JP5000859B2 - Generation apparatus and program capable of causing computer to execute generation method - Google Patents

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Description

本発明は、生成装置、及び生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラム関し、特にプログラム言語が異なる複数の半導体試験装置のそれぞれで用いるテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成する生成装置に関する。 The present invention, generator, and generates either or both of the test program and the test pattern program used in each generation method related to program capable of causing a computer to execute the, in particular program language is different semiconductor test device It is related with the production | generation apparatus etc. to perform.

図5は、従来の半導体試験装置用テストプログラム生成システムの概略ブロック図である。   FIG. 5 is a schematic block diagram of a conventional test program generation system for semiconductor test equipment.

生成システム1は、記憶手段3と、中間データ群5と、複数のテストプログラム生成手段7A〜7nと、複数の翻訳手段9A〜9nと、ライブラリ抽出/中間データ生成手段11と、中間データ・ライブラリ登録手段13とを備える。記憶手段3は、ライブラリ15と、製品情報ファイル17とを備える。   The generation system 1 includes a storage unit 3, an intermediate data group 5, a plurality of test program generation units 7A to 7n, a plurality of translation units 9A to 9n, a library extraction / intermediate data generation unit 11, and an intermediate data library. Registration means 13. The storage unit 3 includes a library 15 and a product information file 17.

ライブラリ15には、測定方法、測定シーケンスの内容等、各機種LSIテスタに共通の情報が登録されている。製品情報ファイル17には、各種LSIのパッケージ規格、ピンの配列及び名称等、LSIの種類ごとに固有の製品情報が登録されている。ライブラリ抽出/中間データ生成手段11は、各機種LSIテスタのテストプログラムの生成に必要なデータを記憶手段3のライブラリ15及び製品情報ファイル17から読み出して、各種テストプログラム言語から独立した共通言語のデータに変換することにより、中間データ群5の各ファイル19〜37を生成する。   The library 15 registers information common to each type of LSI tester, such as the measurement method and the content of the measurement sequence. The product information file 17 stores product information unique to each LSI type, such as various LSI package standards, pin arrangements and names. The library extraction / intermediate data generation means 11 reads data necessary for generating the test program for each model LSI tester from the library 15 and the product information file 17 of the storage means 3, and data in a common language independent of various test program languages. The files 19 to 37 of the intermediate data group 5 are generated.

ここで、テストフローファイル19は測定項目及び測定順序を記述したファイルであり、第1、第2、・・・第nのテンプレートファイル21A〜21nは測定対象LSIの種類ごとに測定シーケンスを記述したファイルである。波形ファイル23は測定対象LSIに入出力する信号波形の波形モード及びタイミング値を記述したファイルであり、レベルファイル25は測定対象LSIに入出力する信号の電圧を記述したファイルである。ピンファイル27は測定対象LSIの接触子とLSIテスタの接触子との接続関係を記述したファイルであり、DC測定条件ファイル29はDC測定の測定条件を記述したファイルである。パワーシーケンスファイル31はユニットの電源オン/オフの順序及び時間を記述したファイルであり、変数ファイル33は変数及び演算式が記述されたファイルである。パターンリストファイル35はテストパターンの実行開始アドレス及び停止アドレスの情報が記述されたファイルであり、インスタンスファイル37はテンプレートと各パラメータとの結び付きを記述したファイルである。   Here, the test flow file 19 is a file describing measurement items and measurement order, and the first, second,..., Nth template files 21A to 21n describe a measurement sequence for each type of LSI to be measured. It is a file. The waveform file 23 is a file describing the waveform mode and timing value of the signal waveform input / output to / from the measurement target LSI, and the level file 25 is a file describing the voltage of the signal input / output to / from the measurement target LSI. The pin file 27 is a file describing the connection relationship between the contact of the LSI to be measured and the contact of the LSI tester, and the DC measurement condition file 29 is a file describing the measurement conditions of the DC measurement. The power sequence file 31 is a file describing the order of power on / off of the units and the time, and the variable file 33 is a file describing variables and arithmetic expressions. The pattern list file 35 is a file that describes information on the execution start address and stop address of the test pattern, and the instance file 37 is a file that describes the association between the template and each parameter.

中間データ・ライブラリ登録手段13は、生成された中間データ群5の各ファイル19〜37に含まれる中間データを記憶手段3のライブラリ15に登録する。   The intermediate data / library registration unit 13 registers the intermediate data included in the generated files 19 to 37 of the intermediate data group 5 in the library 15 of the storage unit 3.

第1、第2、・・・第nのテストプログラム生成手段7A〜7nは、それぞれがLSIテスタの機種ごとに対応して設けられており、中間データ群5の必要な各ファイル19〜37から読み出した中間データを変換することにより、LSIテスタの機種ごとに対応した第1、第2、・・・第nのテストプログラム39A〜39nをASCII(American Standard Code for Information Interchange)ファイルで作成する。   The first, second,..., Nth test program generation means 7A to 7n are provided for each type of LSI tester, and from the necessary files 19 to 37 of the intermediate data group 5. By converting the read intermediate data, first, second,..., Nth test programs 39A to 39n corresponding to each type of LSI tester are created as ASCII (American Standard Code for Information Interchange) files.

第1、第2、・・・第nのプログラム翻訳手段9A〜9nは、それぞれがLSIテスタの機種ごとに対応して設けられており、各テストプログラム39A〜39nのコンパイル及びリンクを行い、LSIテスタの機種ごとに対応した実行可能プログラムであるバイナリファイルの第1、第2、・・・第nのテストプログラム41A〜41nを生成する。   The first, second,..., Nth program translating means 9A to 9n are provided for each type of LSI tester, and compile and link each test program 39A to 39n. First, second,..., Nth test programs 41A to 41n of binary files, which are executable programs corresponding to each model of the tester, are generated.

