JP4998291B2 - 光走査装置 - Google Patents

Description

本発明は、光ビームを主走査方向と副走査方向とに偏向して表示領域上に画像を表示する光走査装置に関する。

従来より、光ビームを主走査方向と副走査方向とに偏向する光偏向器を利用して、光ビームを走査し表示を行う光走査装置が知られている。例えば、特許文献１にあるように、１フレームを３以上のフィールドに分けて走査して表示を行い、往路、復路の走査線を表示に利用した光走査装置が知られている。この装置によれば、必要主走査周波数の低下と必要副走査周波数の増加と走査線数の増加とのうちの少なくとも一つを可能にできる。

また、特許文献２には、往復走査される光ビームを走査線上の特定位置で通過時刻を計測し、計測された往復２つの通過時刻から、光偏向器の往復走査の時間的遅れに対応する遅延時間データを算出し、１走査期間内における光ビームの変調開始時刻または終了時刻に対応するタイミングデータを算出して制御する光走査装置が提案されている。この装置によれば、振幅、位相、オフセットなどの変動に対して表示が乱れる問題を解決できる。
特開２００６−２１５２０１号公報 特開２００３−１３１１５１号公報

しかしながら、こうした従来の特許文献１の装置では、往路及び復路の走査線を表示に利用するため、環境変化、経時変化等により、主走査周波数信号や副走査周波数信号の位相に対する光偏向器の位置ずれが生じると、表示に著しい乱れが発生してしまうという問題があった。

また、特許文献２の装置では、表示の乱れの問題を解決するため、光ビームを走査線上の特定位置で通過時刻を計測し、計測された往復２つの通過時刻に基づいて煩雑な演算を行わなければならず、コスト高を招くという問題があった。

本発明の課題は、往路、復路の走査線を表示に利用すると共に、表示乱れを簡単に防止することができコスト低減を図ることができる光走査装置を提供することにある。

かかる課題を達成すべく、本発明は課題を解決するため次の手段を取った。即ち、
光源からの光ビームを互いに交差する主走査方向と副走査方向とに偏向する光偏向器と、
前記主走査方向の主走査駆動信号と前記副走査方向の副走査駆動信号とに応じて前記光偏向器を制御して前記光ビームを偏向し、前記主走査方向と前記副走査方向とで往復させると共に、往路の走査線と復路の走査線とを表示領域上で交互に形成させる光偏向器駆動制御手段と、
表示領域への画素による表示に応じたタイミング信号を生成する表示タイミング生成手段と、
前記表示タイミング生成手段により生成された前記タイミング信号に基づいて前記光源を画素毎に制御する光源駆動手段と、
前記光偏向器による偏向位置を検出する位置検出手段と、
前記表示タイミング生成手段からの前記往路と前記復路とを含む前記表示領域上で前記副走査方向に連続する３本の前記走査線上のそれぞれの画素で、かつ、前記表示領域上で前記主走査方向に画素の位置が１つずつずれて斜めに連続する位置関係が既知の３画素の前記タイミング信号に基づいて、前記位置検出手段により検出される前記３画素の前記偏向位置を取得し、前記３画素の前記偏向位置に応じて前記光偏向器駆動制御手段の前記駆動信号の位相をシフトさせて前記３画素が前記表示領域上で前記主走査方向及び前記副走査方向に斜めに連続するように前記位相を制御する位相制御手段とを備えたことを特徴とする光走査装置がそれである。

また、前記位相制御手段は、前記位置検出手段により検出される前記偏向位置を取得するタイミングを調整可能な構成としてもよい。

本発明の光走査装置は、往路、復路の走査線を表示に利用すると共に、位置関係が既知の３画素の偏向位置を取得し、３画素の偏向位置に応じて駆動信号の位相を制御するので、表示の乱れを簡単に防止することができ、コストの低減を図ることができるという効果を奏する。また、偏向位置を取得するタイミングを調整可能とすることにより、より正確に表示の乱れを防止できる。

