JP4997042B2 - 測定架台及び干渉計 - Google Patents

Description

本発明は、光学系測定機本体により被検物を測定する際に用いられる測定架台、及びその測定架台を備える干渉計に関する。

光学素子の面形状を検査する干渉計には、干渉計本体のほか、被検物である光学素子と干渉計本体との位置決めを行うための測定架台が備えられている。従来の測定架台の１つとして、下記の特許文献１に記載されているように、上向きに光が射出されるように干渉計本体が配置され、この干渉計本体の上方に、光学素子が載置されるステージが配設され、被検物に対して下方から射出光を照射するもの（上向きタイプ）がある。

詳しく説明すると、従来の測定架台は、脚部によって支持された定盤の上面にステージが設置され、このステージ上にホルダを介して光学素子（被検物）が載置される。また、定盤の下面からガイドが垂設され、このガイドに沿って移動可能なスライダーに干渉計本体（光学系測定機本体）が固定されている。また、上記した定盤及びステージにはそれぞれ孔が形成されている。上記した構成からなる従来の測定架台によれば、スライダーをガイドに沿って移動させることで、干渉計本体と光学素子との光軸方向の位置決めが行われるとともに、第一テーブルと第二テーブルとをそれぞれ移動させることで、干渉計本体と光学素子との光軸垂直方向の位置決めが行われる。そして、干渉計本体と光学素子との位置決め完了後に、干渉計本体から光を射出し、この射出光が上記孔を通過して光学素子に照射されることで、光学素子の面形状が検査される。

また、従来の測定架台には、上記した上向きタイプの他に、下向きに光が射出されるように干渉計本体が配置され、この干渉計本体の下方に、光学素子が載置されるステージが配設され、被検物に対して上方から射出光を照射するもの（下向きタイプ）と、水平方向に光が射出されるように干渉計本体が配置され、この干渉計本体の側方に、光学素子を保持するステージが配設され、被検物に対して側方から射出光を照射するもの（水平タイプ）と、がある。

上記した各タイプの測定架台にはそれぞれ利点があり、従来は、用途に応じて各タイプの測定架台を使い分けている。具体的に説明すると、多量同型の被検物の測定を行う場合には、上向きタイプの測定架台が用いられる。これにより、被検物をステージ上に載置することで、被検物の厚さに関係なく、干渉計本体の基準レンズと被検物の被測定面との距離を一定に保つことができ、調整せずに連続的に測定することができる。また、被検物の被測定面をホルダに接触させずに測定する場合には、下向きタイプの測定架台が用いられる。これにより、被検物の裏面（被測定面の反対側の面）がホルダに接触し、被検物の被測定面がホルダに接触せず、被測定面にキズなどが付くことを防止することができる。また、水平に置くと自重により撓んでしまうような薄型大口径の被検物の測定を行う場合には、水平タイプの測定架台が用いられる。これにより、被検物を縦置きにして測定されるので、被検物の撓みを軽減させることができる。
特許第３３２８９６０号公報

しかしながら、上記した従来の測定架台では、用途に応じて適当なタイプの測定架台を用意しなければならないという問題がある。

本発明は、上記した従来の問題が考慮されたものであり、１台で、多量同型の被検物の測定を行う場合にも、被検物の被測定面をホルダに接触させたくない場合にも、対応することができる測定架台及び干渉計を提供することを目的としている。

本発明に係る測定架台は、光学系測定機本体からの射出光を被検物に照射させて該被検物について光学的検査を行うための測定架台であって、前記光学系測定機本体を挟んで、前記射出光の光軸方向に間隔をあけて配設された一対の固定部材と、前記一対の固定部材のうちの何れか一方に設けられ、前記被検物が配置される、前記光軸に垂直な方向に移動可能なステージと、が備えられ、少なくとも、前記ステージが設けられた一方の固定部材が前記光学系測定機本体の下方に位置し、前記被検物に対して上方から前記射出光を照射する第一姿勢と、前記一方の固定部材が前記光学系測定機本体の上方に位置し、前記被検物に対して下方から前記射出光を照射する第二姿勢と、にそれぞれ配置可能であり、前記第一姿勢において、前記ステージの前記光学系測定機本体側の一端部に前記被検物が配置可能であるとともに、前記第二姿勢において、前記一端部の反対側の前記ステージの他端部に前記被検物が配置可能であることを特徴としている。
このような特徴により、測定架台を第一姿勢に配置することで、光学系測定機本体の下方にステージが配設され、このステージの一端部に被検物を配置することで、被検物に対して上方から射出光が照射される。一方、測定架台を第二姿勢に配置することで、光学系測定機本体の上方にステージが配設され、このステージの他端部に被検物を配置することで、被検物に対して下方から射出光が照射される。