特開2000−163278号公報JP 2000-163278 A

しかしながら、上述したテストプログラムの生成では、LSIテスタの機種ごとにテストプログラム生成手段等が設けられており、処理工程が多くて無駄があり、システム構成が大きく複雑なものになっていた。   However, in the test program generation described above, test program generation means and the like are provided for each type of LSI tester, which requires many processing steps and is wasteful, resulting in a large and complicated system configuration.

また、ある被試験デバイスのテストを同様のテスト内容で他機種の半導体試験装置で実行する他の手法としては、既存プログラムをエンジニアが手作業で編集等を行うことも従前から行われているが、編集のための膨大なプログラム言語の知識がエンジニアに要求され、さらに人為的ミスの可能性は否定できず、テスト内容の等価性の検証が行われていなかった。   In addition, as another method of executing a test of a device under test with other types of semiconductor test equipment with the same test contents, an engineer manually edits an existing program. Enormous programming language knowledge for editing is required for engineers, and the possibility of human error cannot be denied, and the equivalence of test contents has not been verified.

ゆえに、本発明は、上記のような問題点を有する人為的な手法ではなく、処理工程がシンプルで無駄を取り除いた生成方法コンピュータにより実行可能なプログラム、及びステム構成を簡略化する生成装置を提供する。 Thus, the present invention is not a human approach with the above problem, the process is simple generation method by removing the waste in executable by a computer program, and generating device to simplify the system configuration I will provide a.

請求項に係る発明の生成装置は、プログラム言語が異なる複数の半導体試験装置のそれぞれで用いるテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成する生成装置であって、半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得される若しくは仮想の半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得されるハードウエア設定情報及びテストプログラムを前記複数の半導体試験装置におけるプログラム言語とは異なるプログラム言語による共通フォーマットの中間データに変換する変換手段と、前記変換手段が変換した中間データを用いて前記各半導体試験装置のプログラム言語に応じたテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成できる生成手段とを備え、前記逆変換手段は、前記ハードウエア設定情報から変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとを比較する比較手段と、前記比較手段の比較結果を用いて、前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとをマージするマージ手段とを含むものである。 A generation apparatus according to a first aspect of the present invention is a generation apparatus that generates one or both of a test program and a test pattern program used in each of a plurality of semiconductor test apparatuses having different program languages, and for the semiconductor test apparatus The hardware setting information and the test program acquired by executing the test program or acquired by executing the test program for the virtual semiconductor test apparatus are in a program language different from the program language in the plurality of semiconductor test apparatuses. Reverse conversion means for reverse conversion to intermediate data in a common format, and either or both of a test program and a test pattern program according to the programming language of each semiconductor test apparatus using the intermediate data reversely converted by the reverse conversion means and a generation capable of generating means, before Inverse conversion means, comparison means for comparing the intermediate data converted back from the hardware configuration information the intermediate data is converted back from the test program, using the comparison result of the comparing means, the hardware settings A merge means for merging the intermediate data reversely converted from the information and the intermediate data reversely converted from the test program ;

請求項2に係る発明は、プログラム言語が異なる複数の半導体試験装置のそれぞれで用いるテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成する生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラムであって、前記生成方法は、逆変換手段が、半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得される若しくは仮想の半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得されるハードウエア設定情報及びテストプログラムを前記複数の半導体試験装置におけるプログラム言語とは異なるプログラム言語による共通フォーマットの中間データに逆変換する逆変換ステップと、生成手段が、前記逆変換手段が逆変換した中間データを用いて前記各半導体試験装置のプログラム言語に応じたテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成できるステップとを含み、前記逆変換ステップは、比較手段が、前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとを比較するステップを含む、生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラムである。The invention according to claim 2 is a program capable of causing a computer to execute a generation method for generating either or both of a test program and a test pattern program used in each of a plurality of semiconductor test apparatuses having different program languages. The generation method includes the hardware setting information and the test obtained by the inverse conversion means obtained by executing the test program for the semiconductor test apparatus or by executing the test program for the virtual semiconductor test apparatus. A reverse conversion step of reversely converting the program into intermediate data in a common format in a program language different from the program language in the plurality of semiconductor test devices; and a generation unit using the intermediate data reversely converted by the reverse conversion unit Test programs according to the programming language of the semiconductor test equipment A step of generating either or both of the program and the test pattern program, and the reverse conversion step includes a step of comparing the intermediate data reversely converted from the hardware setting information and the intermediate data reversely converted from the test program. A program capable of causing a computer to execute a generation method including a step of comparing data.

請求項3に係る発明は、請求項2において、前記逆変換ステップは、マージ手段が、前記比較手段の比較結果を用いて、前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとをマージするステップをさらに含む、生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラムである。According to a third aspect of the present invention, in the second aspect of the present invention, the reverse conversion step is performed by using the intermediate data reversely converted from the hardware setting information by the merge means using the comparison result of the comparison means and the test program. A program capable of causing a computer to execute a generation method, further comprising a step of merging with the inversely converted intermediate data.

