JP4992155B2 - 等しい量のエネルギーを伝送する方法及びエネルギーの伝送を制御する装置 - Google Patents
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Description
(1)露光するイメージの全部または一部についての、デジタル的に記録された情報に基づいて、光モジュレータ構成1と光感応媒体5の間の現在の相対位置に対して、各々の光モジュレータLMに対する設定を含むビットマップを確立し、
(2)確立されたビットマップを、DMD−チップの内部メモリにロードし、
(3)ロードされたデータに従って、DMD−チップを光モジュレータLMと関連づけさせ、
(4)例えばスキャン速度、ピークタイム等に基づいて決定された、ある時間の経過後にDMD−チップを光モジュレータLMから解放させる。
(1A)露光するイメージの全部または一部についての、デジタル的に記録された情報に基づいて、光モジュレータ構成1と光感応媒体5の間の現在の相対位置に対して、各々の光モジュレータLMに対する設定を含むビットマップを確立し、
(1B)確立されたビットマップを、ビット毎のAND操作を用いて変調マスクMMと組合せることにより、合成ビットマップを確立し、
(2)確立された合成ビットマップを、DMD−チップの内部メモリにロードし、
(3)ロードされたデータに従って、DMD−チップを光モジュレータLMと関連づけさせ、
(4)例えばスキャン速度、ピークタイミング等に基づいて決定された、ある時間の経過後にDMD−チップを光モジュレータLMから解放させる。
(1A)露光するイメージの全部または一部についての、デジタル的に記録された情報に基づいて、光モジュレータ構成1と光感応媒体5の間の現在の相対位置に対して、各々の光モジュレータLMに対する設定を含むビットマップを確立し、
(1Aa)ロードおよび/またはプロセスにより、変調マスクMMを確立し、
(1B)確立されたビットマップを、ビット毎のAND操作を用いて変調マスクMMと組合せることにより、合成ビットマップを確立し、
(2)確立された合成ビットマップを、DMD−チップの内部メモリにロードし、
(3)ロードされたデータに従って、DMD−チップを光モジュレータLMと関連づけさせ、
(4)例えばスキャン速度、ピークタイム等に基づいて決定された、ある時間の経過後にDMD−チップを光モジュレータLMから解放させる。
3 光変調手段
LS 光源
LSP 光感応点
LM 光モジュレータ
MM 変調マスク
Claims (19)
- 少なくとも一つの光源(LS)から、少なくとも二つの光感応点(LSP)に、等しい量のエネルギーを伝送する方法であって、前記光源が周期的な強度ピークを持つ強度の時間的変動を含み、
前記伝送が、少なくとも一つの照明の構成(1)により制御され、
前記方法が、前記強度の変動と前記照明の構成の少なくとも一つの特徴の間の相関の設定を含み、
前記少なくとも一つの照明の構成(1)と、前記少なくとも二つの光感応点(LSP)は、互いに対して相対的に移動しており、前記照明の構成の前記少なくとも一つの特徴は前記相対的な移動の特性を有し、
前記相関の設定は、前記相対的な移動の前記特性を、前記強度の時間的変動と同期するように適合させることを含み、かつ/又は
前記相関の設定は、前記強度の時間的変動を、前記相対的な移動の前記特性と同期するように適合させることを含み、前記強度の変動と前記相対的な移動の前記特性の間の前記同期は、前記少なくとも二つの光感応点の各々の照明の間に発生する、前記周期的な強度のピークの整数個を含む方法。 - 前記照明の構成(1)は、少なくとも一つの光変調手段(3)を含み、前記照明の構成の前記少なくとも一つの特徴は、前記光変調手段の特性を含む、請求項1に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの光変調手段(3)は、複数の光モジュレータ(LM)を有する少なくとも一つの空間光モジュレータを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの照明の構成(1)による前記伝送の前記制御は、前記少なくとも一つの光変調手段(3)の前記特性を、光モジュレータを定義して動作不能にする少なくとも一つの変調マスク(MM)に基づいて、少なくとも部分的に制御することを含む、請求項2又は3に記載の方法。
- 前記相関の設定は、前記少なくとも一つの光変調手段(3)の前記特性が、前記強度の時間的変動と同期して制御されるように、前記少なくとも一つの変調マスク(MM)を適合させることを含む、請求項1〜4の1つに記載の方法。
- 前記少なくとも一つの変調マスク(MM)の前記適合は、連続的に実行される、請求項4又は5に記載の方法。
- 前記少なくとも一つの変調マスク(MM)の前記適合は、変調マスクの集積から予め定義された変調マスクを選択することを含む、請求項4〜6の1つに記載の方法。
- 前記少なくとも一つの変調マスク(MM)は、前記光変調手段または前記照明の構成(1)の光学的特徴により引き起こされる、空間的な強度の変動のため不均一なエネルギーの伝送を避けるための制御情報をさらに含む、請求項4〜7の1つに記載の方法。
- 前記相関の設定は、前記制御情報を時間的に再配列することを含む、請求項1〜8の1つに記載の方法。
- 前記相関の設定は、前記制御情報を空間的に再配列することを含む、請求項1〜8の1つに記載の方法。
- 少なくとも二つの光感応点(LSP)へのエネルギーの伝送を制御するための装置(1)であって、
前記伝送の制御は、前記少なくとも二つの光感応点(LSP)の各々への等しい量のエネルギーの伝送を可能にし、
前記照明の構成は、少なくとも一つの光源(LS)を含み、
前記光源(LS)は、周期的な強度の変動を含む光を放出し、
前記照明の構成は、少なくとも一つの空間光変調手段を含む少なくとも一つの光変調手段(3)を含み、前記少なくとも二つの光感応点(LSP)の各々への等しい量のエネルギーの前記伝送は、前記照明の構成と前記少なくとも二つの光感応点の間の前記相対的な移動の制御により少なくとも部分的に可能にされ、前記相対的な移動の前記制御は、前記相対的な移動を前記周期的な強度の変動と同期させることを含み、前記強度の変動と前記相対的な移動の前記特性の間の前記同期は、前記少なくとも二つの光感応点の各々の照明の間に発生する、前記周期的な強度のピークの整数個を含む装置。 - 前記少なくとも一つの空間光変調手段(3)はDMD−チップを含む、請求項11に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの空間光変調手段(3)はマイクロメカニカルシャッタアレイを含む、請求項11に記載の装置。
- 前記照明の構成は、前記少なくとも二つの光感応点に対して相対的に移動する、請求項11〜13の1つに記載の装置。
- 前記少なくとも二つの光感応点(LSP)の各々への等しい量のエネルギーの前記伝送は、前記光変調手段(3)の制御により少なくとも部分的に可能にされる、請求項11〜14の1つに記載の装置。
- 前記光変調手段(3)の前記制御は、少なくとも一つの変調マスク(MM)の適用を含む、請求項11〜15の1つに記載の装置。
- 前記少なくとも一つの変調マスク(MM)は、前記周期的な強度の変動の特性に基づいて設定される、請求項16に記載の装置。
- 前記少なくとも一つの変調マスク(MM)はさらに、前記照明の構成の別の欠点を取り扱うための制御情報を含む、請求項16又は17に記載の装置。
- 前記光変調手段(3)の前記制御は、別の欠点を取り扱うための前記制御情報の再配列を含む、請求項11〜18の1つに記載の装置。
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