JP2005005082A - 自発光型平面表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】カーボンナノチューブ等を電子源とした電子放出・制御構造を有する自発光型平面表示装置を比較的安価な製造技術を用いて実現する。
【解決手段】背面基板101上にスクリーン印刷でカソード電極202、絶縁層401、ゲート電極201を形成する。絶縁層401に絶縁層開口を有し、ゲート電極201に絶縁層開口と同じ位置に制御開口が設けられる。この制御開口の内縁は絶縁層401の絶縁層開口の内縁よりも後退させ、ゲート電極201の形成工程で、当該ゲート電極用の銀ペーストの絶縁層開口への垂れを防止する。ゲート電極201の制御開口にインクジェット法等でカーボンナノチューブを含んだインク203を塗布する。
【選択図】 図8
【解決手段】背面基板101上にスクリーン印刷でカソード電極202、絶縁層401、ゲート電極201を形成する。絶縁層401に絶縁層開口を有し、ゲート電極201に絶縁層開口と同じ位置に制御開口が設けられる。この制御開口の内縁は絶縁層401の絶縁層開口の内縁よりも後退させ、ゲート電極201の形成工程で、当該ゲート電極用の銀ペーストの絶縁層開口への垂れを防止する。ゲート電極201の制御開口にインクジェット法等でカーボンナノチューブを含んだインク203を塗布する。
【選択図】 図8
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空中への電子放出を利用した表示装置に係り、特に、電子源を有するカソード電極とこの電子源からの電子の放出量を制御するゲート電極を備えた背面パネルとから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備した自発光型平面表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
高輝度、高精細に優れたディスプレイデバイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平面型表示装置の要求が高まっている。
【0003】
その典型例として液晶表示装置、プラズマ表示装置などが実用化されている。また、特に、高輝度化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を利用した電子放出型表示装置、または電界放出型表示装置や、低消費電力を特徴とする有機ELディスプレイなど、種々の型式のパネル型表示装置の実用化も近い。なお、補助的な照明光源を必要としないプラズマ表示装置、電子放出型表示装置あるいは有機EL表示装置を自発光型平面表示装置と称する。
【0004】
このような平面型の表示装置のうち、上記電界放出型の表示装置には、C.A.Spindtらにより発案されたコーン状の電子放出構造をもつもの、メタル−インシュレータ−メタル(MIM)型の電子放出構造をもつもの、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造(表面伝導型電子源とも呼ばれる)をもつもの、さらにはダイアモンド膜やグラファイト膜、カーボンナノチューブに代表されるナノチューブなどが持つ電子放出現象を利用するもの、等が知られている。
【0005】
自発光平面型表示装置の一例である電界放出型の表示装置は、内面に電界放出型の電子源と制御電極であるゲート電極を形成した背面パネルと、この背面パネルと対向する内面に複数色の蛍光体層とアノード電極(陽極)とを備えた前面パネルの両者の内周縁に封止枠を介挿して封止し、当該背面パネルと前面パネルおよび封止枠で形成される内部を真空にして構成される。背面パネルは、ガラスあるいはアルミナ等を好適とする背面基板の上に、第1の方向に延在しこの第1の方向と交差する第2の方向に延在し第1の方向に並設されて電子源をもつ複数の陰極配線と、第2の方向に延在し第1の方向に並設して設けたゲート電極を有する。そして、カソード電極とゲート電極との間の電位差で電子源からの電子の放出量(放出のオン・オフを含む)を制御する。
【0006】
また、前面パネルはガラス等の光透過性の材料で形成された前面基板の上に蛍光体層とアノード電極を有する。封止枠は背面パネルと前面パネルとの内周縁にフリットガラスなどの接着材で固着される。背面パネルと前面パネルおよび封止枠で形成される内部の真空度は、例えば10−5〜10−7Torrである。表示面サイズが大きいものでは、背面パネルと前面パネルの間に間隙保持部材(スペーサ)を介挿して固定し、両基板間の間を所定の間隔に保持している。
【0007】
なお、ナノチューブとしての典型例であるカーボンナノチューブを電子源とした自発光型平面表示装置に関する従来技術を開示したものとして、「特許文献1」、「特許文献2」が、また、フォトリソグラフィープロセスを用いた自発光型平面表示装置については「非特許文献1」等、数多く報告されている。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−43791号公報
【特許文献2】
特表2002−508110号公報
【非特許文献1】
Eurodisplay 2002 Digest,pp.229−231(paper 12−4)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
カーボンナノチューブ等の電子源やゲート電極などの電子放出・制御構造を同一基板である背面基板上に形成する手法としては、一般的にフォトリソグラフィープロセスが用いられている。しかしながら、この手法では大規模かつ高価な露光装置を必要とするため、製造コストが高くなる。
【0010】
本発明の目的は、比較的安価な製造技術を用いて、カーボンナノチューブ等を電子源とした電子放出・制御構造を有する自発光型平面表示装置を実現することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、電子放出・制御構造の全部または主要部をスクリーン印刷等の印刷法により形成することで低コストの自発光型平面型装置を得ることにある。すなわち、本発明では、背面基板上に、第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設され、多数の電子源を有する複数のカソード電極と、前記カソード電極とは絶縁層を介して前記第2の方向に延在し第1の方向に並設されて前記電子源からの電子の取り出しを制御する複数のゲート電極を備えた背面パネルと、前記背面パネルから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備した自発光型平面表示装置において、
