JP4965617B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

Description

この発明は半導体装置の製造方法に関する。

従来の半導体装置には、シリコン基板のサイズ外にも接続端子としての半田ボールを備えるため、上面に複数の接続パッドを有するシリコン基板をベース板の上面に接着層を介して接着し、シリコン基板の周囲におけるベース板の上面に絶縁層を設け、シリコン基板および絶縁層の上面に上層絶縁膜を設け、上層絶縁膜の上面に上層配線をシリコン基板の接続パッドに接続させて設け、上層配線の接続パッド部を除く部分を最上層絶縁膜で覆い、上層配線の接続パッド部上に半田ボールを設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００３−２９８００５号公報

ところで、上記従来の半導体装置では、シリコン基板の周側面およびベース板の上面をポリイミドやエポキシ樹脂などからなる絶縁層で覆っているので、シリコン基板の周側面と絶縁層あるいはベース板の上面と絶縁層との密着力が劣り、熱ストレスや機械的ストレスにより、シリコン基板と絶縁層との間あるいはベース板と絶縁層との間に剥離が発生することがあるという問題があった。

そこで、この発明は、シリコン基板などからなる半導体基板とその周側面を覆っている絶縁層あるいはベース板などからなるベース部材とその上面を覆っている絶縁層との間の密着力を大きくすることができる半導体装置およびその製造方法を提供することを目的とする。

この発明は、上記目的を達成するため、ベース部材上に設けられた半導体構成体の周側面あるいは該半導体構成体の周囲におけるベース部材の上面に密着力向上膜を設け、ベース部材上に半導体構成体の周側面あるいはベース部材の上面に設けられた密着力向上膜を介して絶縁層を設けたことを特徴とするものである。

この発明によれば、半導体構成体とその周側面を覆っている絶縁層との間あるいはベース部材とその上面を覆っている絶縁層との間に密着力向上膜を設けているので、半導体基板とその周側面を覆っている絶縁膜との間あるいはベース部材とその上面を覆っている絶縁層との間の密着力を大きくすることができ、ひいては、半導体基板とその周側面を覆っている絶縁層との間あるいはベース部材とその上面を覆っている絶縁層との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができる。

この発明の第１実施形態としての半導体装置の断面図。 図１に示す半導体装置の製造方法の一例において、当初用意したものの断面図。 図２に続く工程の断面図。 図３に続く工程の断面図。 図４に続く工程の断面図。 図５に続く工程の断面図。 図６に続く工程の断面図。 図７に続く工程の断面図。 図８に続く工程の断面図。 図９に続く工程の断面図。 図１０に続く工程の断面図。 図１１に続く工程の断面図。 図１２に続く工程の断面図。 図１３に続く工程の断面図。 図１４に続く工程の断面図。 図１５に続く工程の断面図。 図１６に続く工程の断面図。 図１７に続く工程の断面図。 ピール強度試験の一例を説明するために示す図。 この発明の第２実施形態としての半導体装置の断面図。 図２０に示す半導体装置を製造する際の所定の工程の断面図。 図２１に続く工程の断面図。 図２２に続く工程の断面図。 この発明の第３実施形態としての半導体装置の断面図。 図２４に示す半導体装置を製造する際の所定の工程の断面図。 図２５に続く工程の断面図。 図２６に続く工程の断面図。 図２７に続く工程の断面図。 この発明の第４実施形態としての半導体装置の断面図。

（第１実施形態）
図１はこの発明の第１実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置は平面方形状のベース板（ベース部材）１を備えている。ベース板１は、例えば、通常、プリント基板用として用いられている材料であればよく、一例を挙げれば、ガラス布、ガラス繊維、アラミド繊維などからなる基材にエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ＢＴ（ビスマレイミド・トリアジン）樹脂などからなる熱硬化性樹脂を含浸させたもの、あるいは、エポキシ系樹脂などの熱硬化性樹脂のみからなっている。

ベース板１の上面には、ベース板１のサイズよりもある程度小さいサイズの平面方形状の半導体構成体２の下面がダイボンド材からなる接着層３を介して接着されている。この場合、半導体構成体２は、後述する配線１１、柱状電極１２、封止膜１３を有しており、一般的にはＣＳＰ(chip size package)と呼ばれるものであり、特に、後述の如く、シリコンウエハ上に配線１１、柱状電極１２、封止膜１３を形成した後、ダイシングにより個々の半導体構成体２を得る方法を採用しているため、特に、ウエハレベルＣＳＰ（Ｗ−ＣＳＰ）とも言われている。以下に、半導体構成体２の構成について説明する。

