JP4997774B2 - 駆動装置 - Google Patents

駆動装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4997774B2
JP4997774B2 JP2006028678A JP2006028678A JP4997774B2 JP 4997774 B2 JP4997774 B2 JP 4997774B2 JP 2006028678 A JP2006028678 A JP 2006028678A JP 2006028678 A JP2006028678 A JP 2006028678A JP 4997774 B2 JP4997774 B2 JP 4997774B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
drive device
support member
moving body
moving
main body
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2006028678A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2006311788A (ja
Inventor
啓俊 小西
祐吉 細田
和田  晃
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Konica Minolta Advanced Layers Inc
Original Assignee
Konica Minolta Advanced Layers Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Konica Minolta Advanced Layers Inc filed Critical Konica Minolta Advanced Layers Inc
Priority to JP2006028678A priority Critical patent/JP4997774B2/ja
Priority to US11/390,938 priority patent/US7564168B2/en
Priority to CN2006100718830A priority patent/CN1848655B/zh
Publication of JP2006311788A publication Critical patent/JP2006311788A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4997774B2 publication Critical patent/JP4997774B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/021Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
    • H02N2/025Inertial sliding motors

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Description

本発明は、電気機械変換素子を使用した駆動装置に関し、例えばカメラのレンズ駆動やX−Yテーブルの精密駆動などに適した駆動装置に関する。
従来、電気機械変換素子である圧電素子の伸縮を利用して、移動体を移動させる駆動装置が知られている。図1および図2にリニア型駆動装置の例を示す。図1に示した駆動装置100は、圧電素子101の伸縮方向の一端が固定体102の端面に接着剤102aで固定され、他端に移動体支持部材である駆動軸103が接着剤101aで固定されている。また、圧電素子101には給電部材104が導電性接着剤で接続されており、これにより圧電素子101に所定のパルス電圧が印加されるようになっている。
図2に示すように、移動体108は駆動軸103に沿って摺動可能になっている。移動体108は、移動体本体であるスライダ105と、該スライダ105との間に駆動軸103を挟持する挟持部材106と、駆動軸103を挟んで挟持部材106をスライダ105に向かって押し付ける板バネ107とから構成されている。例えばレンズ等の光学部材をスライダ105に取り付けることで、移動体108が駆動軸103上で移動することによって光学部材が直進駆動されるようになっている。
図3に前記駆動装置100の駆動原理を示す。駆動装置100の圧電素子101に、例えば図3(b)に示すような緩やかな立ち上がり部分(A−B間)と急激な立ち下がり部分(B−C間)を有する鋸歯状波形のパルス電圧を印加すると、まず、パルス電圧の緩やかな立ち上がり部分(A−B間)では、図3(a2)に示すように圧電素子101が緩やかにその厚み方向に伸び変位し、圧電素子101に固定されている駆動軸103が繰り出し方向に移動する。これに伴い、駆動軸103に摩擦係合した移動体108が駆動軸103と共に移動する。