前記背面パネルに有するカソード電極と、このカソード電極上に形成される前記電子源の位置に開口を有して前記カソード電極上に形成した前記絶縁層と、前記絶縁層の開口に対応する部分に前記電子の取り出しを制御する制御開口を有して前記絶縁層上に形成した前記ゲート電極とを印刷により形成する。
【0012】
また、本発明は、前記ゲート電極に有する前記制御開口の内縁が前記絶縁層の前記開口の内縁より後退した位置とすることができる。前記電子源は前記ゲート電極の前記制御開口と前記絶縁層に有する前記開口を通してナノチューブを含むインクをインクジェット法、あるいは前記ゲート電極の前記制御開口と前記絶縁層に有する前記開口を通して気相成長法で形成されたナノチューブとすることができる。
【0013】
さらに、本発明は、背面基板上に、第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設された複数のゲート電極と、前記ゲート電極とは絶縁層を介して前記第2の方向に延在し前記第1の方向に並設されて多数の電子源を有する複数のカソード電極とを備えた背面パネルと、前記背面パネルから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備した自発光型平面表示装置において、
前記ゲート電極を前記背面基板上に形成された下ゲート電極と上ゲート電極で構成し、前記絶縁層を前記下ゲート電極と前記上ゲート電極を電気的に接続する開口を有して前記下ゲート電極上に形成し、
前記上ゲート電極を前記絶縁層上で前記第1の方向および前記第2の方向に不連続に整列する如く形成すると共に、該不連続に形成された各々は前記絶縁層の前記開口で前記下ゲート電極に接続し、前記カソード電極を前記絶縁層上で前記開口の間を通って前記第2の方向に形成し、前記カソード電極上の前記第1の方向に配置された前記上ゲート電極の間に前記電子源を設け、前記下ゲート電極、前記絶縁層、前記上ゲート電極及び前記カソード電極を印刷法により形成することができる。
【0014】
また、本発明は、前記上ゲート電極と前記カソード電極を前記背面基板面と平行な同一平面上に形成することができ、前記電子源をナノチューブを含むインクの印刷で、あるいは気相成長法で形成されたナノチューブ、もしくはナノチューブを含むインクをインクジェット法で形成することができる。
【0015】
なお、本発明は上記の構成および後述する実施の形態に記載の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変形が可能であることは言うまでもない。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め上方から見た模式図である。また、図2は図1の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め下方から見た模式図である。図1および図2において、自発光型平面表示装置は、ガラスを好適とする背面パネル1および前面パネル2を封止枠3で封止して一体化して構成される。背面パネル1は、背面基板101の内面に電子放出・制御構造として第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設された多数のカソード電極202と、第2の方向に延在し第1の方向に平成された多数のゲート電極201を有する。カソード電極202には映像信号(図中、カソード信号と表記)が印加され、ゲート電極201には選択信号(図中、ゲート信号と表記)が印加される。
【0017】
前面パネル2を構成する前面基板103の内面には、複数の(ここでは、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色)蛍光体が第1の方向にストライブ状に塗布され、その上に透明導電膜としてアルミニウムを数十乃至数百nm厚に蒸着したアノード電極104を前面に形成してある。このアノード電極104には加速電圧が印加される。蛍光体は図示したようなストライブ状に限らず、各色毎にドット状としてもよい。なお、封止枠3は背面パネル1と前面パネル2の貼り合わせ内部を真空状態に保つ機能と共に対向面の間隙を所定値に維持する機能を有する。また、画面サイズが大きい場合には、封止枠3で両パネル間にスペーサを介在して対向面の間隙を所定値に保持することが行われる。これら封止枠3やスペーサもガラスとするのが好適である。
【0018】
図3は本発明の自発光型平面表示装置を構成する背面パネルの構成例の模式的な説明図であり、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)の要部である一画素の構成を示す。背面基板101の表示領域102には、前記したカソード電極202とゲート電極201がマトリクス状に配置されている。カソード電極202とゲート電極201は図示しない絶縁層で電気的に絶縁されており、図3(b)に示したように各交差部に電子源(ここでは、カーボンナノチューブ)203を有している。この電子源203はカソード電極202上に形成され、ゲート電極201に設けた制御開口(後述)から露呈している。
【0019】
図4は本発明の自発光型平面表示装置を構成する前面パネルの構成例の模式的な説明図であり、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)の要部である蛍光体配列例を示す。なお、この蛍光体の上面には前記したアノード電極が形成されているが、図示は省略した。前面パネル2は映像観察面であり、前面基板103はガラスを好適とする。前面基板103の内面には、ストライプ状に繰り返し配列した3色の蛍光体301、302、303を有し、各蛍光体301、302、303の境界には遮光層すなわちブラックマトリクス304が配置されている。各蛍光体301、302、303は前記した電子源のそれぞれと対向して配置される。これら蛍光体301、302、303とブラックマトリクス304からなる蛍光体層は次のようにして形成される。
【0020】
先ず、前面基板103上に公知のリフトオフ法でブラックマトリクス304を形成する。次に、同じく公知のスラリー法を用い各蛍光体がブラックマトリクス304で区画されるように赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の蛍光体を順に形成する。その上を覆って前記したアノード電極を形成する。
