JP4957970B2 - 投影光学系、露光装置、および露光方法 - Google Patents
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Description
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記光透過部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に、光の通過を遮るための遮光膜が形成されていることを特徴とする投影光学系を提供する。
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記光透過部材の側面に、光の通過を遮るための遮光膜が形成され、
前記第2面と前記遮光膜との間隔をDとし、前記第2面に達する結像光線の最大入射角をθとし、前記第2面における最大像高をYmとするとき、
0.25<D/Ym×tanθ<1.7
の条件を満足することを特徴とする投影光学系を提供する。
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記光透過部材の側面の非テーパー部に、光の通過を遮るための遮光膜が形成されていることを特徴とする投影光学系を提供する。
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面に配置された光透過部材と第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記光透過部材に接触して設けられて、前記光透過部材と前記第2面との間の光路から外部へ前記液体が流出するのを防止するためのシール部材を備え、
前記光透過部材と前記シール部材とが接触した場合における前記光透過部材の透過波面変化量Sは、
S<7mλRMS
を満足することを特徴とする投影光学系を提供する。但し、前記光透過部材に対して複数の前記シール部材が準備される場合、前記複数のシール部材の一つが前記光透過部材と接触した場合の前記透過波面変化量をsとしたとき、前記複数のシール部材についての前記透過波面変化量sの標準偏差をSとする。
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するための劣化低減手段とを備え、
前記劣化低減手段は、前記光透過部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に形成されていることを特徴とする投影光学系を提供する。
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するための劣化低減手段とを備え、
前記劣化低減手段は、前記光透過部材の側面に形成され、
前記第2面と前記劣化低減手段との間隔をDとし、前記第2面に達する結像光線の最大入射角をθとし、前記第2面における最大像高をYmとするとき、
0.25<D/Ym×tanθ<1.7
の条件を満足することを特徴とする投影光学系を提供する。
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するための劣化低減手段とを備え、
前記劣化低減手段は、前記光透過部材の側面の非テーパー部に形成されていることを特徴とする投影光学系を提供する。
最も第2面側に配置された光透過部材と、
前記光透過部材に隣接して配置された第2光透過部材とを備え、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、前記光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第1液体で満たされ、且つ前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第2液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するための劣化低減手段とを備え、
前記劣化低減手段は、前記光透過部材および前記第2光透過部材の少なくとも一方の部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に形成されていることを特徴とする投影光学系を提供する。
最も第2面側に配置された光透過部材と、
前記光透過部材に隣接して配置された第2光透過部材とを備え、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、前記光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第1液体で満たされ、且つ前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第2液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するための劣化低減手段とを備え、
前記劣化低減手段は、前記光透過部材の側面の非テーパー部に形成されていることを特徴とする投影光学系を提供する。
前記露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイスの製造方法を提供する。
+C4・y4+C6・y6+C8・y8+C10・y10
+C12・y12+C14・y14+・・・ (a)
(主要諸元)
λ=193.306nm
β=1/4
NA=1.00
B=Ym=13.4mm
LX=26mm
LY=5.5mm
(光学部材諸元)
面番号 r d n 光学部材
(レチクル面) 50.000
1 ∞ 8.000 1.5603261 (P1)
2 ∞ 5.225
3 -1943.233 12.000 1.5603261 (L1)
4* 191.125 47.012
5 -104.228 42.945 1.5603261 (L2)
6 -470.767 1.000
7* -542.622 39.860 1.5603261 (L3)