続いて、パルス電圧の急激な立ち下がり部分(B−C間)では、圧電素子101は急速に厚み方向に縮み変位し、圧電素子101に固定された駆動軸103も急速に戻り方向に変位する。このとき、図3(a3)に示すように、移動体108の慣性力が駆動軸103との間の摩擦力に打ち勝って滑りを生じることで、移動体108は実質的にその位置に留まって移動しない。その結果、図3(a1)に示す初期状態よりも伸びと縮みとの移動量の差の分だけ移動体108が繰り出し方向へ移動する。このような圧電素子101の伸縮が繰り返されることで、移動体108は駆動軸103に沿って繰り出し方向に駆動されることになる。
これに対し、上述したのとは逆の原理で移動体108は戻り方向に駆動される。すなわち、圧電素子101に急激な立ち上がり部分と緩やかな立ち下がり部分とからなる鋸歯状波形のパルス電圧が印加されると、パルス電圧の急激な立ち上がり部分では、圧電素子101が急速に伸び変位して、これに伴って圧電素子101に固定された駆動軸103も急速に繰り出し方向に変位する。このとき、移動体108の慣性力が駆動軸103との間の摩擦力に打ち勝って滑りを生じることで、移動体108は実質的にその位置に留まって移動しない。
続いて、パルス電圧の緩やかな立ち下がり部分では、圧電素子101が緩やかに縮み変位し、これに伴って圧電素子101に固定された駆動軸103も緩やかに戻り方向に変位する。このとき、駆動軸103と共に移動体108も戻り方向に変位する。その結果、初期状態よりも伸びと縮みとの移動量の差の分だけ移動体108が戻り方向へ移動する。このような圧電素子101の伸縮が繰り返されることで、移動体108は駆動軸103に沿って戻り方向に駆動されることになる。
図4に示すように、前記駆動装置100において、駆動軸103は円形横断面を有する軸部材で構成され、挟持部材106は端面がV字状をなす屈曲板部材で構成されており、端面が略コ字状をなす板バネ107で挟持部材106が駆動軸103に押し付けられることによって挟持部材106と駆動軸103との間に摩擦力が生じることになる。
しかしながら、移動体108の移動方向に垂直な断面において、挟持部材106は駆動軸103の周面に沿った方向(矢印A方向)に位置規制されていないため、移動体108が駆動軸103に組み付けられたときに挟持部材106と駆動軸103との接触状態が一定せず、同じ構成の複数の駆動装置間において挟持部材106と駆動軸103間の摩擦力にばらつきが生じる結果になっていた。そのために、駆動装置100を組み立てた後に、各駆動装置100について移動体108の摩擦力が所望の範囲内になっているかを検査しなければならず、煩雑であった。
また、駆動装置100では、板バネ107で挟持部材106を駆動軸103に対して押圧しているが、一般に板バネ107はバネ定数が大きい付勢部材であるので微小な取り付け誤差で前記摩擦力が大きく変わり、複数の駆動装置100間で駆動力および駆動速度が大きく変化する原因の1つであった。
さらに、略コ字状に折り曲げられた板バネ107を取り付けるとき、その付勢方向とは反対方向に引き広げて組み付けるので、時として板バネ107の降伏点を越えて引き広げてしまい、バネ定数を変化させてしまうこともある。
さらにまた、板バネ107は、プレス金型を用いて製作されるが、板バネ107について設計変更を行う場合、金型の修正が必要になるためにコストがかさむことになり、加えて、設計値通りの摩擦力を発生させる板バネ107は1回の試作のみで製作するのは困難であり、数回の試作が必要になる場合が多い。
一方、下記特許文献1には、図5に示すように、挟持部材106をコイルバネ109で真上から押圧するようにした駆動装置が開示されている。しかしながら、この場合でも挟持部材106は矢印A方向に位置規制されていないため、上述したのと同様に摩擦力のばらつきが生じるという問題がある。
特開平8−70586号公報
そこで、本発明は、駆動装置間で摩擦力のばらつきが生じないようにすることを主な課題とするものである。また、板バネに比べてより安価な付勢部材を使用した駆動装置を提供することを更なる課題とするものである。
前記課題を解決するため、本発明は、電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、移動体を摺動可能に支持し、前記電気機械変換素子に結合して前記電気機械変換素子と共に変位する支持部材とを備え、前記電気機械変換素子の伸縮によって前記移動体が前記支持部材に沿って駆動される駆動装置であって、
前記移動体は、移動体本体と、前記支持部材を挟持するように前記移動体本体に組み付けられる挟持部材と、前記挟持部材を前記支持部材に向けて付勢する付勢部材とを有し、前記挟持部材が前記付勢部材により付勢されたとき、前記移動体の移動方向に垂直な断面において、前記挟持部材の一部が前記支持部材に当接すると共に前記挟持部材の他の部分が前記移動体本体に保持され、当該移動体本体における前記保持部が前記挟持部材と前記支持部材との相対位置を規定する支点であることを特徴とするものである。
本発明の駆動装置において、前記挟持部材は、前記移動体本体に連結されていない別体をなし、前記付勢部材の付勢力によって前記移動体本体に単に当接しているだけでもよい。
また、本発明の駆動装置において、前記挟持部材は、前記移動体の移動方向に垂直な平面内において回動可能なようにピンによって前記移動体本体に連結されていてもよい。