【0021】
こうして製作した前面パネル2を前記の背面パネル1に対して電子源と蛍光体の位置決めを行い、封止枠3を介して重ね合わせ、フリットガラスで接着する。フリットガラスは前面パネル2、背面パネル1、封止枠の各対向面の何れかあるいは双方に塗布し、450°Cで加熱し、その後の温度低下で硬化させる。両パネルと封止枠で構成される内部空間は図示しない排気管から真空に引きした後、排気管を封じ切る。排気管は背面基板101の一部あるいは封止枠の一部に設けるのが好ましい。そして、カソード電極に映像信号を、ゲート電極に走査信号を、アノード電極に陽極電圧(アノード電圧:高電圧)を与えることで所望の映像(画像)を表示させることができる。
【0022】
図5乃至図8は本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の製造工程とその構造の説明図である。ここで説明する本発明の自発光型平面表示装置の第1実施例はゲート電極をカソード電極よりもアノード電極側に位置させた形式である。なお、以下では表示領域における4×4画素(4個のサブピクセル、サブピクセルは単位カラー画素を意味する)について説明する。先ず、図5に示したように、背面基板101の上にスクリーン印刷法でカソード電極202をストライプ状に印刷する。ここでは、ストライプの幅W1は100μm、間隔D1は100μmとし、例えば1280×3本形成する。印刷後に焼成を行う。カソード電極202は銀ペーストを用い、焼成後の膜厚は5μmである。
【0023】
次に、図6に示すように、カソード電極202を覆って絶縁層401をスクリーン印刷する。この絶縁層401には、その下のカソード電極202が各サブピクセル毎に露呈する開口(絶縁層開口)402を有するように印刷し、焼成する。絶縁層401の膜厚は焼成後に10μmとなるようにする。
【0024】
図7において、ゲート電極201をカソード電極202と交差する方向にストライプ状にスクリーン印刷し、焼成する。このゲート電極201には絶縁層開口402と同じ位置に制御開口403が開くように形成される。また、この制御開口403の内縁を絶縁層401の絶縁層開口の内縁よりも後退させて開口面積を大きく形成し、ゲート電極201の形成工程で、当該ゲート電極用の銀ペーストが絶縁層開口に垂れないようにする。ゲート電極201の幅W2は700μm、間隔D2は100μmである。また、その膜厚は焼成後に5μmとなるようにする。ここでは、ゲート電極201を720本形成する。
【0025】
次に、図8に示すように、ゲート電極201の制御開口にインクジェット法でカーボンナノチューブを含んだインク203を塗布する。このインクはカーボンナノチューブと有機溶剤を含み、比較的低温での焼成により有機溶剤を消散させる。また、このカーボンナノチューブとカソード電極との電気的接続性を良好にするため、適宜の金属粒子を含有させてもよい。
【0026】
以上のように、スクリーン印刷法とインクジェット法を用いることで電子源を有するカソード電極とこの電子源からの電子の取り出しを制御するゲート電極からなる電子放出・制御構造を背面基板101に形成することができる。また、上記実施例では、各層の印刷毎に焼成を行うが、カーボンナノチューブ以外の構成層を形成後焼成し、カーボンナノチューブを塗布後に比較的低温で再度焼成することも可能である。また、ここでは、カソード電極およびゲート電極を銀ペーストを用いて形成したが、これに限らず、必要な電気伝導性を有する金属、合金、あるいは多層膜であれば採用可能である。
【0027】
この実施例では、カーボンナノチューブの電子源をインクジェット法で塗布したが、これに代えて、炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法、あるいは熱CVD法等の気相成長法で電子源を形成することもできる。さらに、カーボンナノチューブとしては、シングルウオールでもマルチウオール、また両者の混合物を用いることもでき、さらに、カーボン以外の材料でできたナノチューブを用いることもできる。
【0028】
本実施例で製作した背面パネルを前記した前面パネルと組み合わせて、良好な映像表示を可能とした自発光型平面表示装置を得ることができる。
【0029】
図9乃至図12は本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の製造工程とその構造の説明図である。ここで説明する本発明の自発光型平面表示装置の第2実施例はゲート電極とカソード電極を背面基板と平行な同一面上に設置した形式である。先ず、図9に示したように、ガラスを好適とする背面基板101に下ゲート電極501をスクリーン印刷で形成し、焼成する。下ゲート電極501の幅W3は700μm、間隔D3は100μmである。下ゲート電極501の塗布材料は銀ペーストで、膜厚は焼成後に5μmとなるようにする。ここでの下ゲート電極501の本数は720本である。
【0030】
次に、図10に示したように、下ゲート電極501を覆って絶縁層502をスクリーン印刷で塗布し、焼成する。絶縁層502には下ゲート電極501のサブピクセル部分と隣接する部分に絶縁層開口503を設けて下ゲート電極501を露呈させる。絶縁層502の膜厚は、焼成後に10μmとなるようにする。
【0031】
図11では、上ゲート電極504とカソード電極505をスクリーン印刷により同時に形成し、焼成する。上ゲート電極504は絶縁層502に有する絶縁層開口を含んで、それよりも大きい面積に塗布する。上ゲート電極504はこの絶縁層開口で下ゲート電極501と電気的に接続される。上ゲート電極504とカソード電極505は共に銀ペーストであり、上ゲート電極の膜厚は焼成後に5μmになるようにする。カソード電極505の幅W4は100μm、間隔D4は100μm、膜厚は焼成後に5μmになるようにする。このようなカソード電極505をここでは1280×3本形成する。
【0032】
次に、図12に示したように、カソード電極505上にスクリーン印刷法でカーボンナノチューブを含んだペーストを塗布し、焼成して電子源506を形成する。カーボンナノチューブの幅W5はカソード電極505の幅より狭く、また長さL1は隣接する上ゲート電極504の長さよりも短い。
【0033】