8 -202.724 1.000
9 -1066.606 49.498 1.5603261 (L4)
10 -257.416 1.000
11 2900.000 53.600 1.5603261 (L5)
12 -376.177 1.000
13 254.290 54.884 1.5603261 (L6)
14 927.490 1.000
15 192.047 50.000 1.5603261 (L7)
16 405.266 1.000
17 230.501 39.859 1.5603261 (L8)
18* 322.792 19.156
19 -2992.366 14.004 1.5603261 (L9)
20 96.198 42.051
21 1075.262 14.000 1.5603261 (L10)
22 238.222 39.560
23 -133.879 12.000 1.5603261 (L11)
24* 248.570 31.009
25* -309.992 15.000 1.5603261 (L12)
26 ∞ 9.148
27* -737.276 51.000 1.5603261 (L13)
28 -176.320 1.000
29 1040.000 48.704 1.5603261 (L14)
30 -451.186 1.000
31 725.000 48.768 1.5603261 (L15)
32 -697.471 3.000
33 503.559 30.048 1.5603261 (L16)
34 281.163 111.150
35 724.563 54.923 1.5603261 (L17)
36 -564.358 1.000
37 372.647 56.556 1.5603261 (L18)
38 -1424.995 1.000
39 196.339 41.207 1.5603261 (L19)
40* 498.912 1.000
41 147.694 36.513 1.5603261 (L20)
42* 185.195 1.000
43 147.798 52.775 1.5603261 (L21)
44 216.307 2.256
45 238.988 26.298 1.5603261 (L22:Lb)
46 ∞ 3.000 1.435876 (Lm2)
47 ∞ 20.000 1.5603261 (Lp)
48 ∞ 3.000 1.435876 (Lm1)
(ウェハ面)
(非球面データ)
4面
κ=0
C4=−1.48452×10-7 C6=5.65923×10-12
C8=−2.78621×10-16 C10=2.37952×10-20
C12=−1.19751×10-24 C14=1.82016×10-28
C16=−5.16714×10-33
7面
κ=0
C4=−1.27342×10-8 C6=2.18802×10-13
C8=−4.26931×10-18 C10=4.55926×10-22
C12=−2.06887×10-26 C14=1.46041×10-30
C16=−1.78415×10-35
18面
κ=0
C4=−1.79752×10-8 C6=1.95237×10-14
C8=−3.82843×10-18 C10=−3.85072×10-22
C12=1.96652×10-26 C14=−3.59987×10-31
C16=7.72530×10-37
24面
κ=0
C4=1.86641×10-8 C6=−2.48589×10-12
C8=−3.40085×10-17 C10=1.20901×10-20
C12=−4.99726×10-25 C14=−4.18254×10-29
C16=2.90453×10-33
25面
κ=0
C4=−4.42908×10-8 C6=3.24465×10-12
C8=−2.17933×10-18 C10=3.09914×10-21
C12=−5.89781×10-25 C14=1.44812×10-28
C16=−9.31891×10-33
27面
κ=0
C4=1.28473×10-8 C6=−1.52185×10-12
C8=3.27024×10-17 C10=2.96321×10-21
C12=−3.12141×10-25 C14=1.24069×10-29
C16=−3.63752×10-35
40面
κ=0
C4=1.37642×10-8 C6=7.52294×10-14
C8=8.14751×10-18 C10=−2.38664×10-22
C12=1.89052×10-26 C14=−5.72857×10-31
C16=1.24235×10-35
42面
κ=0
C4=−4.67034×10-8 C6=−9.90580×10-13
C8=−5.14638×10-18 C10=1.69872×10-21
C12=−1.07534×10-25 C14=5.68180×10-30
C16=−1.53908×10-34
0.25<D/Ym×tanθ<1.7 (1)
S<7mλRMS (2)
RST レチクルステージ
PL 投影光学系
Lb 境界レンズ
Lp 液中平行平面板
Lm1,Lm2 純水(液体)
W ウェハ
1 照明光学系
9 Zステージ
10 XYステージ
12 移動鏡
13 ウェハレーザ干渉計
14 主制御系
15 ウェハステージ駆動系
21 第1給排水機構
22 第2給排水機構
Claims (31)
- 第1面の像を液体を介して第2面に投影する投影光学系において、
最も第2面側に配置された光透過部材と、
該光透過部材を接着支持する支持部材とを備え、
前記光透過部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に、前記光透過部材の接着支持領域に達する光の通過を遮るための遮光膜が形成されていることを特徴とする投影光学系。 - 前記遮光膜は、前記少なくとも一方の面において、結像光束が通過する有効領域よりも外側の領域に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。
