate of the air moving from the inlet port 19 to the first intermediate port 21 is regulated by the flow rate control switch 17. The flow rate control switch 17 adjusts the flow cross-sectional area inside the inlet port 19 to increase or decrease the speed of the air blown to the lower portion of the dust lifting portion 51.

공기의 분출속도가 빨라지면 운동에너지가 커지고, 분출속도가 느려지면 운동에너지가 감소함은 당연하다. 이러한 분출공기의 속도조절을 통해 분진의 무게에 최적으로 대응하는 운동에너지의 공기를 분출할 수 있어 분진 제거효율을 최상으로 유지할 수 있다. It is natural that kinetic energy increases as air ejection speed increases, and kinetic energy decreases as ejection velocity decreases. By controlling the speed of the blowing air, the air of the kinetic energy corresponding to the weight of the dust can be ejected, and the dust removing efficiency can be maintained at the highest level.

상기 유속조절스위치(17)는 수동식 스위치로서, 스크라이빙 작업중 분진의 양과 분진 파티클의 무게 등의 상태를 파악하여 작업자에 의해 적절히 조작한다. 경우에 따라 유속조절스위치(17)를 자동식으로 적용할 수 도 있음은 물론이다.The flow rate control switch 17 is a manual switch that grasps the state of the amount of dust and the weight of dust particles during the scribing operation and appropriately operates by the operator. It goes without saying that the flow rate control switch 17 may be automatically applied as the case may be.

또한 상기 각 추가 출구포트(31)는 제 2 배출포트(43)와 각각 연통하며, 메인 출구포트(29)는 상부 커넥팅포트(41)와 일대일 연결된다. 상기 메인 출구포트(29)와 추가 출구포트(31)는 외부의 진공펌프로부터 진공력을 인가받는다. Each of the additional outlet ports 31 communicates with the second outlet port 43 and the main outlet port 29 has one-to-one connection with the upper connecting port 41. The main outlet port 29 and the additional outlet port 31 are subjected to a vacuum force from an external vacuum pump.

제 1 매니폴드 블록(15)의 타측부에도 입구포트(19)와 유속조절스위치(17)와 두 개의 추가 출구포트(31)와 메인 출구포트(29)와 제 2 배출포트(43)와 상부 커넥팅포트(41)와 제 1 중간포트(21)가 구비되어 있다. 이러한 구성을 갖는 포트는 제 1 매니폴드블록(15)의 일측부에 형성되어 있는 포트와 동일한 것이며 그에 대한 설명은 생략하기로 한다.The second manifold block 15 also has an inlet port 19, a flow rate control switch 17 and two additional outlet ports 31, a main outlet port 29 and a second outlet port 43, A connecting port 41 and a first intermediate port 21 are provided. A port having such a configuration is the same as a port formed at one side of the first manifold block 15, and a description thereof will be omitted.

한편, 상기 헤드부(47)의 하부에는 분진 리프팅부(51)가 구비되어 있다. 상기 분진 리프팅부(51)는 급기튜브(23)를 통해 공급된 공기를 화살표 a 방향으로 분출하는 역할을 한다. 특히 화살표 a 방향으로 분출하는 공기의 스트림 라인은 절단날(미도시)측으로 편향된 것으로서, 수직선으로부터 소정의 경사각을 갖는다. 수직선에 대한 스트림 라인의 사이각은 15도 이상이다. Meanwhile, a dust lifting unit 51 is provided at a lower portion of the head unit 47. The dust lifting unit 51 blows air supplied through the air supply tube 23 in the direction of arrow a. Particularly, the stream line of the air jetted in the direction of the arrow a is deflected toward the cutting edge (not shown), and has a predetermined inclination angle from the vertical line. The angle between the stream lines to the vertical is 15 degrees or more.

참고로, 도면에서 절단날은 생략되어 있지만, 상기 절단날은 일반적인 경우와 마찬가지로 헤드부(47)의 하단부에 구비되며, 헤드통로(51d)를 하향 통과한 상태로 기판(A)에 접한다.Although the cutting blade is omitted in the drawing, the cutting blade is provided at the lower end of the head portion 47 in the same manner as in the general case, and contacts the substrate A in a state in which the head passage 51d passes downward.

