JP4979097B2 - マルチチップモジュール - Google Patents

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Description

本発明は、メモリインタフェース回路を備えたマイクロコンピュータ、更にはモジュール基板にマイクロコンピュータ及びメモリとを搭載したSIP(System In Package)のような半導体装置に関し、例えば、JEDEC STANDARD No.79-2Bに準拠したDDR(Double Data Rate)2−SDRAM(Synchronous Dynamic Random Access Memory)を接続可能とするメモリインタフェース回路を備えたマイクロコンピュータに適用して有効な技術に関する。
SDRAMに対する国際標準としてJEDEC標準(JEDEC STANDARD)があり、これは端子配列、端子機能、動作モードなどについての規格を標準化する。例えば非特許文献によるJEDEC STANDARD No.79-2Bが規定するDDR2−SDRAMにおいて、データストローブ信号及びクロック信号は差動対とされ、また、データ及びデータストローブ信号系の端子群とコマンド及びアドレス系の端子群は分離配置され、特に、並列データ入出力ビット数を16ビット(×16ビット)とするインタフェース仕様に対しては上位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群と、下位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群との配置も分離される。
JEDEC STANDARD, DDR2 SDRAM SPECIFICATION JESD79-2B(Revision of JESD79-2A), January 2005, JEDEC SOLID STATE TECHNOLOGY ASSOCITION
本発明者は、メモリコントローラを備えたマイクロコンピュータにおけるDDR2−SDRAMに対応するメモリインタフェース回路について検討した。即ち、動作電圧の低電圧化や回路素子の微細化等の流れの中で、マイクロコンピュータについても、チップ及びパッケージの小型化が促進されている。チップが小型化されると、チップ周辺に配置可能な入出力回路セル(I/Oセル)の数が制限される。例えば、DDR2−SDRAMのデータ及びデータストローブ系インタフェースはデータ1バイトにつき更にこれに対応するデータストローブ信号の差動対とデータマスク信号の3ビットの合計11ビットのI/Oセルを必要とする。一つのI/Oセルのセル幅を約80μmとすると、1バイト分のインタフェース信号だけで少なくとも880μmの幅が必要になる。電源およびGNDセルが入ることを考慮して幅が約2倍になると想定すると1760μmを費やす。4バイト分でも7040μmとなり、データ及びデータストローブ系だけで7mm以上の幅が必要になり、これを1辺に配置しようとすれば、1辺が7mm以下の正方形チップは採用することができない。また、長辺が7mm以上の長方形チップを採用してもよいが、そうすると、チップ上における回路位置と回路特性との相関が大きくなり、信頼性低下の虞が増すことになる。本発明者はマイクロコンピュータチップやパッケージの小型化に資することができるメモリインタフェース端子群の配置について検討した。さらに、高密度のモジュール基板に複数のベアチップ等を搭載する場合はメモリインタフェース端子の配列だけでなく、小型化に伴う別の観点による対応の必要が明らかにされた。別の観点とは、高密度配線故の耐ノイズ性、電子部品の外付け位置、封止された複数チップに対するテスタビリティー等である。
本発明の目的は、マザーボード上における配線設計容易性や、モジュール基板上における配線設計容易性を実現可能にするマイクロコンピュータを提供することにある。
本発明の別の目的は、8ビット又は16ビットのようにデータ入出力ビット数の仕様が異なる複数種類のメモリへの対応が容易なメモリインタフェース回路を備えたマイクロコンピュータを提供することにある。
本発明の更に別の目的は、モジュール基板に複数の半導体デバイスを搭載する半導体装置の小型化に伴う信頼性を向上させることにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば下記の通りである。
〔1〕《データ系のメモリインタフェース配置》
本発明に係るマイクロコンピュータ(1)は、矩形の半導体基板に形成されメモリインタフェース回路(4,5)を有する。前記半導体基板の一つのコーナー部を基点とする両側の縁辺に沿って、前記メモリインタフェース回路が分割配置されている。半導体基板の一辺にメモリインタフェース回路を集中させる場合に比べて半導体基板はサイズ縮小の制約を受け難い。
前記分割配置された両側の各々の部分回路は、データ及びデータストローブ信号に関し相互に等しいデータ系ユニットを持つ。マザーボード上における配線設計容易性や、モジュール基板上における配線設計容易性の実現が可能になる。
前記データ系ユニットは単位ユニット(LBIF,UBIF)を有し、前記単位ユニットは前記データの単位をバイトとすればよい。メモリインタフェース回路が備えるべきインタフェース規模に応じて単位ユニットのレイアウト数を変えればよいから、メモリインタフェース回路に対する設計の容易化に資することができる。8ビット又は16ビットのようにデータ入出力ビット数の仕様が異なる複数種類のメモリへの対応が容易である。8ビットの整数倍のデータインタフェースに対応するとき、前記データ系ユニットは、直列的に配置された複数の前記単位ユニットを有することになる。
本発明の更に具体的な形態として、前記単位ユニットは、前記コーナー部側から順に、7個のデータ入出力回路(10)、データマスク信号回路(11)、反転データストローブ信号回路(12)、非反転データストローブ信号回路(13)、及び1個のデータ入出力回路(14)を有する。これは、JEDEC標準のDDR2−SDRAMの端子配列を考慮したものである。即ち、DDR2−SDRAMは、その長辺に沿ってデータ及びデータストローブ信号系の端子群とコマンド及びアドレス系の端子群は分離配置され、特に、並列データ入出力ビット数を16ビット(×16ビット)とするインタフェース仕様に対しては上位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群と、下位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群との配置も分離されている。この長辺をマイクロコンピュータのデータ系ユニットに対向させたとき、バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群からデータ系ユニットに向く配線経路を単純化することが可能になる。このことが、マザーボード上における配線設計容易性や、モジュール基板上における配線設計容易性を実現可能にする。
〔2〕《差動端子配置》
本発明の別の具体的な形態によれば、前記マイクロコンピュータは前記半導体基板が搭載されるパッケージを有し、前記パッケージは外部接続端子に関しボールグリッドアレイ形態を有する。前記反転データストローブ信号回路に接続する外部接続端子と前記非反転データストローブ信号回路に接続する外部接続端子とはボールグリッドアレイの最外周より第1周目と第2周目に隣接配置され、又は第3周目と第4周目に隣接配置されて、差動端子を構成する。ボールグリッドアレイ形態の外部接続端子に接続する実装基板上の配線において、ボールグリッドアレイの最外周より第1周目の外部接続端子に接続する配線はそのまま外側に引き出され、第2周目の外部接続端子に接続する配線は第1周目の外部接続端子に接続する2本の配線の間を通って外側に引き出される。第3周目と第4周目の外部接続端子に各々接続する配線は第1周目と第2周目の外部接続端子とは異なる配線層を通って同様に外側に引き出される。このような一般的な配線構造への対応を考慮すると、差動端子を第1周目と第2周目に隣接配置し、又は第3周目と第4周目に隣接配置することにより、差動端子に接続する配線は同一配線層上で隣接して相対するから、実装基板上においても同相ノイズ成分のキャンセル効果を維持させることが容易になる。