この発明によれば、ハードウエア設定情報及びテストプログラムが、逆変換手段により、複数の半導体試験装置におけるプログラム言語とは異なるプログラム言語による共通フォーマットの中間データに変換される。そして、逆変換された中間データを用いて各半導体試験装置のプログラム言語に応じたテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成できる。したがって、人為的な方法ではない多機種へのプログラム変換が可能となり、中間データの再利用により、その処理工程に無駄がなく、シンプルなものとできる。特に、逆変換処理では、ハードウエア設定情報から逆変換された中間データとテストプログラムから逆変換された中間データとを比較し、その比較結果を用いて、ハードウエア設定情報から逆変換された中間データとテストプログラムから逆変換された中間データとをマージすることもできている。 According to the present invention, the hardware configuration information and the test program, the inverse transform unit and the programming language in a plurality of semiconductor testing device is converted back to the intermediate data of the common format by different programming languages. Then, either or both of a test program and a test pattern program corresponding to the program language of each semiconductor test apparatus can be generated using the inversely converted intermediate data. Therefore, it is possible to convert the program into a multi-model that is not an artificial method, and by reusing the intermediate data, the processing process can be made simple and simple. In particular, in the reverse conversion process, the intermediate data reversely converted from the hardware setting information is compared with the intermediate data reversely converted from the test program, and the intermediate result reversely converted from the hardware setting information using the comparison result. It is also possible to merge the data with the intermediate data reversely converted from the test program.

図1は、本発明の実施の形態に係る生成装置の概略ブロック図である。以下、図1を用いて構成を説明する。   FIG. 1 is a schematic block diagram of a generation apparatus according to an embodiment of the present invention. The configuration will be described below with reference to FIG.

生成装置51は、中間データ生成エンジン53と、中間データ記憶部55と、制約ファイル57と、GUI(グラフィカル・ユーザ・インターフェイス)59と、生成手段としてのプログラム生成エンジン61と、制約チェック部67と、変換手段としての逆変換エンジン69と、通知部75と、テンプレート格納部81とを備える。   The generation device 51 includes an intermediate data generation engine 53, an intermediate data storage unit 55, a constraint file 57, a GUI (graphical user interface) 59, a program generation engine 61 as a generation unit, and a constraint check unit 67. , A reverse conversion engine 69 as a conversion means, a notification unit 75, and a template storage unit 81.

中間データ生成エンジン53には、VCD(Value Change Dump)データ、HDL(Hardware Description Language)データ、レイアウトデータなどが入力される。ここで、VCDデータは、半導体開発における論理設計にHDLやC言語が用いられた場合に実施される論理シミュレーションにより出力されるベクタファイルの一つであり、IEEE標準規格のフォーマットに沿っている。中間データ生成エンジン53は、上記のようなデータにより中間データを自動生成する。なお、パタンデータの言語は例えばWGL(Wave Generation Language)、STIL(Standard Test Interface Language)でもよい。   The intermediate data generation engine 53 receives VCD (Value Change Dump) data, HDL (Hardware Description Language) data, layout data, and the like. Here, the VCD data is one of vector files output by logic simulation performed when HDL or C language is used for logic design in semiconductor development, and conforms to the format of the IEEE standard. The intermediate data generation engine 53 automatically generates intermediate data based on the above data. The language of the pattern data may be, for example, WGL (Wave Generation Language) or STIL (Standard Test Interface Language).

中間データ記憶部55は、中間データを中間ファイルとして記憶し、保存する。なお、後述する制約チェック部67は、中間データ記憶部55に記憶された中間データが、制約ファイル57に記憶されている各半導体試験装置に対して予め定められている制約条件に合致するか否かのチェックを行うことが可能である。そして、通知部75はチェック結果をユーザに通知可能であり、ユーザはGUI59を用いて自動生成不可のデータ部分についての中間データの編集、修正、或いは通知部75から通知されたチェック結果に基づく中間データの編集、修正を行える。   The intermediate data storage unit 55 stores and saves the intermediate data as an intermediate file. Note that the constraint check unit 67 described later determines whether or not the intermediate data stored in the intermediate data storage unit 55 meets the constraint conditions set in advance for each semiconductor test apparatus stored in the constraint file 57. Can be checked. The notification unit 75 can notify the user of the check result, and the user can edit or modify intermediate data for the data portion that cannot be automatically generated using the GUI 59, or the intermediate based on the check result notified from the notification unit 75. Edit and modify data.

編集、修正等が施された中間データは、プログラム生成エンジン61に入力される。プログラム生成エンジン61は、テストプログラム生成部63と、テストパタンプログラム生成部65とを備える。このテストプログラム生成部63にはテンプレート格納部81に格納されたテストプログラムのテンプレートコードも入力される。ここで、テンプレートとはテストプログラムの雛形となるものであり、このテンプレートは各半導体試験装置の機種によりプログラム言語仕様が異なるので機種毎に且つテスト項目毎に用意される。テンプレートには、中間データとして存在するパラメータが組み込まれるために、所定の変数が埋め込まれている。これらのテンプレートは、ユーザにより手作業で作成され、ライブラリに登録されることにより共有化される。なお、テンプレートは、中間データという位置づけではなく、他のデバイス向けのテストアプリケーション開発においても共有できることを可能とすべく、テンプレート格納部81と中間データデータ記憶部55とは互いに独立したライブラリとして存在する。テストプログラム生成部63はテストプログラム77を生成し、テストパタンプログラム生成部65はテストパタンプログラム79を生成する。なお、ここでのテストプログラムは制御プログラム(メインプログラム)を意味する。   The intermediate data that has been edited, corrected, etc. is input to the program generation engine 61. The program generation engine 61 includes a test program generation unit 63 and a test pattern program generation unit 65. The test program generation unit 63 also receives the template code of the test program stored in the template storage unit 81. Here, the template is a model of a test program, and the template is prepared for each model and for each test item because the program language specification differs depending on the model of each semiconductor test apparatus. A predetermined variable is embedded in the template in order to incorporate a parameter that exists as intermediate data. These templates are created manually by the user and shared by being registered in the library. It should be noted that the template storage unit 81 and the intermediate data storage unit 55 exist as independent libraries so that the template can be shared not only as intermediate data but also in test application development for other devices. . The test program generator 63 generates a test program 77, and the test pattern program generator 65 generates a test pattern program 79. Here, the test program means a control program (main program).