本実施例で製作した背面パネルを前記した前面パネルと組み合わせて、良好な映像表示を可能とした自発光型平面表示装置を得ることができる。なお、この上記の製作プロセスにおいて、塗布後の焼成は各層の塗布後毎に行うが、カーボンナノチューブ以外の構成層を形成後に焼成を行い、カーボンナノチューブの塗布後に比較的低温で再度焼成することも可能である。また、本実施例では、カーボンナノチューブをスクリーン印刷で塗布したが、これに代えて、炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法、あるいは熱CVD法等の気相成長法で電子源を形成することもできる。さらに、カーボンナノチューブとしては、シングルウオールでもマルチウオール、また両者の混合物を用いることもでき、さらに、カーボン以外の材料でできたナノチューブを用いることもできる。
【0034】
図13は本発明による自発光型平面表示装置の第3実施例の製造工程とその構造の説明図である。ここで説明する本発明の自発光型平面表示装置の第3実施例の製造プロセスは前記第2実施例の説明における図9乃至図11までは同じである。本実施例では、前記図11で説明したプロセスで得たカソード電極505の上に、カーボンナノチューブを含むインクをインクジェット法で塗布して電子源606とする。カーボンナノチューブ606の幅W6はカソード電極505の幅より狭く、また長さL2は隣接する上ゲート電極504の長さよりも短い。
【0035】
インクジェット法で塗布するインクにはカーボンナノチューブと有機溶剤を含み、比較的低温での焼成により有機溶剤を消散させる。また、このカーボンナノチューブとカソード電極との電気的接続性を良好にするため、適宜の金属粒子を含有させてもよい。
【0036】
本実施例で製作した背面パネルを前記した前面パネルと組み合わせて、良好な映像表示を可能とした自発光型平面表示装置を得ることができる。なお、この上記の製作プロセスにおいて、塗布後の焼成は各層の塗布後毎に行うが、カーボンナノチューブ以外の構成層を形成後に焼成を行い、カーボンナノチューブの塗布後に比較的低温で再度焼成することも可能である。また、本実施例では、カーボンナノチューブをスクリーン印刷で塗布したが、これに代えて、炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法、あるいは熱CVD法等の気相成長法で電子源を形成することもできる。さらに、カーボンナノチューブとしては、シングルウオールでもマルチウオール、また両者の混合物を用いることもでき、さらに、カーボン以外の材料でできたナノチューブを用いることもできる。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、電子放出・制御構造の主要部を印刷法で背面基板上に形成するため、従来技術のフォトリソグラフィー法のような大規模かつ高価な露光装置が不要となり、低コストで自発光型平面表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め上方から見た模式図である。
【図2】図1の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め下方から見た模式図である。
【図3】本発明の自発光型平面表示装置を構成する背面パネルの構成例の模式的な説明図である。
【図4】本発明の自発光型平面表示装置を構成する前面パネルの構成例の模式的な説明図である。
【図5】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の製造工程とその構造の説明図である。
【図6】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の図5に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図7】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の図6に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図8】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の図7に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図9】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の製造工程とその構造の説明図である。
【図10】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の図9に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図11】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の図10に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図12】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の図11に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図13】本発明による自発光型平面表示装置の第3実施例の製造工程とその構造の説明図である。
【符号の説明】
1・・・背面パネル、2・・・前面パネル、3・・・封止枠、101・・・背面基板、102・・・表示領域、103・・・前面基板、104・・・アノード電極、、201・・・ゲート電極202・・・カソード電極、203・・・電子源、301,302,303・・・3色の蛍光体、304・・・ブラックマトリクス、401・・・絶縁層、402・・・開口(絶縁層開口)、501・・・下ゲート電極、502・・・絶縁層、503・・・絶縁層開口、504・・・上ゲート電極、505・・・カソード電極、506・・・電子源。
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空中への電子放出を利用した表示装置に係り、特に、電子源を有するカソード電極とこの電子源からの電子の放出量を制御するゲート電極を備えた背面パネルとから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備した自発光型平面表示装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
高輝度、高精細に優れたディスプレイデバイスとして従来からカラー陰極線管が広く用いられている。しかし、近年の情報処理装置やテレビ放送の高画質化に伴い、高輝度、高精細の特性をもつと共に軽量、省スペースの平面型表示装置の要求が高まっている。
【0003】