〔3〕《アドレス・コマンド系のメモリインタフェース配置》
本発明の更に別の具体的な形態によれば、前記マイクロコンピュータにおいて、分割配置された両側の各々の部分回路はアドレス信号及びコマンドに関するコマンド及びアドレス系ユニット(CAIF)を有し、前記コマンド及びアドレス系ユニットは前記データ系ユニットに直列的に配置され、前記コマンド及びアドレス系ユニットは前記データ系ユニットよりも前記半導体基板の一つのコーナー部寄りに配置される。これによれば、半導体基板の左右の縁辺部分に分割配置されたメモリインタフェース回路部分の夫々に対向してDDR2−SDRAMを実装基板上に配置するとき、マイクロコンピュータから夫々のDDR2−SDRAMにコマンド及びアドレスを供給する配線を、前記一つのコーナー部を基点に前記DDR2−SDRAMの間の領域を通し、途中で分岐して各々の前記DDR2−SDRAMの端子に至る経路を採用することが可能になる。実装基板上におけるコマンド及びアドレス系配線経路の等長化が容易になる。
上記コマンド及びアドレス系を考慮した構成は、次の構成と等価である。即ち、前記メモリインタフェース回路は、JEDEC標準の端子配列を備えたDDR2−SDRAMが接続可能にされ、且つ、前記DDR2−SDRAMの長辺のデータ及びデータストローブ信号に関するデータ系データ端子群とアドレス信号及びコマンドに関するコマンド及びアドレス系端子群との配置に則したインタフェース機能の配置を有すればよい。
〔4〕《同期クロック用モジュール端子の配置》
本発明に係る半導体装置は、モジュール基板の一方の面に複数のメモリデバイスとデータ処理デバイスが搭載され、前記モジュール基板の他方の面に複数のモジュール端子が形成される。前記モジュール基板は、前記データ処理デバイスから出力される差動クロック信号を前記メモリデバイスに伝達するための差動クロック配線と、前記差動クロック配線に接続する差動終端抵抗接続用の一対のモジュール端子(BCKa,BCKb)とを有する。前記差動終端抵抗接続用の一対のモジュール端子は、相互に隣接され、且つ、他のモジュール端子が配置されていない領域に隣接し又はテスト専用モジュール端子に隣接して形成されている。
上記によれば、前記半導体装置が実装される実装基板上にはテスト専用モジュール端子に接続されるべき配線は形成されていないから、差動終端抵抗接続端子を、他のモジュール端子が配置されていない領域に隣接し又はテスト専用モジュール端子に隣接して形成することにより、当該差動終端抵抗接続端子に直接終端抵抗を搭載することが容易になる。このことは分基点から差動終端抵抗までの配線経路を極めて短く且つ等長化するのに好適である。
〔5〕《メモリコアへの給電ビア複数化》
本発明の半導体装置は、モジュール基板の一方の面にメモリデバイスとデータ処理デバイスが搭載され、前記モジュール基板の他方の面に複数のモジュール端子が形成される。前記モジュール基板はコア層とその表裏に形成されたビルドアップ層とを有する。前記モジュール端子として、前記データ処理デバイスにメモリインタフェース用電源を供給する第1モジュール電源端子(Vcc−DDR)と、前記メモリデバイスにコア回路用電源を供給する第2モジュール電源端子(Vdd−DRAM)と、前記メモリデバイスに外部出力及び外部入出力インタフェース用電源を供給する第3モジュール電源端子(Vddq−DRAM)と、前記データ処理デバイス及びメモリデバイスにグランド電圧を供給するモジュールグランド端子と、を各々電気的に分離して別々に備える。これは、メモリデバイスとデータ処理デバイスの電源を分離して個別テストをやり易くするための考慮である。外部出力及び外部入出力インタフェース用電源と、コア用電源を分離するのは、入出力動作に伴う電源ノイズによってコア回路が影響され難くするためである。このとき、前記第2モジュール電源端子をメモリデバイスに接続する給電経路において前記コア層の1個のビアに対してビルドアップ層に形成されるビアの数は、前記第3モジュール電源端子をメモリデバイスに接続する給電経路において前記コア層の1個のビアに対してビルドアップ層に形成されるビアの数よりも多くされる。メモリデバイスのコア回路による消費電力が外部出力及び外部入出力インタフェース回路部分よりも大きくなることを考慮したとき、コア層のビアに比べて導電面積の小さなビルドアップ層のビアによる電流供給能力不足を生じないようにすることができる。例えばメモリデバイスがDDR2−SDRAMのときは、ダイナミック型メモリセルのリフレッシュ動作で比較的大きな電力を消費する。
上記したメモリコアへの給電ビアの複数化の手段に対する上位概念的発明について説明する。これによる半導体装置は、モジュール基板の一方の面にメモリデバイスとデータ処理デバイスが搭載され、前記モジュール基板の他方の面に複数のモジュール端子が形成される。前記モジュール基板はコア層とその表裏に形成されたビルドアップ層とを有する。前記モジュール端子として、前記データ処理デバイスに電源を供給するモジュール電源端子(Vcc−DDR)と、前記メモリデバイスに電源を供給するモジュール電源端子(Vdd−DRAM、Vddq−DRAM)とが分離される。前記メモリデバイスに電源を供給するモジュール電源端子はコア用電源と外部出力及び外部入出力インタフェース用電源とで分離される。前記コア用電源をメモリデバイスに供給する給電経路において前記コア層の1個のビアに対してビルドアップ層に形成されるビアの数は、前記外部出力及び外部入出力インタフェース用電源をメモリデバイスに供給する給電経路において前記コア層の1個のビアに対してビルドアップ層に形成されるビアの数よりも多くされる。
〔6〕《グランドスリットによるノイズ対策》
本発明に係る半導体装置は、モジュール基板の一方の面にメモリデバイスとデータ処理デバイスが搭載され、前記モジュール基板の他方の面に複数のモジュール端子が形成される。前記モジュール基板はコア層とその表裏に形成されたビルドアップ層とを有する。前記モジュール端子として、前記データ処理デバイスにメモリインタフェース用電源を供給する第1モジュール電源端子(Vcc−DDR)と、前記メモリデバイスにコア回路用電源を供給する第2モジュール電源端子(Vdd−DRAM)と、前記メモリデバイスに外部出力及び外部入出力インタフェース用電源を供給する第3モジュール電源端子(Vddq−DRAM)と、前記データ処理デバイス及びメモリデバイスにグランド電圧を供給するモジュールグランド端子と、を各々電気的に分離して別々に備える。前記メモリデバイスは、前記第2電源モジュール端子から供給される電源と共に利用されるコア回路用グランド電圧を入力する第1デバイスグランド端子(VSS)と、前記第3電源モジュール端子から供給される電源と共に利用される外部出力及び外部入出力インタフェース用グランド電圧を入力する第2デバイスグランド端子(VSSQ)とを有する。前記コア層とビルドアップ層は前記モジュールグランド端子と前記第1及び第2デバイスグランド端子に接続するグランドパターン(GPTN)を有し、前記グランドパターンは、前記第1デバイスグランド端子に接続するパッド又はビアと、前記第2デバイスグランド端子に接続するパッド又はビアとを結ぶ線分の間にスリット(SLT)を有する。
