JP4979487B2 - 角度センサ - Google Patents

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本発明は、角度センサに関し、特に、内蔵される磁石の回転角度を検出する角度センサに関する。
従来、回転軸に取り付けた磁石に対してホール素子を中立検出位置に対向配置し、ホール素子からの出力信号に基づいて磁石の回転角度を検出する角度センサが提案されている(例えば、特許文献1参照)。かかる角度センサにおいては、回転軸の中央に直方体形状の磁石を配設する一方、回転軸の外周面近傍にホール素子を配置し、磁石からのホール素子に印加される磁場の強度に応じて磁石の回転角度を算出している。
一方、現在、磁石からの磁場の向きを検出して出力信号を変化させる巨大磁気抵抗効果素子(GMR素子)を利用した磁気センサが提案されている(例えば、特許文献2参照)。このようなGMR素子を利用した磁気センサにおいては、磁石からの磁場の向きに応じたGMR素子における電気抵抗値の変化に基づいて出力信号を変化させている。
特開2003−151390号公報 特開2006−276983号公報
上述したような特許文献1記載の角度センサにおいて、ホール素子の代わりにGMR素子を配設し、GMR素子を利用した角度センサを構成することが考えられる。しかしながら、特許文献1記載の角度センサのように、回転体の外周面に磁場の向きを検出するGMR素子を配置する場合においては、磁石の回転角度と、GMR素子に作用する磁場の角度とが対応せず、適切に磁石の回転角度を検出することができないという問題がある。
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、磁石の回転領域の外側に磁気検知素子を配置した場合においても、適切に磁石の回転角度を検出することができる角度センサを提供することを目的とする。
本発明の角度センサは、回転可能に設けられた磁石と、前記磁石が回転することで形成される回転領域の外側に配設され、当該磁石から発生する磁場の向きを検出する磁気検知素子とを備え、前記磁石の回転角度を検出する角度センサであって、前記磁石は、円盤形状のものから、平面視円形状の外周を平行な2辺で均等に切り落とした平面視直線部と円弧部とからなる形状を有し、前記円弧部の中央に前記磁石の外周側に突出する凸部を設けたことを特徴とする。
上記角度センサによれば、円盤形状の磁石を、平面視円形状の外周を平行な2辺で均等に切り落とした平面視直線部と円弧部とからなる形状としたことから、直線部から発生する磁場の向きを調整可能となるので、磁石の回転角度に対する、磁気検知素子に作用する磁場の角度のリニアリティを向上することができる。この結果、磁石の回転領域の外側に磁気検知素子を配置した場合においても、適切に磁石の回転角度を検出することが可能となる。また、円弧部の中央に設けた凸部から発生する磁場の向きを更に調整可能となるので、より磁石の回転角度に対する、磁気検知素子に作用する磁場の角度のリニアリティを向上することができる。この結果、磁石の回転領域の外側に磁気検知素子を配置した場合においても、適切に磁石の回転角度を検出することが可能となる。
さらに、上記角度センサにおいて、磁気検知素子としてGMR素子を用いることが好ましい。このように磁気検知素子としてGMR素子を用いることにより検知感度を向上させることができる。
本発明によれば、磁石を、円形状の外周を平行な2辺で均等に切り落とした直線部と円弧部とからなる形状としたことから、直線部から発生する磁場の向きを調整可能となるので、磁石の回転領域の外側に磁気検知素子を配置した場合においても、適切に磁石の回転角度を検出することが可能となる。
以下、本発明の実施の形態について添付図面を参照して詳細に説明する。本発明に係る角度センサは、回転可能に設けられた磁石と、この磁石の回転領域の外側に配設されるGMR素子とを備える角度センサにおいて、磁石の形状を変更することで、磁石の回転角度と磁場の回転角度とを対応させ、適切に磁石の回転角度を検出するものである。