半導体構成体２はシリコン基板（半導体基板）４を備えている。シリコン基板４の下面は接着層３を介してベース板１の上面に接着されている。シリコン基板４の上面には所定の機能の集積回路（図示せず）が設けられ、上面周辺部にはアルミニウム系金属などからなる複数の接続パッド５が集積回路に接続されて設けられている。接続パッド５の中央部を除くシリコン基板４の上面には酸化シリコンなどからなる絶縁膜６が設けられ、接続パッド５の中央部は絶縁膜６に設けられた開口部７を介して露出されている。

絶縁膜６の上面にはエポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂などからなる保護膜８が設けられている。この場合、絶縁膜６の開口部７に対応する部分における保護膜８には開口部９が設けられている。保護膜８の上面には銅などからなる下地金属層１０が設けられている。下地金属層１０の上面全体には銅からなる配線１１が設けられている。下地金属層１０を含む配線１１の一端部は、両開口部７、９を介して接続パッド５に接続されている。

配線１１の接続パッド部上面には銅からなる柱状電極（外部接続用電極）１２が設けられている。配線１１を含む保護膜８の上面にはエポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂などからなる封止膜１３がその上面が柱状電極１２の上面と面一となるように設けられている。このように、Ｗ−ＣＳＰと呼ばれる半導体構成体２は、シリコン基板４、接続パッド５、絶縁膜６を含み、さらに、保護膜８、配線１１、柱状電極１２、封止膜１３を含んで構成されている。

半導体構成体２の周側面、その周囲におけるベース板１の上面および半導体構成体２の上面にはシランカップリング剤などからなる密着力向上膜（第３の密着力向上膜）１４ａ、１４ｂ、１４ｃが連続して設けられている。半導体構成体２の周側面に設けられた密着力向上膜１４ａの周囲におけるベース板１の上面に設けられた密着力向上膜１４ｂの上面には方形枠状の絶縁層１５がその上面が半導体構成体２の上面に設けられた密着力向上膜１４ｃの上面とほぼ面一となるように設けられている。絶縁層１５は、通常、プリプレグ材と言われるもので、例えば、ガラス布、ガラス繊維、アラミド繊維などからなる基材にエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ＢＴ樹脂などからなる熱硬化性樹脂を含浸させたものからなっている。

半導体構成体２の上面に設けられた密着力向上膜１４ａおよび絶縁層１５の上面には上層絶縁膜１６がその上面を平坦とされて設けられている。上層絶縁膜１６は、ビルドアップ基板に用いられる、通常、ビルドアップ材と言われるもので、例えば、エポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂、ＢＴ樹脂などからなる熱硬化性樹脂中に繊維やフィラーなどからなる補強材を分散させたものからなっている。この場合、繊維は、ガラス繊維やアラミド繊維などである。フィラーは、シリカフィラーやセラミックス系フィラーなどである。

柱状電極１２の上面中央部に対応する部分における上層絶縁膜１６および密着力向上膜１４ｃには開口部１７が設けられている。上層絶縁膜１６の上面には銅などからなる上層下地金属層１８が設けられている。上層下地金属層１８の上面全体には銅からなる上層配線１９が設けられている。上層下地金属層１８を含む上層配線１９の一端部は、上層絶縁膜１６の開口部１７を介して柱状電極１２の上面に接続されており、他端側は接続パッド部となっている。

上層配線１９を含む上層絶縁膜１６の上面にはソルダーレジストなどからなる最上層絶縁膜２０が設けられている。上層配線１９の接続パッド部に対応する部分における最上層絶縁膜２０には開口部２１が設けられている。開口部２１内およびその上方には半田ボール２２が上層配線１９の接続パッド部に接続されて設けられている。複数の半田ボール２２は、最上層絶縁膜２０上にマトリクス状に配置されている。

ベース板１の下面には、絶縁層１５と同一の材料からなる第１の下層絶縁膜２３が設けられている。第１の下層絶縁膜２３の下面には、上層絶縁膜１６と同一の材料からなる第２の下層絶縁膜２４が設けられている。第２の下層絶縁膜２４の下面には、最上層絶縁膜２０と同一の材料からなる最下層絶縁膜２５が設けられている。

以上のように、この半導体装置では、半導体構成体２とその周側面を覆っている絶縁層１５との間に密着力向上膜１４ａを設けているので、シリコン基板４とその周側面を覆っているプリプレグ材からなる絶縁膜１５との間の密着力を大きくすることができ、また、エポキシ系樹脂などからなる封止膜１３とその周側面を覆っているプリプレグ材からなる絶縁膜１５との間の密着力を大きくすることができる。