以下本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１に示すように、１は光偏向器で、光偏向器１は半導体レーザ等の光源２からの光ビームをスクリーンや網膜等の表示領域に向けて偏向する。光偏向器１は、本実施形態では、図２に示すように、図示しないミラー等が貼り付けられた第１可動部４を備え、第１可動部４の外周側には四角枠状の第２可動部６が設けられている。第１可動部４と第２可動部６とは第１可動部４の左右両側に設けられた一対の主走査ねじりバネ部８，１０により連結されている。一対の主走査ねじりバネ部８，１０は同一直線上に配置されており、弾性変形することにより、第１可動部４を図２に矢印Ａで示すように、第１可動部４を一対の主走査ねじりバネ部８，１０の廻りに揺動させて、光ビームを主走査方向に偏向することができるように構成されている。

また、第２可動部６の外周側には四角枠状の固定部１２が設けられており、第２可動部６と固定部１２とは第２可動部６の上下両側に設けられた一対の副走査ねじりバネ部１４，１６により連結されている。一対の副走査ねじりバネ部１４，１６は同一直線上に配置されており、かつ、一対の主走査ねじりバネ部８，１０に直交するように配置されている。一対の副走査ねじりバネ部１４，１６は、弾性変形することにより、第２可動部６を図２に矢印Ｂで示すように、第２可動部６を一対の副走査ねじりバネ部１４，１６の廻りに揺動させて、光ビームを副走査方向に偏向することができるように構成されている。

更に、第１可動部４と第２可動部６との間には、一対の主走査櫛歯電極１８，２０が設けられている。一対の主走査櫛歯電極１８，２０は第１可動部４から第２可動部６に向かって、一対の主走査ねじりバネ部８，１０と直交方向に突出された多数の櫛歯部１８ａ，２０ａを備えると共に、第２可動部６から第１可動部４に向かって、一対の主走査ねじりバネ部８，１０と直交方向に突出された多数の櫛歯部１８ｂ，２０ｂを備えている。

第１可動部４側の多数の櫛歯部１８ａ，２０ａと第２可動部６側の多数の櫛歯部１８ｂ，２０ｂとは、隙間を空けて交互に配置されており、また、図３に示すように、一方の櫛歯部１８ａ，１８ｂは、それぞれ電極１８ａ１，１８ｂ１と絶縁膜１８ａ２，１８ｂ２と薄膜電極１８ａ３，１８ｂ３とが順に積層されて形成されている。

第１可動部４の薄膜電極１８ａ３と第２可動部６の電極１８ｂ１との間に電圧を印加すると、静電気力により第１可動部４の薄膜電極１８ａ３が第２可動部６の電極１８ｂ１に引き寄せられて、第１可動部４が一対の主走査ねじりバネ部８，１０の廻りに揺動する。この第１可動部４の揺動により、主走査方向に光ビームを偏向することができる。

一方、図４に示すように、他方の櫛歯部２０ａ，２０ｂも、それぞれ電極２０ａ１，２０ｂ１と絶縁膜２０ａ２，２０ｂ２と薄膜電極２０ａ３，２０ｂ３とが順に積層されて形成されている。第１可動部４が一対の主走査ねじりバネ部８，１０の廻りに揺動した際、第１可動部４の電極２０ａ１と第２可動部６の薄膜電極２０ｂ３との間の静電容量が変化する。この静電容量の変化により、第１可動部４による主走査方向の偏向位置を検出することができる。

第２可動部６と固定部１２との間にも、一対の副走査櫛歯電極２２，２４が設けられている。一対の副走査櫛歯電極２２，２４は、一対の主走査櫛歯電極１８，２０と同様の構成で、第２可動部６から固定部１２に向かって、一対の副走査ねじりバネ部１４，１６と直交方向に突出された多数の櫛歯部２２ａ，２４ａを備えると共に、固定部１２から第２可動部６に向かって、一対の副走査ねじりバネ部１４，１６と直交方向に突出された多数の櫛歯部２２ｂ，２４ｂを備えている。