上記手段において、モジュールグランド端子と、前記コア層及びビルドアップ層のグランドパターンとは電気的に一体化され、電源系のような分離は行なわれていないから、ESD(Electrostatic Discharge)耐性の低下、リターンパス経路の阻害に寄る電気的特性の劣化、グランドレベルのずれ等の問題は生じない。異種グランド間でのノイズ回り込みの虞に対しては、前記スリットがグランドパターン上で異種グランドのビアやパッド間の電気的導通経路を長くする。要するに、グランドパターンの平面上において異種グランド間の電気的導通経路が長くなる。これにより、実装基板に搭載されたパスコンへの縦方向の電気的導通経路にAC的なノイズが誘導され易くなるから、電流が相対的に流れ易くなるから、結果として、異種グランド間でのグランドノイズの回り込みを抑制若しくは緩和することができる。
信号配線のガードに利用されるグランドプレーン(55)の縁辺部分に対してもスリット(SLT)を適用することができる。即ち、前記第1デバイスグランド端子に接続するパッド若しくはビア、又は、前記第2デバイスグランド端子に接続するパッド若しくはビアと、信号配線に対向する前記グランドプレーンの縁辺との間に、スリットを形成する。信号配線のガードに利用されるグランドプレーンの縁辺部分には信号配線に並行してリターン電流が流れるが、スリットは前記信号配線に隣接する縁辺部分に対してリターンパスを確保するように作用し、且つ、リターンパスを流れる電流がノイズとしてデバイスのグランド端子に回り込むのを抑制する。
〔7〕《メモリデバイスとデータ処理デバイスの配置》
本発明に係る半導体装置は、モジュール基板の一方の面に複数のメモリデバイスとデータ処理デバイスが搭載され、前記モジュール基板の他方の面に複数のモジュール端子が形成され、前記データ処理デバイスは、一つのコーナー部を基点とする両側の縁辺に沿って分割配置されたメモリインタフェース回路を有し、前記メモリデバイスはJEDEC標準の端子配列を備えたDDR2−SDRAMである。前記DDR2−SDRAMの長辺は、前記メモリインタフェース回路が配置された前記データ処理デバイスの前記縁辺に対向して配置される。前記DDR2−SDRAMは、前記一つのコーナー部寄りの一つの短辺を基点に長辺に沿って、順次アドレス信号及びコマンドに関するコマンド及びアドレス系端子群とデータ及びデータストローブ信号に関するデータ系データ端子群とに分けた端子配置を有する。コマンド及びアドレス系端子群を対応するDDR2−SDRAMの端子に接続するための主なコマンド及びアドレス配線は、前記一つのコーナー部を基点に前記DDR2−SDRAMの間の領域を通り、途中で分岐して各々の前記DDR2−SDRAMの端子に至る経路を有する。
モジュール基板上におけるデータ及びデータストローブ信号系の配線設計容易性と、モジュール基板上におけるコマンド及びアドレス系配線経路の等長化が容易になる。
本発明の具体的な形態では、前記モジュール基板は前記データ処理デバイスから出力される差動クロック信号を前記メモリデバイスに伝達するための差動クロック配線を有し、前記差動クロック配線は前記主なコマンド及びアドレス配線の経路に沿って配置される。クロック信号はコマンド及びアドレス信号の取り込みタイミングを規定するからタイミングの整合という点において両者を並走させること、即ち同じトポロジとするのが好都合である。
本発明の別の具体的な形態では、前記DDR2−SDRAMのデータ系データ端子群の端子と前記データ処理デバイスの対応端子とを接続するデータ及びデータストローブ信号系配線は、相互に対応するデータストローブ信号配線とデータ配線とが相互に等長化配線とされ、等長化配線の一部は等長化のために同一配線上に折り返し経路を有する。折り返し経路によってデータ及びデータストローブ信号系配線の等長化が容易になる。
本発明の更に別の具体的な形態では、前記DDR2−SDRAMのコマンド及びアドレス系端子群の端子と前記データ処理デバイスの対応端子とを接続するコマンド及びアドレス系配線は、相互に等長化配線とされ、等長化配線は等長化のために同じDDR2−SDRAMへの相互に異なる配線間で伝播方向が逆にされた逆方向経路を一部に有する。逆方向経路によってコマンド及びアドレス系配線の等長化が容易になる。
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば下記の通りである。
すなわち、マザーボード上における配線設計容易性や、モジュール基板(半導体パッケージ基板)上における配線設計容易性を実現可能にするマイクロコンピュータを得ることができる。
8ビット又は16ビットのようにデータ入出力ビット数の仕様が異なる複数種類のメモリへの対応が容易なメモリインタフェース回路を備えたマイクロコンピュータを得ることができる。
モジュール基板に複数の半導体デバイスを搭載する半導体装置の小型化に伴って、給電能力、グランドノイズ低減、配線の等長化等の点で信頼性を向上させることができる。
本発明に係るマイクロコンピュータにおけるメモリインタフェース形態を例示する説明図である。 ×16のデータ入出力を行なうDDR2−SDRAMの端子配列を例示する説明図である。 マイクロコンピュータのメモリインタフェース回路におけるデータ系ユニットのインタフェース機能を例示する平面図である。 図3のデータ系単位ユニットLBIF,UBIFにおけるインタフェース機能の配置を採用する理由を示す説明図である。 マイクロコンピュータのボール電極配置を例示する平面図である。 マイクロコンピュータとDDR2−SDRAMをPCBに実装したたきの縦断面図である。 メモリインタフェース回路のデータ系単位ユニットLBIF,UBIFの一例を示すブロック図である。 本発明に係る半導体装置の一例であるマルチチップモジュールの縦断面図である。 図8のマルチチップモジュールの平面なレイアウト構成を例示する平面図である。 SDRAMとの間のデータ系配線に対する等長化経路の例を示す平面図である。 SDRAMとの間のデータ系配線に対する等長化経路の別の例を示す平面図である。 SDRAMとの間のコマンド及びアドレス系配線対する等長化経路の例を示す平面図である。 SDRAMとの間のクロック系配線に対する等長化経路の例を示す平面図である。 DDR2−SDRAMに対するテスト専用端子の配置を例示する平面図である。 SDRAMのクロック端子CK,CKBの近傍に配置された差動終端抵抗接続用の一対のボール電極と、差動データストローブ端子の近傍に配置された差動終端抵抗接続用の一対のボール電極との配置領域の詳細を例示する平面図である。 モジュール基板の電源用ボール電極の配置を例示する平面図である。 MCU−CHPからDDR−SDRAMに出力される信号の変化に伴う電源系の帰還電流経路を模式的に示す説明図である。 主な電源系に着目したときのマルチチップモジュールの縦断面構造を例示する断面図である。 グランド端子とグランドボール電極を接続する経路の縦断面構造を例示する断面図である。 モジュール基板のL1配線層におけるグランドパターンのスリットを例示する平面図である。 モジュール基板のL2配線層におけるグランドパターンのスリットを例示する平面図である。 モジュール基板のL3配線層におけるグランドパターンのスリットを例示する平面図である。 モジュール基板のL4配線層における電源プレーンとグランドビアとに関係を例示する平面図である。 モジュール基板のL5配線層におけるグランドパターンのスリットを例示する平面図である。 モジュール基板のL6配線層におけるグランドパターンのスリットを例示する平面図である。 グランドプレーンにスリットを形成しない場合の比較例を示す断面図である。 信号配線のガードに利用されるグランドプレーンの縁辺部分にスリットを適用した例を示す平面図である。
《マイクロコンピュータのメモリインタフェース回路配置》
