JP4978299B2 - カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板製造装置 - Google Patents
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Description
一般に、液晶表示ディスプレイパネルにおいて、現在最も広く使用されている液晶セル駆動方式は、TN(ねじれネマティック)方式とSTN(超ねじれネマティック)方式による縦電界駆動型であり、近年、横電界駆動型(IPS)による液晶セル駆動方式の開発も進んでいる。
図5(a)〜(g)に一般的なカラーフィルタの製造方法の一例を工程順に示す。
まず、透明基板11上にアクリル系樹脂にカーボンブラック等の黒色顔料を分散した黒色感光性樹脂をスピンナー等にて塗布し、予備乾燥して黒色感光性樹脂層21を形成し(図5(a)参照)、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21bを形成する(図5(b)参照)。
さらに、アクリル系樹脂を主成分とする感光性樹脂溶液をスピンナー等で塗布し、予備乾燥して透明樹脂感光層を形成し、パターン露光、現像等の一連のパターニング処理を行って、加熱硬化して、積層スペーサー41上にPS61が形成されたカラーフィルタ基板300を得ることができる(図5(g)参照)。
このため、生産効率が低下したり、スペーサー製造装置の不安定化が品質に悪影響を及ぼすという問題がある。
もし、最終層のスペーサーを形成する前のスペーサー膜厚の仕上がり状況に合わせてスペーサー形成条件を変更しようとすると、以下の問題がある。
あり、装置稼働率が著しく低下する。
(a)透明基板上に、ブラックマトリクスと、複数の着色フィルターと、所定のブラックマトリクス上に積層スペーサーとを形成する工程と、
(b)透明電極を形成する工程と、
(c)前記積層スペーサーの膜厚を測定する工程と、
(d)測定された積層スペーサー膜厚を、前記柱状スペーサーの膜厚精度の程度及び前記積層スペーサーの膜厚バラツキの程度に応じて設定した膜厚レンジ分類に分類し、当該カラーフィルタ基板をバッファーカセットに収納する工程と、
(e)積層スペーサー膜厚の前記膜厚レンジ分類の単位毎にPSの製造条件を設定して、カラーフィルタ基板を前記バッファーカセットより順次取り出してPS製造手段により積層スペーサー上にPSを形成する工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法としたものである。
(a)透明基板上に、ブラックマトリクスと、複数の着色フィルターと、積層スペーサーとを形成する着色フィルター形成手段110と、
(b)複数の着色フィルター上に透明電極を形成する透明電極形成手段120と、
(c)積層スペーサーの膜厚を測定する膜厚測定手段130と、
(d)測定された積層スペーサー膜厚を、積層スペーサーとフォトスペーサーとからなる柱状スペーサーの膜厚精度の程度及び前記積層スペーサーの膜厚バラツキの程度に応じて設定した膜厚レンジ分類に分類し、積層スペーサー膜厚の前記膜厚レンジ分類の単位毎にフォトスペーサー製造手段の製造条件を設定する制御手段(160)と、前記透明基板をバッファーカセットに収納する積層スペーサー膜厚層別手段(140)と、を有し、
前記制御手段(160)が、前記膜厚レンジ分類の単位毎にカラーフィルタ基板を前記バッファーカセットより順次取り出しフォトスペーサー製造手段(150)に供給することを特徴とするカラーフィルタ基板製造装置としたものである。
図1は、本発明のカラーフィルタ基板製造装置の一実施例を示す模式構成図である。
本発明のカラーフィルタ基板製造装置200は、透明基板上に、ブラックマトリクスと、複数の着色フィルターと、積層スペーサーとを形成する着色フィルター形成手段110と、複数の着色フィルター上に透明電極を形成する透明電極形成手段120と、積層スペーサーの膜厚を測定する膜厚測定手段130と、積層スペーサーの膜厚をレンジ毎にソーティングする積層スペーサー膜厚層別手段140と、PS製造手段150と、積層スペーサーの膜厚レンジ毎にPS製造手段の製造条件を設定する制御手段160とから構成されている。
図2(a)〜(g)は、本発明のカラーフィルタ基板の製造方法の一実施例を示す模式構成断面図である。
まず、着色フィルター形成手段110にて、ガラス基板等からなる透明基板11上にアクリル系樹脂にカーボンブラック等の黒色顔料を分散した黒色感光性樹脂をスピンナー等にて塗布し、予備乾燥して黒色感光性樹脂層21を形成し(図2(a)参照)、パターン露光、現像等のパターニング処理を行って、ブラックマトリクス21bを形成する(図2(b)参照)。
ここで、透明基板11としては、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス等のガラス基板及びプラスチックフィルム等が利用できる。
