JP4994279B2 - Microbubble generator - Google Patents
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Description
本発明は、微小気泡生成装置に関し、特に例えば洗浄装置として搭載可能なナノバブルを生成するための微小気泡生成装置に関する。 The present invention relates to a microbubble generating equipment, about the particular example microbubble generating equipment for generating mountable nanobubbles as cleaning apparatus.
一例として、基板処理装置は、基板の製造工程において基板に対して純水や薬液等の液体を供給して処理を行う。この種の基板処理装置では、基板に付着したパーティクルや液体中に浮遊するパーティクルを除去する必要がある。 As an example, the substrate processing apparatus performs processing by supplying liquid such as pure water or a chemical solution to the substrate in the substrate manufacturing process. In this type of substrate processing apparatus, it is necessary to remove particles adhering to the substrate and particles floating in the liquid.
基板処理装置の基板のパーティクルを除去するために、特許文献1では、基板処理装置に対してマイクロバブル発生部を接続して、マイクロバブル発生部からマイクロバブルを含む純水を処理槽内の基板に供給することが提案されている。
In order to remove particles on the substrate of the substrate processing apparatus, in
このマイクロバブル発生部の構造は、特許文献1の図9に記載されており、マイクロバブル発生部は、ケーシングの中に送水管と、この送水管を取り囲む送気路とを形成した構造になっている。送気路は窒素ガス供給部と真空ポンプに接続されており、送気路を流れる窒素ガスの圧力は、真空ポンプの作動により調整してケーシング内を加減圧できる。
The structure of this micro bubble generating part is described in FIG. 9 of
これにより、ケーシング内を減圧した場合には、送水管を流れる純水から余分な気体が過飽和となって析出し、その気体は中空子分離膜を通って送気路へ流出する。また、ケーシング内を加圧した場合には、送気路を流れる窒素ガスが、中空子分離膜を通って送水管内の純水中に加圧溶融するようになっている。
ところが、特許文献1に記載されているマイクロバブル発生部の構造では、送気路内は真空ポンプに接続する必要があり、送気路内を流れる窒素ガスの圧力を調整しなければならない。しかも、窒素ガス供給側と窒素ガスを排出する側のそれぞれに圧力調整用のレギュレータが必要である。このため、マイクロバブル発生部の構造が複雑である。真空ポンプによる圧力の調整を正確に行わないと、マイクロバブルを含む純水を確実に供給できないおそれもある。
However, in the structure of the microbubble generator described in
本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、構造が簡単化でき、微小気泡を含む液体を確実に生成することができる微小気泡生成装置を提供することである。 The present invention has been made in view of the above, an object of the structure can be simplified to provide a microbubble generating equipment which can reliably produce a liquid containing a fine small bubbles.
本発明の微小気泡生成装置は、微小気泡を生成する微小気泡生成装置であって、圧縮気体を通すことで前記微小気泡を形成する1μm以下の径の複数の第1孔を有し、前記圧縮気体を導入するための中空部分を有する第1多孔質フィルタと、前記第1多孔質フィルタの外側に密接して配置され、1μmを超える径の複数の第2孔を有する第2多孔質フィルタと、前記第1多孔質フィルタの前記中空部分の一端部に対して前記圧縮気体を導入するために前記第1多孔質フィルタの一端部側に形成された気体導入部と、前記第1多孔質フィルタの前記中空部分の他端部を閉鎖する閉鎖部と、前記第2多孔質フィルタの外側に配置されるケーシング部であって、その内周面は前記第2多孔質フィルタの外周面に密接して配置されるとともに、前記気体導入部の反対側の位置から前記第2多孔質フィルタに対して液体を導入するための液体導入部と、前記液体導入部の反対側の位置から前記微小気泡を含む前記液体を放出する放出部と、を有する前記ケーシング部と、を備えることを特徴とする。 The microbubble generating device of the present invention is a microbubble generating device that generates microbubbles, and has a plurality of first holes having a diameter of 1 μm or less that form the microbubbles by allowing compressed gas to pass therethrough, and the compression A first porous filter having a hollow portion for introducing a gas; a second porous filter disposed in close contact with the outside of the first porous filter and having a plurality of second holes having a diameter exceeding 1 μm; A gas introduction part formed on one end side of the first porous filter for introducing the compressed gas into one end part of the hollow part of the first porous filter; and the first porous filter. A closed portion for closing the other end of the hollow portion, and a casing portion disposed outside the second porous filter, the inner peripheral surface of which is in close contact with the outer peripheral surface of the second porous filter. And the gas A liquid introduction part for introducing a liquid into the second porous filter from a position opposite to the introduction part, and a discharge part for discharging the liquid containing the microbubbles from a position opposite to the liquid introduction part And the casing part having the above.