図1には本発明に係るマイクロコンピュータにおけるメモリインタフェース形態が例示される。1はマイクロコンピュータ(MCU)であり、2,3はDDR2−SDRAMである。特に1Aはマイクロコンピュータチップ(MCU_CHP)を意味する。ここではマイクロコンピュータ1及びDDR2−SDRAM(以下単にSDRAMとも記す)2,3は各々パッケージされ、プリント配線基板(PCB)に実装される場合を想定する。SDRAM2,3はBGA(Ball Grid Array)パッケージを有し、その端子配列は前記非特許文献1にて規定される。例えば並列データ入出力ビット数が×16ビットの場合における端子配列は図2に示される。この端子配列に従えば、データ及びデータストローブ系信号端子群とコマンド及びアドレス系端子群CAPAが分離され、データ及びデータストローブ系信号端子群も上位バイトユニット端子群UBPAと下位バイトユニット端子群LBPAに分離される。それら端子群は、前記規格におけるA1番端子側の短辺を基点に、長辺に沿って、上位バイトユニット端子群UBPA、下位バイトユニット端子群LBPA、コマンド及びアドレス系端子群CAPAの順に配列される。図2において、DQ0〜DQ15がデータ入出力端子、LDQS,LDQSBはDQ0〜DQ7の下位バイトデータに対する差動のデータストローブ端子、UDQS、UDQSBはDQ8〜DQ15の上位バイトデータに対する差動のデータストローブ端子、A0〜A15がアドレス入力端子、BA0〜BA2がバンクアドレス入力端子である。RASB,CASB,WEBはコマンド入力端子、CSBはチップ選択端子、CK,CKBは差動のクロック入力端子、CKEはクロックイネーブル端子、LDMはDQ0〜DQ7の下位バイトデータに対するデータマスク端子、UDMはDQ8〜DQ15の上位バイトデータに対するデータマスク端子である。VDD,VDDQはメモリ電源端子、VSS、VSSQはグランド端子である。VDDQ、VSSQはDDR2−SDRAMのデータ入出力系及びデータストローブ信号の入出力系回路(外部出力及び外部入出力回路)の電源とグランドに専用化される。VDD、VSSはDDR2−SDRAMのその他の回路(コア回路)の電源とグランドの外部端子とされる。ここではVDDQとVDDの電圧レベルは例えば1.8Vで等しく、VSSQとVSSの電圧レベルも0Vで等しいものとする。VDDL,VSSDLは内部タイミングの生成に利用するDLL(Delay Locked Loop)回路に専用の電源及びグランド電圧とされる。VREFは参照電位の入力端子であり、SSTL(Stub Series Terminated Transceiver Logic)における外部インタフェース用の判定レベルが与えられる。NCは非接続端子である。
図1における配列Aと配列Bの双方において、マイクロコンピュータチップ(半導体チップ)1Aは、その一つのコーナー部を基点とする両側の縁辺に沿ってSDRAM2,3のためのメモリインタフェース回路4,5が分割配置されている。分割配置する理由は次の通りである。即ち、SDRAMのデータ及びデータストローブ系インタフェースはデータ1バイトにつき更にこれに対応するデータストローブ信号の差動対とデータマスク信号の3ビットの合計11ビットのI/Oセルを必要とする。一つのI/Oセルのセル幅を約80μmとすると、1バイト分のインタフェース信号だけで少なくとも880μmの幅が必要になる。電源およびGNDセルが入ることを考慮して幅が約2倍になるとすると1760μmを費やす。4バイト分でも7040μmとなり、データ及びデータストローブ系だけで7mm以上の幅が必要になり、これを1辺に配置しようとすれば、1辺が7mm以下の正方形チップは採用することができない。また、長辺が7mm以上の長方形チップを採用してもよいが、そうすると、チップ上における回路位置と回路特性との相関が大きくなり、信頼性低下の虞が増すことになる。そこで、マイクロコンピュータチップ1Aやパッケージの小型化に資することができ、マイクロコンピュータチップの信頼性も損なわないようにするために、前述のメモリインタフェース回路4,5の分割配置を採用した。
図1において、マイクロコンピュータチップ1Aに対するSDRAM2,3の接続形態として、SDRAM2,3の短辺をマイクロコンピュータに対向させる形態(配置A)と、SDRAM2,3の長辺をマイクロコンピュータに対向させる形態(配置B)とが示される。BGAパッケージの端子ピッチが縦横同じであることに鑑みれば、長辺を対向させた方がマイクロコンピュータ1とSDRAM2,3とを接続する配線(PCB配線)の密度を低くするのが容易であるから、この点で配置Bが優れる。更に、SDRAM2,3の端子配列は、その長辺に沿って、上位バイトユニット端子群UBPAと下位バイトユニット端子群LBPAとが分離されていることを考慮すると、配置Bを採用する方が、バイトユニット単位毎にPCB配線を規則化することが容易になる。また、配置Bを採用することになれば、マイクロコンピュータチップ1Aにおけるメモリインタフェース回路4,5のデータ及びデータストローブ信号系回路についてもバイトユニット単位毎に規則化することができ回路設計の容易化にも資することができる。これらの点においても配置Bが優れる。更に、データ及びデータストローブ系信号端子群から分離されたコマンド及びアドレス系端子群CAPAをマイクロコンピュータ1のコーナー部寄りとすることによりそれら端子とマイクロコンピュータ1を接続する。PCB配線は、マイクロコンピュータ1から引出した信号配線が2つに分岐し、分岐後の2本の配線長が等しい配線トポロジとすることができる(以下本明細書では、信号配線が2つに分岐し、分岐後の左右の配線長が等しい配線トポロジを「T字型トポロジ」と記す)。この場合も配置Bの方がPCB配線長が短くなる。図1においてUBCLは上位バイトユニット系PCB配線、LBCLは下位バイトユニット系PCB配線、CACLはコマンド及びアドレス系PCB配線を意味する。
図3にはマイクロコンピュータ1のメモリインタフェース回路4,5におけるデータ系ユニットのインタフェース機能が例示される。マイクロコンピュータ1において分割された各々のメモリインタフェース回路4,5も、SDRAM2,3の長辺に沿ったコマンド及びアドレス系端子群CAPA、下位バイトユニット端子群LBPA、上位バイトユニット端子群UBPAの配置に対応して、コマンド及びアドレス系インタフェースユニットCAIF及びデータ系ユニットとして2個のデータ系単位ユニットを持つ。一方のデータ系単位ユニットは上位データ系インタフェースユニットUBIF、他方のデータ系単位ユニットは下位データ系インタフェースユニットLBIFである。コマンド及びアドレス系インタフェースユニットCAIFはコマンド及びアドレス系端子群CAPA等に接続されるアドレス出力及びコマンド入出力インタフェース回路を備える。各々のデータ系単位ユニットLBIF,UBIFはデータ入出力の単位をバイトとするものであり、回路構成それ自体は下位バイト対応であろうと上位バイト対応であろうと同じであり、データやストローブ信号の割り当てが相違されるだけである。JEDEC標準のDDR2−SDRAMの端子配列によれば、DDR2−SDRAMは、その長辺に沿ってデータ及びデータストローブ信号系の端子群UBPA,LBPAとコマンド及びアドレス系の端子群CAPAは分離配置され、特に、並列データ入出力ビット数を16ビット(×16ビット)とするインタフェース仕様に対しては上位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の上位バイトユニット端子群UBPAと、下位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群LBPAとの配置も分離されている。この長辺をマイクロコンピュータ1のデータ系ユニットUBIF,LBIFに対向させたとき、バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群UBPA,LBPAからデータ系ユニットUBIF,LBIFに向く配線経路を単純化することが可能になる。このことは、PCBにおける配線設計容易性や、モジュール基板(半導体パッケージ基板)上における配線設計容易性を保障することになる。
