JP4995436B2 - 電子放出素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
以下,添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。
図2は本発明の好適な第2実施形態による電子放出素子の断面図である。本発明の第2実施形態による電子放出素子は,前述した第1実施形態による電子放出素子と電子放出ユニット100の構造は同一であり,アノード電極を除いては同一の発光部300の構造を有するので,同一構成要素には同一符号を付する。
つぎに,図3A〜図3Dに基づき,本発明の一実施形態による電子放出素子の製造方法を説明する。
また,図2に示す本発明のほかの実施形態による電子放出素子の製造方法は,第2基板4上に,透明導電膜,一例としてITO膜をコートしてアノード電極20を形成し,アノード電極20上の非発光領域に遮光層16を形成することができる。したがって,アノード電極20を除いては前述した方法と同一方法で発光部300を形成することができる。
4 第2基板
6 カソード電極
8 絶縁層
8a 開口部
10 ゲート電極
10a 開口部
12 電子放出部
14 蛍光層
16 遮光層
18 アノード電極または金属薄膜
20 アノード電極
26 スペーサ
34 フィルミング層(表面平坦化層)
100 電子放出ユニット
200 発電部
300 発光部
Claims (19)
- 互いに対向して配置され真空容器を構成する第1基板に設けられる電子放電ユニットおよび第2基板に設けられる発光部とを含む電子放出素子において;
前記発光部は,
前記第2基板に形成される1つまたは2つ以上の蛍光層と,
前記蛍光層が形成された第2基板の全面を覆うように形成される1つまたは2つ以上のアノード電極と,
を含み,
前記アノード電極は,前記第2基板上に設定される非発光領域に対応して,前記第2基板にギャップを置かずに形成され,前記アノード電極の形状は蛍光層の形状によって形成され,
前記アノード電極は,前記蛍光層の表面から空間を置いて位置し,当該アノード電極と当該蛍光層との間の間隔は,0.1μm(100nm)〜10μmである,
ことを特徴とする,電子放出素子。 - 前記電子放出素子は,前記蛍光層間の非発光領域に位置する1つまたは2つ以上の遮光層をさらに含み,前記アノード電極は前記遮光層にギャップを置かずに形成されることを特徴とする,請求項1に記載の電子放出素子。
- 前記蛍光層は,所定の間隔を置いて位置する多数の赤色または緑色または青色の蛍光層を含む,請求項1に記載の電子放出素子。
- 前記アノード電極は金属薄膜で形成されることを特徴とする,請求項1〜3に記載の電子放出素子。
- 前記金属薄膜はアルミニウムで形成されることを特徴とする,請求項4に記載の電子放出素子。
- 互いに対向して配置され真空容器を構成する第1基板に設けられる電子放出ユニットおよび第2基板に設けられる発光部とを含む電子放出素子において;
前記発光部は,
前記第2基板に形成される1つまたは2つ以上のアノード電極と,
前記アノード電極に形成される1つまたは2つ以上の蛍光層と
前記アノード電極および前記蛍光層を覆うように形成される1つまたは2つ以上の金属薄膜と,
を含み,
前記金属薄膜は,前記アノード電極上に設定される非発光領域に対応して,前記アノード電極にギャップを置かずに形成され,前記金属薄膜の形状は前記蛍光層の形状によって形成され,
前記金属薄膜は,前記蛍光層の表面から空間を置いて位置し,当該金属薄膜と当該蛍光層との間の間隔は,0.1μm(100nm)〜10μmである,
ことを特徴とする,電子放出素子。 - 前記電子放出素子は,前記アノード電極上に,前記蛍光層間の非発光領域に位置する1つまたは2つ以上の遮光層をさらに含み,前記金属薄膜は前記遮光層にギャップを置かずに形成されることを特徴とする,請求項6に記載の電子放出素子。
- 前記蛍光層は,所定の間隔を置いて位置する多数の赤色または緑色または青色の蛍光層を含む,請求項6に記載の電子放出素子。
- 前記アノード電極は金属薄膜で形成されることを特徴とする,請求項6〜8に記載の電子放出素子。
- 前記金属薄膜はアルミニウムで形成されることを特徴とする,請求項9に記載の電子放出素子。
- 第2基板上に設定された発光領域に対応して,前記基板上に1つまたは2つ以上の蛍光層を形成する段階と,
前記第2基板上に設定された所定の非発光領域を除き,前記蛍光層の表面に中間膜形成用組成物をコートして表面平坦化層を形成する段階と,
前記表面平坦化層を含む第2基板の一面全体に,金属薄膜からなる1つ以上のアノード電極を形成する段階と,
前記第2基板を焼成して表面平坦化層を除去し、前記蛍光層と前記アノード電極との間に空間を生じさせる段階と,
を含むことを特徴とする,電子放出素子の製造方法。 - 前記表面平坦化層を形成する段階において,中間膜形成用組成物は,バインダ樹脂および溶媒を含むことを特徴とする,請求項11に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記バインダ樹脂は,アクリル系樹脂,エポキシ系樹脂,エチルセルロース,ニトロセルロース,ウレタン樹脂,およびエステル系樹脂からなる群から選択される1種または2種以上であることを特徴とする,請求項12に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記溶媒は,ブチルセロソルブ(BC;Butyl
Cellosolve),ブチルカルビトールアセテート(BCA;Butyl
Carbitol Acetate),テルピネオール(TP;terpineol),およびアルコールからなる群から選択される1種または2種以上であることを特徴とする,請求項12〜13に記載の電子放出素子の製造方法。 - 前記表面平坦化層を形成する段階で,中間膜形成用組成物をスクリーン印刷で3〜4μmの厚さにコートして焼成した後,蛍光層とアノード電極間の間隔を100nm〜10μmに調節することを特徴とする,請求項11または12に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記焼成は400〜480℃で行われることを特徴とする,請求項15に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記蛍光層を形成する段階と前記表面平坦化層を形成する段階との間に,前記第2基板上に設定された非発光領域に対応して遮光層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする,請求項11に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記アノード電極を形成する段階は,金属物質を蒸着またはスパッタリングすることからなることを特徴とする,請求項11に記載の電子放出素子の製造方法。
- 前記金属物質がアルミニウムであることを特徴とする,請求項18に記載の電子放出素子の製造方法。
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