図2は、図1の逆変換エンジン69、制約チェック部67、通知部75、及びテンプレート格納部81の動作を具体的に示すフロー図である。   FIG. 2 is a flowchart specifically showing the operations of the inverse conversion engine 69, the constraint check unit 67, the notification unit 75, and the template storage unit 81 of FIG.

テストプログラム77及びテストパタンプログラム79は、逆変換エンジン69に入力される。また、ハードウエア設定情報82とテンプレート格納部81に格納されたテンプレートの情報も、逆変換エンジン69に入力される。ここで、ハードウエア設定情報82は、ドライバ制御モジュール、コンパレータモジュール、電源制御モジュール、DC測定モジュールなどのハードウエアの各モジュールから得られる情報の総称とする。逆変換エンジン69は、抽出部71と、処理部73と、比較部83と、マージ部84とを備える。抽出部71は、テストプログラム77及びテストパタンプログラム79を解読して少なくともピンに関する情報を抽出する。処理部73は、抽出された情報に対して中間データ形式に応じたリフォーマット処理を行う。比較部83とマージ部84については詳しく後述する。   The test program 77 and the test pattern program 79 are input to the inverse conversion engine 69. In addition, the hardware setting information 82 and the template information stored in the template storage unit 81 are also input to the inverse conversion engine 69. Here, the hardware setting information 82 is a general term for information obtained from each module of hardware such as a driver control module, a comparator module, a power supply control module, and a DC measurement module. The inverse conversion engine 69 includes an extraction unit 71, a processing unit 73, a comparison unit 83, and a merge unit 84. The extraction unit 71 decodes the test program 77 and the test pattern program 79 and extracts at least information about the pins. The processing unit 73 performs a reformatting process on the extracted information according to the intermediate data format. The comparison unit 83 and the merge unit 84 will be described in detail later.

図2を用いてさらに具体的に説明する。ステップS1において、逆変換エンジン69は、逆変換されるテストプログラム77及びテストパタンプログラム79、或いはハードウエア設定情報82がどのような機種のプログラムであるかについての選定を行う。次に、ステップSA1ではテストパタンプログラム79が逆変換エンジン69に読み込まれ、ステップSB1ではテストプログラム77が逆変換エンジン69に読み込まれ、ステップSC1ではハードウエア設定情報82が逆変換エンジンに読み込まれる。なお、ステップSB1及びステップSC1の処理については、両者が常に選択されて実行される必要はなく、いずれか一方が選択されるようにしてもよい。   This will be described more specifically with reference to FIG. In step S1, the inverse conversion engine 69 selects a model of the test program 77 and the test pattern program 79 to be inversely converted or the hardware setting information 82. Next, in step SA1, the test pattern program 79 is read into the reverse conversion engine 69, in step SB1, the test program 77 is read into the reverse conversion engine 69, and in step SC1, the hardware setting information 82 is read into the reverse conversion engine. Note that it is not always necessary to select and execute the processes in step SB1 and step SC1, and either one may be selected.

抽出部71は、ステップSA2において各サイクルにおける各ピンに対するパタンデータの抽出を行い、ステップSB2、SC2においてピン属性情報の抽出を行う。ここで、ピン属性情報としては、タイミングセット、波形モード、変化タイミング、デバイスの各ピンのDC測定関連情報、Highレベル値とLowレベル値で定まる電圧レベル情報、デバイスピンとテスタ間にある物理的接続情報、デバイスの各ピンと接続するドライバユニット種類情報が挙げられる。なお、それぞれがユニークなピンの名称に対し、タイミングセットはサイクル幅と信号変化タイミングなどで決まる。サイクル幅は基本周波数により定まる。信号変化タイミングの定義は、サイクル基点から各信号変化点の遅延により定まり、各ピンの信号の変化点が基点からの遅延で表現される。波形モードは、NRZ(None Return Zero)、RZO(Return Zero/One)、XOR(Exclusive OR)により定まる。さらに、抽出部71は、ステップSA3において各サイクルでのタイミングセットの抽出を行い、ステップSB3においてテストカテゴリの抽出、電源投入シーケンスの抽出、テストフローの抽出も行う。抽出部71は、ステップSC3において電源投入シーケンスの抽出を行う。   The extraction unit 71 extracts pattern data for each pin in each cycle in step SA2, and extracts pin attribute information in steps SB2 and SC2. Here, pin attribute information includes timing set, waveform mode, change timing, DC measurement related information of each pin of the device, voltage level information determined by high level value and low level value, physical connection between device pin and tester Information and driver unit type information connected to each pin of the device. For each unique pin name, the timing set is determined by the cycle width and signal change timing. The cycle width is determined by the fundamental frequency. The definition of the signal change timing is determined by the delay of each signal change point from the cycle base point, and the change point of the signal of each pin is expressed by the delay from the base point. The waveform mode is determined by NRZ (None Return Zero), RZO (Return Zero / One), and XOR (Exclusive OR). Further, the extraction unit 71 extracts a timing set in each cycle in step SA3, and also extracts a test category, a power-on sequence, and a test flow in step SB3. The extraction unit 71 extracts a power-on sequence in step SC3.

そして、ステップS3において処理部73は中間ファイルへのリフォーマット処理を行う。   In step S3, the processing unit 73 performs a reformatting process on the intermediate file.