図3において各々のデータ系単位ユニットLBIF,UBIFは、マイクロコンピュータチップ1Aの一つのコーナー部側から順に、7個のデータ入出力回路10、データマスク信号回路11、反転データストローブ信号回路12、非反転データストローブ信号回路13、及び1個のデータ入出力回路14を有する。要するに、マイクロコンピュータチップにおけるパッド電極配置が上述の配置になると言うことである。
図4には図3のデータ系単位ユニットLBIF,UBIFにおけるインタフェース機能の配置を採用する理由が示される。図4においてSDRAM2,3のボール電極(BALL)からPCBへの配線引出し経路が例示されているが、ここではボール間を通る配線を1本とし、PCB上では貫通スルーホール(THRH)を用いて配線層間の接続を行なうものとする。要するに、低コストのPCBを用いる場合を想定する。このときの引出し配線の信号配列は、SDRAM2の下位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群LBPAに対しては配列SGA1となり、上位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群UBPAに対しては配列SGA2となる。SDRAM3の下位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群LBPAに対しては配列SGA3となり、上位バイトのデータ及びデータストローブ信号系の端子群UBPAに対しては配列SGA4となる。前記信号配列SGA1,SGA2,SGA4は等しく、それらに対して信号配列SGA3はデータ1ビットの配列が相違されるだけである。そこで、図3で説明したデータ系単位ユニットLBIF,UBIFにおけるインタフェース機能の配置を信号配列SGA1,SGA2,SGA4と一致させる。要するに、マイクロコンピュータチップ1Aにおけるメモリインタフェース回路4,5のデータ及びデータストローブ信号系回路の構成をバイトユニット単位毎に同一として、その回路設計の容易化を優先させるようにする。高々1ビットのデータ端子配置をPCB配線に対して最適化するために一部の回路ユニットの構成を変更することを回避する。
図5にはマイクロコンピュータ1のボール電極配置が例示される。実際にはボール電極は縦横方向に所定ピッチでマトリクス配置されているが、ここでは便宜上、個々のボール電極を正方形の枠として作図している。マイクロコンピュータのパッケージはBGA形態とされ、マイクロコンピュータチップのパッド電極はチップ表面のWPP配線(再配線層)を介して半田バンプ電極(図示せず)に接続され、半田バンプ電極はボール電極に接続される。ボール電極に対する端子機能の割り当てはDDR2−SDRAM2,3の端子及び引出し配線の配置(図4)とマイクロコンピュータチップにおけるパッド電極配置(図3、図4)との対応関係を極力維持できるようにすればよい。その一例が図5に例示される。
ボール電極に対する端子機能の割り当てに関しては差動端子の配列を考慮している。即ち、LDQSとLDQSBのペア、UDQSとUDQSBのペア、CKとCKBのペアは、ペア毎に、最外周より第1周目と第2周目の隣接するボール電極に割り当て、又は第3周目と第4周目の隣接するボール電極に割り当てて、差動端子を構成させる。ここではPCB上においてボール間を通る配線を1本とし、PCB上では貫通スルーホール(THRH)を用いて配線層間の接続を行なうものとする。そうすると、ボールグリッドアレイの最外周より第1周目のボール電極に接続する配線はそのまま外側に引き出され、第2周目のボール電極に接続する配線は第1周目のボール電極に接続する2本の配線の間を通って外側に引き出される。第3周目と第4周目のボール電極に各々接続する配線は第1周目と第2周目のボール電極とは異なる配線層を通って同様に外側に引き出される。このような一般的な配線構造への対応を考慮すると、差動端子を第1周目と第2周目に隣接配置し、又は第3周目と第4周目に隣接配置することにより、差動端子に接続する配線は同一配線層上で隣接して相対することができるから、PCB上においても同相ノイズ成分のキャンセル効果を維持させることが容易になる。なお、CKとCKBのペアはコーナーに配置されることが多く、他エリアほど配線が密ではない。よって、CKとCKLBのペアこの形態の限りではない。
図6にはマイクロコンピュータとDDR2−SDRAMをPCBに実装したたきの縦断面図が例示される。ここでは6層のPCBを示すが、配線層数はこれに限定されない。17、18はマイクロコンピュータ1とDDR2−SDRAMを接続する表層配線を模式的に示す。19はマイクロコンピュータ1とDDR2−SDRAMを接続する内層配線を模式的に示す。
図7にはメモリインタフェース回路のデータ系単位ユニットLBIF,UBIFの一例が示される。データ系単位ユニットLBIF,UBIFは、例えば出力バッファ20、入出力バッファ21、出力ラッチ22、入力データのサンプリング回路23、データストローブ信号に従って入力データのサンプリング信号を生成する位相シフト回路24、及びサンプリングデータの転送タイミングを調整するタイミング調整回路25を有する。データ系単位ユニットLBIF,UBIFはメモリコントローラ(MCNT)26に接続される。メモリコントローラ26は中央処理装置(CPU)27からのDDR2−SDSRAM2,3に対するメモリアクセス要求に応答して、DDR2−SDSRAM2,3のインタフェースプロトコルに従ったメモリアクセス制御を行う。このときデータ系単位ユニットLBIF,UBIFはメモリコントローラ26とDDR2−SDRAM2,3との間のインタフェースを行う。28はクロック発生回路(CPG)である。前記メモリコントローラの機能はバスステートコントローラで実現する場合もある。
以上の説明ではBGA形態のパッケージに半導体チップを封止したマイクロコンピュータについて説明したが、チップの半田バンプ電極における端子機能の配列はパッケージのボール電極における端子機の配列と基本的に同じである。したがって、マイクロコンピュータチップ1Aをそのままベアチップとして用いる用途においても、ボール電極の配置に関する技術的事項も含めて上記と同様の作用効果を得ることができる。
《マルチチップモジュール》
図8には本発明に係る半導体装置の一例であるマルチチップモジュールの縦断面図が例示される。マルチチップモジュール31は、モジュール基板32の一面に、データ処理デバイスとして1個のマイクロコンピュータチップ(MCU_CHP)1Aと、複数個のメモリデバイスとして2個のDDR2−SDRAM2(3)とを有する。マイクロコンピュータチップ(MCU_CHP)1AとDDR2−SDRAM2(3)は、モジュール基板32との隙間がアンダーフィル樹脂(図示せず)で充填されている。このマルチチップモジュール31はシステム・イン・パッケージのマイコンモジュールとして位置付けられる。
マイクロコンピュータチップ1Aはベアチップであり、半田バンプ電極を下にして、モジュール基板32にフェースダウンで実装される。DDR2−SDRAM2(3)は非特許文献1のJEDEC標準を満足した図2の端子配置を備えたボールグリッドアレイのパッケージに封止されて構成される。
モジュール基板32はコア層34とその表裏に形成されたビルドアップ層35、36とを有し、多層配線の樹脂基板として構成される。コア層34は例えば0.8mm程度の厚みを有する。ビルドアップ層35は例えば30〜40μm程度の厚みを有し、コア層34の側より配線層L3、L2、L1が形成されている。ビルドアップ層36は例えば30〜40μm程度の厚みを有し、コア層34の側より配線層L4、L5、L6が形成されている。配線層L1、L2は、主にマイクロコンピュータチップ1Aのバンプ電極38と、DDR2−SDRAM2(3)のボール電極39とを接続するための配線の形成に利用される。配線層L3は主にグランドプレーン(グランドパターン)の形成に利用される。配線層L4は主に電源プレーンの形成に利用される。配線層L5、L6は、配線層L1〜L4に形成される信号配線、グランドプレーン及び電源プレーンをモジュール基板の外部接続端子であるモジュールボール電極40に接続するための配線の形成に利用される。図において41は代表的に示されたスルーホールでありコア層34を貫通する。42はビアであり、ビアホール若しくはスルーホールの内面に導電性メッキを施した導電部を総称し、その上下の配線層若しくは金属パターンを導通させる。