第２可動部６側の多数の櫛歯部２２ａ，２４ａと固定部１２側の多数の櫛歯部２２ｂ，２４ｂとは、隙間を空けて交互に配置されており、また、櫛歯部２２ａ，２２ｂ，２４ａ，２４ｂは、それぞれ電極と絶縁膜と薄膜電極とが順に積層されて形成されている。

第２可動部６の薄膜電極と固定部１２の電極との間に電圧を印加すると、静電気力により第２可動部６の薄膜電極が固定部１２の電極に引き寄せられて、第２可動部６が一対の副走査ねじりバネ部１４，１６の廻りに揺動する。この第２可動部６の揺動により、副走査方向に光ビームを偏向することができる。

第２可動部６が一対の副走査ねじりバネ部１４，１６の廻りに揺動した際、第２可動部６の電極と固定部１２の薄膜電極との間の静電容量が変化する。この静電容量の変化により、第２可動部６による副走査方向の偏向位置を検出することができる。

光偏向器１と光源２とは制御回路３１に接続されており、制御回路３１は図示しないスクリーン等の表示領域への表示に応じた各画素の表示のタイミング信号を生成する表示タイミング生成部３２を備えている。表示タイミング生成部３２からのタイミング信号は光駆動部３４に出力され、光駆動部３４はこのタイミング信号を受けて、光源２を画素毎に駆動制御し、光源２から光ビームを光偏向器１に向けて出射する。

表示タイミング生成部３２は、タイミング信号を主走査駆動周波数生成部３６と副走査駆動周波数生成部３８とに出力するように接続されている。主走査駆動周波数生成部３６はこのタイミング信号を受けて、予め設定された正弦波の主走査駆動信号を生成して主走査位相シフター部４０に出力する。副走査駆動周波数生成部３８も同様にこのタイミング信号を受けて、予め設定された正弦波の副走査駆動信号を生成して副走査位相シフター部４２に出力する。

主走査位相シフター部４０は正弦波の主走査駆動信号の位相をシフト可能で、後述する位相制御部５０からの信号に応じて主走査駆動信号の位相をシフトして主走査駆動回路部４４に出力する。主走査駆動回路部４４は主走査駆動信号に応じて主走査櫛歯電極１８に駆動信号を出力し、第１可動部４を一対の主走査ねじりバネ部８，１０の廻りに揺動する。これにより、正弦波の主走査駆動信号に応じて、第１可動部４が正弦波運動をし、光源２からの光ビームを主走査方向に偏向する。

同様に、副走査位相シフター部４２は正弦波の副走査駆動信号の位相をシフト可能で、後述する位相制御部５０からの信号に応じて副走査駆動信号の位相をシフトして副走査駆動回路部４６に出力する。副走査駆動回路部４６は副走査駆動信号に応じて副走査櫛歯電極２２に駆動信号を出力し、第２可動部６を一対の副走査ねじりバネ部１４，１６の廻りに揺動する。これにより、正弦波の副走査駆動信号に応じて、第２可動部６が正弦波運動をし、光源２からの光ビームを副走査方向に偏向する。

主走査櫛歯電極２０と副走査櫛歯電極２４とは位置検出部４８に接続されており、位置検出部４８は主走査櫛歯電極２０の電極と薄膜電極との間の静電容量の変化に基づいて、第１可動部４による主走査方向の偏向位置を検出すると共に、副走査櫛歯電極２４の電極と薄膜電極との間の静電容量の変化に基づいて、第２可動部６による副走査方向の偏向位置を検出する。

位置検出部４８は、検出した主走査方向の偏向位置と副走査方向の偏向位置との検出信号を位相制御部５０に出力する。位相制御部５０は表示タイミング生成部３２からのタイミング信号と位置検出部４８からの主走査方向の偏向位置と副走査方向の偏向位置との検出信号とに基づいて、主走査位相シフター部４０と副走査位相シフター部４２とに、それぞれ正弦波の主走査駆動信号の位相と正弦波の副走査駆動信号の位相との変更信号を出力する。