ステップS4ではテストプログラム77とハードウエア設定情報82を逆変換して中間データを抽出するか否かについて判断される。両者から中間データを抽出する場合にはステップS5に進み、比較部83が、ステップSB1からSB3で抽出されてステップS3でリフォーマットされたデータと、ステップSC1からSC3で抽出されてステップS3でリフォーマットされたデータとを比較する。ステップS6において、通知部75は、ステップS5での比較結果をユーザへ通知する。この比較結果により、ユーザは、テストプログラム77から変換された中間データに対して、ハードウエア設定情報82から変換された中間データにより未抽出項目を補足修正したマージ(統合)処理が行われる部分を認識でき、また不一致部分を認識できる。そして、プログラム生成エンジン61が他の機種である変換先用のテストプログラム77を生成する上で必要な編集箇所と修正箇所が明確になり、ユーザはGUI59を用いてその編集、修正を行える。ステップS7において、マージ部84は、ステップS5による比較結果をふまえて、テストプログラム77から変換した中間データとハードウエア設定情報82から変換した中間データをマージする処理を行う。ここで、テストプログラム77のみから変換することを想定すると、テストプログラム77内で指定していないハードウエアの設定は半導体試験装置毎に初期値に設定されている可能性が高く、ハードウエア設定情報82からはそれら初期値もふくめて設定値が確実に抽出できる。そのため、他機種へのコンバートの際にテスト条件として等価となるような中間データの情報を抽出することができる。なお、ステップS4において、両者から中間データを抽出しない場合にはステップS8に進む。   In step S4, it is determined whether or not the test program 77 and the hardware setting information 82 are inversely converted to extract intermediate data. When the intermediate data is extracted from both, the process proceeds to step S5, where the comparison unit 83 extracts the data extracted at steps SB1 to SB3 and reformatted at step S3, and extracted at steps SC1 to SC3 and then reset at step S3. Compare with formatted data. In step S6, the notification unit 75 notifies the user of the comparison result in step S5. Based on the comparison result, the user can perform a merge (integration) process in which the intermediate data converted from the test program 77 is supplementally corrected with unextracted items using the intermediate data converted from the hardware setting information 82. Recognized and can recognize inconsistent parts. Then, the editing part and the correction part necessary for the program generation engine 61 to generate the test program 77 for the conversion destination which is another model are clarified, and the user can edit and correct it using the GUI 59. In step S7, the merging unit 84 performs processing for merging the intermediate data converted from the test program 77 and the intermediate data converted from the hardware setting information 82 based on the comparison result in step S5. Here, assuming that conversion is performed only from the test program 77, it is highly possible that the hardware settings not specified in the test program 77 are set to initial values for each semiconductor test apparatus. From 82, the set value can be reliably extracted including these initial values. Therefore, it is possible to extract information on intermediate data that is equivalent as a test condition when converting to another model. If no intermediate data is extracted from both in step S4, the process proceeds to step S8.

ステップS8では、テストプログラム77を逆変換して中間データとテンプレートを抽出する場合、もしくはテンプレートのみを抽出する場合であるか否かが判断される。いずれかである場合には、ステップS9において、処理部73は、テンプレートコードのうち中間データとして抽出したパラメータ部分を所定の変数として置き換える処理を行う。テンプレート格納部81は処理部73により得られたテンプレートの情報を格納する。このテンプレート格納部81に格納される情報は、ライブラリとして、他の半導体デバイス向けのテストプログラムを生成する際に再利用可能な情報となる。   In step S8, it is determined whether or not the test program 77 is inversely converted to extract intermediate data and a template, or only the template is extracted. In any case, in step S9, the processing unit 73 performs a process of replacing the parameter portion extracted as intermediate data in the template code with a predetermined variable. The template storage unit 81 stores the template information obtained by the processing unit 73. The information stored in the template storage unit 81 is information that can be reused as a library when generating a test program for another semiconductor device.

ステップS9に続き、又は、ステップS8において上記いずれの場合でないときに、ステップS10に進む。ステップS10において、制約チェック部67は、逆変換により得られた中間データが、制約ファイル57に記憶されている各半導体試験装置に対して予め定められている制約条件に合致するか否かのチェックを行う。チェックは、特にハード仕様の制約の範囲を満たしているか否かについて行われる。ここで、制約チェックは、複数の半導体試験装置に対して同時に行うものでもよく、ユーザがGUI59により予め選択した1機種の半導体試験装置に対してのみに行うものでもよい。   Following step S9 or when not in any of the above cases at step S8, the process proceeds to step S10. In step S <b> 10, the constraint checking unit 67 checks whether the intermediate data obtained by the inverse transformation matches a constraint condition predetermined for each semiconductor test apparatus stored in the constraint file 57. I do. The check is performed in particular regarding whether or not the scope of restrictions of the hardware specification is satisfied. Here, the constraint check may be performed simultaneously on a plurality of semiconductor test apparatuses, or may be performed only on one type of semiconductor test apparatus selected in advance by the user using the GUI 59.

ステップS11において、通知部75は、変換過程に関する結果をユーザに通知する。特に、変換できない要素についての結果により、ユーザはGUI59を用いて逆変換後の中間データに対する補正ポイントを認識できる。また、ステップS11では、通知部75は、チェック結果もユーザに通知する。特に、複数機種への同時チェックにより得られる結果は、変換先機種を最適に選択するための指標となる。そして、通知部75により得られる情報により、プログラム生成エンジン61が他の機種である変換先用のテストプログラム77或いはテストパタンプログラム79を生成する上で必要な編集箇所と修正箇所が明確になり、ユーザはGUI59を用いてその編集、修正を行える。   In step S11, the notification unit 75 notifies the user of the result related to the conversion process. In particular, the user can recognize a correction point for the intermediate data after the reverse conversion using the GUI 59 based on the result of the element that cannot be converted. In step S11, the notification unit 75 also notifies the user of the check result. In particular, a result obtained by simultaneous checking for a plurality of models is an index for optimally selecting a conversion destination model. Then, the information obtained by the notification unit 75 clarifies the editing part and the correction part necessary for the program generation engine 61 to generate the test program 77 or the test pattern program 79 for the conversion destination which is another model. The user can edit and modify the GUI 59.