この結果、シリコン基板４とその周側面を覆っている絶縁層１５との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができ、また、封止膜１３とその周側面を覆っている絶縁膜１５との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができる。

また、ベース板１の上面に密着力向上膜１４ｂを介して絶縁層１５を設けているので、ベース板１とその上面を覆っている絶縁層１５との間の密着力を大きくすることができる。この結果、ベース板１とその上面を覆っている絶縁層１５との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができる。

さらに、半導体構成体２の上面に密着力向上膜１４ｃを介して上層絶縁膜１６を設けているので、エポキシ系樹脂などからなる封止膜１３とその上面を覆っているビルドアップ材からなる上層絶縁膜１６との間の密着力を大きくすることができる。この結果、封止膜１３とその上面を覆っている上層絶縁膜１６との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができる。

ここで、ベース板１のサイズを半導体構成体２のサイズよりもある程度大きくしているのは、シリコン基板４上の接続パッド５の数の増加に応じて、半田ボール２２の配置領域を半導体構成体２のサイズよりもある程度大きくし、これにより、上層配線１９の接続パッド部（最上層絶縁膜２０の開口部２１内の部分）のサイズおよびピッチを柱状電極１２のサイズおよびピッチよりも大きくするためである。

このため、マトリクス状に配置された上層配線１９の接続パッド部は、半導体構成体２に対応する領域のみでなく、半導体構成体２の周側面の外側に設けられた絶縁層１５に対応する領域上にも配置されている。つまり、マトリクス状に配置された半田ボール２２のうち、少なくとも最外周の半田ボール２２は半導体構成体２よりも外側に位置する周囲に配置されている。

次に、この半導体装置の製造方法の一例について説明するに、まず、半導体構成体２の製造方法の一例について説明する。この場合、まず、図２に示すように、ウエハ状態のシリコン基板（半導体基板）４上にアルミニウム系金属などからなる接続パッド５、酸化シリコンなどからなる絶縁膜６およびエポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂などからなる保護膜８が設けられ、接続パッド５の中央部が絶縁膜６および保護膜８に形成された開口部７、９を介して露出されたものを用意する。上記において、ウエハ状態のシリコン基板４には、各半導体構成体が形成される領域に所定の機能の集積回路が形成され、接続パッド５は、それぞれ、対応する領域に形成された集積回路に電気的に接続されている。

次に、図３に示すように、両開口部７、９を介して露出された接続パッド５の上面を含む保護膜８の上面全体に下地金属層１０を形成する。この場合、下地金属層１０は、無電解メッキにより形成された銅層のみであってもよく、またスパッタにより形成された銅層のみであってもよく、さらにスパッタにより形成されたチタンなどの薄膜層上にスパッタにより銅層を形成したものであってもよい。

次に、下地金属層１０の上面にメッキレジスト膜３１をパターン形成する。この場合、配線１１形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜３１には開口部３２が形成されている。次に、下地金属層１０をメッキ電流路として銅の電解メッキを行なうことにより、メッキレジスト膜３１の開口部３２内の下地金属層１０の上面に配線１１を形成する。次に、メッキレジスト膜３１を剥離する。

次に、図４に示すように、配線１１を含む下地金属層１０の上面にメッキレジスト膜３３をパターン形成する。この場合、柱状電極１２形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜３３には開口部３４が形成されている。次に、下地金属層１０をメッキ電流路として銅の電解メッキを行なうことにより、メッキレジスト膜３３の開口部３４内の配線１１の接続パッド部上面に柱状電極１２を形成する。次に、メッキレジスト膜３３を剥離し、次いで、配線１１をマスクとして下地金属層１０の不要な部分をエッチングして除去すると、図５に示すように、配線１１下にのみ下地金属層１０が残存される。

次に、図６に示すように、スクリーン印刷法、スピンコート法、ダイコート法などにより、柱状電極１２および配線１１を含む保護膜８の上面全体にエポキシ系樹脂やポリイミド系樹脂などからなる封止膜１３をその厚さが柱状電極１２の高さよりも厚くなるように形成する。したがって、この状態では、柱状電極１２の上面は封止膜１３によって覆われている。

次に、封止膜１３および柱状電極１２の上面側を適宜に研磨し、図７に示すように、柱状電極１２の上面を露出させ、且つ、この露出された柱状電極１２の上面を含む封止膜１３の上面を平坦化する。ここで、柱状電極１２の上面側を適宜に研磨するのは、電解メッキにより形成される柱状電極１２の高さにばらつきがあるため、このばらつきを解消して、柱状電極１２の高さを均一にするためである。