図５，図６に示すように、本実施形態では、主走査駆動周波数生成部３６は表示領域５２に１フレーム分の画像を表示する際、１表示周期で２１周期分の正弦波の主走査駆動信号を出力する。この主走査駆動信号に応じて、第１可動部４が揺動し、光ビームを偏向して、主走査方向に往復走査させ、１表示周期で２１回往復走査する。

また、副走査駆動周波数生成部３８は表示領域５２に１フレーム分の画像を表示する際、１表示周期で２周期分の正弦波の副走査駆動信号を出力する。この副走査駆動信号に応じて、第２可動部６が揺動し、光ビームを偏向して、副走査方向に往復させ、１表示周期で２回往復する。

本実施形態では、表示領域５２には走査線がほぼ等間隔でほぼ直線となる領域が用いられる。図６に示すように、主走査駆動信号の２１周期分の正弦波に、それぞれ始めの１周期分の正弦波から順に（１）〜（２１）の番号を付す。また、図６に矢印で示すように、下から上に向かう走査線を往動の走査線とし、上から下に向かう走査線を復動の走査線とする。

表示領域５２での表示には、（１）（２）の往動の走査線、（５）（６）の復動の走査線、（１１）（１２）の往動の走査線、（１６）（１７）の復動の走査線、（２１）の往動の走査線が用いられている。また、本実施形態では、１走査線上に１０個の画素が等間隔で割り当てられて、画素により画像が表示される。

表示タイミング生成部３２には、予め表示に用いる走査線や画素の位置関係、往動の走査線か復動の走査線かの別等の関係が予め記憶されており、表示タイミング生成部３２は表示する画像の内容に応じて適切なタイミングで光源２を駆動制御し、光ビームによる表示を行わせる。

また、表示タイミング生成部３２は、斜めに連続する３画素の表示タイミング信号を位相制御部５０に出力する。この斜めに連続する３画素とは、本実施形態では、連続する３本の走査線、図５の（６）（１）（１６）の３本の走査線上のそれぞれの画素であり、かつ、このそれぞれの画素は（６）の走査線上の下から５つ目の画素Ａ、（１）の走査線上の下から６つ目の画素Ｂ、（１６）の走査線上の下から７つ目の画素Ｃであり、斜めに連続する３つの画素Ａ，Ｂ，Ｃである。

連続する３本の走査線（６）（１）（１６）には、往動の走査線と復動の走査線が含まれる。そして、この走査線（６）（１）（１６）上の画素で、かつ、斜めの位置関係にある３画素Ａ，Ｂ，Ｃは、既知の位置関係であり、予めこの３画素Ａ，Ｂ，Ｃの表示タイミングが表示タイミング生成部３２に記憶されている。光偏向器１は、正弦波運動により偏向するので、中央部での走査速度が最も速く、画素間の位置に差ができる。そのため、斜めに連続する３画素Ａ，Ｂ，Ｃを表示領域５２の中央に設定することで、偏向位置を取得する際の誤差の影響を少なくして、表示の乱れを防ぎやすくしている。

副走査方向をＸ方向、主走査方向をＹ方向とすると、画素Ａの座標を（ＸA ，ＹA ）、画素Ｂの座標を（ＸB ，ＹB ）、画素Ｃの座標を（ＸC ，ＹC ）でそれぞれ表すことができる。図６に示すように、副走査駆動信号の正弦波の最も低い位置をＸ方向の原点０とすると、図５では最も左側がＸ方向の原点０となる。従って、連続する３本の走査線（６）（１）（１６）上の各画素Ａ，Ｂ，ＣのＸ方向の座標位置関係は、ＸA ＜ＸB ＜ＸC となる。図６に示す副走査駆動信号の正弦波の最も低い位置からの高さがそれぞれの座標位置（ＸA ，ＸB ，ＸC ）となる。