また、本発明の駆動装置において、前記挟持部材は、前記付勢部材の付勢力の作用点に対して前記支持部材を挟んで反対側の位置で前記移動体本体に保持されていてもよい。
また、本発明の駆動装置において、前記ピンは、前記付勢部材の付勢力の作用点に対して前記支持部材を挟んで反対側の位置で前記移動体本体に取り付けられていてもよい。
また、本発明の駆動装置において、前記ピンは、前記付勢部材の付勢力の作用点と前記支持部材との間の位置で前記移動体本体に取り付けられていてもよい。
また、本発明の駆動装置において、前記付勢部材は、コイルバネであってもよい。この場合、前記コイルバネは、引っ張りバネであってもよいし、圧縮バネであってもよい。
さらに、本発明の駆動装置において、前記支持部材は、前記移動体の移動方向に垂直な断面が略円形であってもよい。
本発明の駆動装置によれば、挟持部材が付勢部材によって付勢されたとき、挟持部材が移動体本体に保持されることで、挟持部材と支持部材間および移動体本体と支持部材間での接触状態が複数の駆動装置間においてほぼ一定となり、挟持部材と支持部材間の摩擦力が安定する。その結果、各駆動装置について行っていた摩擦力検査工程を無くすことができ、省力化と省コスト化を図れる。
また、支持部材に対して挟持部材を付勢する付勢部材をコイルバネにすれば、コイルバネは金型を使用せずに製作できるので、バネ定数の異なるものを安価に各種用意することが可能になる。また、コイルバネは板ばねに比べてバネ定数の小さいものを製作しやすく、バネ定数の小さいコイルバネは引っ張り量または圧縮量の変位の外乱に対する影響を小さくすることができる。さらに、コイルバネは大きな変位量をとるように設計することが容易であるため、充分に変位量が大きく設計されたコイルバネは組み付けの際に降伏点を越えて取り付けられてしまうことを防止できる。
以下に、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。
本発明の一実施形態である駆動装置は、移動体の構成以外は図1に示す従来例の駆動装置100と同一構成を有している。すなわち、本実施形態の駆動装置は、圧電素子101の伸縮方向の一端が固定体102の端面に接着剤102aで固定され、他端に駆動軸103が接着剤101aで固定されている。また、圧電素子101には給電部材104が導電性接着剤で接続されており、これにより圧電素子101に所定のパルス電圧が印加されるようになっている。
なお、駆動軸103は、移動体の移動方向に垂直な断面が例えば円形横断面である軸部材からなっているが、これに限らず、例えば楕円形横断面を有する軸部材からなってもよいし、あるいは、例えば多角形横断面を有する軸部材からなってもよい。
図6に本実施形態の駆動装置の移動体10を示す。駆動軸103上に支持されている移動体10は、所定の摩擦力をもって駆動軸103に係合しており、駆動軸103に沿って摺動可能になっている。移動体10は、移動体本体としてのスライダ12と、駆動軸103を挟持するようにスライダ12に組み付けられる挟持部材14と、挟持部材14を駆動軸103に向けて付勢する付勢部材としての引っ張りコイルバネ16とを有している。この場合、挟持部材14は、スライダ12に連結されていない別体をなしている。レンズ等の光学部材を支持した不図示の玉枠が移動体10に連結されることで、移動体10が駆動軸103上で移動することによって光学部材が直進駆動されるようになっている。
なお、挟持部材14を駆動軸103に向けて付勢する付勢部材は、コイルバネに限らず、例えばゴム等の他の弾性部材であってもよい。
スライダ12には、駆動軸103と2箇所で接触する楔状の凹部18と、前記凹部18を挟んで両側に突設された立壁部20,22とが形成されている。立壁部20には、両側に矩形開口部をなすように貫通孔24が形成されている。貫通孔24の上側内面26は、スライダ12の側面12aから凹部18側に向かってやや上方に傾斜した傾斜面として形成されている。一方、立壁部22は、挟持部材14の幅よりもやや広い間隔をあけて立設された2つの立壁部からなっている。また、スライダ12には、引っ張りコイルバネ16の一端部が引っ掛けられるフック部13が突設されている。
挟持部材14は、端面がV字状をなすように折れ曲がった屈曲部28と、この屈曲部28の両端からそれぞれ両側に同一直線上または平行に延伸する端部30,32とからなっている。挟持部材14の一端部30はスライダ12に形成された貫通孔24に挿入され、前記立壁部22を構成する2つの立壁部の間に配置された挟持部材14の他端部32は引っ張りコイルバネ16の他端部が引っ掛けられて引っ張り力が作用する作用点となっている。
挟持部材14は、他端部32が引っ張りコイルバネ16によって引っ張られることで、移動体10の移動方向に垂直な断面において、屈曲部28の内面の2箇所で駆動軸103に圧接した状態に付勢され、このとき挟持部材14の一端部30は、スライダ12の側面12aに開口する貫通孔24の矩形開口部の上側縁部25に保持される。ここで「保持される」とは、単に当接しているだけであって、連結されているものではない。これにより、挟持部材14の駆動軸103に対する相対位置が一律に確定し、複数の駆動装置について挟持部材14と駆動軸103との接触状態がほぼ一定となる。すなわち、前記貫通孔24の矩形開口部の上側縁部25は、挟持部材14と駆動軸103との相対位置を規定する支点となっている。