次に、図８に示すように、シリコン基板４の下面全体に接着層３を形成する。接着層３は、ダイアタッチメントフィルムとして市販されているエポキシ系樹脂、ポリイミド系樹脂などのダイボンド材からなるものであり、加熱加圧により、半硬化した状態でシリコン基板４に固着される。次に、シリコン基板４に固着された接着層３をダイシングテープ（図示せず）に貼り付け、図９に示すダイシング工程を経た後に、ダイシングテープから剥がすと、シリコン基板４の下面に接着層３を有する半導体構成体２が複数個得られる。

次に、このようにして得られた半導体構成体２を用いて、図１に示す半導体装置を製造する場合の一例について説明する。まず、図１０に示すように、図１に示す完成された半導体装置を複数個形成することが可能な面積を有するベース板１を用意する。ベース板１は、限定する意味ではないが、例えば、平面方形状である。ベース板１は、ガラス布などからなる基材にエポキシ系樹脂などからなる熱硬化性樹脂を含浸させ、熱硬化性樹脂を硬化させてシート状となしたものである。

次に、ベース板１の上面の所定の複数箇所にそれぞれ半導体構成体２のシリコン基板４の下面に接着された接着層３を接着する。ここでの接着は、加熱加圧により、接着層３を本硬化させる。次に、図１１に示すように、半導体構成体２の周側面、その周囲におけるベース板１の上面および半導体構成体２の上面にシランカップリング剤からなる密着力向上膜１４ａ、１４ｂ、１４ｃを連続させて形成する。

密着力向上膜１４ａ、１４ｂ、１４ｃの形成方法は、スクリーン印刷法、グラビア印刷法、スプレイ印刷法、凸版印刷法、インクジェット印刷法、スピンコート法、ダイコート法、スリットコート法、メッシュコート法、ディップコート法、ＣＶＤ法（化学的気相成長法）などのいずれであってもよい。シランカップリング剤としては、原液であってもよく、また、有機溶剤（好ましくはアルコール系）または水などで希釈したものであってもよい。

シランカップリング剤としては、γ−（２−アミノエチル）アミノプロピルメトキシシラン、γ−（２−アミノエチル）アミノプロピルエトキシシラン、γ−（２−アミノエチル）アミノプロピルメチルジメトキシシラン、アミノシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、γ−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、ヘキサメチルジシラザン、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、ビニルトリクロルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(βメトキシエトキシ)シラン、β−(３,４エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、ｐ−スチリルトリメトキシシラン、γ−アクリロキシプルピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、γ−トリエトキシシリル−Ｎ−（１，３−ジメチル−ブチリデン）プロピルアミン、Ｎ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、γ−ウレイドプロピルトリエトキシシラン、γ−クロロプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、ビス（トリエトキシシリルプロピル）テトラスルフィド、γ−イソシアナートプロピルトリエトキシシランなどがあり、分子中に一般式（Ｃ _ｎ Ｈ _２ｎ＋１ Ｏ） _ｍ −Ｓｉ−（ただし、ｎ、ｍ＝１、２、３）を有する材料であればよい。

次に、図１２に示すように、半導体構成体２の周側面に設けられた密着力向上膜１４ａの周囲におけるベース板１の上面に設けられた密着力向上膜１４ｂの上面に、格子状の３枚の絶縁層形成用シート１５ａをピンなど（図示せず）で位置決めしながら積層して配置し、さらにその上面に上層絶縁膜形成用シート１６ａを配置する。また、ベース板１の下面に、絶縁層形成用シート１５ａと同一の材料からなる第１の下層絶縁膜形成用シート２３ａおよび上層絶縁膜形成用シート１６ａと同一の材料からなる第２の下層絶縁膜形成用シート２４ａを積層して配置する。

格子上の絶縁層形成用シート１５ａは、ガラス布などからなる基材にエポキシ系樹脂などからなる熱硬化性樹脂を含浸させ、熱硬化性樹脂を半硬化状態（Ｂステージ）にしてシート状となしたプリプレグ材に、パンチング、あるいは、ドリルまたはルーター加工などにより、複数の方形状の開口部３５を形成することにより得られる。上層絶縁膜形成用シート１６ａは、限定する意味ではないが、シート状のビルドアップ材が好ましく、このビルドアップ材としては、当初、エポキシ系樹脂などからなる熱硬化性樹脂中にシリカフィラーを混入させ、熱硬化性樹脂を半硬化状態にしたものがある。

ここで、絶縁層形成用シート１５ａの開口部３５のサイズは半導体構成体２のサイズよりもやや大きくなっている。このため、絶縁層形成用シート１５ａと半導体構成体２の周側面に設けられた密着力向上膜１４ａとの間には隙間３６が形成されている。また、３枚の絶縁層形成用シート１５ａの合計厚さは、密着力向上膜１４ｃを含む半導体構成体２の厚さよりもある程度厚く、後述の如く、加熱加圧されたときに、隙間３６を十分に埋めることができる程度の厚さとなっている。