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1に係る角度センサ100の構成を説明するための模式図である。なお、図1においては、本実施の形態に係る角度センサ100が有する磁石の回転軸の軸方向から示している。図1に示すように、本実施の形態に係る角度センサ100は、回転可能に設けられた磁石101と、この磁石101が回転することで形成される回転領域の外側であって、当該回転領域から一定距離だけ離間した位置に配設されるGMR素子102とを含んで構成される。
磁石101は、図1に示すように、外周部分の一部を切り落とした円盤形状を有している。具体的には、円盤形状の外周部分を平行な2辺で均等に切り落とした形状を有しており、平面視にて一対の直線部101aと、一対の円弧部101bとから構成されている。また、磁石101の中央部には、円形状の開口部101cが形成されている。開口部101cには、例えば、自動車に搭載されるステアリングセンサなど、回転角度の検出を必要とする装置の一部を構成するシャフトが挿通される。なお、磁石101は、図1に示す下方側の部分がN極に着磁され、同図に示す上方側の部分がS極に着磁されている。また、磁石101は、図1に示す時計回り方向に回転するものとする。
GMR素子102は、磁石101が有する円弧部101bの外周よりも僅かに外側の位置に配設されている。GMR素子102は、基本的な構成として、交換バイアス層(反強磁性層)、固定層(ピン止め磁性層)、非磁性層及び自由層(フリー磁性層)をウエハー(図示せず)上に積層して形成され、巨大磁気抵抗効果を利用したGMR(Giant Magnet Resistance)素子の一種である磁気抵抗効果素子として構成されている。
なお、GMR素子102が巨大磁気抵抗効果(GMR)を発揮するためには、例えば、交換バイアス層がIrMn層、固定層がNiFe層、非磁性層がCu層、自由層がNiFe層から形成されることが好ましいが、これらのものに限定されるものではなく、磁気抵抗効果を発揮するものであれば、いずれのものであってもよい。また、GMR素子102は、磁気抵抗効果を発揮するものであれば、上記の積層構造のものに限定されるものではない。
本実施の形態に係る角度センサ100は、このような構成を有し、磁石101による外部磁場、すなわち、磁石101から発生する磁場をGMR素子102に作用させる。そして、GMR素子102の電気抵抗値の変化を、当該磁場の向きにより生じさせ、これを反映したGMR素子102の出力電圧から磁石101の回転角度を検出する。
本実施の形態に係る角度センサ100において、磁石101及びGMR素子102は、図1に示す位置を初期状態の位置(以下、適宜「初期位置」という))として設定されている。すなわち、磁石101は、図1に示す下方側に配置された円弧部101bの外側の位置に、GMR素子102を対向配置した状態を初期位置として設定されている。なお、GMR素子102は、図1に示す位置に固定されている。磁石101が回転することで、この磁石101に対するGMR素子102の相対的な位置が変化するようになっている。
磁石101が初期位置に配置されている場合において、磁石101からは図1に示すような矢印に対応する磁場MFが発生している。磁石101からの磁場MFにおいては、図1に示すように、概して、同図に示す下方側の円弧部101bの右方側部分からの磁場MFは、同図に示す上方側の円弧部101bの右方側部分に向かい、同図に示す下方側の円弧部101bの左方側部分からの磁場MFは、同図に示す上方側の円弧部101bの左方側部分に向かっている。また、図1に示す直線部101aからの磁場MFは、同一の直線部101aに向かっている。
図2は、図1に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。なお、図2においては、説明の便宜上、磁石101が回転した場合にGMR素子102が配置される位置に相当する位置を示している。具体的には、磁石101が45度回転した場合、並びに、90度回転した場合におけるGMR素子102の位置を示している。特に、図2においては、磁石101が回転していない場合(初期位置の場合)におけるGMR素子102を「GMR素子102a」と示し、磁石101が45度回転した場合におけるGMR素子102を「GMR素子102b」と示し、磁石101が90度回転した場合におけるGMR素子102を「GMR素子102c」と示している。