- 第1面の像を液体を介して第2面に投影する投影光学系において、
最も第2面側に配置されて、前記第1面側の面、前記第2面側の面および側面を備え、前記第2面側の面が液体に接触可能な光透過部材を備え、
前記光透過部材の側面には、光の通過を遮るための遮光膜が形成され、
前記遮光膜は、支持部材によって接着支持される接着支持領域、前記光透過部材と前記第2面との間の光路から外部へ液体が流出することを防止するためのシール部材、または前記遮光膜上に形成された撥水性機能膜に達する光を遮るように配置され、
前記第2面から前記遮光膜が形成される領域の最も前記第2面側の境界までの間隔をDとし、前記第2面に達する結像光線の最大入射角をθとし、前記第2面における最大像高をYmとするとき、
0.25<D/Ym×tanθ<1.7
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。 - 第1面の像を液体を介して第2面に投影する投影光学系において、
最も第2面側に配置されて、前記第1面側の面、前記第2面側の面およびテーパー状の面を備える側面を有し、前記第2面側の面が液体に接触可能な光透過部材と、前記第2面との間の光路は、1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記光透過部材の側面の非テーパー部に、光の通過を遮るための遮光膜が形成され、
前記遮光膜は、支持部材によって接着支持される接着支持領域、前記光透過部材と前記第2面との間の光路から外部へ液体が流出することを防止するためのシール部材、または前記遮光膜上に形成された撥水性機能膜に達する光を遮るように配置されていることを特徴とする投影光学系。 - 前記非テーパー部は、前記第2面にほぼ平行な面を含むことを特徴とする請求項4に記載の投影光学系。
- 前記第2面から前記遮光膜が形成される領域の最も前記第2面側の境界までの間隔をDとし、前記第2面に達する結像光線の最大入射角をθとし、前記第2面における最大像高をYmとするとき、
0.25<D/Ym×tanθ<1.7
の条件を満足することを特徴とする請求項4または5に記載の投影光学系。 - 第1面の像を液体を介して第2面に投影する投影光学系において、
最も第2面側に配置された光透過部材と、
前記光透過部材と前記第2面との間の光路から外部へ前記液体が流出するのを防止するためのシール部材とをさらに備え、
前記光透過部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に、前記シール部材に達する光を遮るための遮光膜が形成されていることを特徴とする投影光学系。 - 前記シール部材は前記光透過部材に接触しており、
前記光透過部材と前記シール部材とが接触した場合における前記光透過部材の透過波面変化量Sは、
S<7mλRMS
を満足することを特徴とする請求項7に記載の投影光学系。
但し、前記光透過部材に対して複数の前記シール部材が準備される場合、前記複数のシール部材の一つが前記光透過部材と接触した場合の前記透過波面変化量をsとしたとき、前記複数のシール部材についての前記透過波面変化量sの標準偏差をSとする。 - 前記光透過部材は、所定の支持部材により接着支持され、
前記遮光膜は、前記光透過部材の接着支持領域に達する光を遮るように配置されていることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の投影光学系。 - 前記光透過部材の前記遮光膜上には、撥水機能性膜が形成されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記光透過部材は、石英により形成された平行平面板または正レンズであることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記光透過部材に隣接して配置された第2光透過部材をさらに備え、
前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第2液体で満たされ、
前記第2光透過部材の第1面側の面、第2面側の面および側面のうちの少なくとも一方の面に、光の通過を遮るための第2遮光膜が形成されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の投影光学系。 - 前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路から外部へ前記第2液体が流出するのを防止するための第2シール部材をさらに備え、
前記第2遮光膜は、前記第2シール部材に達する光を遮るように配置されていることを特徴とする請求項12に記載の投影光学系。 - 前記第2シール部材は前記光透過部材および前記第2光透過部材のうちの少なくとも一方に接触しており、
前記光透過部材および前記第2光透過部材のうちの少なくとも一方と前記第2シール部材とが接触した場合における前記光透過部材または前記第2光透過部材の透過波面変化量Sは、
S<7mλRMS
を満足することを特徴とする請求項13に記載の投影光学系。
但し、前記光透過部材または前記第2光透過部材に対して複数の前記第2シール部材が準備される場合、前記複数の第2シール部材の一つが前記光透過部材または前記第2光透過部材と接触した場合の前記透過波面変化量をsとしたとき、前記複数の第2シール部材についての前記透過波面変化量sの標準偏差をSとする。 - 前記第2光透過部材は、所定の支持部材により接着支持され、