この場合、絶縁層形成用シート１５ａとして、厚さが同じものを用いているが、厚さが異なるものを用いてもよい。また、絶縁層形成用シートは、上記の如く、３層であってもよいが、１層または４層以上であってもよい。なお、上層絶縁膜形成用シート１６ａの厚さは、図１において、形成すべき上層絶縁膜１６の厚さに対応する厚さまたはそれよりもやや厚い厚さとなっている。

次に、図１３に示すように、一対の加熱加圧板３７、３８を用いて上下から絶縁層形成用シート１５ａ、上層絶縁膜形成用シート１６ａ、第１の下層絶縁膜形成用シート２３ａおよび第２の下層絶縁膜形成用シート２４ａを加熱加圧する。すると、絶縁層形成用シート１５ａ中の溶融された熱硬化性樹脂が押し出されて、図１２に示す隙間３６に充填され、その後の冷却により、半導体構成体２の周側面に設けられた密着力向上膜１４ａの周囲におけるベース板１の上面に設けられた密着力向上膜１４ｂの上面に絶縁層１５が形成される。

また、半導体構成体２の上面に設けられた密着力向上膜１４ｃおよび絶縁層１５の上面に上層絶縁膜１６が形成される。さらに、ベース板１の下面に第１の下層絶縁膜２３および第２の下層絶縁膜２４が形成される。この場合、第１の下層絶縁膜形成用シート２３ａは絶縁層形成用シート１５ａと同一の材料からなり、その熱膨張係数は同じである。また、第２の下層絶縁膜形成用シート２４ａは上層絶縁膜形成用シート１６ａと同一の材料からなり、その熱膨張係数は同じである。

この結果、絶縁層１５の部分におけるベース板１を中心とするその上下の材料構成がほぼ対称的となり、加熱加圧により、絶縁層１５の部分におけるベース板１上の絶縁層形成用シート１５ａおよび上層絶縁膜形成用シート１６ａとベース板１下の第１の下層絶縁膜形成用シート２３ａおよび第２の下層絶縁膜形成用シート２４ａとが上下方向にほぼ対称的に硬化収縮し、ひいては、ベース板１に発生する反りが低減され、それ以後の工程への搬送やそれ以後の工程での加工精度に支障を来しにくいようにすることができる。これは、後述する最下層絶縁膜形成用シート２５ａの場合も同様である。

また、上層絶縁膜１６の上面は、上側の加熱加圧板３７の下面によって押さえ付けられるため、平坦面となる。また、第２の下層絶縁膜２４の下面は、下側の加熱加圧板３８の上面によって押さえ付けられるため、平坦面となる。したがって、上層絶縁膜１６の上面および第２の下層絶縁膜２４の下面を平坦化するための研磨工程は不要である。

次に、図１４に示すように、レーザビームを照射するレーザ加工により、柱状電極１２の上面中央部に対応する部分における上層絶縁膜１６および密着力向上膜１４ｃに開口部１７を形成する。次に、必要に応じて、開口部１７内などに発生したエポキシスミアなどをデスミア処理により除去する。

次に、図１５に示すように、開口部１７を介して露出された柱状電極１２の上面を含む上層絶縁膜１６の上面全体に、銅の無電解メッキなどにより、上層下地金属層１８を形成する。次に、上層下地金属層１８の上面にメッキレジスト膜４１をパターン形成する。この場合、上層配線１９形成領域に対応する部分におけるメッキレジスト膜４１には開口部４２が形成されている。

次に、下地金属層１９をメッキ電流路として銅の電解メッキを行なうことにより、メッキレジスト膜４１の開口部４２内の上層下地金属層１８の上面に上層配線１９を形成する。次に、メッキレジスト膜４１を剥離し、次いで、上層配線１９をマスクとして上層下地金属層１８の不要な部分をエッチングして除去すると、図１６に示すように、上層配線１９下にのみ上層下地金属層１８が残存される。

次に、図１７に示すように、スクリーン印刷法やスピンコート法などにより、上層配線１９を含む上層絶縁膜１６の上面にソルダーレジストなどからなる最上層絶縁膜２０を形成し、また、第２の下層絶縁膜２４の下面に最上層絶縁膜２０と同一の材料からなる最下層絶縁膜２５を形成する。この場合、上層配線１９の接続パッド部に対応する部分における最上層絶縁膜２０には開口部２１が形成されている。次に、開口部２１内およびその上方に半田ボール２２を上層配線１９の接続パッド部に接続させて形成する。