また、図６に示すように、主走査駆動信号の正弦波の最も低い位置をＹ方向の原点０とすると、図５では最も下側がＹ方向の原点０となる。従って、斜めに連続する３つの画素Ａ，Ｂ，ＣのＹ方向の座標位置関係は、ＹA ＜ＹB ＜ＹC となる。図６に示す主走査駆動信号の正弦波の最も低い位置からの高さがそれぞれの座標位置（ＹA ，ＹB ，ＹC ）となる。

図５の最も左側の走査線による表示領域５２上の表示を表示位置１とし、最も右側の走査線による表示領域５２上の表示を表示位置９とすると、走査線（２１）により表示位置１の表示が、走査線（１７）により表示位置２の表示が行われる。また、走査線（１１）により表示位置３の表示が、走査線（６）により表示位置４の表示が、走査線（１）により表示位置５の表示が、走査線（１６）により表示位置６の表示が行われる。更に、走査線（１２）により表示位置７の表示が、走査線（５）により表示位置８の表示が、走査線（２）により表示位置９の表示が行われる。本実施例では、１フレームを複数フィールドで表示する。

光偏向器１の環境変化や経時変化等により、図７，図８に示すように、表示タイミング生成部３２からのタイミング信号のみに応じて光偏向器１を駆動制御すると、副走査方向で副走査駆動信号と実際の光ビームを偏向した位置とにずれが発生する。図７に示すように、走査線の位置がずれて、走査線（６）が走査線（１）よりも図７の右側にずれ、各走査線の間隔も均等でなくなる場合がある。これにより、表示領域５２内での画像の表示は大きく乱れてしまう。

図８では、副走査駆動信号を実線で示し、そのときの位置検出部４８により検出される検出信号を破線で示す。位置ずれ（図８の場合では、ＸB ＜ＸA ＜ＸC の座標位置関係）が生じると、各画素Ａ，Ｂ，ＣのＸ方向の正常な表示の座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）を満足しなくなる。

そこで各画素Ａ，Ｂ，ＣのＸ方向の座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）を満足するように、位相制御部５０が副走査位相シフター部４２により、副走査駆動信号の位相をシフトする。副走査駆動信号の位相をシフトする簡単な制御で、図５に示すように、表示領域５２の画像が正しく表示される。

また、同様に、光偏向器１の環境変化や経時変化等により、図９，図１０に示すように、主走査方向で主走査駆動信号と実際の光ビームを偏向した位置とがずれ、画像の表示が大きく乱れてしまう。

図１０では、主走査駆動信号を実線で示し、そのときの位置検出部４８により検出される検出信号を破線で示す。位置ずれ（図１０の場合では、ＹB ＜ＹA ＜ＹC の座標位置関係）が生じると、各画素Ａ，Ｂ，ＣのＹ方向の座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足しなくなる。そこで各画素Ａ，Ｂ，ＣのＹ方向の座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足するように、位相制御部５０が主走査位相シフター部４０により、主走査駆動信号の位相をシフトする。主走査駆動信号の位相をシフトする簡単な制御で、図５に示すように、表示領域５２の画像が正しく表示される。

本実施形態では、斜めに連続する３つの画素Ａ，Ｂ，Ｃを用い、３画素Ａ，Ｂ，ＣのＸ方向の座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）及び３画素Ａ，Ｂ，ＣのＹ方向の座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足すように、駆動信号の位相をシフトしている。

往路と復路との走査線が交互に形成されるので、駆動信号の位相に対する偏向位置にずれが生じると、走査線の表示は１本おきに同一方向にずれる。既知の３画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係を満足するように、駆動信号の位相をシフトすると、簡単な制御で、図５に示すように、表示領域５２の画像が正しく表示される。３画素Ａ，Ｂ，Ｃの絶対位置を取得する必要はなく、簡単な構成で表示の乱れを防止できる。

次に、制御回路３１において行われる位相制御処理について図１１に示すフローチャートによって説明する。
まず、表示タイミング生成部３２から光偏向器１を駆動するタイミング信号を主副走査駆動周波数生成部３６，３８に出力し、主走査駆動周波数生成部３６から主走査駆動信号を主走査駆動回路部４４に、副走査駆動周波数生成部３８から副走査駆動信号を副走査駆動回路部４６に出力して、光偏向器１を駆動する（ステップ１００（以下、Ｓ１００という。以下同様。））。