また、本発明に係る測定架台は、前記一対の固定部材が水平方向に並べられ、前記被検物に対して側方から前記射出光を照射する第三姿勢に配置可能であり、該第三姿勢において、前記ステージの何れか一方の端部に前記被検物が配置可能であることが好ましい。
これにより、測定架台を第三姿勢に配置することで、光学系測定機本体の側方にステージが配設され、このステージの端部に被検物を配置することで、被検物に対して側方から射出光が照射される。

また、本発明に係る測定架台は、前記被検物が、該被検物を保持するホルダを介して前記ステージに配置され、該ステージの両端にそれぞれ前記ホルダが取り付け可能であることが好ましい。
これにより、測定架台を第一姿勢に配置した場合、ステージの一端部にホルダを取り付け、このホルダにより被検物を保持する。また、測定架台を第二姿勢に配置した場合、ステージの他端部にホルダを取り付け、このホルダにより被検物を保持する。さらに、測定架台を第三姿勢に配置した場合、ステージの何れか一方の端部にホルダを取り付け、このホルダにより被検物を保持する。

また、本発明に係る測定架台は、前記一方の固定部材には、前記第一姿勢における脚部が取り付け可能であり、前記他方の固定部材には、前記第二姿勢における脚部が取り付け可能であることが好ましい。
これにより、測定架台を第一姿勢に配置した際には、一方の固定部材に取り付けられた脚部を介して測定架台が支持される。また、測定架台を第二姿勢に配置した際には、他方の固定部材に取り付けられた脚部を介して測定架台が支持される。

また、本発明に係る測定架台は、前記一方の固定部材及び前記他方の固定部材には、前記第三姿勢における脚部が取り付け可能であることが好ましい。
これにより、測定架台を第三姿勢に配置した際には、一方の固定部材に取り付けられた脚部及び他方の固定部材に取り付けられた脚部を介して測定架台が支持される。

また、本発明に係る測定架台は、前記脚部が、防振機能を有することが好ましい。
これにより、床面から測定架台に伝達される振動が軽減される。

本発明に係る干渉計は、上記した測定架台と、前記被検物に向けて光を射出する干渉計本体と、を備えることを特徴としている。

本発明に係る測定架台及び干渉計によれば、被検物に対して上方から射出光を照射する姿勢、及び、被検物に対して下方から射出光を照射する姿勢にそれぞれ配置することができ、１台で、多量同型の被検物の測定を行う場合にも、被検物の被測定面をホルダに接触させずに測定する場合にも、対応することができる。

以下、本発明に係る測定架台及び干渉計の実施の形態について、図面に基いて説明する。
図１から図３は測定架台２の側面図であり、図４から図６はステージ５の断面図であり、図７は脚部１０の断面図である。なお、図１は干渉計本体３を下向きにした第一姿勢の測定架台２を表しており、図４は上記第一姿勢のときのステージ５を表している。また、図２は干渉計本体３を上向きにした第二姿勢の測定架台２を表しており、図５は上記第二姿勢のときのステージ５を表している。また、図３は干渉計本体３を水平にした第三姿勢の測定架台２を表しており、図６は上記第三姿勢のときのステージ５を表している。

図１から図３に示すように、干渉計１は、レンズ等の被検物Ｘに光を照射してその被検物Ｘの面形状を測定する検査装置であり、その概略構成としては、被検物Ｘを検査するための光を被検物Ｘに向けて射出する干渉計本体３（本発明の光学系測定機本体に相当する。）と、干渉計本体３を保持するとともに被検物Ｘがセットされる測定架台２と、を備えている。なお、図１から３に示す符号Ｏは、干渉計本体３から射出された光の光軸を示している。