次に、図１８に示すように、互いに隣接する半導体構成体２間において、最上層絶縁膜２０、上層絶縁膜１６、絶縁層１５、密着力向上膜１４ｂ、ベース板１、第１の下層絶縁膜２３、第２の下層絶縁膜２４および最下層絶縁膜２５を切断すると、図１に示す半導体装置が複数個得られる。

以上のように、上記製造方法では、ベース板１上に複数の半導体構成体２を接着層３を介して配置し、複数の半導体構成体２に対して、上層配線１９および半田ボール２２の形成を一括して行い、その後に分断して複数個の半導体装置を得ているので、製造工程を簡略化することができる。また、図１３に示す製造工程以降では、ベース板１と共に複数の半導体構成体２を搬送することができるので、これによっても製造工程を簡略化することができる。

ここで、ピール強度試験の一例について説明する。まず、図１９に示すように、シリコン基板４Ａの上面にエポキシ系樹脂からなる封止膜１３Ａを形成し、封止膜１３Ａの上面を前処理（脱脂＋湯洗＋水洗）し、封止膜１３Ａの上面にシランカップリング剤からなる密着力向上膜１４Ａを形成し、その上面にエポキシ系樹脂を含むプリプレグ材からなる絶縁層１５Ａを形成し、絶縁層１５Ａの上面に設けられた銅層Ｂの一端部を絶縁層１５Ａの上面に対して９０°の方向に引っ張った。

この場合、試料として、銅層Ｂが絶縁層１５Ａの上面にラミネートされた銅箔からなるもの（以下、本試料１という）と、銅層Ｂが絶縁層１５Ａの上面に形成された銅メッキ層からなるもの（以下、本試料２という）とを用意した。また、比較のために、図１９を参照して説明すると、密着力向上膜１４Ａを有せず、封止膜１３Ａの上面に絶縁層１５Ａおよび銅層Ｂが形成され、そして、銅層Ｂが銅箔からなるもの（以下、比較試料１という）と、銅層Ｂが銅メッキ層からなるもの（以下、比較試料２という）とを用意した。

また、本試料１、２において、シランカップリング剤として、イソプルピルアルコールまたは水で希釈した、３−グリドキシプロピルトリエトキシシランの濃度が１．０ｗｔ％のものと、Ｎ−３（アミノエチル）３−アミノプロピルトリメトキシシランの濃度が１．０ｗｔ％のものとを用いた。

そして、ピール強度試験を行なったところ、比較試料１、２の場合には、絶縁層１５Ａと封止膜１３Ａとの間で剥離が発生したが、そのときのピール強度（ｋＮ／ｍ）は０であり、実質的に測定することができなかった。これに対し、本試料１、２の場合には、シランカップリング剤の種類に関係なく、絶縁層１５Ａと封止膜１３Ａとの間で剥離が発生せず、銅層Ｂと絶縁層１５Ａとの間で剥離が発生し、そのときのピール強度（ｋＮ／ｍ）は０．８以上であった。したがって、封止膜１３Ａと絶縁層１５Ａとの間に密着力向上膜１４Ａを設けると、封止膜１３Ａと絶縁層１５Ａとの間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができると言える。

（第２実施形態）
図２０はこの発明の第２実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す場合と大きく異なる点は、半導体構成体２のシリコン基板４の下面に設けられたシランカップリング剤からなる密着力向上膜（第１の密着力向上膜）５１の下面に接着された接着層３を、ベース板１の上面に設けられたシランカップリング剤からなる密着力向上膜５２の上面に接着させた点である。

この半導体装置を製造する場合には、一例として、図７に示す工程後に、図２１に示すように、スクリーン印刷法などにより、シリコン基板４の下面にシランカップリング剤からなる密着力向上膜５１を形成する。次に、密着力向上膜５１の下面にダイボンド材からなる接着層３を半硬化させて接着する。次に、図２２に示すように、ダイシング工程を経ると、シリコン基板４の下面に密着力向上膜５１および接着層３を有する半導体構成体２が複数個得られる。

次に、図２３に示すように、スクリーン印刷法などにより、ベース板１の上面にシランカップリング剤からなる密着力向上膜（第２の密着力向上膜）５２を形成する。次に、密着力向上膜５２の上面の所定の複数箇所にそれぞれ半導体構成体２の接着層３を本硬化させて接着する。次に、スクリーン印刷法などにより、半導体構成体２の周側面、その周囲における密着力向上膜５２の上面および半導体構成体２の上面にシランカップリング剤からなる密着力向上膜（第３の密着力向上膜）１４ａ、１４ｂ、１４ｃを連続させて形成する。以下、上記第１実施形態の場合と同様の工程を経ると、図２０に示す半導体装置が複数個得られる。