여하튼, 상기와 같이 분출류가 내측으로 편향되어 있으므로, 분출된 공기는 기판(A)에 부딪힌 후 내측으로 모이며 헤드통로(51d)를 거쳐 메인배출구(51f) 및 배출유도로(51m)을 통과해 외부로 배출된다. 이 때 절단날 주변의 분진도 공기와 함께 배출됨은 물론이다.The ejected air strikes the substrate A and collides with the inside of the substrate A and passes through the main discharge port 51f and the discharge guide passage 51m through the head passage 51d, And then discharged to the outside. At this time, dust around the cutting edge is also discharged together with air.

분진 리프팅부(51)로부터 분출되는 공기가, 분진의 외부 누출을 방지하는 에어커튼의 역할을 하는 것이다.The air ejected from the dust lifting section 51 serves as an air curtain for preventing dust from leaking out of the dust.

도 6 및 도 7을 통해 상기 분진 리프팅부(51)의 구조를 설명하면 아래와 같다. 도 6 및 도 7은 상기 분진 리프팅부(51)를 따로 나타내 보인 부분 절제 사시도이다.The structure of the dust lifting unit 51 will be described with reference to FIGS. 6 and 7 as follows. 6 and 7 are partial cutaway perspective views showing the dust lifting part 51 separately.

도시한 바와같이, 상기 분진 리프팅부(51)는, 사각 플레이트의 형태를 취하며 기판(A)에 대해 수평을 유지하는 베이스 플레이트(51a)와, 상기 베이스 플레이트(51a)의 상면에 밀착 고정되는 커버 플레이트(51e)와, 상기 커버 플레이트(51e)의 단부에 일체를 이루는 유도 플레이트(51h)을 포함한다.As shown in the drawing, the dust lifting unit 51 includes a base plate 51a which takes the form of a rectangular plate and keeps horizontal with respect to the substrate A, and a base plate 51b which is tightly fixed to the upper surface of the base plate 51a A cover plate 51e and an induction plate 51h integrally formed with the end of the cover plate 51e.

상기 베이스 플레이트(51a)와 커버 플레이트(51e)는 겹쳐진 상태로 헤드통로(51d)를 제공한다. 상기 헤드통로(51d)는 절삭날이 구비되어 있는 헤드부(47)의 하단부를 하향 통과시키는 통로이다.The base plate 51a and the cover plate 51e provide the head passage 51d in an overlapped state. The head passage 51d is a passage through which the lower end of the head portion 47 having the cutting edge is passed downward.

도 6에서 헤드통로(51d)와 유도 플레이트(51h)가 두 개소에 형성되어 있는 이유는, 도 1에 도시한 바와같이 헤드부(47)가 두 개 적용되어 있기 때문이다. 헤드부(47)가 하나일 경우 헤드통로(51d)와 유도 플레이트(51h)는 하나만 적용된다.The reason why the head passage 51d and the guide plate 51h are formed at two places in FIG. 6 is that two head parts 47 are applied as shown in FIG. When only one head portion 47 is provided, only one of the head passage 51d and the guide plate 51h is used.

상기 베이스 플레이트(51a)의 상면에는 에어챔버(51b)가 마련되어 있다. 상기 에어챔버(51b)는 상부로 개방된 트렌치형 홈으로서 상기 헤드통로(51d)의 테두리부를 따라 연장되어 있다. 상기 에어챔버(51b)는 양단부가 서로 만나는 이른바 폐회로를 구성할 수 도 있고, 양단부가 만나지 않는 개회로 타입으로 형성할 수 도 있다.An air chamber 51b is provided on the upper surface of the base plate 51a. The air chamber 51b extends along the rim of the head passage 51d as an open top trench. The air chamber 51b may constitute a so-called closed circuit in which both ends meet with each other, or may be formed as an open circuit type in which both ends do not meet each other.