図2に示すように、磁石101が初期位置にある場合、同図に示す下方側に向かう磁場MFが発生し、GMR素子102aには、磁石101の径方向に向かう磁場MFが作用している。そして、磁石101が45度回転した場合、図2に示す右方側に向かう磁場MFが発生し、GMR素子102bには、同図に示す左方側に配置されるGMR素子102bの一角からその対角に向かう磁場MFが作用している。さらに、磁石101が90度回転した場合、図2に示す上方側に向かう磁場MFが発生し、GMR素子102cには、GMR素子102cの周方向に向かう磁場MFが作用している。なお、図1に示す右上方側の部分、左上方側の部分及び左下方側の部分についても、GMR素子102に作用する角度の値は違うが、同様の態様でGMR素子102に磁場MFが作用する。
ここで、磁石101が初期位置にある場合のGMR素子102aに作用する磁場MFを0度とすると、磁石101が45度回転した場合にGMR素子102bに作用する磁場MFの角度は、およそ45度となる。これは、GMR素子102bの位置がGMR素子102aの位置に重なるように図2を回転させた場合のGMR素子102に作用する磁場MFの角度に相当する。また、磁石101が90度回転した場合にGMR素子102cに作用する磁場MFの角度は、およそ90度となる。これは、GMR素子102cの位置がGMR素子102aの位置に重なるように図2を回転させた場合のGMR素子102に作用する磁場MFの角度に相当する。
このような要領で磁石101の回転角度(以下、適宜「磁石回転角度」という)と、GMR素子102に作用する磁場MFの角度(以下、適宜「磁場角度」という)との関係を示すと、図3に示すように、磁場角度は、磁石回転角度と略同一の値を示すこととなる。図3は、本実施の形態に係る角度センサ100における磁石回転角度と磁場角度との関係を示す図である。図3においては、横軸に磁石回転角度を示し、縦軸に磁場角度を示している。また、図3においては、説明の便宜上、理想的な磁石回転角度と磁場角度との関係も示している。図3から分かるように、本実施の形態に係る角度センサ100においては、理想的な値と大きな角度ずれを発生させることなく、磁石回転角度を検出することが可能である。
このように実施の形態1に係る角度センサ100においては、GMR素子102に作用する磁場を発生する磁石101の形状を、平面視円形状の外周を平行な2辺で均等に切り落とした平面視直線部101aと円弧部101bとからなる形状としたことから、上述のように直線部101aから発生する磁場の向きを調整可能となるので、磁石回転角度に対する磁場角度のリニアリティを向上することができる。この結果、磁石101の回転領域の外側にGMR素子102を配置した場合においても、適切に磁石101の回転角度を検出することが可能となる。
ここで、本実施の形態に係る角度センサ100で得られる効果を説明するための参照例について説明する。図4〜図6、並びに、図7〜図9は、本実施の形態に係る角度センサ100で得られる効果を説明するための参照例を示す図である。図4〜図6は、上記実施の形態に係る磁石101の形状を円形状とした場合の角度センサ200の例であり、図7〜図9は、上記実施の形態に係る磁石101の形状を長方形状とした場合の角度センサ300の例である。
図4は、上記実施の形態に係る磁石101の形状を円形状とした場合の角度センサ200の構成を説明するための模式図である。図4に示す角度センサ200においては、磁石201の形状が平面視円形状とされている点を除き、上記実施の形態に係る角度センサ100と同一の構成を有する。なお、図4において、図1と同一の構成については、同一の符合を付し、その説明を省略する。
磁石201は、平面視円形状を有し、その中央部に円形状の開口部201aが形成されている。また、上記実施の形態と同様に、図4に示す下方側の部分がN極に着磁され、同図に示す上方側の部分がS極に着磁されている。なお、上記実施の形態と異なり、直線部101aは形成されていない。GMR素子102は、上記実施の形態と同様に、磁石201の回転領域の僅かに外側、すなわち、磁石201の外周よりも僅かに外側の位置に配設されており、図4に示す位置を初期位置として設定されている。