そして、中間データ記憶部55が逆変換エンジン69により逆変換された中間データを中間ファイルとして記憶して保存するので、プログラム生成エンジン61は、その中間データを用いて、新たなテストプログラム及びテストパタンプログラムを生成できる。したがって、テストプログラムとテストパタンプログラムは中間データという形で再利用されることが可能となり、複数機種へのテストプログラムとテストパタンプログラムの生成を容易なものとできる。   Since the intermediate data storage unit 55 stores and stores the intermediate data reversely converted by the reverse conversion engine 69 as an intermediate file, the program generation engine 61 uses the intermediate data to create a new test program and test pattern. A program can be generated. Therefore, the test program and the test pattern program can be reused in the form of intermediate data, and the test program and the test pattern program for a plurality of models can be easily generated.

ところで、テストプログラム77を半導体試験装置上にて実行する場合に、プログラムのデバッグ用情報として、同試験装置におけるハードウエアの各モジュールに設定された情報があり、エンジニアはこれを得ることができる。また、同試験装置の仮想システムでも、エンジニアは同様の情報を得ることができる。その結果、エンジニアは、半導体試験装置や仮想システムに対して、ハードウエア設定情報82として正しい情報が設定されているか確認することによりプログラムの内容を確認することができる。ハードウエア設定情報82も逆変換エンジン69に入力されることによって、中間データを抽出することが可能である。すなわち、抽出部71はハードウエア設定情報82のみを解読して少なくともピンに関する情報を抽出し、処理部73は抽出された情報に対して中間データ形式に応じたリフォーマット処理を行うこともできる。   By the way, when the test program 77 is executed on the semiconductor test apparatus, there is information set in each module of hardware in the test apparatus as debug information of the program, and the engineer can obtain this information. Moreover, the engineer can obtain the same information in the virtual system of the test apparatus. As a result, the engineer can confirm the contents of the program by confirming whether the correct information is set as the hardware setting information 82 for the semiconductor test apparatus or the virtual system. The hardware setting information 82 is also input to the inverse conversion engine 69, so that intermediate data can be extracted. That is, the extraction unit 71 can decode only the hardware setting information 82 to extract at least information about the pins, and the processing unit 73 can perform reformatting processing on the extracted information according to the intermediate data format.

図3は、逆変換において抽出部71がテストプログラム77から中間データを抽出する際にテンプレートを用いた場合に注目した処理フロー図である。   FIG. 3 is a processing flowchart focused on the case where a template is used when the extraction unit 71 extracts intermediate data from the test program 77 in the inverse transformation.

ステップT1においてテンプレートの選定が行われる。ステップT2、T3では、テンプレートの読み込みが行われる。ここでの読み込みは、例えば♯templateとして、関数A(%sv,%sr);関数B(%im,%mr);の形で行われる。ステップT3では、プログラムの読み込みが行われる。ここでの読み込みは、例えば♯テストプログラムとして、関数A(5V,8V);関数B(100mA,300mA);の形で行われる。ステップT4では、テンプレート変数部がプログラムから参照されて要素抽出が行われる。すなわち、テストプログラム77およびテストパタンプログラム79が、プログラム生成エンジン61とテンプレート格納部81により生成されたものである場合は、生成時に用いたそのテンプレートが逆変換エンジン69でも読み込まれ、テンプレート内の変数部にあたる箇所は中間データとなる要素であることが認識され、テストプログラム77から分離されて抽出される。例えば、%svに対して5Vが抽出され、%srに対して8Vが抽出され、%imに対して100mAが抽出され、%mrに対して300mAが抽出される。なお、ステップT1〜T4の処理は図2のステップSB1〜SB3に相当する処理である。   In step T1, a template is selected. In steps T2 and T3, a template is read. The reading is performed in the form of function A (% sv,% sr); function B (% im,% mr); In step T3, the program is read. The reading here is performed in the form of function A (5 V, 8 V); function B (100 mA, 300 mA), for example, as a # test program. In step T4, the template variable part is referred to from the program and element extraction is performed. That is, when the test program 77 and the test pattern program 79 are generated by the program generation engine 61 and the template storage unit 81, the template used at the time of generation is also read by the reverse conversion engine 69 and the variables in the template are read. The part corresponding to the part is recognized as an element serving as intermediate data, and is separated from the test program 77 and extracted. For example, 5V is extracted for% sv, 8V is extracted for% sr, 100 mA is extracted for% im, and 300 mA is extracted for% mr. Note that the processing of steps T1 to T4 is processing corresponding to steps SB1 to SB3 of FIG.

ステップT5では、抽出された要素が中間データにリフォーマットされる。例えば、上記の例で考えると、5V、8V、100mA、300mAが中間データ記憶部55に格納される。なお、このステップT5の処理は図2のステップS3の処理に相当する。   In step T5, the extracted element is reformatted into intermediate data. For example, considering the above example, 5 V, 8 V, 100 mA, and 300 mA are stored in the intermediate data storage unit 55. The process at step T5 corresponds to the process at step S3 in FIG.

このようにプログラム生成エンジン61により生成したテストプログラム77から逆変換により中間データを生成することで、テストプログラム77自身を編集した場合にも編集部分を自動的に且つ的確に中間データに反映することができる。また、作成時のテンプレートを用いることで、逆変換は比較処理と抽出処理だけになるため処理が簡素化されて、高速に変換をすることができる。   Thus, by generating intermediate data by reverse conversion from the test program 77 generated by the program generation engine 61, even when the test program 77 itself is edited, the edited portion is automatically and accurately reflected in the intermediate data. Can do. In addition, by using the template at the time of creation, since the inverse conversion is only the comparison process and the extraction process, the process is simplified and the conversion can be performed at high speed.