本発明によれば、構造が簡単化でき、微小気泡を含む液体を確実に生成することができる微小気泡生成装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to structure can easily be reduction provides a microbubble generating equipment which can reliably produce a liquid containing a fine small bubbles.
本発明の実施形態について図面を参照して説明する。 Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(第1実施形態)
図1は、本発明の微小気泡生成装置の好ましい第1実施形態を示す図である。
(First embodiment)
FIG. 1 is a diagram showing a first preferred embodiment of the microbubble generating device of the present invention.
図1に示す微小気泡生成装置10は、第1多孔質フィルタ11と、第2多孔質フィルタ12と、気体導入部13と、閉鎖部14と、ケーシング部15と、気体供給部20と、液体供給部21を有している。
1 includes a first
第1多孔質フィルタ11と第2多孔質フィルタ12とケーシング部15は、共に好ましくは例えば円筒状の部材である。第1多孔質フィルタ11と第2多孔質フィルタ12とケーシング部15は、中心軸CLを中心として同軸状に配置されている。第2多孔質フィルタ12の内周面12Bは、第1多孔質フィルタ11の外周面11Bに密接して配置されている。ケーシング部15の内周面15Cは、第2多孔質フィルタ12の外周面12Cに密接して配置されている。言い換えれば、第2多孔質フィルタ12は、第1多孔質フィルタ11の外周部を覆っており、ケーシング部15は、第2多孔質フィルタ12の外周部を覆っていて、ケーシング部15は第2多孔質フィルタ12と第1多孔質フィルタ11を収容している。
The first
図1の例では、第1多孔質フィルタ11の中心軸CL方向の長さは、第2多孔質フィルタ12の中心軸CL方向の長さに比べてやや小さい。第2多孔質フィルタ12の中心軸CL方向の長さは、ケーシング部15の中心軸CL方向の長さに比べて小さく設定されている。
In the example of FIG. 1, the length of the first
図1に示すように、気体導入部13は、例えば金属あるいはプラスチック製の円筒状の部材であり、第1多孔質フィルタ11の中空部分24の一端部22側に接続されている。気体導入部13の外径は、第1多孔質フィルタ11の外径と同じである。閉鎖部14は、例えば金属あるいはプラスチック製の円板状の部材であり、第1多孔質フィルタ11の中空部分24の他端部23側を閉鎖している。
As shown in FIG. 1, the
第2多孔質フィルタ12の一端部25は、気体導入部13の外周面の一部分を覆っている。第2多孔質フィルタ12の他端部26は、ケーシング部15の壁部27との間に空間部28を形成している。この空間部28は、液体供給部21から供給された液体を一旦貯留して第2多孔質フィルタ12の他端部26へ液体を加圧して供給するために設けられている。
One
ケーシング部15は、例えば金属あるいはプラスチック製のほぼ円筒状の部材であり、大径部分29と小径部分30を有しており、大径部分29の内周面は、第2多孔質フィルタ12を覆っている。小径部分30は、大径部分29の壁部27から中心軸CL方向に沿って突出して形成されており、小径部分30は液体供給部21に接続されている。