磁石201が初期位置に配置されている場合において、磁石201からは図4に示すような矢印に対応する磁場MFが発生している。磁石201からの磁場MFにおいては、図4に示すように、概して、N極とS極との境界位置(以下、単に「境界位置」という)を挟んで同等の距離を有する部分に向かっている。すなわち、境界位置から近い部分からの磁場MFは、境界位置を挟んで境界位置に近いS極の部分に向かっている。また、磁場MFが発生する部分が境界位置から離れるに連れて、磁石201の外周から離れた位置を孤を描きながら進み、境界位置を挟んで同等の距離を有する部分に向かっている。
図5は、図4に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。図5においては、説明の便宜上、図2と同様に、磁石201が回転した場合(45度回転した場合、90度回転した場合)にGMR素子102が配置される位置に相当する位置を示している。磁石201が初期位置にある場合、並びに、磁石201が90度回転した場合に発生する磁場MFは、上記実施の形態に係る角度センサ100と略同様である。しかしながら、磁石201が45度回転した場合においては、発生する磁場MFの角度(磁場角度)と磁石回転角度との角度ずれが発生する。具体的にいうと、磁石201が45度回転した場合、磁場角度は、磁石回転角度よりも小さくなる。そして、磁石201を更に回転させた場合、135度、225度及び315度において同様の角度ずれの問題が生じる。
上記実施の形態と同様の要領で、この場合における磁石回転角度と磁場角度との関係を示すと、図6に示すように、磁石201を45度及び225度回転させた場合に磁場角度が磁石回転角度よりも大幅に小さくなり、135度及び315度回転させた場合に磁場角度が磁石回転角度よりも大幅に大きくなっていることが分かる。
一方、図7は、上記実施の形態に係る磁石101の形状を平面視長方形状とした場合の角度センサ300の構成を説明するための模式図である。図7に示す角度センサ300においては、磁石301の形状が平面視長方形状とされている点を除き、上記実施の形態に係る角度センサ100と同一の構成を有する。なお、図7において、図1と同一の構成については、同一の符合を付し、その説明を省略する。
磁石301は、平面視長方形状を有し、その中央部に円形状の開口部301aが形成されている。また、上記実施の形態における直線部101aに相当する第1直線部301bと、直線部301bに直交する第2直線部301cが形成されている。さらに、上記実施の形態と同様に、図7に示す下方側の部分がN極に着磁され、同図に示す上方側の部分がS極に着磁されている。なお、上記実施の形態と異なり、円弧部101aは形成されていない。GMR素子102は、上記実施の形態と同様に、磁石301の回転領域の僅かに外側の位置に配設されており、図7に示す位置を初期位置として設定されている。
磁石301が初期位置に配置されている場合において、磁石301からは図7に示すような矢印に対応する磁場MFが発生している。磁石301からの磁場MFにおいては、図7に示すように、概して、同図に示す下方側の第2直線部301cの右方側部分からの磁場MFは、同図に示す上方側の第2直線部301cの右方側部分に向かい、同図に示す下方側の第2直線部301cの左方側部分からの磁場MFは、同図に示す上方側の第2直線部301cの左方側部分に向かっている。また、図7に示す第1直線部301bからの磁場MFは、同一の直線部301bに向かっている。
図8は、図7に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。図8においては、説明の便宜上、図2と同様に、磁石301が回転した場合(45度回転した場合、90度回転した場合)にGMR素子102が配置される位置に相当する位置を示している。磁石301が初期位置にある場合、並びに、磁石301が90度回転した場合に発生する磁場MFは、上記実施の形態に係る角度センサ100と略同様である。しかしながら、磁石301が初期位置から90度回転する過程において、発生する磁場MFの角度(磁場角度)と磁石回転角度との角度ずれが発生する。同様に、90度から180度まで回転する過程、180度から270度まで回転する過程、並びに、270度から360度まで回転する過程において、磁場角度と磁石回転角度との角度ずれが発生する。