その典型例として液晶表示装置、プラズマ表示装置などが実用化されている。また、特に、高輝度化が可能なものとして、電子源から真空への電子放出を利用した電子放出型表示装置、または電界放出型表示装置や、低消費電力を特徴とする有機ELディスプレイなど、種々の型式のパネル型表示装置の実用化も近い。なお、補助的な照明光源を必要としないプラズマ表示装置、電子放出型表示装置あるいは有機EL表示装置を自発光型平面表示装置と称する。
【0004】
このような平面型の表示装置のうち、上記電界放出型の表示装置には、C.A.Spindtらにより発案されたコーン状の電子放出構造をもつもの、メタル−インシュレータ−メタル(MIM)型の電子放出構造をもつもの、量子論的トンネル効果による電子放出現象を利用する電子放出構造(表面伝導型電子源とも呼ばれる)をもつもの、さらにはダイアモンド膜やグラファイト膜、カーボンナノチューブに代表されるナノチューブなどが持つ電子放出現象を利用するもの、等が知られている。
【0005】
自発光平面型表示装置の一例である電界放出型の表示装置は、内面に電界放出型の電子源と制御電極であるゲート電極を形成した背面パネルと、この背面パネルと対向する内面に複数色の蛍光体層とアノード電極(陽極)とを備えた前面パネルの両者の内周縁に封止枠を介挿して封止し、当該背面パネルと前面パネルおよび封止枠で形成される内部を真空にして構成される。背面パネルは、ガラスあるいはアルミナ等を好適とする背面基板の上に、第1の方向に延在しこの第1の方向と交差する第2の方向に延在し第1の方向に並設されて電子源をもつ複数の陰極配線と、第2の方向に延在し第1の方向に並設して設けたゲート電極を有する。そして、カソード電極とゲート電極との間の電位差で電子源からの電子の放出量(放出のオン・オフを含む)を制御する。
【0006】
また、前面パネルはガラス等の光透過性の材料で形成された前面基板の上に蛍光体層とアノード電極を有する。封止枠は背面パネルと前面パネルとの内周縁にフリットガラスなどの接着材で固着される。背面パネルと前面パネルおよび封止枠で形成される内部の真空度は、例えば10−5〜10−7Torrである。表示面サイズが大きいものでは、背面パネルと前面パネルの間に間隙保持部材(スペーサ)を介挿して固定し、両基板間の間を所定の間隔に保持している。
【0007】
なお、ナノチューブとしての典型例であるカーボンナノチューブを電子源とした自発光型平面表示装置に関する従来技術を開示したものとして、「特許文献1」、「特許文献2」が、また、フォトリソグラフィープロセスを用いた自発光型平面表示装置については「非特許文献1」等、数多く報告されている。
【0008】
【特許文献1】
特開2001−43791号公報
【特許文献2】
特表2002−508110号公報
【非特許文献1】
Eurodisplay 2002 Digest,pp.229−231(paper 12−4)
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
カーボンナノチューブ等の電子源やゲート電極などの電子放出・制御構造を同一基板である背面基板上に形成する手法としては、一般的にフォトリソグラフィープロセスが用いられている。しかしながら、この手法では大規模かつ高価な露光装置を必要とするため、製造コストが高くなる。
【0010】
本発明の目的は、比較的安価な製造技術を用いて、カーボンナノチューブ等を電子源とした電子放出・制御構造を有する自発光型平面表示装置を実現することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、本発明は、電子放出・制御構造の全部または主要部をスクリーン印刷等の印刷法により形成することで低コストの自発光型平面型装置を得ることにある。すなわち、本発明では、背面基板上に、第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設され、多数の電子源を有する複数のカソード電極と、前記カソード電極とは絶縁層を介して前記第2の方向に延在し第1の方向に並設されて前記電子源からの電子の取り出しを制御する複数のゲート電極を備えた背面パネルと、前記背面パネルから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備した自発光型平面表示装置において、
前記背面パネルに有するカソード電極と、このカソード電極上に形成される前記電子源の位置に開口を有して前記カソード電極上に形成した前記絶縁層と、前記絶縁層の開口に対応する部分に前記電子の取り出しを制御する制御開口を有して前記絶縁層上に形成した前記ゲート電極とを印刷により形成する。
【0012】
また、本発明は、前記ゲート電極に有する前記制御開口の内縁が前記絶縁層の前記開口の内縁より後退した位置とすることができる。前記電子源は前記ゲート電極の前記制御開口と前記絶縁層に有する前記開口を通してナノチューブを含むインクをインクジェット法、あるいは前記ゲート電極の前記制御開口と前記絶縁層に有する前記開口を通して気相成長法で形成されたナノチューブとすることができる。
【0013】
さらに、本発明は、背面基板上に、第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設された複数のゲート電極と、前記ゲート電極とは絶縁層を介して前記第2の方向に延在し前記第1の方向に並設されて多数の電子源を有する複数のカソード電極とを備えた背面パネルと、前記背面パネルから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備した自発光型平面表示装置において、
前記ゲート電極を前記背面基板上に形成された下ゲート電極と上ゲート電極で構成し、前記絶縁層を前記下ゲート電極と前記上ゲート電極を電気的に接続する開口を有して前記下ゲート電極上に形成し、
前記上ゲート電極を前記絶縁層上で前記第1の方向および前記第2の方向に不連続に整列する如く形成すると共に、該不連続に形成された各々は前記絶縁層の前記開口で前記下ゲート電極に接続し、前記カソード電極を前記絶縁層上で前記開口の間を通って前記第2の方向に形成し、前記カソード電極上の前記第1の方向に配置された前記上ゲート電極の間に前記電子源を設け、前記下ゲート電極、前記絶縁層、前記上ゲート電極及び前記カソード電極を印刷法により形成することができる。
【0014】
また、本発明は、前記上ゲート電極と前記カソード電極を前記背面基板面と平行な同一平面上に形成することができ、前記電子源をナノチューブを含むインクの印刷で、あるいは気相成長法で形成されたナノチューブ、もしくはナノチューブを含むインクをインクジェット法で形成することができる。