《アドレス・コマンド系のメモリインタフェース》
図9にはマルチチップモジュール31の平面なレイアウト構成が例示される。モジュール基板32上におけるマイクロコンピュータチップ1AとDDR2−SDRAM2,3との相対位置関係は図1の配置Bと同じである。図1の配置Bにおいて、PCBをモジュール基板32に代え、マイクロコンピュータ1をマイクロコンピュータチップ1Aに代えて考えればよい。端子配列は図1の配置Bと等価である。
マイクロコンピュータチップ1Aにおけるメモリインタフェース回路4,5の構成は図3等で説明したのと同じである。メモリインタフェース回路5の上位データ系インタフェースユニットUBIFとSDRAM2の上位バイトユニット端子群UBPAはモジュール基板32のデータ系配線UD1で接続される。メモリインタフェース回路5の下位データ系インタフェースユニットLBIFとSDRAM2の下位バイトユニット端子群LBPAはモジュール基板32のデータ系配線LD1で接続される。メモリインタフェース回路4の上位データ系インタフェースユニットUBIFとSDRAM3の上位バイトユニット端子群UBPAはモジュール基板32のデータ系配線UD0で接続される。メモリインタフェース回路4の下位データ系インタフェースユニットLBIFとSDRAM3の下位バイトユニット端子群LBPAはモジュール基板32のデータ系配線LD0で接続される。
メモリインタフェース回路4,5のコマンド及びアドレス系インタフェースユニットCAIFを対応するSDRAM2,3のコマンド及びアドレス系端子群に接続するためのコマンド及びアドレス配線CAは、マイクロコンピュータチップ1Aの一つのコーナー部を基点に前記DDR2−SDRAM2,3の間の領域を通り、途中で分岐して各々の前記DDR2−SDRAM2,3の端子に至る経路を有する。T字形の配線トポロジにより、モジュール基板32上におけるコマンド及びアドレス系配線経路の等長化が容易になる。
CK0はマイクロコンピュータチップ1Aのメモリインタフェース回路4からSDRAM3のクロック端子CK,CKBに差動クロックを供給する差動クロック配線である。同じく、CK1はマイクロコンピュータチップ1Aのメモリインタフェース回路5からSDRAM2のクロック端子CK,CKBに差動クロックを供給する差動クロック配線である。前記差動クロック配線CK0,CK1は前記主なコマンド及びアドレス配線CAの経路に沿って配置される。クロック信号CLK0,CK1はコマンド及びアドレス信号の取り込みタイミングを規定するからタイミングの整合という点において両者を並走させること、即ち同じトポロジとするのが好都合である。コマンド及びアドレス系のタイミングマージンを大きくすることが容易になる。
図10にはデータ系配線UD1、LD1に対する等長化経路の例が示される。図10より明らかなようにSDRAM2のバイトユニット端子群UBPAのボール電極は左右に離間しているから、同一バイト内のデータ及びデータストローブ端子に関し、最も大きな距離のある端子間の配線長に揃えることとし、端子間距離に比べてその配線長が長すぎる端子間配線につては、等長化のために同一配線の一部に折り返し経路を形成する。図10には代表的に折り返し経路FLa,FLbが示されている。折り返し経路によってデータ及びデータストローブ信号系配線の等長化が容易になる。図11に例示されるようにマイクロコンピュータチップ1AとSDRAM3との間についてもどうようである。図11には代表的に折り返し経路FLc,FLdが示されている。
図12にはコマンド及びアドレス系配線CAa〜CAdに対する等長化経路の例が示される。T字形トポロジのコマンド及びアドレス系配線において、分岐点より後段には、L2配線の2本セット毎の間に距離DSTを取り、AR1、AR2の位置に代表されるように、信号毎にL1配線とL2配線との間のビア1個と配線1本を通すことができる余地を確保し、PNT1,PNT2に代表されるようにL2配線層の分岐位置を微調整可能にする。分基点以降において、等長化のために同じDDR2−SDRAMへの相互に異なる配線間で伝播方向が逆にされた逆方向経路を一部に有する。図12には代表的に逆方向経路RPa,RPbが示されている。逆方向経路RPa,RPbによってコマンド及びアドレス系配線の等長化が容易になる。
図13にはクロック系配線CK0,CK1に対する等長化経路の例が示される。前述の通りクロック系配線CK0,CK1はT形トポロジのコマンド及びアドレス系配線に沿うように配線される。更に、コマンド及びアドレス系配線の真ん中に配置する。これにより、コマンド及びアドレス系配線のマイクロコンピュータとSDRAM間の最長配線と最短配線との各々の差分をそれぞれ均等化し易くなる。これにより、コマンド及びアドレスに関するタイミングマージンの確保が容易になる。
《差動信号用ボール電極の配置》
図14にはDDR2−SDRAM2,3に対するテスト専用端子の配置が例示される。モジュール基板32の裏面に配置されたボール電極40は外周縁に沿って7周配置された周回電極部分45と、中央部の9行9列でマトリクス配置された中央電極部分46とを有する。周回電極部分45と中央電極部分46の間には空白領域47が確保されている。マルチチップモジュール31には、DDR2−SDRAM2,3をマイクロコンピュータチップ1Aによるアクセス制御とは別に、外部よる単独でテスト可能にするテスト用のボール電極が配置される。テスト用のボール電極の領域は、DDR2−SDRAM2,3のボール電極39との対応が矢印で示されている。図より明らかなように、テスト用のボール電極は周回電極部分の内周寄りに配置されている。マルチチップモジュール31を搭載するマザーボード(プリント配線基板)上にマルチチップモジュール31を搭載するとき、マルチチップモジュール31の下側から側方に向けてPCB配線を引き出す場合、マルチチップモジュール31の周縁に近いほどマザーボード上における配引出しは容易である。したがって、テスト専用ボール電極の如くマザーボード上の配線に接続する必要のない端子は極力、モジュール基板の内側に集めた方が得策だからである。
ここで、前記差動クロック配線CK1は、SDRAM2のクロック端子CK,CKBの近傍に配置された差動終端抵抗接続用の一対のボール電極BCKa,BCKbを有する。前記ボール電極BCKa,BCKbは、相互に隣接され、且つ、他のモジュール端子が配置されていない領域に隣接し又はテスト専用モジュール端子に隣接して形成されている。SDRAM3のための差動クロック配線CK0についても同様に、差動終端抵抗接続用の一対のボール電極BCKc,BCKdを有する。前記ボール電極BCKc,BCKdも相互に隣接され、且つ、他のモジュール端子が配置されていない領域に隣接し又はテスト専用モジュール端子に隣接して形成されている。
マルチチップモジュール31が実装されるPCBにはテスト専用モジュール端子に接続されるべき配線は形成されていないから、差動終端抵抗接続用ボール電極BCKaとBCKb、BCKcとBCKdを、他のモジュール端子が配置されていない領域に隣接し又はテスト専用モジュール端子に隣接して形成することにより、当該差動終端抵抗接続用のボール電極BCKaとBCKb、BCKcとBCKdに各々直接終端抵抗を搭載することが容易になる。このことは分岐点から差動終端抵抗までの配線経路を極めて短く且つ等長化するのに好適である。この関係は、LDQSとLDQSB、UDQSとUDQSBのような差動データストローブ信号についても同様に適用すれば有効であるが、JEDEC標準によれば、それら差動データストローブ信号については、ODT(On-Die Termination)によるチップ内終端抵抗によって対策されることを期待することができるので、差動クロック配線と同様の考慮を払わなくても実質的な問題は少ないと考えられる。