前記構成からなる本実施形態の駆動装置の駆動原理は、上述した従来例の駆動装置100と同様であり、ここでの重複することになる説明を省略する。
このように本実施形態の駆動装置では、挟持部材14の一部分がスライダ12に当接することで、その当接点が挟持部材14の相対位置を規定する支点として機能し、挟持部材14と駆動軸103との接触状態が複数の駆動装置間においてほぼ一定となり、挟持部材14と駆動軸103間の摩擦力が安定する。その結果、各駆動装置について行っていた摩擦力検査工程を無くすことができ、省力化と省コスト化を図れる。
また、本実施形態の駆動装置では、駆動軸103に対して挟持部材14を付勢する付勢部材をコイルバネ16にしてある。コイルバネ16は金型を使用せずに製作できるので、バネ定数の異なるものを安価に各種用意することが可能になる。また、コイルバネ16は板ばねに比べてバネ定数の小さいものを製作しやすく、バネ定数の小さいコイルバネ16は引っ張り量(または圧縮量)の変位の外乱に対する影響を小さくすることができる。さらに、コイルバネ16は大きな変位量をとるように設計することが容易であるため、充分に変位量が大きく設計されたコイルバネ16は組み付けの際に降伏点を越えて取り付けられてしまうことを防止できる。
ところで、前記実施形態の駆動装置では、駆動軸103に対する挟持部材14の付勢力を引っ張りコイルバネ16によって与えたが、図7に示すように、スライダ12に設けたバネ支持部15と挟持部材14の他端部32との間に配置した圧縮コイルバネ17によって挟持部材14を付勢するようにしてもよい。
また、前記実施形態の駆動装置では、貫通孔24の上側内面26を、スライダ12の側面12aから凹部18側に向かって上方に傾斜した傾斜面としたが、前記上側内面26が、スライダ12の側面12aから凹部18側に向かって下方に傾斜した傾斜面や、傾斜しない面等であっても前記支点を構成することができる。すなわち、前記上側内面26が、スライダ12の側面12aから凹部18側に向かって下方に傾斜した傾斜面である場合には、貫通孔24の凹部18側の開口部の上側縁部が挟持部材14を保持するための支点となる。また、前記上側内面26を中間位置で内方に突出させて、その突出部に挟持部材14の一端部30を当接させて前記支点としてもよい。
さらに、前記支点の構成は貫通孔24によるものに限られるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、図8に示すように、挟持部材14の一端部に例えば丸棒状のピン34を取り付けるとともに、スライダ12の立壁部20を挟持部材14の幅よりもやや広い間隔をあけて立設された2つの立壁部として形成し、これら2つの立壁部に前記ピン34の両端部を回動可能に支持する孔36をそれぞれ形成してもよい。この場合には、挟持部材14は、移動体10の移動方向に垂直な平面内において回動するようにピン34によってスライダ12に保持および連結されており、前記孔36が前記支点となる。
さらにまた、前記駆動装置においては、支点やピンの位置は、付勢部材の付勢力の作用点に対して駆動軸103を挟んで反対側の位置に設定されているが、駆動軸103に対して付勢力の作用点と同じ側に設定してもよい。図9は、挟持部材14を回動可能に支持するピン34を、付勢力の作用点と駆動軸103との間に設けた例を示している。この例では、付勢部材として圧縮バネ17を用いており、圧縮バネ17で作用点である他端部32を上方に付勢することにより、挟持部材14が駆動軸103を下方に押さえることができる。この場合、挟持部材14の一端部30は、省略されてもよい。
なお、移動体10の駆動原理において、駆動軸103がゆっくりと移動する場合には移動体10が駆動軸103と一体となって移動し、駆動軸103が急激に移動する場合には移動体10がその場に留まるようにすれば、移動体10を駆動軸103に対してもっとも効率よく相対移動させることができるが、本発明はそれには限らない。すなわち、駆動軸103がゆっくりと移動する場合に移動体10が駆動軸103に対して少し摺動したり、駆動軸103が急減に移動する場合には移動体10がその場から少し摺動したとしても、駆動軸103がゆっくりと移動する場合と急激に移動する場合とで移動体10の駆動軸103に対する摺動量が異なっていれば、移動体10を駆動軸103に対して相対的に移動させることができる。
従来の駆動装置の側面図。 移動体を含む図1の駆動装置の分解斜視図と組立図。 駆動装置の駆動原理を説明するための図。 図2の駆動装置の移動体を示す図。 コイルバネで移動体の摩擦力を発生させる例を示す図。 本発明の実施形態である駆動装置の移動体の側面図。 移動体の変形例を示す図。 移動体の別の変形例を示す図。 移動体のさらに別の変形例を示す図。
符号の説明
10…移動体
12…スライダ(移動体本体)
14…挟持部材
16…引っ張りコイルバネ(付勢部材)
17…圧縮コイルバネ(付勢部材)
25…矩形開口部の上側縁部(支点)
101…圧電素子(電気機械変換素子)
102…固定体
103…駆動軸(支持部材)