これにより、光偏向器１の第１可動部４と第２可動部６とが揺動し、位置検出部４８が主走査櫛歯電極２０と副走査櫛歯電極２４との静電容量の変化から、偏向位置を検出する。表示タイミング生成部３２からの各画素Ａ，Ｂ，Ｃのタイミング信号に基づいて、各画素Ａ，Ｂ，Ｃの偏向位置（ＸA ，ＹA ）、（ＸB ，ＹB ）、（ＸC ，ＹC ）を位相制御部５０が取得する（Ｓ１１０）。

次に、副走査方向（Ｘ方向）での各画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）を満足するか否かを判断する（Ｓ１２０）。各画素Ａ，Ｂ，ＣのＸ方向の座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）を満足しないときには（Ｓ１２０：ＮＯ）、位相制御部５０が副走査位相シフター部４２に変更信号を出力して、副走査駆動周波数の位相を、各画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）を満足するようにシフトする（Ｓ１３０）。

副走査方向（Ｘ方向）での各画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）を満足すると判断したとき（Ｓ１２０：ＹＥＳ）、あるいは、Ｓ１３０の処理を実行した後、次に、主走査方向（Ｙ方向）での各画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足するか否かを判断する（Ｓ１４０）。

各画素Ａ，Ｂ，ＣのＹ方向の座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足しないときには（Ｓ１４０：ＮＯ）、位相制御部５０が主走査位相シフター部４０に変更信号を出力して、主走査駆動周波数の位相を、各画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足するようにシフトする（Ｓ１５０）。

主走査方向（Ｙ方向）での各画素Ａ，Ｂ，Ｃの座標位置関係（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足すると判断したとき（Ｓ１４０：ＹＥＳ）、あるいは、Ｓ１５０の処理を実行した後、表示タイミング生成部３２から光駆動部３４にタイミング信号を出力して、光源２からの光ビームを光偏向器１により偏向して、表示領域５２に画像を表示させる（Ｓ１６０）。

そして、Ｓ１１０以下の処理を繰り返して、各画素Ａ，Ｂ，Ｃの偏向位置（ＸA ，ＹA ）、（ＸB ，ＹB ）、（ＸC ，ＹC ）が座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足するように主副走査駆動周波数の位相をシフトして、画像の表示のずれを防止する。

本実施形態では、最初の１表示周期にＳ１００〜Ｓ１５０の処理を実行する際、光源２を駆動することなく、光偏向器１を駆動してずれを検出し、各画素Ａ，Ｂ，Ｃの偏向位置（ＸA ，ＹA ）、（ＸB ，ＹB ）、（ＸC ，ＹC ）が座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足するように主副走査駆動周波数の位相をシフトする。その後、光源２を駆動して画像を表示するので、ずれた状態での画像が表示されるのを防止できる。

また、光源２を駆動して画像を表示しているときにも、Ｓ１１０以下の処理を繰り返し実行して、各画素Ａ，Ｂ，Ｃの偏向位置（ＸA ，ＹA ）、（ＸB ，ＹB ）、（ＸC ，ＹC ）が座標位置関係（ＸA ＜ＸB ＜ＸC ）（ＹA ＜ＹB ＜ＹC ）を満足するように主副走査駆動周波数の位相をシフトする。

位置検出部４８により、偏向位置を検出する際、処理の時間遅れが発生する場合、図１２に示すように、斜めに連続する３画素Ａ，Ｂ，Ｃの表示タイミングにおいて、位相制御部５０が位置検出部４８から出力された信号により偏向位置を取得すると、取得した偏向位置と実際の光偏向器１の位置とにずれが発生する。その際、斜めに連続する３画素Ａ，Ｂ，Ｃの表示タイミングに位置検出部４８の処理の時間遅れ分だけ、調整時間を設けたタイミングで、位置検出部４８から出力された信号により偏向位置を位相制御部５０が取得する。主走査、副走査で位置検出部４８の処理の時間遅れが異なれば、主走査と副走査とで調整時間も異なるようにすればよい。