The
図1に示す第1多孔質フィルタ11と第2多孔質フィルタ12について、さらに説明する。
The first
図1に示す第1多孔質フィルタ11は、1μm以下の径の複数の第1孔を有し、中空部分24を有する。第2多孔質フィルタ12は、第1多孔質フィルタ11の外側に密接して配置されており、1μmを超える径の複数の第2孔を有する。
The first
図2は、第1多孔質フィルタ11と第2多孔質フィルタ12の構成例を示している。
FIG. 2 shows a configuration example of the first
第1多孔質フィルタ11の複数の第1孔の径は、好ましくは0.01μm以上で1μm以下である。第1孔の径が、0.01μm未満であると、実用化されている多孔質メッシュの最小径は、平均値で20nm(=0.02μm)である。そこで、製作のばらつきを考慮して、最小径は、その半分の10nmとした。第1多孔質フィルタ11の複数の第1孔の径は、より好ましくは20nm(=0.02μm)である。1μmを超えると、1μmを超える気泡は、マイクロバブルの領域になり、また液体も通過しやすくなる。本発明の実施形態では、ナノバブル領域の大きさの微小気泡を作ることを主体としているため、第1多孔質メッシュの最大径は1μmとしている。
The diameter of the plurality of first holes of the first
しかも、第2多孔質フィルタ12の複数の第2孔の径は、好ましくは1μmを超え、100μm以下である。第2孔の径が、1μm以下である微小気泡を第1多孔質フィルタ側から第2多孔質フィルタ側に一方通行で送るのが目的であるため、第1多孔質フィルタの第1孔の最大値が、第2多孔質フィルタの第2孔の最小値と同じか小さく設定されている。また、第2多孔質フィルタ12の複数の第2孔び径が100μmを超えるち、第1多孔質フィルタのメッシュを通過した気体が、第2多孔質フィルタのメッシュ側の液体側に移動した場合、気体同士が集まって大きくなる可能性もあり、100μmを超えると、気泡がマイクロバブルサイズを超えたものになってしまうために、制限を設けた。ナノバブルをより有効に活用するためには、50μm以下が望ましい。
Moreover, the diameter of the plurality of second holes of the second
図2に示す第1多孔質フィルタ11と第2多孔質フィルタ12とは、微小気泡発生機構部を構成しており、第1多孔質フィルタ11は、高分子フィルム等の多孔質体フィルムであり、例えばクレーズ部31と、フィルム部32から構成されている。クレーズ部31は、フィルム部32の孔部に形成されており、複数のフィブリル33を有しており、各フィブリル33の間にはボイド34がある。このボイド34が、第1多孔質フィルタ11の第1孔である。
The first
図2の矢印S方向に沿って、例えば0.3〜3.0kg/cm2の加圧力で圧縮気体が与えられると、圧縮気体が各フィブリル33の間のボイド34をぬって通過して微小気泡(微小泡ともいう)が発生する。 When compressed gas is given along the direction of arrow S in FIG. 2 with a pressure of, for example, 0.3 to 3.0 kg / cm 2, the compressed gas passes through the voids 34 between the fibrils 33 and passes through the microbubbles. (Also referred to as microbubbles) occurs.
