JP4992451B2 - 半導体レーザ、および半導体レーザを作製する方法 - Google Patents
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H. Yagi et al.: Appl. Phys. Lett., 87 (2005) pp.223120-1 1. J. K. White et al. ECOC2002, Lasers 5.3.3 (2002)
屈折率が比較的大きい材料から成る量子細線と屈折率が比較的小さい材料から成る中間半導体領域とが配置されるので、この分布帰還構造は、これらの大きな屈折率差に起因して、比較的広いストップバンドを有する。複数の量子細線の利得スペクトルが、発光領域全体の利得スペクトルの幅が各量子細線の利得スペクトルの幅より大きくなるように分布しているので、広い温度範囲で、ストップバンドのエッジの一方に位置する分布帰還構造のスペクトルのピークが発光領域全体の利得スペクトルと整合する。
量子細線幅の平均値:30nm
分布の標準偏差:3nm(平均値の10%)
とする。ガウス分布式は、
exp(−(W―W0)2/(2×DW2))/(sqrt(2×pi)×DW)
DW:標準偏差
W0:細線幅の平均値
W:量子細線幅
pi:円周率
exp:指数関数(自然対数)の記号
で表される。これを用いて相対度数は以下のように求められる。
W=30nmのとき0.133、
W=31nm、29nmのとき0.126、
W=32nm、28nmのとき0.107、
W=33nm、27nmのとき0.081、
となる。よって、これらの相対度数を反映させて、細線幅にサイズ分布を与える。具体例としては、
共振器長:240μm、
DFB周期:240nm
ブラッグ波長:1550nm
とすると、1000本の量子細線を形成できる。故に、W=30nm幅の量子細線は133本、W=31、29nm幅の量子細線はそれぞれ126本、といったように分布させることになる。また、これらの量子細線の配置は、ランダム分布を用いることができるが、これに限定されるものではない。
Claims (6)
- 第1導電型クラッド領域と、
第2導電型クラッド領域と、
発光領域と
を備え、
前記発光領域は、前記第1導電型クラッド領域と前記第2導電型クラッド領域との間に設けられており、
前記発光領域は、複数の量子細線と該量子細線の間に設けられた中間半導体領域とを含み、
前記量子細線の各々は、障壁層と井戸層とを含む量子井戸構造を有し、
前記量子細線は所定の軸に沿って周期的に配置されており、
前記量子細線の各々は、共振器の延在方向に対して垂直な方向に延在しており、
前記所定の軸は前記共振器の延在方向に向いており、
前記量子細線の各々は、前記所定の軸方向に規定された量子細線幅を有し、
前記複数の量子細線のうちの一量子細線の量子細線幅は、前記複数の量子細線のうちの別の量子細線の量子細線幅と異なる、ことを特徴とする半導体レーザ。 - 第1導電型クラッド領域と、
第2導電型クラッド領域と、
発光領域と
を備え、
前記発光領域は、前記第1導電型クラッド領域と前記第2導電型クラッド領域との間に設けられており、
前記発光領域は、複数の量子細線と該量子細線の間に設けられた中間半導体領域とを含み、
前記量子細線の屈折率は前記中間半導体領域の屈折率より大きく、
前記量子細線の各々は、障壁層と井戸層とを含む量子井戸構造を有し、
前記複数の量子細線と前記中間半導体領域は、前記発光領域が複素結合型分布帰還構造を構成するように配置されており、
前記複数の量子細線の利得スペクトルは、前記発光領域全体の利得スペクトルの幅が各量子細線の利得スペクトルの幅より大きくなるように分布している、ことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記量子細線の量子細線幅の平均値は30ナノメートル以下であり、
前記量子細線の量子細線幅の最大値は前記平均値の1.1倍よりも大きく、
前記量子細線の量子細線幅の最小値は前記平均値の0.9倍よりも小さい、ことを特徴とする請求項1に記載された半導体レーザ。 - 前記量子井戸構造は歪み補償されている、ことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載された半導体レーザ。
- 前記井戸層はGaInAsP半導体からなり、
前記中間半導体領域はInP半導体からなる、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載された半導体レーザ。 - 半導体レーザを作製する方法であって、
量子井戸構造のための半導体積層を第1導電型クラッド層上に形成する工程と、
前記半導体積層上に周期的に配列された複数のマスクパターンを有するマスクを用いて前記半導体積層をエッチングし、複数の量子細線を形成する工程と、
前記複数の量子細線を半導体で埋め込む工程と
を備え、
前記量子細線の各々は、共振器の延在方向に対して垂直な方向に延在しており、
前記マスクパターンのうちの一のマスクパターンの幅は、量子細線幅の分布を成すように、前記マスクパターンのうちの別のマスクパターンの幅と意図的に変更されている、ことを特徴とする方法。
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