Claims (10)

  1. 電圧が印加されると伸縮する電気機械変換素子と、移動体を摺動可能に支持し、前記電気機械変換素子に結合して前記電気機械変換素子と共に変位する支持部材とを備え、前記電気機械変換素子の伸縮によって前記移動体が前記支持部材に沿って駆動される駆動装置であって、
    前記移動体は、移動体本体と、前記支持部材を挟持するように前記移動体本体に組み付けられる挟持部材と、前記挟持部材を前記支持部材に向けて付勢する付勢部材とを有し、前記挟持部材が前記付勢部材により付勢されたとき、前記移動体の移動方向に垂直な断面において、前記挟持部材の一部が前記支持部材に当接すると共に前記挟持部材の他の部分が前記移動体本体に保持され、当該移動体本体における前記保持部が前記挟持部材と前記支持部材との相対位置を規定する支点であることを特徴とする駆動装置。
  2. 前記挟持部材は、前記移動体本体に連結されていない別体をなし、前記付勢部材の付勢力によって前記移動体本体に単に当接しているだけであることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
  3. 前記挟持部材は、前記移動体の移動方向に垂直な平面内において回動可能なようにピンによって前記移動体本体に連結されていることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
  4. 前記挟持部材は、前記付勢部材の付勢力の作用点に対して前記支持部材を挟んで反対側の位置で前記移動体本体に保持されることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
  5. 前記ピンは、前記付勢部材の付勢力の作用点に対して前記支持部材を挟んで反対側の位置で前記移動体本体に取り付けられていることを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
  6. 前記ピンは、前記付勢部材の付勢力の作用点と前記支持部材との間の位置で前記移動体本体に取り付けられていることを特徴とする請求項3に記載の駆動装置。
  7. 前記付勢部材は、コイルバネであることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置。
  8. 前記コイルバネは、引っ張りバネであることを特徴とする請求項7に記載の駆動装置。
  9. 前記コイルバネは、圧縮バネであることを特徴とする請求項7に記載の駆動装置。
  10. 前記支持部材は、前記移動体の移動方向に垂直な断面が略円形であることを特徴とする請求項1に記載の駆動装置
JP2006028678A 2005-03-30 2006-02-06 駆動装置 Expired - Fee Related JP4997774B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2006028678A JP4997774B2 (ja) 2005-03-30 2006-02-06 駆動装置
US11/390,938 US7564168B2 (en) 2005-03-30 2006-03-28 Driving device
CN2006100718830A CN1848655B (zh) 2005-03-30 2006-03-29 驱动装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005096917 2005-03-30
JP2005096917 2005-03-30
JP2006028678A JP4997774B2 (ja) 2005-03-30 2006-02-06 駆動装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2006311788A JP2006311788A (ja) 2006-11-09
JP4997774B2 true JP4997774B2 (ja) 2012-08-08

Family

ID=37107840

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2006028678A Expired - Fee Related JP4997774B2 (ja) 2005-03-30 2006-02-06 駆動装置

Country Status (3)