そして、このようにして得られた半導体装置では、上記第１実施形態の場合と同様の効果を有する上、シリコン基板４とダイボンド材からなる接着層３との間の密着力をその間に設けられた密着力向上膜５１を介して大きくすることができ、また、プリント基板用として用いられている材料からなるベース板１とダイボンド材からなる接着層３との間の密着力をその間に設けられた密着力向上膜５２を介して大きくすることができる。この結果、シリコン基板４と接着層３との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができ、また、ベース板１と接着層３との間の熱ストレスや機械的ストレスに起因する剥離を抑制することができる。

（第３実施形態）
図２４はこの発明の第３実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図２０に示す場合と異なる点は、図２０において半導体構成体２の上面上のみに設けられた密着力向上膜１４ｃを、上層絶縁膜１６の下面全面に対応する密着力向上膜５３として設け、半導体構成体２および絶縁層１５の上面と上層絶縁膜１６との間の密着力を一層大きくした点である。

この半導体装置を製造する場合には、一例として、図２３に示す工程後に、図２５に示すように、スクリーン印刷法などにより、半導体構成体２の周側面に設けられた密着力向上膜１４ａの周囲におけるベース板１の上面に設けられた密着力向上膜１４ｂの上面に、格子状の３枚の絶縁層形成用シート１５ａをピンなど(図示せず）で位置決めしながら積層して配置する。また、ベース板１の下面に、絶縁層形成用シート１５ａと同一の材料からなる第１の下層絶縁膜形成用シート２３ａを配置する。

次に、図２６に示すように、一対の加熱加圧板３７、３８を用いて上下から絶縁層形成用シート１５ａおよび第１の下層絶縁膜形成用シート２３ａを加熱加圧する。すると、絶縁層形成用シート１５ａ中の溶融された熱硬化性樹脂が押し出され、半導体構成体２の周囲におけるベース板１の上面に設けられた密着力向上膜１４ｂの上面に絶縁層１５が形成される。また、ベース板１の下面に第１の下層絶縁膜２３が形成される。

次に、余分な熱硬化性樹脂の除去と平坦化のため、バフ研磨などを行ない、半導体構成体２の上面に設けられた密着力向上膜１４ｃを完全に除去し、図２７に示すように、柱状電極１５および封止膜１３の上面を露出させる。なお、この研磨は、余分な熱硬化性樹脂の除去とある程度の平坦化が行なわれればよく、半導体構成体２の上面に設けられた密着力向上膜１４ｃを完全に除去する必要はない。

次に、図２８に示すように、柱状電極１２、封止膜１３、半導体構成体２の周側面に設けられた密着力向上膜１４ａおよび絶縁層１５の上面に、スクリーン印刷法などにより、シランカップリング剤からなる密着力向上膜５３を形成する。次に、密着力向上膜５３の上面に上層絶縁膜形成用シート１６ａを配置する。また、第１の上層絶縁膜２３の下面に、上層絶縁膜形成用シート１６ａと同一の材料からなる第２の下層絶縁膜形成用シート２４ａを配置する。

次に、図示しない一対の加熱加圧板を用いて上下から上層絶縁膜形成用シート１６ａおよび第２の下層絶縁膜形成用シート２４ａを加熱加圧すると、密着力向上膜５３の上面に上層絶縁膜１６が形成され、また、第１の上層絶縁膜２３の下面に第２の下層絶縁膜２４が形成される。この場合も、上記第１実施形態の場合と同様に、上層絶縁膜１６の上面および第２の下層絶縁膜２４の下面を平坦化するための研磨工程は不要である。以下、上記第１実施形態の場合と同様の工程を経ると、図２４に示す半導体装置が複数個得られる。

（第４実施形態）
図２９はこの発明の第４実施形態としての半導体装置の断面図を示す。この半導体装置において、図１に示す場合と大きく異なる点は、上層絶縁膜、上層配線および下層絶縁膜を２層とした点である。すなわち、第１の上層配線１９Ａを含む第１の上層絶縁膜１６Ａの上面には第１の上層絶縁膜１６Ａと同一の材料からなる第２の上層絶縁膜１６Ｂが設けられている。第２の上層絶縁膜１６Ｂの上面には第２の上層下地金属層１８Ｂを含む第２の上層配線１９Ｂが設けられている。