測定架台２は、後述するステージ５が設けられた一方の固定板４Ａ（本発明の固定部材に相当する。）が干渉計本体３の下方に位置し、被検物Ｘに対して上方から射出光を照射する第一姿勢（図１に示す姿勢）と、上記一方の固定板４Ａが干渉計本体３の上方に位置し、被検物Ｘに対して下方から射出光を照射する第二姿勢（図２に示す姿勢）と、一対の固定板４Ａ，４Ｂが水平方向に並べられ、被検物Ｘに対して側方から射出光を照射する第三姿勢（図３に示す姿勢）と、に配置可能な架台である。測定架台２の概略構成としては、間隔をあけて対向配置された一対の固定板４Ａ，４Ｂと、一対の固定板４Ａ，４Ｂを位置決めして固定するように一対の固定板４Ａ，４Ｂ間に架設された複数のガイド６（本実施の形態では２つ）と、ガイド６に沿って光軸Ｏ方向に移動可能な一対の移動台７Ａ，７Ｂと、一対の移動台７Ａ，７Ｂをガイド６に沿って移動させる第一移動機構８と、一方の固定板４Ａに設けられて被検物Ｘが配置されるステージ５と、ステージ５を光軸Ｏに垂直な方向に移動させるように一方の固定板４Ａに設けられた第二移動機構９（図４から図６に示す。）と、一方の固定板４Ａおよび／又は他方の固定板４Ｂに取り付けられた脚部１０と、が備えられている。干渉計本体３は、上記した一対の移動台７Ａ，７Ｂに対して干渉計本体３の一端側と他端側の各外周部が固定保持されている。なお、干渉計本体３は、一対の移動台７Ａ，７Ｂに対して干渉計本体３の一端側と他端側の各端部が固定されていてもよい。また、ガイド６は適宜の間隔を設けた３つ以上で一対の固定板４Ａ，４Ｂ間を架設してもよい。また、移動台７Ａ，７Ｂは一対に限らず、１つの移動台であってもよい。

一対の固定板４Ａ，４Ｂは、光軸Ｏに垂直に配置された板状部材であり、干渉計本体３を挟んで光軸Ｏ方向に間隔をあけて配設されている。
ガイド６は、一対の移動台７Ａ，７Ｂをガイドするための丸棒状の部材であり、光軸Ｏ方向に延設されている。ガイド６は、移動台７Ａ，７Ｂに形成された光軸Ｏ方向に延在する貫通孔７ａに摺動可能に挿通されている。
一対の移動台７Ａ，７Ｂは、上記した固定板４Ａ，４Ｂと平行に配置された板状部材であり、一対の固定板４Ａ，４Ｂ間に配置されている。これら一対の移動台７Ａ，７Ｂは、第一移動機構８によって同期してガイド６に沿って移動する。つまり、一対の移動台７Ａ，７Ｂは、その間隔が一定に保たれたまま移動する。

第一移動機構８は、光軸Ｏ方向に延在した台形ネジ１１を備えた構成からなる。この台形ネジ１１は、一対の移動台７Ａ，７Ｂにそれぞれ設けられた光軸Ｏ方向に延在する雌ネジ穴７ｂに螺合されている。台形ネジ１１の両端部は、一対の固定板４Ａ，４Ｂにそれぞれ設けられた軸受け１２Ａ，１２Ｂによりそれぞれ支持されている。これらの軸受け１２Ａ，１２Ｂは、ラジアル荷重とアキシアル荷重に対して強度をもつものであり、互いに対称に配置されている。これらの軸受け１２Ａ，１２Ｂの外側には、台形ネジ１１の両端部に取り付けられたツマミ１３Ａ，１３Ｂがそれぞれ配設されており、これらのツマミ１３Ａ，１３Ｂには、着脱可能なグリップ１４が装着可能になっている。
なお、図１では、グリップ１４は第一移動機構８の操作性の点で、上方側のツマミ１３Ｂに装着している。また、台形ネジ１１は一対の移動台７Ａ，７Ｂの各雌ネジ穴７ｂに螺合されることに限らず、一対の移動台７Ａ，７Ｂのうちの何れか一方にのみ設けた雌ネジ穴７ｂに螺合されるようにしてもよい。この場合には、台形ネジ１１に螺合した一方の雌ネジ穴７ｂにより、一対の移動台７Ａ，７Ｂが同時に昇降することになる。

図４から図６に示すように、ステージ５は、光軸Ｏ方向に延在する円筒形状の筒部２０と、その筒部２０の外周面から筒部２０の径方向外側に突出された一対の鍔部２１Ａ，２１Ｂと、から構成されている。筒部２０は、一方の固定板４Ａに形成された円形の開口４ａ内に挿通されている。この筒部２０の外径は固定板４Ａの開口４ａの内径よりも小さい。また、一対の鍔部２１Ａ，２１Ｂのうちの一方（干渉計本体３側の鍔部２１Ａ）は、図示せぬ可動ステージ等を介して固定板４Ａ（干渉計本体３側の面４ｂ）に取り付けられており、他方（干渉計本体３側の反対側の鍔部２１Ｂ）は、固定板４Ａ（干渉計本体３側の反対側の面４ｃ）に摺接されている。上記した構成からなるステージ５は、固定板４Ａの開口４ａの内側で、光軸Ｏに垂直な仮想平面に沿って移動可能になっている。

上記したステージ５には、ホルダ２２Ａ，２２Ｂを介して被検物Ｘが配置される。ホルダ２２Ａ，２２Ｂは、被検物Ｘを保持するためのものであり、ステージ５の両端にそれぞれ取り付け可能になっている。詳しく説明すると、ホルダ２２Ａ，２２Ｂは、ステージ５の端部に嵌合される円筒形状の部材であり、上記した第一姿勢及び第二姿勢の場合に用いられるホルダ２２Ａと、上記した第三姿勢の場合に用いられるホルダ２２Ｂと、がある。上記したホルダ２２Ａ，２２Ｂは、それぞれ、その基端部２２ａの外周面が縮径されており、この基端部２２ａがステージ５の端部の内側に嵌合されてステージ５に取り付けられる。第一、第二姿勢用のホルダ２２Ａは、ステージ５の両端部にそれぞれ取り付け可能であり、その先端面上に被検物Ｘを載置させて被検物Ｘを保持する。一方、第三姿勢用のホルダ２２Ｂは、ステージ５の干渉計本体３側（図６における右側）の端部に取り付けられるものであり、その先端部の内周面に、被検物を嵌め込むために拡径された嵌め込み部２２ｂが形成されているとともに、その先端部の外周面に雄ネジ２２ｃが形成されている。

また、第三姿勢用のホルダ２２Ｂの先端部には、嵌め込み部２２ｂ内に嵌め込まれた被検物Ｘを押さえるための押さえキャップ２３が被着されている。押さえキャップ２３は、ホルダ２２Ｂの先端面に対向配置される押さえ板部２３ａと、押さえ板部２３ａの外縁から垂直に突設された筒部２３ｂと、からなる。押さえ板部２３ａの中央部分には、干渉計本体３からの射出光を通すための円形の開口２３ｃが形成されている。この開口２３ｃは、被検物Ｘの外径よりも小径になっている。また、筒部２３ｂの内周面には、ホルダ２２Ｂの雄ネジ２２ｃに螺合される雌ネジ２３ｄが形成されている。
上記した第三姿勢用のホルダ２２Ｂでは、嵌め込み部２２ｂに被検物Ｘが嵌め込まれるとともに、その先端部に押さえキャップ２３が螺着されることで、被検物Ｘが縦置き状態で保持される。

第二移動機構９は、鍔部２１Ａと固定板４Ａとの間に介在された図示せぬ可動ステージ等を移動させることで、ステージ５を光軸Ｏに垂直な仮想平面に沿って移動させる機構であり、固定板４Ａに設けられており、例えばボールネジやシリンダ等を用いてステージ５を進退させる機構を用いることができる。

図１から図３、図７に示すように、脚部１０は、防振機能を有するものであり、一対の固定板４Ａ，４Ｂにそれぞれ着脱自在に取り付けられている。詳しく説明すると、脚部１０は、固定板４Ａ，４Ｂに取り付けられる脚部本体３０と、脚部本体３０の底面に取り付けられた防振体３１と、から構成されている。

脚部本体３０の上面にはボルト３０ａが突設されており、このボルト３０ａが固定板４Ａ，４Ｂに形成されたネジ穴４ｄ、４ｅ、４ｆに螺合されることで、脚部本体３０は固定板４Ａ，４Ｂに取り付けられる。具体的に説明すると、一方の固定板４Ａの干渉計本体３側の反対側の面４ｃの両端部にネジ穴４ｄがそれぞれ形成されており、測定架台２を上記した第一姿勢に配置する場合に、このネジ穴４ｄに脚部１０（脚部本体３０）のボルト３０ａが螺着されて脚部１０が取り付けられる。また、他方の固定板４Ｂの干渉計本体３側の反対側の面４ｃの両端部にネジ穴４ｅがそれぞれ形成されており、測定架台２を上記した第二姿勢に配置する場合に、このネジ穴４ｅに脚部１０（脚部本体３０）のボルト３０ａが螺着されて脚部１０が取り付けられる。さらに、一方の固定板４Ａの側端面及び他方の固定板４Ｂの側端面にネジ穴４ｆがそれぞれ形成されており、測定架台２を上記した第三姿勢に配置する場合に、このネジ穴４ｆに脚部１０（脚部本体３０）のボルト３０ａが螺着されて脚部１０が取り付けられる。

また、防振体３１は、防振機能を発揮する部材であり、例えばゲル状の部材からなる。この防振体３１には上方に開放された凹部３１ａが形成されており、この凹部３１ａに脚部本体３０の下部が嵌合されることで、防振体３１は脚部本体３０に装着されている。

次に、上記した構成からなる測定架台２の作用について説明する。

まず、被検物Ｘの被測定面Ｘ１（曲面）にキズが付かないように被検物Ｘの面形状を測定する場合について説明する。
始めに、図１に示すように、測定架台２を第一姿勢に配置する。このとき、一方（図１における下側）の固定板４Ａの下面（干渉計本体３側の反対側の面４ｃ）に形成されたネジ穴４ｄに脚部１０のボルト３０ａを螺着させ、一方の固定板４Ａの下面に脚部１０を垂設させておく。また、他方側（図１における上側）のツマミ１３Ｂにグリップ１４を取り付けておく。

次に、図４に示すように、一方の固定板４Ａに設けられたステージ５に被検物Ｘを配置する。具体的に説明すると、ステージ５の上端部（干渉計本体３側の端部）に第一、第二姿勢用のホルダ２２Ａを嵌合させて配置し、このホルダ２２Ａ上に被検物Ｘを載せて保持させる。このとき、被検物Ｘの被測定面Ｘ１が干渉計本体３に対向するように、被測定面Ｘ１を上にして被検物Ｘを配置する。これにより、ホルダ２２Ａの上端面には被検物Ｘの裏面Ｘ２が接触し、被検物Ｘの被測定面Ｘ１がホルダ２２Ａに接触されない。

次に、第一移動機構８によって一対の移動台７Ａ，７Ｂをガイド６に沿って移動させる。具体的に説明すると、ツマミ１３Ｂに取り付けられたグリップ１４を掴んでツマミ１３Ｂを回転させ、台形ネジ１１を軸回転させる。これにより、台形ネジ１１に螺合された雌ネジ穴７ｂを有する移動台７Ａ，７Ｂがガイド６に沿って昇降し、被検物Ｘと干渉計本体３との鉛直方向の位置決めが行われる。

また、第二移動機構９によってステージ５を光軸Ｏに垂直な仮想平面に沿って移動させる。これにより、ステージ５上の被検物Ｘが水平方向に移動し、被検物Ｘと干渉計本体３との水平方向の位置決めが行われる。

その後、干渉計本体３から下向きに光を射出する。干渉計本体３から射出された光は、ステージ５上の被検物Ｘの被測定面Ｘ１に照射される。これにより、被検物Ｘの被測定面Ｘ１に上方から光が照射され、被測定面Ｘ１の面形状が検査される。

次に、多量同型の被検物Ｘの面形状を連続的に測定する場合について説明する。
始めに、図２に示すように、測定架台２を第二姿勢に配置する。このとき、他方（図２における下側）の固定板４Ｂの下面（干渉計本体３側の反対側の面４ｃ）に形成されたネジ穴４ｅに脚部１０のボルト３０ａを螺着させ、他方の固定板４Ｂの下面に脚部１０を垂設させておく。また、一方側（図２における上側）のツマミ１３Ａにグリップ１４を取り付けておく。

次に、図５に示すように、一方の固定板４Ａに設けられたステージ５に被検物Ｘを配置する。具体的に説明すると、ステージ５の上端部（干渉計本体３側の反対側の端部）に第一、第二姿勢用のホルダ２２Ａを嵌合させて配置し、このホルダ２２Ａ上に被検物Ｘを載せて保持させる。このとき、被検物Ｘの被測定面Ｘ１が干渉計本体３に対向するように、被測定面Ｘ１を下にして被検物Ｘを配置する。これにより、被検物の厚さに関係なく、干渉計本体３の基準レンズと被検物Ｘの被測定面Ｘ１との距離が一定に保たれる。

次に、上述した第一姿勢の場合と同様に、第一移動機構８によって一対の移動台７Ａ，７Ｂをガイド６に沿って移動させるとともに、第二移動機構９によってステージ５を光軸Ｏに垂直な仮想平面に沿って移動させる。これにより、被検物Ｘと干渉計本体３との鉛直方向の位置決めが行われるとともに、被検物Ｘと干渉計本体３との水平方向の位置決めが行われる。

その後、干渉計本体３から上向きに光を射出する。干渉計本体３から射出された光は、ステージ５の筒部２０内を通過して被検物Ｘに照射される。これにより、被検物Ｘの被測定面Ｘ１に下方から光が照射され、被測定面Ｘ１の面形状が検査される。

次に、水平に置くと自重により撓んでしまうような薄型大口径の被検物Ｘの測定を行う場合について説明する。
始めに、図３に示すように、測定架台２を第三姿勢に配置する。このとき、一対の固定板４Ａ，４Ｂの側端面にそれぞれ形成されたネジ穴４ｆに脚部１０のボルト３０ａを螺着させ、一対の固定板４Ａ，４Ｂの側端面に脚部１０を垂設させておく。また、左右何れか一方のツマミ１３Ａ，１３Ｂにグリップ１４を取り付けておく。

次に、図６に示すように、一方の固定板４Ａに設けられたステージ５に被検物Ｘを配置する。具体的に説明すると、ステージ５の干渉計本体３側の端部に第三姿勢用のホルダ２２Ｂを嵌合させる。そして、このホルダ２２Ｂの嵌め込み部２２ｂに被検物Ｘを嵌め込んだ後、ホルダ２２Ｂの先端部に押さえキャップ２３を被せる。これにより、被検物Ｘが縦置きにされ、薄型で大口径の被検物Ｘの撓みが軽減される。また、縦置きにされた被検物Ｘが押さえキャップ２３の押さえ板部２３ａによって押さえられ、被検物Ｘが倒れるのが防止される。

次に、上述した第一姿勢及び第二姿勢の場合と同様に、第一移動機構８によって一対の移動台７Ａ，７Ｂをガイド６に沿って移動させる。これにより、干渉計本体３が固定された移動台７Ａ，７Ｂがガイド６に沿って水平移動し、被検物Ｘと干渉計本体３との水平方向の位置決めが行われる。
また、上述した第一姿勢及び第二姿勢の場合と同様に、第二移動機構９によってステージ５を光軸Ｏに垂直な仮想平面に沿って移動させる。これにより、ステージ５に配置された被検物Ｘが鉛直方向に移動し、被検物Ｘと干渉計本体３との鉛直方向の位置決めが行われる。

その後、干渉計本体３から水平方向に光を射出する。干渉計本体３から射出された光は、ステージ５に配置された被検物Ｘの被測定面Ｘ１に照射される。これにより、被検物Ｘの被測定面Ｘ１に側方から光が照射され、被測定面Ｘ１の面形状が検査される。

上記した構成からなる測定架台２及び干渉計１によれば、被検物Ｘに対して上方から光を照射する第一姿勢、被検物Ｘに対して下方から光を照射する第二姿勢、及び、被検物Ｘに対して側方から光を照射する第三姿勢、にそれぞれ配置することができ、１台で、多量同型の被検物Ｘの測定を行う場合にも、被検物Ｘの被測定面Ｘ１をホルダに接触させずに測定する場合にも、薄型で大口径の被検物Ｘを測定する場合にも、対応することができる。

また、被検物Ｘは、ステージ５の両端に取り付け可能なホルダ２２Ａ，２２Ｂを介してステージ５に配置されており、第一から第三姿勢の何れの姿勢であっても、ステージ５に対してホルダ２２Ａ，２２Ｂを付け替えるだけで、ステージ５に被検物Ｘを配置させることができるので、測定架台２の姿勢を変更する作業を容易に行うことができる。

また、一方の固定板４Ａには、第一姿勢における脚部１０が取り付け可能であり、他方の固定板４Ｂには、第二姿勢における脚部１０が取り付け可能であり、さらに、一方の固定板４Ａ及び他方の固定板４Ｂには、第三姿勢における脚部１０が取り付け可能であるので、第一から第三姿勢の何れの姿勢であっても、共通に使用可能で且つ装着自在とした脚部１０を介して測定架台２を支持することができ、何れの姿勢であっても安定して配置させることができる。しかも、上記脚部１０は、防振機能（防振体３１）を有しているので、床面から測定架台２に伝達される振動が軽減され、測定精度を向上させることができる。

以上、本発明に係る測定架台及び干渉計の実施の形態について説明したが、本発明は上記した実施の形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、上記した実施の形態では、ステージ５が、筒部２０に２つの鍔部２１Ａ，２１Ｂがそれぞれ設けられ、これらの鍔部２１Ａ，２１Ｂの間に一方の固定板４Ａが配置された構成になっているが、本発明は、図８に示すように、筒部２０に鍔部２１が一つだけ設けられ、一方の固定板４Ａの何れか一方側（図８では干渉計本体３側）に鍔部２１が配置されたステージ１０５を用いることもできる。この場合、鍔部２１が固定板４Ａの下方に位置する姿勢に測定架台２が配置された場合であっても、ステージ１０５が落下しないような構成にする。例えば、鍔部２１と固定板４Ａとの間に、光軸Ｏに垂直な方向への移動を許容するとともに光軸Ｏ方向に係止されるように係合断面が台形状であるガイドレール及びガイド溝を介在させる。或いは、ステージ１０５の光軸Ｏに垂直な方向への移動を許容しつつステージ１０５をバネ等で固定板４Ａに押し付ける落下防止機構を設ける。

また、本発明は、図９に示すように、分離された一対の可動板２２１Ａ，２２１Ｂからなるステージ２０５を備えていてもよい。詳しく説明すると、一方の固定板４Ａの干渉計本体３側の面４ｂには、光軸Ｏに垂直な方向に移動可能なリング状の第一可動板２２１Ａが配設されているとともに、一方の固定板４Ａの干渉計本体３側の反対側の面４ｃには、光軸Ｏに垂直な方向に移動可能なリング状の第二可動板２２１Ｂが配設されている。これらの一対の可動板２２１Ａ，２２１Ｂは、図８に示すステージ１０５と同様に、固定板４Ａの下方に位置する姿勢に測定架台２が配置された場合であっても、落下しないような構成にする。また、第一可動板２２１Ａを移動させる第一移動機構２０９Ａと、第二可動板２２１Ｂを移動させる第二移動機構２０９Ｂと、がそれぞれ固定板４Ａの各面４ｂ，４ｃに設けられる。このステージ２０５では、測定架台２が第一姿勢及び第三姿勢に配置されている場合には、ホルダ２２Ａ，２２Ｂを介して第一可動板２２１Ａに被検物Ｘが配置され、測定架台２が第二姿勢に配置されている場合には、ホルダ２２Ａを介して第二可動板２２１Ｂに被検物Ｘが配置される。

また、上記した実施の形態では、脚部１０が固定板４Ａ，４Ｂに対して着脱自在になっており、測定架台２の姿勢に応じて脚部１０を付け替える構成になっているが、本発明は、固定板４Ａ，４Ｂに、第一姿勢用の脚部、第二姿勢用の脚部、及び第三姿勢用の脚部が、全て予め取り付けられた構成であってもよい。
また、上記した実施の形態では、脚部１０に防振体３１が備えられ、防振機能を有しているが、本発明は、防振機能の無い脚部を用いることも可能である。

また、上記した実施の形態では、ホルダ２２Ａ，２２Ｂを介してステージ５に被検物Ｘが配置されているが、本発明は、被検物Ｘがステージ５に直接配置される構成にすることも可能である。

また、上記した実施の形態では、測定架台２が第一、第二、第三姿勢にそれぞれ配置可能であるが、本発明の測定架台は、少なくとも第一、第二姿勢に配置可能であればよく、第三姿勢に配置させることができないものであってもよい。
また、上記した実施形態では、光学系測定機本体として干渉計本体３が用いられているが、本発明は、干渉計本体以外の光学系測定機本体を用いることも可能であり、被検物に光を照射して光学的検査を行う光学系測定機本体であれば適宜使用することが可能である。
また、上記した実施形態では、ステージ５は鍔部２１Ａを有し、一方の固定板４Ａに対して、該固定板４Ａと鍔部２１Ａとの間に介在させた図示せぬ可動ステージ等を第二移動機構９で移動することにより、ステージ５を移動させるようにしたが、本発明は、ステージ５の鍔部２１Ａを直接に一方の固定板４Ａの面４ｂ上で第二移動機構９により移動させることも可能である。

その他、本発明の主旨を逸脱しない範囲で、上記した実施の形態における構成要素を周知の構成要素に置き換えることは適宜可能であり、また、上記した変形例を適宜組み合わせてもよい。

本発明の実施の形態を説明するための第一姿勢の測定架台及び干渉計を表した側面図である。 本発明の実施の形態を説明するための第二姿勢の測定架台及び干渉計を表した側面図である。 本発明の実施の形態を説明するための第三姿勢の測定架台及び干渉計を表した側面図である。 本発明の実施の形態を説明するための第一姿勢のステージを表した断面図である。 本発明の実施の形態を説明するための第二姿勢のステージを表した断面図である。 本発明の実施の形態を説明するための第三姿勢のステージを表した断面図である。 本発明の他の実施の形態を説明するための脚部を表した断面図である。 本発明の他の実施の形態を説明するための第二姿勢のステージを表した断面図である。 本発明の他の実施の形態を説明するための第一姿勢のステージを表した断面図である。

符号の説明

１ 干渉計
２ 測定架台
３ 干渉計本体（光学系測定機本体）
４Ａ、４Ｂ 固定板（固定部材）
５、１０５、２０５ ステージ
１０ 脚部
２２Ａ、２２Ｂ ホルダ
Ｏ 光軸
Ｘ 被検物

Claims (7)

1. 光学系測定機本体からの射出光を被検物に照射させて該被検物について光学的検査を行うための測定架台であって、
   前記光学系測定機本体を挟んで、前記射出光の光軸方向に間隔をあけて配設された一対の固定部材と、
   前記一対の固定部材のうちの何れか一方に設けられ、前記被検物が配置される、前記光軸に垂直な方向に移動可能なステージと、が備えられ、
   少なくとも、前記ステージが設けられた一方の固定部材が前記光学系測定機本体の下方に位置し、前記被検物に対して上方から前記射出光を照射する第一姿勢と、前記一方の固定部材が前記光学系測定機本体の上方に位置し、前記被検物に対して下方から前記射出光を照射する第二姿勢と、にそれぞれ配置可能であり、
   前記第一姿勢において、前記ステージの前記光学系測定機本体側の一端部に前記被検物が配置可能であるとともに、前記第二姿勢において、前記一端部の反対側の前記ステージの他端部に前記被検物が配置可能である、ことを特徴とする測定架台。
2. 前記一対の固定部材が水平方向に並べられ、前記被検物に対して側方から前記射出光を照射する第三姿勢に配置可能であり、
   該第三姿勢において、前記ステージの何れか一方の端部に前記被検物が配置可能である、ことを特徴とする請求項１に記載の測定架台。
3. 前記被検物は、該被検物を保持するホルダを介して前記ステージに配置され、
   該ステージの両端にそれぞれ前記ホルダが取り付け可能である、ことを特徴とする請求項１または２の何れか一項に記載の測定架台。
4. 前記一方の固定部材には、前記第一姿勢における脚部が取り付け可能であり、
   前記他方の固定部材には、前記第二姿勢における脚部が取り付け可能である、ことを特徴とする請求項１から３のうちの何れか一項に記載の測定架台。
5. 前記一方の固定部材及び前記他方の固定部材には、前記第三姿勢における脚部が取り付け可能である、ことを特徴とする請求項２から４のうちの何れか一項に記載の測定架台。
6. 前記脚部は、防振機能を有する、ことを特徴とする請求項４または５の何れか一項に記載の測定架台。
7. 請求項１から６のうちの何れか一項に記載の測定架台と、前記被検物に向けて光を射出する干渉計本体と、を備える、ことを特徴とする干渉計。

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