一方、第2多孔質フィルタ12は、第1多孔質フィルタ11のフィルム部32に対して密接して配置されている例えば不織布である。第2多孔質フィルタ12は、各フィブリル33間のボイド34から出た微小気泡を第1多孔質フィルタ11から切り離すことによって、微小気泡同士の合体を起こさずに微小気泡のまま吐き出させて生成し、微小気泡を含んだ液体70を生成する役目を果たす。
On the other hand, the second
次に、図1に戻り、図1示す気体供給部20と液体供給部21を説明する。
Next, returning to FIG. 1, the
図1に示す気体供給部20は、プロセス気体の気体貯蔵部40と、流量調節器41と、レギュレータ42を有している。気体貯蔵部40は、プロセス気体として例えば酸素ガスあるいは窒素ガスあるいは空気を貯蔵している。気体貯蔵部40内のプロセス気体は、流量調節器41を介してレギュレータ42により加圧力を調整しながら、気体導入部13を介して第1多孔質フィルタ11の中空部分24に導入するようになっている。
The
図1に示す液体供給部21は、気体供給部20とは反対側に配置されており、液体供給部21は、液体をケーシング部15の小径部分30の液体導入部55を通じてケーシング部15内に加圧して供給するようになっている。この液体としては、例えば水や酸性液あるいはアルカリ液である。
The
次に、上述した微小気泡生成装置10を用いた微小気泡生成方法について説明する。
Next, a microbubble generation method using the
図1に示す気体貯蔵部40内のプロセス気体は、流量調節器41を介してレギュレータ42により加圧力を調整しながら、気体導入部13を介して第1多孔質フィルタ11の中空部分24内に導入する。同時に、液体供給部21は、液体をケーシング部15の小径部分30の液体導入部55を通じてケーシング部15内に加圧して供給する。この場合に、プロセス気体は、第1多孔質フィルタ11の中空部分24から第1多孔質フィルタ11を通るが、プロセス気体は閉鎖部14があるのでケーシング部15の空間部28側には浸入せずに、プロセス気体はすべて第1多孔質フィルタ11を通る。
The process gas in the
図2の矢印S方向に沿って、例えば0.3〜3.0kg/cm2の加圧力で圧縮したプロセス気体が第1多孔質フィルタ11に供給されると、圧縮したプロセス気体が各フィブリル33の間のボイド34をぬって通過して微小気泡が発生する。第2多孔質フィルタ12は、第1多孔質フィルタ11のフィルム部32に対して密接して配置されており、第2多孔質フィルタ12は、各フィブリル33間のボイド34から出た微小気泡を第1多孔質フィルタ11から切り離すことによって、微小気泡同士の合体を起こさずに微小気泡のまま吐き出させて微小気泡を生成する。従って、微小気泡を含む液体70は、気体導入部13付近の第2多孔質フィルタ12の一端部25から外部に放出できる。この第2多孔質フィルタ12の一端部25は、微小気泡を含む液体70を放出するための放出部である。
When the process gas compressed with, for example, a pressure of 0.3 to 3.0 kg / cm 2 is supplied to the first
このようにして、加圧したプロセス気体を第1多孔質フィルタ11に通して、多数の微小気泡を生成させた直後に、この多数の微小気泡は第2多孔質フィルタ12を通過する液体に接することができ、複数の微小気泡同士がお互いにくっつかないようにして、微小気泡を含む液体70を生成している。このように複数の微小気泡同士がお互いにくっつかないようにするためには、第2多孔質フィルタ12の半径方向の厚みを大きくして、液体が第2多孔質フィルタ12を通ることができる大きな通路を確保することが望ましい。
In this way, immediately after the pressurized process gas is passed through the first
上述した微小気泡生成装置10は、構造の簡単化が図れ、微小気泡および微小気泡を含む液体を確実に生成することができる。
The above-described
上述した微小気泡生成装置10は、プロセス気体を加圧しながら例えば第1多孔質フィルタ11の複数の数十nmの径を有する第1孔を通過させることで、マイクロナノバブルあるいはナノバブルを生成することができる。
The
(第2実施形態)
図3は、本発明の微小気泡生成装置の好ましい第2実施形態を示す図である。
(Second Embodiment)
FIG. 3 is a view showing a second preferred embodiment of the microbubble generator of the present invention.
図3に示す第2実施形態の微小気泡生成装置10Bが、図1に示す第1実施形態の微小気泡生成装置10と異なるのは、ケーシング部15Bの形状である。微小気泡生成装置10Bのその他の構成要素は、図1に示す微小気泡生成装置10の対応する構成要素と実質的に同じであるので、同じ符号を記してその説明を用いることにする。
The microbubble generator 10B of the second embodiment shown in FIG. 3 differs from the microbubble generator 10B of the first embodiment shown in FIG. 1 in the shape of the casing portion 15B. Other constituent elements of the microbubble generating device 10B are substantially the same as the corresponding constituent elements of the
図3に示すケーシング部15Bの大径部分29は、複数の貫通穴60を有している。これらの貫通穴60は、大径部分29において第2多孔質フィルタ12に対応する領域において、例えば同じ間隔をおいて配置されている。
The large-
これにより、微小気泡を含む液体70に加えて、これらの貫通穴60からも、微小気泡を含む液体71が放出でき、微小気泡を含む液体の放出効率を向上できる。
Thereby, in addition to the liquid 70 containing microbubbles, the liquid 71 containing microbubbles can be discharged from these through
(第3実施形態)
図4は、本発明の微小気泡生成装置の好ましい第3実施形態を示す図である。
(Third embodiment)
FIG. 4 is a diagram showing a third preferred embodiment of the microbubble generating device of the present invention.