【0015】
なお、本発明は上記の構成および後述する実施の形態に記載の構成に限定されるものではなく、本発明の技術思想を逸脱することなく種々の変形が可能であることは言うまでもない。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、実施例の図面を参照して詳細に説明する。図1は本発明の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め上方から見た模式図である。また、図2は図1の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め下方から見た模式図である。図1および図2において、自発光型平面表示装置は、ガラスを好適とする背面パネル1および前面パネル2を封止枠3で封止して一体化して構成される。背面パネル1は、背面基板101の内面に電子放出・制御構造として第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設された多数のカソード電極202と、第2の方向に延在し第1の方向に平成された多数のゲート電極201を有する。カソード電極202には映像信号(図中、カソード信号と表記)が印加され、ゲート電極201には選択信号(図中、ゲート信号と表記)が印加される。
【0017】
前面パネル2を構成する前面基板103の内面には、複数の(ここでは、赤(R)、緑(G)、青(B)の3色)蛍光体が第1の方向にストライブ状に塗布され、その上に透明導電膜としてアルミニウムを数十乃至数百nm厚に蒸着したアノード電極104を前面に形成してある。このアノード電極104には加速電圧が印加される。蛍光体は図示したようなストライブ状に限らず、各色毎にドット状としてもよい。なお、封止枠3は背面パネル1と前面パネル2の貼り合わせ内部を真空状態に保つ機能と共に対向面の間隙を所定値に維持する機能を有する。また、画面サイズが大きい場合には、封止枠3で両パネル間にスペーサを介在して対向面の間隙を所定値に保持することが行われる。これら封止枠3やスペーサもガラスとするのが好適である。
【0018】
図3は本発明の自発光型平面表示装置を構成する背面パネルの構成例の模式的な説明図であり、図3(a)は平面図、図3(b)は図3(a)の要部である一画素の構成を示す。背面基板101の表示領域102には、前記したカソード電極202とゲート電極201がマトリクス状に配置されている。カソード電極202とゲート電極201は図示しない絶縁層で電気的に絶縁されており、図3(b)に示したように各交差部に電子源(ここでは、カーボンナノチューブ)203を有している。この電子源203はカソード電極202上に形成され、ゲート電極201に設けた制御開口(後述)から露呈している。
【0019】
図4は本発明の自発光型平面表示装置を構成する前面パネルの構成例の模式的な説明図であり、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)の要部である蛍光体配列例を示す。なお、この蛍光体の上面には前記したアノード電極が形成されているが、図示は省略した。前面パネル2は映像観察面であり、前面基板103はガラスを好適とする。前面基板103の内面には、ストライプ状に繰り返し配列した3色の蛍光体301、302、303を有し、各蛍光体301、302、303の境界には遮光層すなわちブラックマトリクス304が配置されている。各蛍光体301、302、303は前記した電子源のそれぞれと対向して配置される。これら蛍光体301、302、303とブラックマトリクス304からなる蛍光体層は次のようにして形成される。
【0020】
先ず、前面基板103上に公知のリフトオフ法でブラックマトリクス304を形成する。次に、同じく公知のスラリー法を用い各蛍光体がブラックマトリクス304で区画されるように赤(R)、緑(G)、青(B)の3色の蛍光体を順に形成する。その上を覆って前記したアノード電極を形成する。
【0021】
こうして製作した前面パネル2を前記の背面パネル1に対して電子源と蛍光体の位置決めを行い、封止枠3を介して重ね合わせ、フリットガラスで接着する。フリットガラスは前面パネル2、背面パネル1、封止枠の各対向面の何れかあるいは双方に塗布し、450°Cで加熱し、その後の温度低下で硬化させる。両パネルと封止枠で構成される内部空間は図示しない排気管から真空に引きした後、排気管を封じ切る。排気管は背面基板101の一部あるいは封止枠の一部に設けるのが好ましい。そして、カソード電極に映像信号を、ゲート電極に走査信号を、アノード電極に陽極電圧(アノード電圧:高電圧)を与えることで所望の映像(画像)を表示させることができる。
【0022】
図5乃至図8は本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の製造工程とその構造の説明図である。ここで説明する本発明の自発光型平面表示装置の第1実施例はゲート電極をカソード電極よりもアノード電極側に位置させた形式である。なお、以下では表示領域における4×4画素(4個のサブピクセル、サブピクセルは単位カラー画素を意味する)について説明する。先ず、図5に示したように、背面基板101の上にスクリーン印刷法でカソード電極202をストライプ状に印刷する。ここでは、ストライプの幅W1は100μm、間隔D1は100μmとし、例えば1280×3本形成する。印刷後に焼成を行う。カソード電極202は銀ペーストを用い、焼成後の膜厚は5μmである。
【0023】
次に、図6に示すように、カソード電極202を覆って絶縁層401をスクリーン印刷する。この絶縁層401には、その下のカソード電極202が各サブピクセル毎に露呈する開口(絶縁層開口)402を有するように印刷し、焼成する。絶縁層401の膜厚は焼成後に10μmとなるようにする。
【0024】
図7において、ゲート電極201をカソード電極202と交差する方向にストライプ状にスクリーン印刷し、焼成する。このゲート電極201には絶縁層開口402と同じ位置に制御開口403が開くように形成される。また、この制御開口403の内縁を絶縁層401の絶縁層開口の内縁よりも後退させて開口面積を大きく形成し、ゲート電極201の形成工程で、当該ゲート電極用の銀ペーストが絶縁層開口に垂れないようにする。ゲート電極201の幅W2は700μm、間隔D2は100μmである。また、その膜厚は焼成後に5μmとなるようにする。ここでは、ゲート電極201を720本形成する。
