JP4998834B2 - 基板の位置制御方法、および基板の位置制御装置 - Google Patents
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Description
ΔX=vX0・t+(aX・t2)/2 …(1)
ΔY=vY0・t+(aY・t2)/2 …(2)
ΔXab=ΔXb−ΔXa
=vX0・(ta−tb)+aX・(ta2−tb2)/2 …(3)
ΔYab=ΔYb−ΔYa
=vY0・(ta−tb)+aY・(ta2−tb2)/2 …(4)
Δxq−Δxp=(v0pX−v0qX)・t+(apX−aqX)・t2/2 …(5)
Δyq−Δyp=(v0pY−v0qY)・t+(apY−aqY)・t2/2 …(6)
ΔX=(v0pX−v0qX)・t+(apX−aqX)・t2/2 …(7)
ΔY=(v0pY−v0qY)・t+(apY−aqY)・t2/2 …(8)
Claims (8)
- 基板ステージ上に載置される基板において、温度変化に伴う位置変位を制御する位置制御方法であって、
基板の各位置の温度変化による位置変位量の関数を経過時間を変数として求めておく第1の工程と、
基板ステージ上に載置される基板において、任意に定めた2点の位置座標の差分から位置変位量を求める第2の工程と、
前記第2の工程で求めた位置変位量に対応する基板の温度変化の経過時間を、前記関数を用いて求める第3の工程と、
前記第3の工程で求めた経過時間を基板の各位置における前記関数に代入して、各位置の位置変位を補正する補正データを算出する第4の工程と、
前記第4の工程で算出した補正データを用いて基板ステージを制御することを特徴とする、基板の位置制御方法。 - 基板ステージ上に載置される基板において、温度変化に伴う位置変位を制御する位置制御方法であって、
基板上に定めた複数個の各点について、温度変化の経過時間を変数とする関数によって前記各点の位置変位を表したときの関数のパラメータを格納するデータテーブルを備える工程と、
基板上の前記各点から選択した任意の2点において、当該2点の距離から位置変位の変位量を検出する位置変位量検出工程と、
前記データテーブルに設定したパラメータを用いて、前記位置変位量検出工程で求めた位置変位の変位量に対応する温度変化の経過時間を算出する経過時間算出工程と、
前記データテーブルに設定したパラメータを用いて、前記経過時間算出工程で算出した経過時間後における基板上の各点の位置変位の変位量を算出する位置変位量算出工程と、
前記位置変位量算出工程で算出した位置変位の変位量を用いて、前記基板上の各点の位置変位を補正するための補正データを算出する補正データ算出工程と、
前記補正データ算出工程で算出した補正データを用いて基板ステージを制御することを特徴とする、基板の位置制御方法。 - 前記位置変位量検出工程は、基板上に設けたマークを撮像して撮像画像を取得し、当該撮像画像のマーク位置の位置座標に基づいて前記2点の距離を求め、当該距離と2点の基準距離との差分から位置変位の変位量を検出することを特徴とする、請求項2に記載の基板の位置制御方法。
- 前記データテーブルは、基板上に定めた複数個の各点における初期速度と等加速度のベクトル値をパラメータとして格納し、
前記位置変位量算出工程は、前記経過時間算出工程で算出した経過時間と初期速度とを積算した値、および経過時間の二乗と等加速度とを積算した値との和によって、経過時間後における基板上の各点の位置変位を算出することを特徴とする、請求項2に記載の基板の位置制御方法。 - 基板ステージ上に載置される基板において、温度変化に伴う位置変位を制御する位置制御装置であって、
基板ステージをXYの各軸方向に駆動する駆動部と、
前記基板の撮像画像に基づいて求めた補正データを用いて前記基板ステージを制御する制御部とを備え、
前記制御部は、
経過時間を変数として、基板の各位置の温度変化による位置変位量を表す関数を有し、
基板ステージ上に載置される基板の任意に定めた2点の位置座標の差分から位置変位量を求め、
求めた位置変位量に対応する基板の温度変化の経過時間を前記関数を用いて求め、
求めた経過時間を基板の各位置における前記関数に代入して、各位置の位置変位を補正する補正データを算出し、算出した補正データを用いて前記駆動部により基板ステージを制御することを特徴とする、基板の位置制御装置。 - 前記制御部は、
基板上に定めた複数個の各点について、温度変化の経過時間を変数とする関数によって前記各点の位置変位を表したときの関数のパラメータを格納するデータテーブルを記憶する記憶部と、
基板上の前記各点から選択した任意の2点において、当該2点の距離から位置変位の変位量を検出する位置変位量検出部と、
前記データテーブルに設定したパラメータを用いて、前記位置変位量検出部で求めた位置変位に対応する温度変化の経過時間を算出する経過時間算出部と、
前記データテーブルに設定したパラメータを用いて、前記経過時間算出部で算出した経過時間後における基板上の各点の位置変位の変位量を算出する位置変位量算出部と、
前記位置変位量算出部で算出した変位量を用いて、前記基板上の各点の位置変位を補正するための補正データを算出する補正データ算出部と、
前記補正データ算出部で算出した補正データを用いて基板ステージを制御することを特徴とする、請求項5に記載の位置制御装置。 - 前記位置変位量検出部は、基板を撮像する撮像部を備え、
当該撮像部で撮像した撮像画像から基板上に定めた前記2点の距離を求め、当該距離と2点の基準距離との差分から位置変位の変位量を検出することを特徴とする、請求項6に記載の基板の位置制御装置。 - 前記データテーブルは、基板上に定めた複数個の各点における初期速度と等加速度のベクトル値を格納し、
前記位置変位量算出部は、前記経過時間算出部で算出した経過時間と初期速度とを積算した値、および経過時間の二乗と等加速度との積算した値との和によって、経過時間後における基板上の各点の位置変位を算出することを特徴とする、請求項6に記載の基板の位置制御装置。
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