여하튼 상기 에어챔버(51b)의 바닥부에는 다수의 분사구멍(51c)이 형성되어 있다. 상기 분사구멍(51c)은 수직선에 대해 θ의 사이각을 가지도록 내측으로 편향된 토출구멍으로서 에어챔버(51b)에 수용되어 있는 공기를 도 2의 화살표 a 방향으로 분출한다.At the bottom of the air chamber 51b, a plurality of injection holes 51c are formed. The injection hole 51c ejects air contained in the air chamber 51b as an ejection hole deflected inward so as to have an angle of? With respect to a vertical line in the direction of arrow a in Fig.

도 7에 도시한 바와같이, 상기 분사구멍(51c)은 에어챔버(51b)의 길이방향을 따라 촘촘히 배치되고, 또한 분사구멍(51c)을 통과한 공기는 토출순간 압력변화에 의해 퍼지므로, 각 분사구멍(51c)을 통해 동시에 하향 분사되는 공기는 상호 이어지며 사각의 벽을 이룬다. 즉 사각의 에어커튼을 형성하는 것이다.7, the injection holes 51c are closely arranged along the longitudinal direction of the air chamber 51b, and the air that has passed through the injection holes 51c is spread by a change in the instantaneous discharge pressure. Therefore, The air simultaneously sprayed downward through the injection hole 51c forms a square wall. That is, to form a square air curtain.

상기 커버 플레이트(51e)는 베이스 플레이트(51a)의 상면에 밀착 고정됨으로써 에어챔버(51b)를 밀폐한다. The cover plate 51e is tightly fixed to the upper surface of the base plate 51a to seal the air chamber 51b.

또한 상기 커버 플레이트(51e)의 일측에는 다수의 급기로(51g)가 형성되어 있다. 상기 급기로(51g)는 제 2 중간포트(25)가 끼워지는 구멍으로서, 급기튜브(23)를 통해 공급된 공기를 에어챔버(51b)로 유도한다.A plurality of supply passages 51g are formed on one side of the cover plate 51e. The air supply passage 51g is an opening through which the second intermediate port 25 is fitted and guides the air supplied through the air supply tube 23 to the air chamber 51b.

아울러 커버 플레이트(51e)에는 상기한 메인배출구(51f)가 위치한다. 상기 메인배출구(51f)는 하부 커넥팅포트(33)가 끼워지는 구멍으로서, 베이스 플레이트(51a)의 하부로 개방되어 있다. 상기 메인배출구(51f)는 기판(A)으로부터 부상한 분진을 상향 통과시켜 하부 커넥팅포트(33)를 통해 상부로 배출하는 통로이다.The main discharge port 51f is located on the cover plate 51e. The main discharge port 51f is an opening through which the lower connecting port 33 is inserted and opens to the lower portion of the base plate 51a. The main outlet (51f) is a passage for upwardly passing dust rising from the substrate (A) and discharging the dust upward through a lower connecting port (33).

상기 유도 플레이트(51h)는 커버 플레이트(51e)의 일측에 수직으로 세워진 부분으로서 제 2 매니폴드 블록(27)과 결합한다. 상기 제 2 매니폴드 블록(27)은 그 내부에 공기의 유로가 형성되어 있는 부재로서, 두 개씩의 제 1 배출포트(37)와 제 2 중간포트(25)를 갖는다.The guide plate 51h engages with the second manifold block 27 as a vertically erected portion on one side of the cover plate 51e. The second manifold block 27 is a member having an air flow path formed therein and has two first discharge ports 37 and a second intermediate port 25.

상기 제 1 배출포트(37)는 기판(A)으로부터 리프팅된 분진과 공기의 일부를 배출튜브(39)로 유도하는 역할을 한다. 또한 제 2 중간포트(25)는 급기튜브(23)를 통해 공급된 공기를 제 2 매니폴드 블록(27)의 내부로 압입하는 포트이다. 결국 제 2 매니폴드 블록(27)에는 배출통로와 공급통로가 모두 구비되어 있는 것이다.The first discharge port 37 serves to guide a part of the air and dust lifted from the substrate A to the discharge tube 39. The second intermediate port 25 is a port for pushing the air supplied through the air supply tube 23 into the second manifold block 27. As a result, both the discharge passage and the supply passage are provided in the second manifold block 27.

도 7에 도시한 바와같이, 상기 제 2 매니폴드 블록(27)의 내부에는 두 개의 급기로(51k)와, 네 개의 배출유도로(51m)가 형성되어 있다. As shown in FIG. 7, in the second manifold block 27, two supply passages 51k and four discharge passages 51m are formed.

상기 배출유도로(51m)는 수직으로 연장된 통로로서 그 하단부가 헤드통로(51d)의 내측에 위치한다. 분진 리프팅부(51)의 하부에서 리프팅된 분진과 공기가 배출유도로(51m)의 내부로 빨라올려질 수 있음을 의미한다.The discharge guide path 51m is a vertically extending passage, and its lower end is located inside the head passage 51d. It means that the lifted dust and air can be raised up to the inside of the discharge inducing path 51m at the lower part of the dust lifting part 51. [

상기 배출유도로(51m)는 제 2 매니폴드 블록(27) 내부에 형성되어 있는 내부유로(미도시)를 통해 두 개의 제 1 배출포트(37)와 연결된다. 상기 제 1 배출포트(37)를 통해 진공압력을 가하면, 베이스 플레이트(51a) 하부에서 부상된 분진이 배출유도로(51m)를 통해 흡입된 후 제 2 매니폴드 블록(27)을 거쳐 제 1 배출포트(37) 상부로 빠져나온다.The discharge guide passage 51m is connected to the two first discharge ports 37 through an internal passage (not shown) formed in the second manifold block 27. [ When vacuum pressure is applied through the first discharge port 37, the dust floated in the lower portion of the base plate 51a is sucked through the discharge guide path 51m and then discharged through the second manifold block 27, And exits to the upper portion of the port 37.

또한 상기 급기로(51k)의 하단부는 에어챔버(51b)에 연통한다. 따라서 상기 제 2 중간포트(25)를 통해 주입된 공기는 제 2 매니폴드 블록(27)을 거쳐 급기로(51k)로를 경유하여 에어챔버(51b)에 도달하게 된다.The lower end of the air supply passage 51k communicates with the air chamber 51b. Therefore, the air injected through the second intermediate port 25 reaches the air chamber 51b via the second manifold block 27 and the air supply path 51k.

도 8은 상기 분진 리프팅부의 다른 예를 도시한 도면이다.8 is a view showing another example of the dust lifting unit.

도면을 참조하면, 상기 베이스 플레이트(51a)의 저면에 분사슬릿(51p)이 형성되어 있음을 알 수 있다. 상기 분사슬릿(51p)은 상기 에어챔버(51b)에 연통하는 통로로서, 에어챔버(51b)로 주입되는 공기를 도 2의 화살표 a 방향으로 분출하는 통로이다. 상기 분사슬릿(51p)의 역할은 분사구멍(51c)의 역할과 동일하다.Referring to the drawing, it is understood that a spray slit 51p is formed on the bottom surface of the base plate 51a. The injection slit 51p is a passage that communicates with the air chamber 51b and sprays air injected into the air chamber 51b in the direction of arrow a in Fig. The role of the injection slit 51p is the same as that of the injection hole 51c.

도 4 및 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치에서의 공기의 유동경로를 설명하기 위해 일부 도시한 도면이다.FIG. 4 and FIG. 5 are views illustrating a flow path of air in a dust removing apparatus for a brittle substrate scriber according to an embodiment of the present invention.

도면을 참조하면, 상기 하부 커넥팅포트(33)에 수직튜브(35)가 고정되어 있음을 알 수 있다. 상기 수직튜브(35)는 분진 리프팅부(51)의 상부로 연장된 파이프로서, 그 상단부는 연결튜브(45)를 통해 상부 커넥팅포트(41)와 연결된다.Referring to FIG. 5, it can be seen that the vertical tube 35 is fixed to the lower connecting port 33. The vertical tube 35 is a pipe extending to the upper part of the dust lifting part 51 and the upper end thereof is connected to the upper connecting port 41 through the connecting tube 45.

따라서, 가령, 메인 출구포트(29)를 통해 공기를 흡인하면 베이스 플레이트(51a)하부의 공기가, 하부 커넥팅포트(33)와 수직튜브(35)와 연결튜브(45)와 제 1 매니폴드 블록(15)을 차례로 통과해 상부로 배출된다.Therefore, for example, when air is sucked through the main outlet port 29, the air beneath the base plate 51a flows through the lower connecting port 33, the vertical tube 35, the connecting tube 45, (15), and is discharged to the upper part.

또한 상기 제 1 배출포트(37)와 제 2 배출포트(43)는 배출튜브(39)를 통해 상호 연통한다. 따라서, 각 추가 출구포트(31)를 통해 진공력을 가하면, 베이스 플레이트(51a) 하부의 공기가, 배출유도로(51m)와 제 2 매니폴드 블록(27)과 배출튜브(39)와 제 1 매니폴드 블록(15)을 통과해 배출되게 된다.The first discharge port (37) and the second discharge port (43) communicate with each other through the discharge tube (39). Therefore, when a vacuum force is applied through each additional outlet port 31, the air beneath the base plate 51a flows through the discharge inducing passage 51m, the second manifold block 27, the discharge tube 39, And is discharged through the manifold block 15.

한편, 상기 제 1 매니폴드 블록(15)의 하부에 위치하고 있는 제 1 중간포트(21)는 급기튜브(23)를 통해 각각의 제 2 중간포트(25)에 연결된다. 따라서, 상기 입구포트(19)로 주입된 공기는 네 개의 제 1 중간포트(21)를 통과해 급기튜브(23)를 거쳐 상기 에어챔버(51b)로 도달한 후 하향 분출될 수 있다.The first intermediate port 21 located below the first manifold block 15 is connected to each second intermediate port 25 through an air supply tube 23. Accordingly, the air injected into the inlet port 19 can be ejected downward after reaching the air chamber 51b through the first intermediate port 21, the air supply tube 23, and the like.

상기 구성을 가지는 본 실시예에 따른 분진 제거장치의 작동은 다음과 같이 이루어진다.Operation of the dust removing apparatus according to the present embodiment having the above-described configuration is performed as follows.

먼저, 프레임(13)의 위치를 조절하여, 준비된 기판(A)의 상면에 절단날을 위치시킨다. 이 상태로 상기 입구포트(19)를 통해 공기를 주입함과 아울러, 메인 출구포트(29)와 추가 출구포트(31)에 진공압을 인가하여 분진 리프팅부(51)의 하부에 에어커튼을 형성한다. First, the position of the frame 13 is adjusted, and the cutting blade is positioned on the upper surface of the prepared substrate (A). In this state, air is injected through the inlet port 19 and vacuum pressure is applied to the main outlet port 29 and the additional outlet port 31 to form an air curtain at the bottom of the dust lifting section 51 do.

상기한 바와같이, 에어커튼은 베이스 플레이트(51a)의 하부로 분출하는 공기에 의해 형성된 것으로서 상기 절단날을 둘러싸는 사각벽의 형태를 취한다.As described above, the air curtain is formed by air ejected to the lower portion of the base plate 51a, and takes the form of a square wall surrounding the cutting blade.

상기한 에어커튼이 안정화 되었다면 기판(A)에 대해 절단날을 주행시켜 스크라이브 라인을 형성한다. 상기 스크라이브 라인의 형성 중에 발생하는 분진은, 에어커튼을 이루는 공기의 유동에너지를 받아 기판(A)으로부터 리프팅되어 공기와 함께 상기 메인배출구(51f) 및 배출유도로(51m)를 통해 배출 처리된다. 특히 에어커튼의 스트림 라인이 내측방향으로 편향되어 있으므로, 발생하는 분진이 에어커튼의 외부로 누출될 염려가 없다.If the air curtain is stabilized, the cutting blade runs on the substrate A to form a scribe line. The dust generated during the formation of the scribe line receives the flow energy of the air forming the air curtain and is lifted from the substrate A and discharged together with the air through the main discharge port 51f and the discharge induction passage 51m. Particularly, since the stream line of the air curtain is deflected inward, there is no possibility that the generated dust leaks to the outside of the air curtain.

또한, 상기 과정을 거치는 동안, 발생하는 분진의 양이 많아지거나 또는 분진 파티클의 무게가 무거워질 경우에는 상기 유속조절스위치(17)를 조작하여 화살표 a방향으로 분출되는 공기의 유속을 증가시킨다. 분출공기의 유속이 빨라진다는 것은 공기의 운동에너지가 커진다는 의미이므로, 증가된 부하를 효과적으로 처리할 수 있게 된다.If the amount of generated dust increases or the weight of the dust particles becomes heavy during the above process, the flow rate control switch 17 is operated to increase the flow rate of the air jetted in the direction of arrow a. The fact that the flow velocity of the ejected air is increased means that the kinetic energy of the air is increased, so that the increased load can be effectively treated.

참고로, 스크라이빙 과정시 발생하는 분진은 미세한 파티클의 형태를 취하며, 파티클의 크기는 기판에 대한 절단날의 가압 및 주행조건과 기판의 물성에 따라 달라진다. 파티클의 크기가 커지면 무게가 증가하고 크기가 작아지면 가벼워지므로, 결국 리프팅할 분진의 총 무게는 작업조건에 따라 달라지게되는 것이다. 분진을 기판으로부터 리프팅시키기 위해 필요한 운동에너지의 양이 달라진다는 의미이다. For reference, the dust generated in the scribing process takes the form of fine particles, and the size of the particles depends on the pressurization of the cutting edge to the substrate, the running conditions, and the physical properties of the substrate. As the size of the particles increases, the weight increases and as the size decreases, the weight becomes lighter, and eventually the total weight of the dust to be lifted depends on the working conditions. Meaning that the amount of kinetic energy required to lift the dust from the substrate is different.

경우에 따라, 발생하는 분진의 발생량이 작다면 유속조절스위치(17)를 조작하여 분진 리프팅부(51)로부터 분출하는 공기의 유속을 감소시켜 에너지의 소모를 줄인다.In some cases, if the amount of generated dust is small, the flow rate control switch 17 is operated to reduce the flow rate of air ejected from the dust lifting unit 51, thereby reducing energy consumption.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims.

11:스크라이버 13:프레임 15:제 1 매니폴드 블록
17:유속조절스위치 19:입구포트 21:제 1 중간포트
23:급기튜브 25:제 2 중간포트 27:제 2 매니폴드 블록
29:메인 출구포트 31:추가 출구포트 33:하부 커넥팅포트
35:수직튜브 37:제 1 배출포트 39:배출튜브
41:상부 커넥팅포트 43:제 2 배출포트 45:연결튜브
47:헤드부 51:분진 리프팅부 51a:베이스 플레이트
51b:에어챔버 51c:분사구멍 51d:헤드통로
51e:커버 플레이트 51f:메인배출구 51g:급기로
51h:유도 플레이트 51k:급기로 51m:배출유도로
51p:분사슬릿 11: Scriber 13: Frame 15: First manifold block
17: flow rate control switch 19: inlet port 21: first intermediate port
23: Supply tube 25: Second intermediate port 27: Second manifold block
29: main outlet port 31: additional outlet port 33: lower connecting port
35: vertical tube 37: first exhaust port 39: exhaust tube
41: upper connecting port 43: second exhaust port 45: connecting tube
47: head part 51: dust lifting part 51a: base plate
51b: air chamber 51c: injection hole 51d: head passage
51e: Cover plate 51f: Main outlet 51g: Supply air
51h: Induction plate 51k: With supply 51m: With discharge induction furnace
51p: injection slit

Claims (5)