図15にはSDRAM2のクロック端子CK,CKBの近傍に配置された差動終端抵抗接続用の一対のボール電極BCKa,BCKbと、差動データストローブ端子LDQS,LDQSBの近傍に配置された差動終端抵抗接続用の一対のボール電極BDQSa,BDQSbとの配置領域の詳細を例示する。差動終端抵抗接続用のボール電極BCKa,BCKbは周回電極部分45の内周縁に配置されていないが、図において左隣にはPCB配線引出し不用のボール電極を配置してあるから、終端抵抗の実装領域MAR1を確保することができる。また、差動終端抵抗接続用のボール電極BDQSa,BDQSbの双方は周回電極部分45の内周縁に配置されていないが、図において右隣にはPCB配線引出し不用のボール電極を配置し、左側には空白領域47はあるので、終端抵抗の実装領域MAR2を容易に確保することができる。
《電源分離》
DDR2−SDRAM2,3の動作電源は、VDDQ,VSSQが外部出力及び外部入出力回路用(I/O用)の電源系端子セット、VDD,VSSがコア回路用の電源系端子セットである。マイクロコンピュータチップ1Aは、コア回路用と外部インタフェース回路用に別々の電源系端子セットを備える。更に、マイクロコンピュータチップ1Aは、SDRAM2,3にインタフェースされる前記インタフェース回路4,5の動作電源としてVCCddr、VSSddrの電源系端子セットを有する。電源端子VDD,VDDQ、VCCddrの電源電圧は例えば1.8Vである。グランド端子VSS、VSSQ、VSSddrのグランド電圧は0Vである。特に制限されないが、マイクロコンピュータチップ1Aのコア回路用電源セットは固有の電源系端子による1.0Vと0Vであり、その他の外部インタフェース回路用の電源セットはそれ固有の電源系端子による3.3Vと0Vである。
モジュール基板において、マイクロコンピュータチップ1AとDDR2−SDRAM2,3との間では動作電源経路が分離され、個別テストの便に供することができるようになっている。更に、DDR2−SDSRAMアクセスに際して電源系ノイズが回り込みことを防止する観点より、DDR2−SDRAM2,3のI/O用電源端子VDDQとコア回路用電源端子VDDとは相互に電気的に分離された固有の電源経路を経て接続された電源ボール電極が割り当てられる。VSS、VSSQ、VSSddrに接続するボール電極は電気的に分離されていない。ESD耐性の確保と電気的基準の安定化を確保するためである。
図16にはモジュール基板の電源用ボール電極の配置が例示される。Vdd−DRAMはSDRAM2,3の電源端子VDDに割り当てられた電源ボール電極、Vddq−DRAMはSDRAM2,3の電源端子VDDQに割り当てられた電源ボール電極、Vcc−DDRはマイクロコンピュータチップ1Aの電源端子VCCddrに割り当てられた電源ボール電極、Vssは、VSS,VSSQ,VSSddrに割り当てられたグランドボール電極である。
図17にはMCU−CHP1AからDDR−SDRAM2に出力される信号の変化に伴う電源系の帰還電流経路が模式的に示される。Vcc−DDRとVddq−DRAMとが分離されているとき、MCU−CHP1AとDDR2−SDRAM2との間で信号が充放電されると、その充放電電流のうち電源配線に流れる帰還電流の経路VDPS1とVDPS2はモジュール基板32上においてVddq−DRAMとVcc−DDRとによって分断され、マザーボード上の電源配線若しくは電源プレーンを介して帰還されなければならない。このことが電源系のインピーダンス増加を招くことになるが、これを極力抑制するために、Vcc−DDRとVddq−DRAMを直近に配置してある。これにより、50で示されるようにVcc−DDRとVddq−DRAMとを流れる逆方向の電流をカップリングさせて実効インダクタンスを減らすことができる。
《メモリコアへの給電ビア複数化》
図18には主な電源系に着目したときのマルチチップモジュール31の縦断面構造が例示される。DDR2−SDRAM2,3はI/O回路に比べてコア回路の消費電力の方が大きい。リフェレッシュ動作時の比較的大きな電力消費を考慮しなければならないからである。ここで、ビルドアップ層35、36に形成された1個のビア42Aの給電面積はコア層34に形成された1個のビア42Bの給電面積よりも小さい。このとき、Vdd−DRAMをVDDに接続する給電経路において前記コア層34の1個のビア42Bに対してビルドアップ層の各層に形成されるビア42Aの数は2個とされる。Vddq−DRAMをVDDQに接続する給電経路において前記コア層34の1個のビア42Bに対してビルドアップ層35,36の各層に形成されるビア42Aの数は1個とされる。メモリデバイスのコア回路による消費電力がI/O回路部分よりも大きくなることを考慮したとき、コア層のビアに比べて導電面積の小さなビルドアップ層のビアによる電流供給能力不足を生じないようにすることができる。
《グランドスリットによるノイズ対策》
図19にはグランド端子VSS,VSSQとグランドボール電極Vssを接続する経路の縦断面構造が例示される。前述のようにデバイス上で分離されているグランド端子VSS,VSSQはモジュール基板内では電気的に導通され、電気的に共通のグランドボール電極Vssに接続される。このとき、前記コア層とビルドアップ層は、グランド端子VSS,VSSQ及びグランドボール電極Vssに導通するグランドパターンGPTNを有し、面積を大きくして極力グランド電位の安定化を図ろうとしている。即ち、グランド端子VSS,VSSQ及びグランドボール電極Vssと、前記コア層及びビルドアップ層のグランドパターンGPTNとは電気的に一体化され、電源系のような分離は行なわれていないから、ESD(Electrostatic Discharge)耐性の低下、リターンパス経路の阻害に寄る電気的特性の劣化、グランドレベルのずれ等の問題を生じ難い。一方、グランドをDC的に全て共通化すると、VSSとVSSQのような異種グランド間でのノイズ回り込みの虞を生ずる。これに対し、前記グランドパターンGPTNは、デバイスグランド端子VSSに接続するパッド又はビアと、前記デバイスグランド端子VSSQに接続するパッド又はビアとを結ぶ線分の間にスリットSLTを有する。図20乃至図25には各配線層L1〜L6の状態が例示される。ここではL4配線層は基本的に電源プレーンに利用されるのでグランドパターンは存在していない。
前記スリットSLTがグランドパターンGPTN上で異種グランドのビアやパッド間の電気的導通経路を長くする。要するに、グランドパターンGPTNの平面上において異種グランド間の電気的導通経路が長くなる。これにより、実装基板上でグランドビア52Gと電源ビア52Vとの間に搭載されたパスコン53への縦方向の電気的導通経路にAC的なノイズが誘導され易くなるから、結果として、異種グランド間でのグランドノイズの回り込みを抑制若しくは緩和することができる。
図26にはスリットSLTを形成しない場合の比較例が示される。VSSとVSSQの間ではL1層のグランパターンGPTNを介して異種電源の回り込みを生ずる。