【0025】
次に、図8に示すように、ゲート電極201の制御開口にインクジェット法でカーボンナノチューブを含んだインク203を塗布する。このインクはカーボンナノチューブと有機溶剤を含み、比較的低温での焼成により有機溶剤を消散させる。また、このカーボンナノチューブとカソード電極との電気的接続性を良好にするため、適宜の金属粒子を含有させてもよい。
【0026】
以上のように、スクリーン印刷法とインクジェット法を用いることで電子源を有するカソード電極とこの電子源からの電子の取り出しを制御するゲート電極からなる電子放出・制御構造を背面基板101に形成することができる。また、上記実施例では、各層の印刷毎に焼成を行うが、カーボンナノチューブ以外の構成層を形成後焼成し、カーボンナノチューブを塗布後に比較的低温で再度焼成することも可能である。また、ここでは、カソード電極およびゲート電極を銀ペーストを用いて形成したが、これに限らず、必要な電気伝導性を有する金属、合金、あるいは多層膜であれば採用可能である。
【0027】
この実施例では、カーボンナノチューブの電子源をインクジェット法で塗布したが、これに代えて、炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法、あるいは熱CVD法等の気相成長法で電子源を形成することもできる。さらに、カーボンナノチューブとしては、シングルウオールでもマルチウオール、また両者の混合物を用いることもでき、さらに、カーボン以外の材料でできたナノチューブを用いることもできる。
【0028】
本実施例で製作した背面パネルを前記した前面パネルと組み合わせて、良好な映像表示を可能とした自発光型平面表示装置を得ることができる。
【0029】
図9乃至図12は本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の製造工程とその構造の説明図である。ここで説明する本発明の自発光型平面表示装置の第2実施例はゲート電極とカソード電極を背面基板と平行な同一面上に設置した形式である。先ず、図9に示したように、ガラスを好適とする背面基板101に下ゲート電極501をスクリーン印刷で形成し、焼成する。下ゲート電極501の幅W3は700μm、間隔D3は100μmである。下ゲート電極501の塗布材料は銀ペーストで、膜厚は焼成後に5μmとなるようにする。ここでの下ゲート電極501の本数は720本である。
【0030】
次に、図10に示したように、下ゲート電極501を覆って絶縁層502をスクリーン印刷で塗布し、焼成する。絶縁層502には下ゲート電極501のサブピクセル部分と隣接する部分に絶縁層開口503を設けて下ゲート電極501を露呈させる。絶縁層502の膜厚は、焼成後に10μmとなるようにする。
【0031】
図11では、上ゲート電極504とカソード電極505をスクリーン印刷により同時に形成し、焼成する。上ゲート電極504は絶縁層502に有する絶縁層開口を含んで、それよりも大きい面積に塗布する。上ゲート電極504はこの絶縁層開口で下ゲート電極501と電気的に接続される。上ゲート電極504とカソード電極505は共に銀ペーストであり、上ゲート電極の膜厚は焼成後に5μmになるようにする。カソード電極505の幅W4は100μm、間隔D4は100μm、膜厚は焼成後に5μmになるようにする。このようなカソード電極505をここでは1280×3本形成する。
【0032】
次に、図12に示したように、カソード電極505上にスクリーン印刷法でカーボンナノチューブを含んだペーストを塗布し、焼成して電子源506を形成する。カーボンナノチューブの幅W5はカソード電極505の幅より狭く、また長さL1は隣接する上ゲート電極504の長さよりも短い。
【0033】
本実施例で製作した背面パネルを前記した前面パネルと組み合わせて、良好な映像表示を可能とした自発光型平面表示装置を得ることができる。なお、この上記の製作プロセスにおいて、塗布後の焼成は各層の塗布後毎に行うが、カーボンナノチューブ以外の構成層を形成後に焼成を行い、カーボンナノチューブの塗布後に比較的低温で再度焼成することも可能である。また、本実施例では、カーボンナノチューブをスクリーン印刷で塗布したが、これに代えて、炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法、あるいは熱CVD法等の気相成長法で電子源を形成することもできる。さらに、カーボンナノチューブとしては、シングルウオールでもマルチウオール、また両者の混合物を用いることもでき、さらに、カーボン以外の材料でできたナノチューブを用いることもできる。
【0034】
図13は本発明による自発光型平面表示装置の第3実施例の製造工程とその構造の説明図である。ここで説明する本発明の自発光型平面表示装置の第3実施例の製造プロセスは前記第2実施例の説明における図9乃至図11までは同じである。本実施例では、前記図11で説明したプロセスで得たカソード電極505の上に、カーボンナノチューブを含むインクをインクジェット法で塗布して電子源606とする。カーボンナノチューブ606の幅W6はカソード電極505の幅より狭く、また長さL2は隣接する上ゲート電極504の長さよりも短い。
【0035】
インクジェット法で塗布するインクにはカーボンナノチューブと有機溶剤を含み、比較的低温での焼成により有機溶剤を消散させる。また、このカーボンナノチューブとカソード電極との電気的接続性を良好にするため、適宜の金属粒子を含有させてもよい。
【0036】
本実施例で製作した背面パネルを前記した前面パネルと組み合わせて、良好な映像表示を可能とした自発光型平面表示装置を得ることができる。なお、この上記の製作プロセスにおいて、塗布後の焼成は各層の塗布後毎に行うが、カーボンナノチューブ以外の構成層を形成後に焼成を行い、カーボンナノチューブの塗布後に比較的低温で再度焼成することも可能である。また、本実施例では、カーボンナノチューブをスクリーン印刷で塗布したが、これに代えて、炭化水素ガスを原料としたプラズマCVD法、あるいは熱CVD法等の気相成長法で電子源を形成することもできる。さらに、カーボンナノチューブとしては、シングルウオールでもマルチウオール、また両者の混合物を用いることもでき、さらに、カーボン以外の材料でできたナノチューブを用いることもできる。