上記実施の形態と同様の要領で、この場合における磁石回転角度と磁場角度との関係を示すと、図9に示すように、磁石101を円形状とした場合と比べて磁石回転角度と磁場角度との角度ずれの程度は改善されるものの、その発生頻度が増加している。具体的には、磁石301が初期位置から90度まで回転する過程において、磁石301が30度回転した場合、60度回転した場合に磁石回転角度と磁場角度との角度ずれが発生している。同様に、磁石301が90度から180度まで回転する過程において、120度及び150度回転した場合、磁石301が180度から270度まで回転する過程において、210度及び240度回転した場合、並びに、磁石301が270度から360度まで回転する過程において、300度及び330度回転した場合に磁石回転角度と磁場角度との角度ずれが発生していることが分かる。
(実施の形態2)
実施の形態1に係る角度センサ100においては、理想的な磁石回転角度と磁場角度との関係を維持しながら磁石101の回転角度を検出するものであるが、僅かに理想的な値と角度ずれが発生し得る。実施の形態2に係る角度センサ400は、更に理想的な値との角度ずれを縮小することを目的とするものである。
図10は、本発明の実施の形態2に係る角度センサ400の構成を説明するための模式図である。実施の形態2に係る角度センサ400においては、磁石101の形状が一部異なる点を除き、実施の形態1に係る角度センサ100と同一の構成を有する。なお、図10において、図1と同一の構成については、同一の符合を付し、その説明を省略する。
実施の形態2に係る角度センサ400が有する磁石101においては、平面視円弧部101bの中央部分に、外周側に突出する凸部401が形成されている。凸部401は、その先端が尖った形状を有しており、磁石101が初期位置に配置された状態で図10に示す左右に対称な形状を有している。GMR素子102は、この凸部401の先端の僅かに外側の位置に配設されており、実施の形態1と同様に、図10に示す位置を初期位置として設定されている。
磁石101が初期位置に配置されている場合において、磁石101からは図10に示すような矢印に対応する磁場MFが発生している。図10に示す磁場MFは、凸部401近傍から発生する磁場MFを除き、図1に示す磁場MFと略同様の態様で発生している。凸部401近傍においては、凸部401の傾斜部からの磁場MFが、図1で対応する位置の磁場MFと比べて僅かに角度を有した状態で発生している。
図11は、図10に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。なお、図11においては、図2と同様に、磁石101が回転した場合にGMR素子102が配置される位置に相当する位置を示している。具体的には、磁石101が45度回転した場合、並びに、90度回転した場合におけるGMR素子102の位置を示している。図11においては、図10で説明したのと同様に、凸部401近傍から発生する磁場MFを除き、図2と同様の磁場MFが発生している。
すなわち、磁石101が初期位置にある場合、図11に示す下方側に向かう磁場MFが発生し、GMR素子102aには、磁石101の径方向に向かう磁場MFが作用している。そして、磁石101が45度回転した場合、図11に示す右方側に向かう磁場MFが発生し、GMR素子102bには、同図に示す左方側に配置されるGMR素子102bの一角からその対角に向かう磁場MFが作用している。さらに、磁石101が90度回転した場合、図11に示す上方側に向かう磁場MFが発生し、GMR素子102cには、GMR素子102cの周方向に向かう磁場MFが作用している。
実施の形態1に係る角度センサ100と同様の要領で、実施の形態2に係る角度センサ400における磁石回転角度と磁場角度との関係を示すと、図12に示すように、磁場角度は、磁石回転角度と略同一の値を示すこととなる。特に、図3に示す磁石回転角度と磁場角度との関係に比べ、磁石101が30度、60度、120度、150度、210度、240度、300度及び330度回転した場合における角度ずれが改善されていることが分かる。
ここで、以上のように説明してきた本実施の形態に係る角度センサ100及び400における磁石回転角度と磁場角度との角度ずれについて示す。図13は、本実施の形態に係る角度センサ100及び400における磁石回転角度と磁場角度との角度ずれを示す図である。図13においては、特に、磁石101の形状で本実施の形態に係る角度センサ100及び400を特定している。また、磁石回転角度と磁場角度との間で最大となる角度ずれ(最大角度ずれ)を示している。さらに、説明の便宜上、上述した参照例の角度センサ200及び300における磁石回転角度と磁場角度との角度ずれも示している。