図27には信号配線のガードに利用されるグランドプレーンの縁辺部分にスリットを適用した例が示される。例えばグランド端子VSSに接続するビア42G(VSS)グランドプレーンGPTNに着目すると、このグランドプレーンGPTNの縁辺部分55が信号配線SIGに対向するグランドガードとし利用されているとき、前記グランドプレーンの縁辺部分55とビア42G(VSS)との間に、スリットSLTを形成する。信号配線のガードに利用されるグランドプレーンの縁辺部分55には信号配線SIGに並行してリターン電流が流れるが、スリットSLTは前記信号配線SIGに隣接する縁辺部分55に対してリターンパスを確保するように作用し、且つ、リターンパスを流れる電流がノイズとしてデバイス2のグランド端子VSSに回り込むのを抑制することができる。スリットを形成する時に考慮すべきビアやパッドはVSSQに接続するものであってもよい。
以上本発明者によってなされた発明を実施形態に基づいて具体的に説明したが、本発明はそれに限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは言うまでもない。
例えば、DDR2−SDRAMの並列データ入出力ビット数は×8等であってもよい。マイクロコンピュータは汎用コントローラに限定されず、グラフィックコントローラ、符号化・複合処理を行なうコントローラなどであってよい。
1 マイクロコンピュータ(MCU)
2,3 DDR2−SDRAM
4,5 メモリインタフェース回路
1A マイクロコンピュータチップ(MCU_CHP)
DQ0〜DQ15 データ入出力端子
LDQS,LDQSB 下位バイトデータに対する差動データストローブ端子
UDQS、UDQSB 上位バイトデータに対する差動データストローブ端子
A0〜A15 アドレス入力端子
BA0〜BA2 バンクアドレス入力端子
RASB、CASB、WEB コマンド入力端子
CSB チップ選択端子
CK,CKB 差動のクロック入力端子
LDM 下位バイトデータに対するデータマスク端子
UDM 上位バイトデータに対するデータマスク端子
VDD,VDDQ メモリ電源端子
VSS、VSSQ グランド端子
VCCddr MCUのメモリインタフェース回路用電源端子
UBCL 上位バイトユニット系PCB配線
LBCL 下位バイトユニット系PCB配線
CACL コマンド及びアドレス系PCB配線
CAPA コマンド及びアドレス系端子群
LBPA CAPA、下位バイトユニット端子群
UBPA 上位バイトユニット端子群
CAIF コマンド及びアドレス系インタフェースユニット
UBIF 上位データ系インタフェースユニット
LBIF 下位データ系インタフェースユニット
10 データ入出力回路
11 データマスク信号回路
12 反転データストローブ信号回路
13 非反転データストローブ信号回路
14 データ入出力回路14
20 入出力バッファ
21 出力バッファ
22 出力ラッチ
26 メモリコントローラ(MCNT)26
27 中央処理装置(CPU)
32 モジュール基板
34 コア層
35,36 ビルドアップ層
38 マイクロコンピュータチップ1Aのバンプ電極
39 DDR2−SDRAM2(3)のボール電極
40 モジュールボール電極
41 スルーホール
42 ビア
SLT スリット
GPTN グランドプレーン
55 グランドプレーンのガード用縁辺部分
Vcc DDR MCUのメモリインタフェース回路電源用モジュール端子
Vddq−DRAM DDR2−SDRAMのI/O電源用モジュール端子
Vdd−DRAM DDR2−SDRAMのコア電源用モジュール端子

Claims (2)

  1. 上面、前記上面に形成された複数の配線、前記上面とは反対側の下面を有するプリント配線基板と、
    平面形状が、第1辺と、前記第1辺と第1角部で交わる第2辺とを有する四角形からなり、前記第1辺に沿って配置された複数の第1ボール電極、および前記第2辺に沿って配置された複数の第2ボール電極を有し、前記複数の第1及び第2ボール電極を介して前記プリント配線基板の前記上面に搭載されたデータ処理デバイスと、
    平面形状が、第1メモリ長辺と、前記第1メモリ長辺と第1メモリ角部で交わる第1メモリ短辺とを有する長方形からなり、前記第1メモリ長辺に沿って配置された複数の第1端子を有し、前記複数の第1端子を介して前記プリント配線基板の前記上面に、かつ、平面視において前記第1長辺が前記データ処理デバイスの前記第1辺と並ぶように、前記データ処理デバイスの隣に搭載された第1メモリデバイスと、
    平面形状が、第2メモリ長辺と、前記第2メモリ長辺と第2メモリ角部で交わる第2メモリ短辺とを有する長方形からなり、前記第2メモリ長辺に沿って配置された複数の第2端子を有し、前記複数の第2端子を介して前記プリント配線基板の前記上面に、かつ、平面視において前記第2長辺が前記データ処理デバイスの前記第2辺と並び、かつ、前記第2メモリ角部が前記第1メモリ角部と対向するように、前記データ処理デバイスの隣に搭載された第2メモリデバイスと、
    を含み、
    前記複数の第1ボール電極は、平面視において、前記第1角部から前記第1辺に沿って、第1コマンド・アドレス系インタフェースユニット用ボール電極群、第1下位データ系インタフェースユニット用ボール電極群、第1上位データ系インタフェースユニット用ボール電極群の順に配置されており、
    前記複数の第2ボール電極は、平面視において、前記第1角部から前記第2辺に沿って、第2コマンド・アドレス系インタフェースユニット用ボール電極群、第2下位データ系インタフェースユニット用ボール電極群、第2上位データ系インタフェースユニット用ボール電極群の順に配置されており、
    前記複数の第1端子は、平面視において、前記第1メモリ角部から前記第1長辺に沿って、第1コマンド・アドレス系端子群、第1下位データ系端子群、第1上位データ系端子群の順に配置されており、
    前記複数の第2端子は、平面視において、前記第2メモリ角部から前記第2長辺に沿って、第2コマンド・アドレス系端子群、第2下位データ系端子群、第2上位データ系端子群の順に配置されていることを特徴とするマルチチップモジュール。
  2. 前記第1コマンド・アドレス系インタフェースユニット用ボール電極群は、前記プリント配線基板の前記複数の配線のうちの第1コマンド・アドレス系配線を介して、前記第1コマンド・アドレス系端子群および前記第2コマンド・アドレス系端子群とそれぞれ電気的に接続されており、
    前記第1下位データ系インタフェースユニット用ボール電極群は、前記プリント配線基板の前記複数の配線のうちの第1下位データ系配線を介して、前記第1下位データ系端子群とそれぞれ電気的に接続されており、
    前記第1上位データ系インタフェースユニット用ボール電極群は、前記プリント配線基板の前記複数の配線のうちの第1上位データ系配線を介して、前記第1上位データ系端子群とそれぞれ電気的に接続されており、
    前記第2コマンド・アドレス系インタフェースユニット用ボール電極群は、前記プリント配線基板の前記複数の配線のうちの第2コマンド・アドレス系配線を介して、前記第1コマンド・アドレス系端子群および前記第2コマンド・アドレス系端子群とそれぞれ電気的に接続されており、
    前記第2下位データ系インタフェースユニット用ボール電極群は、前記プリント配線基板の前記複数の配線のうちの第2下位データ系配線を介して、前記第2下位データ系端子群とそれぞれ電気的に接続されており、
    前記第2上位データ系インタフェースユニット用ボール電極群は、前記プリント配線基板の前記複数の配線のうちの第2上位データ系配線を介して、前記第2上位データ系端子群とそれぞれ電気的に接続されており、
    前記第1及び第2コマンド・アドレス系配線は、平面視において、前記第1メモリデバイスの前記第1メモリ角部と前記第2メモリデバイスの前記第2メモリ角部との間を経由し、前記第1メモリデバイスと前記第2メモリデバイスとの間において前記第1メモリデバイスおよび前記第2メモリデバイスのそれぞれに向かって分岐していることを特徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール。
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