【0037】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、電子放出・制御構造の主要部を印刷法で背面基板上に形成するため、従来技術のフォトリソグラフィー法のような大規模かつ高価な露光装置が不要となり、低コストで自発光型平面表示装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め上方から見た模式図である。
【図2】図1の自発光型平面表示装置の全体構成を展開して説明する斜め下方から見た模式図である。
【図3】本発明の自発光型平面表示装置を構成する背面パネルの構成例の模式的な説明図である。
【図4】本発明の自発光型平面表示装置を構成する前面パネルの構成例の模式的な説明図である。
【図5】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の製造工程とその構造の説明図である。
【図6】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の図5に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図7】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の図6に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図8】本発明による自発光型平面表示装置の第1実施例の図7に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図9】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の製造工程とその構造の説明図である。
【図10】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の図9に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図11】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の図10に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図12】本発明による自発光型平面表示装置の第2実施例の図11に続く製造工程とその構造の説明図である。
【図13】本発明による自発光型平面表示装置の第3実施例の製造工程とその構造の説明図である。
【符号の説明】
1・・・背面パネル、2・・・前面パネル、3・・・封止枠、101・・・背面基板、102・・・表示領域、103・・・前面基板、104・・・アノード電極、、201・・・ゲート電極202・・・カソード電極、203・・・電子源、301,302,303・・・3色の蛍光体、304・・・ブラックマトリクス、401・・・絶縁層、402・・・開口(絶縁層開口)、501・・・下ゲート電極、502・・・絶縁層、503・・・絶縁層開口、504・・・上ゲート電極、505・・・カソード電極、506・・・電子源。
Claims (10)
- 背面基板上に、第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設され、多数の電子源を有する複数のカソード電極と、前記カソード電極とは絶縁層を介して前記第2の方向に延在し第1の方向に並設されて前記電子源からの電子の取り出しを制御する複数のゲート電極を備えた背面パネルと、
前記背面パネルから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備し、
前記絶縁層は前記カソード電極上に形成される前記電子源の位置に開口を有して前記カソード電極上に形成されており、
前記ゲート電極は前記絶縁層の開口に対応する部分に前記電子の取り出しを制御する制御開口を有して前記絶縁層上に形成されており、
前記カソード電極、前記絶縁層、及び前記ゲート電極が印刷により形成されていることを特徴とする自発光型平面表示装置。 - 前記ゲート電極に有する前記制御開口の内縁が前記絶縁層の前記開口の内縁より後退した位置にあることを特徴とする請求項1に記載の自発光型平面表示装置。
- 前記電子源は、前記ゲート電極の前記制御開口と前記絶縁層に有する前記開口を通してナノチューブを含むインクをインクジェット法で形成されていることを特徴とする請求項2に記載の自発光型平面表示装置。
- 前記電子源は、前記ゲート電極の前記制御開口と前記絶縁層に有する前記開口を通して気相成長法で形成されたナノチューブを有することを特徴とする請求項2に記載の自発光型平面表示装置。
- 背面基板上に、第1の方向に延在し第1の方向と交差する第2の方向に並設された複数のゲート電極と、前記ゲート電極とは絶縁層を介して前記第2の方向に延在し前記第1の方向に並設されて多数の電子源を有する複数のカソード電極とを備えた背面パネルと、
前記背面パネルから取り出された電子の励起で発光する複数色の蛍光体層とアノード電極を有する前面パネルとを具備し、
前記ゲート電極は前記背面基板上に形成された下ゲート電極と上ゲート電極からなり、
前記絶縁層は前記下ゲート電極と前記上ゲート電極を電気的に接続する開口を有して前記下ゲート電極上に形成され、
前記上ゲート電極は前記絶縁層上で前記第1の方向および前記第2の方向に不連続に整列する如く形成されていると共に、該不連続に形成された各々は前記絶縁層の前記開口で前記下ゲート電極に接続され、
前記カソード電極は前記絶縁層上で前記開口の間を通って前記第2の方向に形成され、
前記第1の方向から見た前記上ゲート電極の間の前記カソード電極上に前記電子源を有し、
前記下ゲート電極、前記絶縁層、前記上ゲート電極及び前記カソード電極が印刷法により形成されていることを特徴とする自発光型平面表示装置。 - 前記上ゲート電極と前記カソード電極が前記背面基板面と平行な同一平面上に有することを特徴とする請求項5に記載の自発光型平面表示装置。
- 前記電子源は、ナノチューブを含むインクの印刷で形成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の自発光型平面表示装置。
- 前記電子源は、気相成長法で形成されたナノチューブを有することを特徴とする請求項5又は6に記載の自発光型平面表示装置。
- 前記電子源は、ナノチューブを含むインクをインクジェット法で形成されていることを特徴とする請求項5又は6に記載の自発光型平面表示装置。
- 前記ナノチューブはカーボンナノチューブであることを特徴とする請求項1乃至9の何れかに記載の自発光型平面表示装置。
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