図4に示す例では、微小気泡生成装置10が、例えば枚葉式の基板処理装置100に対して洗浄装置として適用されている。
In the example shown in FIG. 4, the
基板処理装置100は、基板保持部90と、供給ノズルの操作部72と、ダウンフロー用のフィルタ付きファン73と、カップ74と、供給ノズル75と、処理室76を有する。
The
基板保持部90は、円板のベース部材77と、回転軸78と、モータ79を有しており、ベース部材77の上には基板Wが着脱可能に固定されている。処理室76内には、カップ74と供給ノズル75とベース部材77と回転軸78が収容されている。モータ79が制御部80の指令により動作することで、ベース部材77はR方向に連続回転することができる。
The
供給ノズル75は基板Wの上部に配置されており、供給ノズル75は、操作部72の動作により、Z方向(上下方向)とX方向(基板の半径方向)に移動可能である。
The
微小気泡生成装置10の一端部25は、チューブ81を介して供給ノズル75に接続されている。従って、微小気泡を含む液体70は、チューブ81を介して供給ノズル75に供給できるので、微小気泡を含む液体70は供給ノズル75を通じて基板Wの噴射できる。このように微小気泡を含む液体70を基板Wの表面に噴射することで、微小気泡の持つマイナス電位で、プラスにチャージされたパーティクルのような汚染物を包み込んで、この汚染物を微小気泡と共に基板Wの表面から除去できる。
One
なお、図3に示す微小気泡生成装置10Bも、例えば枚葉式の基板処理装置100に対して洗浄装置として適用することができる。
Note that the microbubble generating device 10B shown in FIG. 3 can also be applied as a cleaning device to the single-wafer type
本発明の微小気泡を生成する微小気泡生成装置は、圧縮気体を通すことで微小気泡を形成する1μm以下の径の複数の第1孔を有し、圧縮気体を導入するための中空部分を有する第1多孔質フィルタと、第1多孔質フィルタの外側に密接して配置され、1μmを超える径の複数の第2孔を有する第2多孔質フィルタと、第1多孔質フィルタの中空部分の一端部に対して圧縮気体を導入するために第1多孔質フィルタの一端部側に形成された気体導入部と、第1多孔質フィルタの中空部分の他端部を閉鎖する閉鎖部と、第2多孔質フィルタの外側に配置されるケーシング部であって、その内周面は前記第2多孔質フィルタの外周面に密接して配置されるとともに、気体導入部の反対側の位置から第2多孔質フィルタに対して液体を導入するための液体導入部と、液体導入部の反対側の位置から微小気泡を含む液体を放出する放出部と、を有するケーシング部と、を備えることを特徴とする。 The microbubble generating apparatus for generating microbubbles of the present invention has a plurality of first holes having a diameter of 1 μm or less that forms microbubbles by passing compressed gas, and has a hollow portion for introducing compressed gas. A first porous filter; a second porous filter disposed in close contact with the outside of the first porous filter and having a plurality of second holes having a diameter of more than 1 μm; and one end of a hollow portion of the first porous filter A gas introduction part formed on one end part side of the first porous filter for introducing compressed gas to the part, a closing part for closing the other end part of the hollow part of the first porous filter, and a second part A casing portion disposed outside the porous filter, the inner peripheral surface thereof being disposed in close contact with the outer peripheral surface of the second porous filter, and the second porous portion from a position opposite to the gas introduction portion. For introducing liquid into the quality filter It is characterized by comprising a casing part having a liquid introduction part and a discharge part for releasing a liquid containing microbubbles from a position opposite to the liquid introduction part.