尚、本実施形態では、主副走査駆動周波数生成部３６，３８、主副走査位相シフター部４０，４２、主副走査駆動回路部４４，４６が光偏向器駆動制御手段を構成し、表示タイミング生成部３２が表示タイミング生成手段を構成し、光駆動部３４が光源駆動手段を構成し、主走査櫛歯電極２０、副走査櫛歯電極２４、位置検出部４８が位置検出手段を構成し、位相制御部５０が位相制御手段を構成する。

以上本発明はこの様な実施形態に何等限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得る。

本発明の一実施形態としての光走査装置の概略構成図である。 本実施形態の光偏向器の概略構成図である。 図２のＣＣ断面図である。 図２のＤＤ断面図である。 本実施形態の表示領域での走査線と画素との説明図である。 本実施形態の主副走査駆動信号、光ビーム駆動信号、表示位置、走査線の方向を示す説明図である。 本実施形態の表示領域での副走査方向においてずれが発生した場合の走査線と画素との説明図である。 本実施形態の副走査方向においてずれが発生した場合の主副走査駆動信号、光ビーム駆動信号を示す説明図である。 本実施形態の表示領域での主走査方向においてずれが発生した場合の走査線と画素との説明図である。 本実施形態の主走査方向においてずれが発生した場合の主副走査駆動信号、光ビーム駆動信号を示す説明図である。 本実施形態の制御回路において行われる位相制御処理の一例を示すフローチャートである。 本実施形態の位置検出部による偏向位置検出の時間遅れによるずれを示す説明図である。

１…光偏向器 ２…光源
４…第１可動部 ６…第２可動部
１２…固定部 １８，２０…主走査櫛歯電極
２２，２４…副走査櫛歯電極
３１…制御回路 ３２…表示タイミング生成部
３４…光駆動部 ３６…主走査駆動周波数生成部
３８…副走査駆動周波数生成部
４０…主走査位相シフター部
４２…副走査位相シフター部
４４…主走査駆動回路部
４６…副走査駆動回路部
４８…位置検出部 ５０…位相制御部
５２…表示領域

Claims (2)

1. 光源からの光ビームを互いに交差する主走査方向と副走査方向とに偏向する光偏向器と、
   前記主走査方向の主走査駆動信号と前記副走査方向の副走査駆動信号とに応じて前記光偏向器を制御して前記光ビームを偏向し、前記主走査方向と前記副走査方向とで往復させると共に、往路の走査線と復路の走査線とを表示領域上で交互に形成させる光偏向器駆動制御手段と、
   表示領域への画素による表示に応じたタイミング信号を生成する表示タイミング生成手段と、
   前記表示タイミング生成手段により生成された前記タイミング信号に基づいて前記光源を画素毎に制御する光源駆動手段と、
   前記光偏向器による偏向位置を検出する位置検出手段と、
   前記表示タイミング生成手段からの前記往路と前記復路とを含む前記表示領域上で前記副走査方向に連続する３本の前記走査線上のそれぞれの画素で、かつ、前記表示領域上で前記主走査方向に画素の位置が１つずつずれて斜めに連続する位置関係が既知の３画素の前記タイミング信号に基づいて、前記位置検出手段により検出される前記３画素の前記偏向位置を取得し、前記３画素の前記偏向位置に応じて前記光偏向器駆動制御手段の前記駆動信号の位相をシフトさせて前記３画素が前記表示領域上で前記主走査方向及び前記副走査方向に斜めに連続するように前記位相を制御する位相制御手段とを備えたことを特徴とする光走査装置。
2. 前記位相制御手段は、前記位置検出手段により検出される前記偏向位置を取得するタイミングを調整可能なことを特徴とする請求項１に記載の光走査装置。

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