스크라이빙용 절단휠을 구비한 헤드부(47)가 고정된 프레임(13)에 장착되는 것으로서, 상기 절단휠을 하향 통과시키는 헤드통로(51d)를 구비하고, 외부로부터 공급된 공기를 받아 분출하여 상기 절단휠을 둘러싸는 에어커튼을 형성함과 아울러 스크라이빙시 발생하는 분진을 기판(A)으로부터 리프팅시키는 분진 리프팅부(51)와,
상기 분진 리프팅부(51)로 공기를 공급하는 공기공급수단과,
상기 분진 리프팅부(51)로 공급되는 공기의 유동량을 상기 공기공급수단의 유동단면적을 조절하여 제어함으로써 분진 리프팅부로부터 분출하는 공기의 유속을 조절하는 유속조절부와,
상기 분진 리프팅부의 작용에 의해 리프팅된 분진을 공기와 함께 에어커튼의 내측 영역으로부터 헤드통로(51d)를 거쳐 메인배출구(51f) 및 배출유도로(51m)를 통과하여 외부로 배출하는 배출수단을 포함하되,
상기 분진 리프팅부(51)는,
기판(A)에 대해 수평을 이루는 플레이트의 형태를 취하며, 상기 공기공급수단을 통해 공급된 공기를 받아들이는 에어챔버(51b)와, 상기 에어챔버(51b) 내의 공기를 기판을 향해 토출하는 공기분출부를 갖는 베이스 플레이트(51a)를 포함하며,
상기 공기분출부는,
상기 헤드통로(51d)의 주변에 형성되며 에어챔버(51b)내의 공기를 상기 절단휠측으로 편향되도록 분출하기 위해 수직선에 대해 미리정해진 사이각을 가지도록 내측으로 편향된 다수의 분사구멍(51c) 또는 분사슬릿(51p)을 포함하는 것을 특징으로 하는 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치.A head portion 47 having a cutting wheel for scribing is mounted on a fixed frame 13 and includes a head passage 51d for passing the cutting wheel downward. A dust lifting portion 51 for forming an air curtain surrounding the cutting wheel and lifting dust generated during scribing from the substrate A,
An air supply means for supplying air to the dust lifting portion 51,
A flow rate adjusting unit for adjusting a flow rate of air supplied to the dust lifting unit 51 by controlling the flow cross-sectional area of the air supplying unit to adjust the flow rate of air blown from the dust lifting unit,
And discharge means for discharging the dust lifted by the action of the dust lifting portion from the inner region of the air curtain with air through the head passage 51d through the main discharge port 51f and the discharge guide passage 51m to the outside However,
The dust lifting section (51)
An air chamber 51b which takes the form of a plate horizontally arranged with respect to the substrate A and receives the air supplied through the air supply means and an air chamber 51b which discharges the air in the air chamber 51b toward the substrate And a base plate (51a) having an ejection portion,
The air-
A plurality of injection holes 51c formed in the periphery of the head passage 51d and deflected inwardly to have a predetermined angle with respect to a vertical line so as to eject air in the air chamber 51b toward the cutting wheel side, And a slit (51p). 삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 에어챔버(51b)는 상기 헤드통로(51d)를 둘러싸도록 연장되며 상부로 개방되는 트랜치형 홈이고,
상기 분진 리프팅부(51)에는,
상기 베이스 플레이트(51a)의 상면에 고정되어 상기 에어챔버(51b)를 밀폐하고 그 내부에는 상기 공기공급수단을 통해 공급된 공기를 에어챔버(51b)로 유도하는 다수의 급기로(51g,51k)를 갖는 커버 플레이트(51e)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 취성기판 스크라이버용 분진 제거장치.The method according to claim 1,
The air chamber 51b is a trench-like groove that extends to surround the head passage 51d and opens upward,
In the dust lifting portion 51,
A plurality of air supply passages 51g and 51k which are fixed to the upper surface of the base plate 51a to seal the air chamber 51b and guide the air supplied through the air supply means to the air chamber 51b, And a cover plate (51e) having a plurality of through holes (51a, 51b). 삭제delete
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