図13に示すように、実施の形態1に係る角度センサ100に相当する小判形状においては、最大角度ずれが3.7度である。また、実施の形態1に係る角度センサ100を改善した実施の形態2に係る角度センサ400に相当する凸部付き小判形状においては、最大角度ずれが1.7度である。なお、上述した参照例で示した角度センサ200に相当する円形状においては、最大角度ずれが24.6度である。また、上述した参照例で示した角度センサ300に相当する長方形状においては、最大角度ずれが6.0度である。このように本実施の形態に係る角度センサ100及び400においては、磁石回転角度と磁場角度との角度ずれを低いレベルに抑えながら磁石回転角度を検出することが可能であることが分かる。
このように実施の形態2に係る角度センサ400においては、磁石101が有する円弧部101bの中央に、当該磁石101の外周側に突出する凸部401を設けたことから、この凸部401から発生する磁場MFの向きを更に調整可能となるので、磁石回転角度に対する磁場角度のリニアリティをより向上することができる。この結果、実施の形態1に係る角度センサ100に比べてより適切に磁石101の回転角度を検出することが可能となる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されず、種々変更して実施することが可能である。上記実施の形態において、添付図面に図示されている大きさや形状などについては、これに限定されず、本発明の効果を発揮する範囲内で適宜変更することが可能である。その他、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施することが可能である。
本発明の実施の形態1に係る角度センサの構成を説明するための模式図である。 図1に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。 実施の形態1に係る角度センサにおける磁石回転角度と磁場角度との関係を示す図である。 実施の形態1に係る角度センサの磁石の形状を平面視円形状とした場合の角度センサの構成を参照例として説明するための模式図である。 図4に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。 実施の形態1に係る角度センサの磁石の形状を平面視円形状とした場合における磁石回転角度と磁場角度との関係を示す参照例の図である。 実施の形態1に係る角度センサの磁石の形状を平面視長方形状とした場合の角度センサの構成を参照例として説明するための模式図である。 図7に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。 実施の形態1に係る角度センサの磁石の形状を平面視長方形状とした場合における磁石回転角度と磁場角度との関係を示す参照例の図である。 本発明の実施の形態2に係る角度センサの構成を説明するための模式図である。 図10に示す右下方側の部分に発生する磁場MFの拡大図である。 実施の形態2に係る角度センサにおける磁石回転角度と磁場角度との関係を示す図である。 上記実施の形態に係る角度センサにおける磁石回転角度と磁場角度との角度ずれを示す図である。
符号の説明
100、200、300、400 角度センサ
101、201、301 磁石
101a 直線部
101b 円弧部
101c、201a 301a 開口部
102 GMR素子
301b 第1直線部
301c 第2直線部
401 凸部

Claims (2)

  1. 回転可能に設けられた磁石と、前記磁石が回転することで形成される回転領域の外側に配設され、当該磁石から発生する磁場の向きを検出する磁気検知素子とを備え、前記磁石の回転角度を検出する角度センサであって、
    前記磁石は、円盤形状のものから、平面視円形状の外周を平行な2辺で均等に切り落とした平面視直線部と円弧部とからなる形状を有し、前記円弧部の中央に前記磁石の外周側に突出する凸部を設けたことを特徴とする角度センサ。
  2. 前記磁気検知素子はGMR素子であることを特徴とする請求項1記載の角度センサ。
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