これにより、圧縮気体と液体を供給するだけで、第1多孔質フィルタは多数の微小気泡を生成でき、第2多孔質フィルタは多数の微小気泡同士が互いにくっつくのを防いで、微小気泡を含む液体を生成でき、真空ポンプ等の設備が不要であり、構造が簡単化でき、微小気泡を含む液体を確実に生成することができる。また、第2多孔質フィルタに液体を流すだけで、第1多孔質フィルタで生成された微小気泡が、第2多孔質フィルタ内で留まることなく、吐出することができる。 Accordingly, the first porous filter can generate a large number of microbubbles only by supplying compressed gas and liquid, and the second porous filter prevents the microbubbles from sticking to each other and includes the microbubbles. A liquid can be generated, equipment such as a vacuum pump is not required, the structure can be simplified, and a liquid containing microbubbles can be reliably generated. Moreover, the microbubble produced | generated by the 1st porous filter can be discharged without staying in a 2nd porous filter only by flowing a liquid through a 2nd porous filter.
第1多孔質フィルタは、円筒状の部材である。これにより、円筒状の第1多孔質フィルタから多数の微小気泡を第2多孔質フィルタに向けて生成することができる。 The first porous filter is a cylindrical member. Thereby, many microbubbles can be produced | generated toward a 2nd porous filter from a cylindrical 1st porous filter.
第2多孔質フィルタは、第1多孔質フィルタの外周面に対して密接して配置されている円筒状部材である。これにより、第1多孔質フィルタから生成された多数の微小気泡同士が互いにくっつくのを確実に防いで、微小気泡を含む液体を確実に生成することができる。 A 2nd porous filter is a cylindrical member arrange | positioned closely with respect to the outer peripheral surface of a 1st porous filter. Thereby, it is possible to reliably prevent a large number of microbubbles generated from the first porous filter from sticking to each other, and to reliably generate a liquid containing microbubbles.
ケーシング部は円筒状の部材であり、ケーシング部の内周面は、第2多孔質フィルタの外周面に対して密接して配置されている。これにより、ケーシング部は第1多孔質フィルタと第2多孔質フィルタを確実に保持しながら、液体は第2多孔質フィルタ内を通過させることができる。 The casing part is a cylindrical member, and the inner peripheral surface of the casing part is disposed in close contact with the outer peripheral surface of the second porous filter. As a result, the casing can securely hold the first porous filter and the second porous filter while allowing the liquid to pass through the second porous filter.
気体導入部と液体導入部は、同じ中心軸上に配置され、閉鎖部は、気体導入部と液体導入部の間に配置されている。これにより、圧縮気体の全部が漏れないように第1多孔質フィルタを通過させることができ、液体が第1多孔質フィルタ内に入り込むことを防ぐ。 The gas introduction part and the liquid introduction part are arranged on the same central axis, and the closing part is arranged between the gas introduction part and the liquid introduction part. Thereby, the first porous filter can be passed so that all of the compressed gas does not leak, and the liquid is prevented from entering the first porous filter.
第1多孔質フィルタは、複数のフィブリルを有する高分子フィルムであり、フィブリルの間に第1孔を有する。これにより、圧縮気体から多数の微小気泡を生成することができる。 The first porous filter is a polymer film having a plurality of fibrils, and has a first hole between the fibrils. Thereby, many microbubbles can be produced | generated from compressed gas.
第2多孔質フィルタは、不織布である。これにより、簡単な構造ながら、第2多孔質フィルタは、第1多孔質フィルタから生成された多数の微小気泡同士が互いにくっつくのを確実に防げるとともに、液体を通過させることができ、微小気泡を含む液体を確実に生成できる。 The second porous filter is a nonwoven fabric. Thereby, while having a simple structure, the second porous filter can surely prevent a large number of microbubbles generated from the first porous filter from sticking to each other and can allow liquid to pass through. The contained liquid can be reliably generated.