図4は、逆変換において抽出部71がテストプログラム77から中間データを抽出する際にテンプレートを用いない場合の処理フロー図である。   FIG. 4 is a processing flow diagram when the extraction unit 71 does not use a template when extracting intermediate data from the test program 77 in the inverse transformation.

ステップU1において、プログラムの読み込み処理が行われる。この処理は図2のステップSB1に相当する。ステップU2では構文解析が行われ、ステップU3では中間データ要素の抽出が行われる。ステップU2、U3の処理は、図2のステップSB2、SB3に相当する。ステップU4は図2のステップS3に相当する。ステップU5では、テンプレートコードを抽出するか否かが判断される。抽出する場合には、ステップU6においてテストプログラムが変数で置き換えられる。この置き換えは、例えば、♯テストプログラムとしての関数A(5V,8V);関数B(100mA,300mA);が、♯templateへ、関数A(%sv,%sr);関数B(%im,%mr);が出力されることである。そして、ステップU7においてテンプレート格納部81への格納が行われる。これらのステップU6、U7は図2のステップS9に相当する。まとめると、逆変換エンジン69に入力されるテストプログラム77が、プログラム生成エンジン61により生成されたものであっても、テンプレート格納部81が存在しない場合、又は、プログラム生成エンジン61を用いずに人為的に作成したテストプログラム77であった場合は、テンプレート格納部81に存在するテンプレートを用いて逆変換処理を行うことができない。そのため、逆変換エンジン69は、プログラム言語仕様に基づき、構文解析を行った後に、中間データとしての要素を抽出する。図3に示したテンプレートを用いて抽出した処理に比べると処理が複雑になるものの、同時に抽出した要素の部分を所定の変数として置き換えて既存のテストプログラム77を中間データ要素とテンプレート要素に分離可能である。そのため、前述のようにテンプレートは原則的には人為的に作成されるが、既存のテストプログラム77から逆変換エンジン69を介して中間データ要素とテンプレート要素とが自動生成されることにより、大幅に効率化できるとともに従来からのソフト資産を中間データ記憶部55とテンプレート格納部81に蓄積させて継承することができる。なお、本逆変換の場合は、中間データを生成するか、テンプレートを生成するかのいずれかの処理としても良い。   In step U1, a program reading process is performed. This process corresponds to step SB1 in FIG. In step U2, parsing is performed, and in step U3, intermediate data elements are extracted. Steps U2 and U3 correspond to steps SB2 and SB3 in FIG. Step U4 corresponds to step S3 in FIG. In step U5, it is determined whether to extract a template code. When extracting, the test program is replaced with a variable in step U6. This replacement is performed by, for example, #function A (5V, 8V); function B (100 mA, 300 mA) as a test program; function A (% sv,% sr); function B (% im,%); mr); is output. In step U7, storage in the template storage unit 81 is performed. These steps U6 and U7 correspond to step S9 in FIG. In summary, even if the test program 77 input to the inverse conversion engine 69 is generated by the program generation engine 61, the template storage unit 81 does not exist, or the program generation engine 61 is not used. In the case of the test program 77 created automatically, the inverse conversion process cannot be performed using the template existing in the template storage unit 81. Therefore, the inverse conversion engine 69 extracts an element as intermediate data after performing syntax analysis based on the program language specification. Compared to the process extracted using the template shown in FIG. 3, the process is more complicated, but the existing test program 77 can be separated into an intermediate data element and a template element by replacing the extracted element part as a predetermined variable. It is. Therefore, as described above, the template is created artificially in principle, but the intermediate data element and the template element are automatically generated from the existing test program 77 via the inverse transformation engine 69, so that In addition to improving efficiency, conventional software assets can be accumulated in the intermediate data storage unit 55 and the template storage unit 81 and inherited. In the case of this inverse transformation, either the intermediate data generation or the template generation processing may be performed.

なお、上記実施の形態では、中間データ生成エンジン53を用いて中間データを生成したが、プログラム生成エンジン61が生成したプログラムを逆変換エンジン69により逆変換するという観点からは、中間データ生成エンジン53は必ずしも必要でない。   In the above embodiment, the intermediate data is generated using the intermediate data generation engine 53. However, from the viewpoint of reverse conversion of the program generated by the program generation engine 61 by the reverse conversion engine 69, the intermediate data generation engine 53 is used. Is not always necessary.

また、上記実施の形態では、プログラム生成エンジン61を用いて、テストプログラム77及びテストパタンプログラム79を生成したが、いずれか一方でもよい。   Moreover, in the said embodiment, although the test program 77 and the test pattern program 79 were produced | generated using the program production | generation engine 61, either one may be sufficient.

さらに、上記実施の形態では、再利用のための中間データに変換されたテストプログラム及びテストパタンプログラムは、プログラム生成エンジン61により生成されたものとしたが、これに限らず、人為的に作成されたテストプログラム及びテストパタンプログラムのほか、逆変換エンジン69を有していない既存の生成装置により生成されたテストプログラム及びテストパタンプログラムであってもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the test program and the test pattern program converted into intermediate data for reuse are generated by the program generation engine 61. However, the present invention is not limited to this. In addition to the test program and the test pattern program, the test program and the test pattern program generated by an existing generation device that does not have the inverse conversion engine 69 may be used.

さらに、上記実施の形態では、制約チェック部67は、チェックのみを行うものとしたが、チェック結果によりハード制約条件を満たさない抽出要素に対して制約範囲内におさまるように補正を行う自動補正機能を有するようにしてもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the constraint check unit 67 performs only the check. However, the automatic correction function that corrects the extracted element that does not satisfy the hardware constraint condition within the constraint range based on the check result. You may make it have.