前記第2遮光膜は、前記第2光透過部材の接着支持領域に達する光を遮るように配置されていることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の投影光学系。 - 前記第2光透過部材は、石英により形成された正レンズであることを特徴とする請求項12乃至15のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記第2光透過部材の前記遮光膜上には、撥水機能性膜が形成されていることを特徴とする請求項12乃至16のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記第1液体と前記第2液体とは同じ液体であることを特徴とする請求項12乃至17のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 第1面の像を第2面に投影する投影光学系において、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するために、前記防液手段に達する光を遮る遮光膜とを備え、
前記遮光膜は、前記光透過部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に形成されていることを特徴とする投影光学系。 - 第1面の像を第2面に投影する投影光学系において、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するために、前記防液手段に達する光を遮る遮光膜とを備え、
前記遮光膜は、前記光透過部材の側面に形成され、
前記第2面から前記遮光膜が形成される領域の最も前記第2面側の境界までの間隔をDとし、前記第2面に達する結像光線の最大入射角をθとし、前記第2面における最大像高をYmとするとき、
0.25<D/Ym×tanθ<1.7
の条件を満足することを特徴とする投影光学系。 - 第1面の像を第2面に投影する投影光学系において、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、最も第2面側に配置された光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するために、前記防液手段に達する光を遮る遮光膜とを備え、
前記光透過部材は、前記第1面側の面、前記第2面側の面およびテーパー状の面を備える側面を有し、
前記遮光膜は、前記光透過部材の側面の非テーパー部に形成されていることを特徴とする投影光学系。 - 前記非テーパー部は、前記第2面にほぼ平行な面を含むことを特徴とする請求項21に記載の投影光学系。
- 前記第2面から前記遮光膜が形成される領域の最も前記第2面側の境界までの間隔をDとし、前記第2面に達する結像光線の最大入射角をθとし、前記第2面における最大像高をYmとするとき、
0.25<D/Ym×tanθ<1.7
の条件を満足することを特徴とする請求項21または22に記載の投影光学系。 - 前記光透過部材に隣接して配置された第2光透過部材をさらに備え、
前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第2液体で満たされ、
前記遮光膜は、前記第2光透過部材の第1面側の面、第2面側の面および側面のうちの少なくとも一方の面に形成されていることを特徴とする請求項19乃至23のいずれか1項に記載の投影光学系。 - 第1面の像を第2面に投影する投影光学系において、
最も第2面側に配置された光透過部材と、
前記光透過部材に隣接して配置された第2光透過部材とを備え、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、前記光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第1液体で満たされ、且つ前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第2液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するために、前記防液手段に達する光を遮る遮光膜とを備え、
前記遮光膜は、前記光透過部材および前記第2光透過部材の少なくとも一方の部材の第1面側の面および第2面側の面のうちの少なくとも一方の面に形成されていることを特徴とする投影光学系。 - 第1面の像を第2面に投影する投影光学系において、
最も第2面側に配置された光透過部材と、
前記光透過部材に隣接して配置された第2光透過部材とを備え、
前記投影光学系の光路中の気体の屈折率を1とするとき、前記光透過部材と前記第2面との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第1液体で満たされ、且つ前記光透過部材と前記第2光透過部材との間の光路は1.1よりも大きい屈折率を有する第2液体で満たされ、
前記投影光学系の内部への前記液体の進入を防止するための防液手段と、
前記防液手段の劣化を低減するために、前記防液手段に達する光を遮る遮光膜とを備え、
前記光透過部材は、前記第1面側の面、前記第2面側の面およびテーパー状の面を備える側面を有し、
前記遮光膜は、前記光透過部材の側面の非テーパー部に形成されていることを特徴とする投影光学系。 - 前記防液手段は、前記光透過部材と前記第2面との間の光路から外部へ前記液体が流出するのを防止するためのシール部材を備えていることを特徴とする請求項19乃至26のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記防液手段は、前記光透過部材の遮光膜上に形成された撥水機能性膜を有することを特徴とする請求項19乃至27のいずれか1項に記載の投影光学系。
- 前記第1面に設定された所定のパターンの像を前記第2面に設定された感光性基板に投影するための請求項1乃至28のいずれか1項に記載の投影光学系を備えていることを特徴とする露光装置。
- 請求項29に記載の露光装置を用いて、前記所定のパターンを感光性基板に露光する露光工程と、
前記露光工程を経た前記感光性基板を現像する現像工程とを含むことを特徴とするデバイスの製造方法。 - 請求項1乃至28のいずれか1項に記載の投影光学系を介して、前記第1面に設定された所定のパターンを前記第2面に設定された感光性基板上に投影露光することを特徴とする露光方法。
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