Country Link
US (1) US7564168B2 (ja)
JP (1) JP4997774B2 (ja)
CN (1) CN1848655B (ja)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5252260B2 (ja) * 2007-07-17 2013-07-31 コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 撮像ユニット及び電子機器
CN102105829B (zh) * 2008-07-25 2013-11-13 日立麦克赛尔株式会社 驱动装置、图像获取装置及电子设备
JP2010039063A (ja) * 2008-08-01 2010-02-18 Hitachi Maxell Ltd レンズ駆動機構、レンズ鏡筒、レンズユニット、及びカメラモジュール
JP2010039062A (ja) * 2008-08-01 2010-02-18 Hitachi Maxell Ltd レンズ鏡筒、レンズユニット、カメラモジュール、及びレンズ駆動機構
KR20110130333A (ko) * 2009-02-27 2011-12-05 히다치 막셀 가부시키가이샤 구동장치, 렌즈부품, 및 카메라 모듈
US8912707B2 (en) * 2011-07-13 2014-12-16 Academia Sinica Friction-driven actuator
DE102011109590A1 (de) 2011-08-05 2013-02-07 Physik Instrumente (Pi) Gmbh & Co. Kg Piezoelektrischer Drehantrieb für eine Welle
DE102012221892B4 (de) * 2012-11-29 2016-05-19 Picofine GmbH Antriebsvorrichtung und -verfahren zur linearen oder rotatorischen Positionierung
JP5523614B2 (ja) * 2013-05-16 2014-06-18 オリンパス株式会社 内視鏡装置
JP5685703B1 (ja) * 2013-09-20 2015-03-18 新シコー科技株式会社 リニア駆動装置、リニア駆動装置を用いた電子機器及び身体装着品
US9709209B2 (en) * 2013-10-11 2017-07-18 Nisca Corporation Load support mechanism
JP6570335B2 (ja) * 2015-06-17 2019-09-04 キヤノン株式会社 振動型アクチュエータ、レンズ駆動装置および超音波モータ
CN111770214B (zh) * 2019-04-01 2022-04-01 北京小米移动软件有限公司 摄像头伸缩机构和移动终端
CN110518827A (zh) * 2019-09-30 2019-11-29 长春工业大学 大负载高精度压电粘滑直线定位平台及摩擦调控驱动方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5589723A (en) 1994-03-29 1996-12-31 Minolta Co., Ltd. Driving apparatus using transducer
JP3171022B2 (ja) 1994-08-30 2001-05-28 ミノルタ株式会社 電気機械変換素子を使用した駆動装置
US6040643A (en) * 1997-11-20 2000-03-21 Thermotrex Corporation Linear actuator
JP4032182B2 (ja) * 2004-05-21 2008-01-16 コニカミノルタホールディングス株式会社 圧電素子を用いたアクチュエータ
US7315108B2 (en) * 2005-03-30 2008-01-01 Konica Minolta Opto, Inc. Driving device
US20070176514A1 (en) * 2006-01-27 2007-08-02 Taiwan Advanced Materials Technologies Corp. Electromechanical actuator structure
JP2007274777A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Fujinon Corp 圧電素子及び駆動装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2006311788A (ja) 2006-11-09
CN1848655B (zh) 2011-07-13
US7564168B2 (en) 2009-07-21
CN1848655A (zh) 2006-10-18
US20060232168A1 (en) 2006-10-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4997774B2 (ja) 駆動装置
US7199506B2 (en) Piezoelectric actuator for driving lens
US7656073B2 (en) Driving device
KR100777636B1 (ko) 구동장치, 촬상장치 및 휴대전화
KR100777634B1 (ko) 구동장치
TWI317201B (en) Drive unit
EP1753041A2 (en) Actuator
JP2006304529A (ja) 駆動装置
JP2002119074A (ja) 電気機械変換素子を使用した駆動装置
TWI437353B (zh) 驅動裝置
WO2010016502A1 (ja) 駆動装置、およびこれを備えた撮像装置、電子機器
WO2007105396A1 (ja) 駆動装置
US7372189B2 (en) Driving device
JP2007049880A (ja) アクチュエータ
JP2007252103A (ja) 駆動装置
JP4809016B2 (ja) アクチュエータ
JP2011061895A (ja) 超音波モータ機構
JPH09285152A (ja) 超音波モータ
JPH039581A (ja) アクチュエーター
JP3640534B2 (ja) 駆動装置
JP2005354868A (ja) アクチュエータ
JP5426897B2 (ja) 駆動装置
JP2010057285A (ja) 駆動装置
JP2003079166A (ja) 移動機構
WO2010016494A1 (ja) 駆動装置、およびこれを備えた撮像装置、電子機器

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090128

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20090212

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20110720

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110816

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111013

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20111013

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120417

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120430

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525

Year of fee payment: 3

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees