JP4997042B2 - 測定架台及び干渉計 - Google Patents
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Description
このような特徴により、測定架台を第一姿勢に配置することで、光学系測定機本体の下方にステージが配設され、このステージの一端部に被検物を配置することで、被検物に対して上方から射出光が照射される。一方、測定架台を第二姿勢に配置することで、光学系測定機本体の上方にステージが配設され、このステージの他端部に被検物を配置することで、被検物に対して下方から射出光が照射される。
これにより、測定架台を第三姿勢に配置することで、光学系測定機本体の側方にステージが配設され、このステージの端部に被検物を配置することで、被検物に対して側方から射出光が照射される。
これにより、測定架台を第一姿勢に配置した場合、ステージの一端部にホルダを取り付け、このホルダにより被検物を保持する。また、測定架台を第二姿勢に配置した場合、ステージの他端部にホルダを取り付け、このホルダにより被検物を保持する。さらに、測定架台を第三姿勢に配置した場合、ステージの何れか一方の端部にホルダを取り付け、このホルダにより被検物を保持する。
これにより、測定架台を第一姿勢に配置した際には、一方の固定部材に取り付けられた脚部を介して測定架台が支持される。また、測定架台を第二姿勢に配置した際には、他方の固定部材に取り付けられた脚部を介して測定架台が支持される。
これにより、測定架台を第三姿勢に配置した際には、一方の固定部材に取り付けられた脚部及び他方の固定部材に取り付けられた脚部を介して測定架台が支持される。
これにより、床面から測定架台に伝達される振動が軽減される。
図1から図3は測定架台2の側面図であり、図4から図6はステージ5の断面図であり、図7は脚部10の断面図である。なお、図1は干渉計本体3を下向きにした第一姿勢の測定架台2を表しており、図4は上記第一姿勢のときのステージ5を表している。また、図2は干渉計本体3を上向きにした第二姿勢の測定架台2を表しており、図5は上記第二姿勢のときのステージ5を表している。また、図3は干渉計本体3を水平にした第三姿勢の測定架台2を表しており、図6は上記第三姿勢のときのステージ5を表している。
ガイド6は、一対の移動台7A,7Bをガイドするための丸棒状の部材であり、光軸O方向に延設されている。ガイド6は、移動台7A,7Bに形成された光軸O方向に延在する貫通孔7aに摺動可能に挿通されている。
一対の移動台7A,7Bは、上記した固定板4A,4Bと平行に配置された板状部材であり、一対の固定板4A,4B間に配置されている。これら一対の移動台7A,7Bは、第一移動機構8によって同期してガイド6に沿って移動する。つまり、一対の移動台7A,7Bは、その間隔が一定に保たれたまま移動する。
なお、図1では、グリップ14は第一移動機構8の操作性の点で、上方側のツマミ13Bに装着している。また、台形ネジ11は一対の移動台7A,7Bの各雌ネジ穴7bに螺合されることに限らず、一対の移動台7A,7Bのうちの何れか一方にのみ設けた雌ネジ穴7bに螺合されるようにしてもよい。この場合には、台形ネジ11に螺合した一方の雌ネジ穴7bにより、一対の移動台7A,7Bが同時に昇降することになる。
上記した第三姿勢用のホルダ22Bでは、嵌め込み部22bに被検物Xが嵌め込まれるとともに、その先端部に押さえキャップ23が螺着されることで、被検物Xが縦置き状態で保持される。
始めに、図1に示すように、測定架台2を第一姿勢に配置する。このとき、一方(図1における下側)の固定板4Aの下面(干渉計本体3側の反対側の面4c)に形成されたネジ穴4dに脚部10のボルト30aを螺着させ、一方の固定板4Aの下面に脚部10を垂設させておく。また、他方側(図1における上側)のツマミ13Bにグリップ14を取り付けておく。
始めに、図2に示すように、測定架台2を第二姿勢に配置する。このとき、他方(図2における下側)の固定板4Bの下面(干渉計本体3側の反対側の面4c)に形成されたネジ穴4eに脚部10のボルト30aを螺着させ、他方の固定板4Bの下面に脚部10を垂設させておく。また、一方側(図2における上側)のツマミ13Aにグリップ14を取り付けておく。
始めに、図3に示すように、測定架台2を第三姿勢に配置する。このとき、一対の固定板4A,4Bの側端面にそれぞれ形成されたネジ穴4fに脚部10のボルト30aを螺着させ、一対の固定板4A,4Bの側端面に脚部10を垂設させておく。また、左右何れか一方のツマミ13A,13Bにグリップ14を取り付けておく。
また、上述した第一姿勢及び第二姿勢の場合と同様に、第二移動機構9によってステージ5を光軸Oに垂直な仮想平面に沿って移動させる。これにより、ステージ5に配置された被検物Xが鉛直方向に移動し、被検物Xと干渉計本体3との鉛直方向の位置決めが行われる。
例えば、上記した実施の形態では、ステージ5が、筒部20に2つの鍔部21A,21Bがそれぞれ設けられ、これらの鍔部21A,21Bの間に一方の固定板4Aが配置された構成になっているが、本発明は、図8に示すように、筒部20に鍔部21が一つだけ設けられ、一方の固定板4Aの何れか一方側(図8では干渉計本体3側)に鍔部21が配置されたステージ105を用いることもできる。この場合、鍔部21が固定板4Aの下方に位置する姿勢に測定架台2が配置された場合であっても、ステージ105が落下しないような構成にする。例えば、鍔部21と固定板4Aとの間に、光軸Oに垂直な方向への移動を許容するとともに光軸O方向に係止されるように係合断面が台形状であるガイドレール及びガイド溝を介在させる。或いは、ステージ105の光軸Oに垂直な方向への移動を許容しつつステージ105をバネ等で固定板4Aに押し付ける落下防止機構を設ける。
また、上記した実施の形態では、脚部10に防振体31が備えられ、防振機能を有しているが、本発明は、防振機能の無い脚部を用いることも可能である。
また、上記した実施形態では、光学系測定機本体として干渉計本体3が用いられているが、本発明は、干渉計本体以外の光学系測定機本体を用いることも可能であり、被検物に光を照射して光学的検査を行う光学系測定機本体であれば適宜使用することが可能である。
また、上記した実施形態では、ステージ5は鍔部21Aを有し、一方の固定板4Aに対して、該固定板4Aと鍔部21Aとの間に介在させた図示せぬ可動ステージ等を第二移動機構9で移動することにより、ステージ5を移動させるようにしたが、本発明は、ステージ5の鍔部21Aを直接に一方の固定板4Aの面4b上で第二移動機構9により移動させることも可能である。
2 測定架台
3 干渉計本体(光学系測定機本体)
4A、4B 固定板(固定部材)
5、105、205 ステージ
10 脚部
22A、22B ホルダ
O 光軸
X 被検物
Claims (7)
- 光学系測定機本体からの射出光を被検物に照射させて該被検物について光学的検査を行うための測定架台であって、
前記光学系測定機本体を挟んで、前記射出光の光軸方向に間隔をあけて配設された一対の固定部材と、
前記一対の固定部材のうちの何れか一方に設けられ、前記被検物が配置される、前記光軸に垂直な方向に移動可能なステージと、が備えられ、
少なくとも、前記ステージが設けられた一方の固定部材が前記光学系測定機本体の下方に位置し、前記被検物に対して上方から前記射出光を照射する第一姿勢と、前記一方の固定部材が前記光学系測定機本体の上方に位置し、前記被検物に対して下方から前記射出光を照射する第二姿勢と、にそれぞれ配置可能であり、
前記第一姿勢において、前記ステージの前記光学系測定機本体側の一端部に前記被検物が配置可能であるとともに、前記第二姿勢において、前記一端部の反対側の前記ステージの他端部に前記被検物が配置可能である、ことを特徴とする測定架台。 - 前記一対の固定部材が水平方向に並べられ、前記被検物に対して側方から前記射出光を照射する第三姿勢に配置可能であり、
該第三姿勢において、前記ステージの何れか一方の端部に前記被検物が配置可能である、ことを特徴とする請求項1に記載の測定架台。 - 前記被検物は、該被検物を保持するホルダを介して前記ステージに配置され、
該ステージの両端にそれぞれ前記ホルダが取り付け可能である、ことを特徴とする請求項1または2の何れか一項に記載の測定架台。 - 前記一方の固定部材には、前記第一姿勢における脚部が取り付け可能であり、
前記他方の固定部材には、前記第二姿勢における脚部が取り付け可能である、ことを特徴とする請求項1から3のうちの何れか一項に記載の測定架台。 - 前記一方の固定部材及び前記他方の固定部材には、前記第三姿勢における脚部が取り付け可能である、ことを特徴とする請求項2から4のうちの何れか一項に記載の測定架台。
- 前記脚部は、防振機能を有する、ことを特徴とする請求項4または5の何れか一項に記載の測定架台。
- 請求項1から6のうちの何れか一項に記載の測定架台と、前記被検物に向けて光を射出する干渉計本体と、を備える、ことを特徴とする干渉計。
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