第１の上層下地金属層１８Ａを含む第１の上層配線１９Ａの一端部は、第１の上層絶縁膜１６Ａの開口部１７Ａを介して柱状電極１２の上面に接続されている。第２の上層下地金属層１８Ｂを含む第２の上層配線１９Ｂの一端部は、第２の上層絶縁膜１６Ｂの開口部１７Ｂを介して第１の上層配線１９Ａの接続パッド部に接続されている。半田ボール２２は、最上層絶縁膜２２の開口部２１を介して第２の上層配線１９Ｂの接続パッド部に接続されている。

そして、製造工程中および製造工程後におけるベース板１の反りを低減するため、第１の下層絶縁膜２３の下面には第１の上層絶縁膜１６Ａと同一の材料からなる第２の下層絶縁膜２４Ａが設けられ、第２の下層絶縁膜２４Ａの下面に第２の上層絶縁膜１６Ｂと同一の材料からなる第３の下層絶縁膜２４Ｂが設けられ、第３の下層絶縁膜２４Ｂの下面に最上層絶縁膜２０と同一の材料からなる最下層絶縁膜２５が設けられている。なお、上層絶縁膜および上層配線は３層以上としてもよい。

（その他の実施形態）
上記実施形態では、互いに隣接する半導体構成体２間において切断したが、これに限らず、２個またはそれ以上の半導体構成体２を１組として切断し、マルチチップモジュール型の半導体装置を得るようにしてもよい。この場合、複数で１組の半導体構成体２は同種、異種のいずれであってもよい。

また、ベース板１は、プリント基板のコア材のみでなく、コア材の一面または両面に銅箔などの金属箔が全面あるいはパターニングされて形成された基板、銅やステンレス鋼などからなる金属板、あるいはガラス板、セラミック板などであってもよく、また、１枚の部材に限らず、絶縁膜および配線が交互に積層された多層印刷回路板であってもよい。

さらに、上記実施形態では、ベース板１上に半導体構成体２の外部接続用電極である柱状電極１２をベース板１とは反対面側に向けたフェースアップボンディング法としているが、半導体構成体２の外部接続用電極をベース板１の上面側に向けた、所謂、フェースダウンボンディング法の場合にも適用可能である。

１ ベース板
２ 半導体構成体
３ 接着層
４ シリコン基板
５ 接続パッド
１１ 配線
１２ 柱状電極
１３ 封止膜
１４ａ、１４ｂ、１４ｃ 密着力向上膜
１５ 絶縁層
１６ 上層絶縁膜
１９ 上層配線
２０ 最上層絶縁膜
２２ 半田ボール

Claims (6)

1. 第２の密着力向上膜が上面に設けられたベース部材上に、各々が半導体基板および該半導体基板上に設けられた複数の外部接続用電極としての柱状電極、前記柱状電極の周囲を覆う封止膜、前記半導体基板下に設けられた第１の密着力向上膜、前記第１の密着力向上膜下に設けられた接着層、を有する複数の半導体構成体を相互に離間させて配置する工程と、
   前記各半導体構成体の周側面、前記半導体構成体の周囲における前記ベース部材上の前記第２の密着力向上膜の上面および前記半導体構成体の上面に、第３の密着力向上膜を形成する工程と、
   前記ベース部材上の前記第２の密着力向上膜の上面に、前記各半導体構成体の周側面、前記ベース部材上の前記第２の密着力向上膜の上面に設けられた前記第３の密着力向上膜を介してシート状部材からなる絶縁層を配置する工程と、
   前記第３の密着力向上膜が形成された前記各半導体構成体の上面および前記絶縁層上に少なくとも１層の上層絶縁膜を形成する工程と、
   前記絶縁層および前記上層絶縁膜を加熱加圧する工程と、
   前記半導体構成体間における前記ベース板、前記上層絶縁膜および前記絶縁層を少なくとも切断して前記半導体構成体が少なくとも１つ含まれる半導体装置を複数個得る工程と、
   を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
2. 請求項１に記載の発明において、前記上層絶縁膜上に少なくとも１層の上層配線を形成することを特徴とする半導体装置の製造方法。
3. 請求項１または２のいずれかに記載の発明において、前記密着力向上膜はシランカップリング剤からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
4. 請求項３に記載の発明において、前記密着力向上膜は、分子中に一般式（Ｃ_ｎＨ_２ｎ＋１Ｏ）_ｍ−Ｓｉ−（ただし、ｎ、ｍ＝１、２、３）を有する材料からなることを特徴とする半導体装置の製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の発明において、前記最上層の上層配線の接続パッド部を除く部分を覆う最上層絶縁膜を形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
6. 請求項５に記載の発明において、前記最上層の上層配線の接続パッド部上に半田ボールを形成する工程を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。

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