さらに、上記実施の形態では、図1及び図2を用いて生成装置51と生成方法を示したが、生成方法をコンピュータにより実行可能とするプログラム、それを記録した記録媒体とした利用形態でもよい。   Furthermore, in the above-described embodiment, the generation device 51 and the generation method have been described with reference to FIGS. 1 and 2, but a use mode in which the generation method can be executed by a computer and a recording medium on which the program is recorded may be used. .

本発明の実施の形態に係る生成装置の概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the production | generation apparatus which concerns on embodiment of this invention. 図1の逆変換エンジン69、制約チェック部67、通知部75及びテンプレート格納部81の動作を具体的に示すフロー図である。FIG. 7 is a flowchart specifically showing operations of an inverse conversion engine 69, a constraint check unit 67, a notification unit 75, and a template storage unit 81 in FIG. 逆変換において抽出部71がテストプログラム77から中間データを抽出する際にテンプレートを用いた場合に注目した処理フロー図である。FIG. 10 is a processing flow diagram focusing on a case where a template is used when an extraction unit 71 extracts intermediate data from a test program 77 in inverse transformation. 逆変換において抽出部71がテストプログラム77から中間データを抽出する際にテンプレートを用いない場合の処理フロー図である。FIG. 10 is a processing flow diagram when an extraction unit 71 does not use a template when extracting intermediate data from a test program 77 in inverse transformation. 従来の半導体試験装置用テストプログラム生成システムの概略ブロック図である。It is a schematic block diagram of the conventional test program generation system for semiconductor test equipment.

符号の説明Explanation of symbols

51 生成装置
61 プログラム生成エンジン
67 制約チェック部
69 逆変換エンジン
75 通知部
81 テンプレート格納部
51 Generating Device 61 Program Generating Engine 67 Constraint Checking Unit 69 Inverse Conversion Engine 75 Notification Unit 81 Template Storage Unit

Claims (3)

プログラム言語が異なる複数の半導体試験装置のそれぞれで用いるテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成する生成装置であって、
半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得される若しくは仮想の半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得されるハードウエア設定情報及びテストプログラムを前記複数の半導体試験装置におけるプログラム言語とは異なるプログラム言語による共通フォーマットの中間データに逆変換する逆変換手段と、
前記逆変換手段が逆変換した中間データを用いて前記各半導体試験装置のプログラム言語に応じたテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成できる生成手段とを備え、
前記逆変換手段は、
前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとを比較する比較手段と、
前記比較手段の比較結果を用いて、前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとをマージするマージ手段とを含む、生成装置。
A generation device that generates one or both of a test program and a test pattern program used in each of a plurality of semiconductor test devices having different program languages,
Hardware setting information and test program acquired by executing a test program for a semiconductor test apparatus or acquired by executing a test program for a virtual semiconductor test apparatus are program languages in the plurality of semiconductor test apparatuses. Reverse conversion means for performing reverse conversion to intermediate data in a common format in a different programming language,
A generation unit capable of generating either or both of a test program and a test pattern program according to a program language of each semiconductor test apparatus using the intermediate data reversely converted by the reverse conversion unit;
The inverse conversion means includes
Comparing means for comparing the intermediate data inversely converted from the hardware setting information and the intermediate data inversely converted from the test program;
A generating apparatus , comprising: a merging unit that merges the intermediate data inversely converted from the hardware setting information and the intermediate data inversely converted from the test program using the comparison result of the comparing unit.
プログラム言語が異なる複数の半導体試験装置のそれぞれで用いるテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成する生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラムであって、A program capable of causing a computer to execute a generation method for generating either or both of a test program and a test pattern program used in each of a plurality of semiconductor test apparatuses having different program languages,
前記生成方法は、The generation method is:
逆変換手段が、半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得される若しくは仮想の半導体試験装置に対してテストプログラムが実行されて取得されるハードウエア設定情報及びテストプログラムを前記複数の半導体試験装置におけるプログラム言語とは異なるプログラム言語による共通フォーマットの中間データに逆変換する逆変換ステップと、The inverse conversion means acquires the hardware setting information and the test program acquired by executing a test program for a semiconductor test apparatus or acquired by executing a test program for a virtual semiconductor test apparatus. A reverse conversion step for performing reverse conversion to intermediate data in a common format in a programming language different from the programming language in the test apparatus;
生成手段が、前記逆変換手段が逆変換した中間データを用いて前記各半導体試験装置のプログラム言語に応じたテストプログラム及びテストパタンプログラムのいずれか又は両者を生成できる生成ステップとを含み、A generating step that can generate either or both of a test program and a test pattern program according to a program language of each semiconductor test apparatus using the intermediate data that has been inversely converted by the inverse conversion unit;
前記逆変換ステップは、比較手段が、前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとを比較するステップを含む、生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラム。The reverse conversion step includes causing the computer to execute a generation method, wherein the comparison unit includes a step of comparing the intermediate data reversely converted from the hardware setting information and the intermediate data reversely converted from the test program. Possible program.
前記逆変換ステップは、マージ手段が、前記比較手段の比較結果を用いて、前記ハードウエア設定情報から逆変換された中間データと前記テストプログラムから逆変換された中間データとをマージするステップをさらに含む、請求項2記載の生成方法をコンピュータに実行させることが可能なプログラム。The reverse conversion step further includes a step in which the merging unit merges the intermediate data reversely converted from the hardware setting information and the intermediate data reversely converted from the test program using the comparison result of the comparison unit. A program capable of causing a computer to execute the generation method according to claim 2.
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