透明電極形成手段120としては、公知のスパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング等の成膜装置が使用できる。
膜厚測定手段130では、途中工程のカラーフィルタ基板80にはレシピ番号が付与されており、それぞれのレシピ番号に対応した膜厚(高さ)測定結果が保存され、基板に付与されたレジピ番号は、積層スペーサー41の膜厚層別手段140、PS製造手段150まで紐づけ管理される。
図3は、積層スペーサー41の膜厚(高さ)とPSの膜厚(高さ)の関係を示したもので、仕上がりスペーサーである柱状スペーサーの膜厚(高さ)をS、積層スペーサー41の膜厚(
高さ)をS1とした場合、S−S1がPS製造手段150における狙い値と定め製造する必要がある。
図4は、膜厚測定手段130にて測定された積層スペーサー41の膜厚と度数の関係を示す度数分布曲線の一例を示す。
ここでは、得られた分布曲線から積層スペーサー41の膜厚レンジをA、B、C、Dの4レンジに層別し、途中工程のカラーフィルタ基板50のレシピ番号に対して、膜厚レンジ分類記号が付与される。
膜厚レンジの設定は、仕上がりスペーサーである柱状スペーサーの膜厚(高さ)精度をどの程度に抑えるか、また積層スペーサーの膜厚(高さ)バラツキがどの程度あるかによって、適宜設定される。
制御手段60で積層スペーサー41のレンジ毎に設定されたPSの製造条件に基づいて、層別されたレンジ単位毎にレシピ番号に対応したカラーフィルタ基板50は、例えば、制御手段160と接続された搬送ロボットにてバッファーカセットより順次取り出され、搬送コンベアに載置されて、PS製造手段150に供給される。
以上の工程で、透明基板11上に、ブラックマトリクス21b、赤色フィルター31R、緑色フィルター32G及び青色フィルター33Bからなる着色フィルター30と、透明電極51と、積層スペーサー41とPS61とからなる柱状スペーサー70とが形成されたカラーフィルタ基板100を得ることができる(図2(g)参照)。
21……黒色感光性樹脂層
21b……ブラックマトリクス
30……着色フィルター
31R……赤色フィルター
31G……緑色フィルター
31B……青色フィルター
41……PS
51……透明電極
61……PS
70……柱状スペーサー
80……途中工程のカラーフィルタ基板
100、300……カラーフィルタ基板
110……着色フィルター形成手段
120……透明電極形成手段
130……膜厚測定手段
140……積層スペーサー膜厚層別手段
150……PS製造手段
160……制御手段
200……カラーフィルタ基板製造装置
Claims (2)
- 透明基板上に、ブラックマトリクスと、複数の着色フィルターと、透明電極と、積層スペーサーとフォトスペーサー(以下、PSと称す)とからなる柱状スペーサーとが形成されたカラーフィルタ基板において、
(a)透明基板上に、ブラックマトリクスと、複数の着色フィルターと、所定のブラックマトリクス上に積層スペーサーとを形成する工程と、
(b)透明電極を形成する工程と、
(c)前記積層スペーサーの膜厚を測定する工程と、
(d)測定された積層スペーサー膜厚を、前記柱状スペーサーの膜厚精度の程度及び前記積層スペーサーの膜厚バラツキの程度に応じて設定した膜厚レンジ分類に分類し、当該カラーフィルタ基板をバッファーカセットに収納する工程と、
(e)積層スペーサー膜厚の前記膜厚レンジ分類の単位毎にPSの製造条件を設定して、カラーフィルタ基板を前記バッファーカセットより順次取り出してPS製造手段により積層スペーサー上にPSを形成する工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。 - 少なくとも、
(a)透明基板上に、ブラックマトリクスと、複数の着色フィルターと、積層スペーサーとを形成する着色フィルター形成手段(110)と、
(b)複数の着色フィルター上に透明電極を形成する透明電極形成手段(120)と、
(c)積層スペーサーの膜厚を測定する膜厚測定手段(130)と、
(d)測定された積層スペーサー膜厚を、積層スペーサーとフォトスペーサーとからなる柱状スペーサーの膜厚精度の程度及び前記積層スペーサーの膜厚バラツキの程度に応じて設定した膜厚レンジ分類に分類し、積層スペーサー膜厚の前記膜厚レンジ分類の単位毎にフォトスペーサー製造手段の製造条件を設定する制御手段(160)と、前記透明基板をバッファーカセットに収納する積層スペーサー膜厚層別手段(140)と、を有し、
前記制御手段(160)が、前記膜厚レンジ分類の単位毎にカラーフィルタ基板を前記バッファーカセットより順次取り出しフォトスペーサー製造手段(150)に供給することを特徴とするカラーフィルタ基板製造装置。
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