ケーシング部には、第2多孔質フィルタに通じる複数の貫通穴が形成されている。これにより、複数の貫通穴からも微小気泡を含む液体を確実に生成できる。 The casing portion is formed with a plurality of through holes that communicate with the second porous filter. Thereby, the liquid containing a microbubble can be reliably produced | generated from a some through-hole.
本発明の微小気泡生成装置は、例えば半導体基板、液晶表示装置用のガラス基板、フォトマスク用のガラス基板等の基板を、液体により処理する基板処理装置に対して搭載して、基板の表面や液体中のパーティクル等の不純物を除去するのに用いることができる。 The microbubble generator of the present invention includes, for example, a substrate such as a semiconductor substrate, a glass substrate for a liquid crystal display device, a glass substrate for a photomask, etc. mounted on a substrate processing apparatus for processing with a liquid, It can be used to remove impurities such as particles in the liquid.
さらに、本発明の実施の形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成できる。 Furthermore, various inventions can be formed by appropriately combining a plurality of constituent elements disclosed in the embodiments of the present invention.
例えば、第1多孔質フィルタと第2多孔質フィルタおよびケーシング部の形状は、必ずしも円筒形状でなくても良く、任意の形状を採用できる。例えば、本発明の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。 For example, the shapes of the first porous filter, the second porous filter, and the casing portion do not necessarily have to be cylindrical, and any shape can be adopted. For example, you may delete some components from all the components shown by embodiment of this invention. Furthermore, you may combine the component covering different embodiment suitably.
10 微小気泡生成装置
11 第1多孔質フィルタ
12 第2多孔質フィルタ
13 気体導入部
14 閉鎖部
15 ケーシング部
20 気体供給部
21 液体供給部
24 中空部分
25 第2多孔質フィルタの一端部
70 微小気泡を含む液体
DESCRIPTION OF
Claims (9)
圧縮気体を通すことで前記微小気泡を形成する1μm以下の径の複数の第1孔を有し、前記圧縮気体を導入するための中空部分を有する第1多孔質フィルタと、
前記第1多孔質フィルタの外側に密接して配置され、1μmを超える径の複数の第2孔を有する第2多孔質フィルタと、
前記第1多孔質フィルタの前記中空部分の一端部に対して前記圧縮気体を導入するために前記第1多孔質フィルタの一端部側に形成された気体導入部と、前記第1多孔質フィルタの前記中空部分の他端部を閉鎖する閉鎖部と、
前記第2多孔質フィルタの外側に配置されるケーシング部であって、その内周面は前記第2多孔質フィルタの外周面に密接して配置されるとともに、前記気体導入部の反対側の位置から前記第2多孔質フィルタに対して液体を導入するための液体導入部と、前記液体導入部の反対側の位置から前記微小気泡を含む前記液体を放出する放出部と、を有する前記ケーシング部と、
を備えることを特徴とする微小気泡生成装置。 A microbubble generator for generating microbubbles,
A plurality of first holes of 1μm or less diameter forming the microbubbles by passing a compressed gas, a first porous filter having a hollow portion for introducing the compressed gas,
A second porous filter disposed in close contact with the outside of the first porous filter and having a plurality of second holes having a diameter of more than 1 μm;
A gas introduction part formed on one end part side of the first porous filter for introducing the compressed gas into one end part of the hollow part of the first porous filter; A closing portion for closing the other end of the hollow portion;
A casing portion disposed outside the second porous filter, the inner peripheral surface thereof being disposed in close contact with the outer peripheral surface of the second porous filter, and a position opposite to the gas introduction portion said casing part having said liquid introducing portion for introducing a liquid to the second porous filter, and a release section for releasing the liquid containing the microbubbles from a position opposite to the liquid inlet portion from When,
A microbubble generator characterized by comprising:
前記第2多孔質フィルタの複数の前記第2孔の径は、1μmを超え100μm以下であることを特徴とする請求項1に記載の微小気泡生成装置。 The diameter of the plurality of first holes of the first porous filter is 0.01 μm or more and 1 μm or less,
2. The microbubble generating device according to claim 1, wherein a diameter of the plurality of second holes of the second porous filter is more than 1 μm and not more than 100 μm.
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