JP4946456B2 - 大気圧プラズマ発生方法及び装置 - Google Patents
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まず、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第1の実施形態について、図1、図2を参照して説明する。
次に、本発明の大気圧プラズマ発生装置の第2の実施形態について、図3、図4を参照して説明する。なお、本実施形態の説明では、上記第1の実施形態と同一の構成要素については、同じ参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
2a、2b、2c 反応管
3a、3b、3c アンテナ
4 高周波電源
5 整合回路
6 位相回路
7a、7b、7c 吹き出し口
8a、8b、8c 他端開口
9 ガス
10 プラズマ
12 ガス供給部
13a、13b、13c 流量制御手段
Claims (4)
- 一端が吹き出し口として開放され、外周に沿ってアンテナ又は電極が配置された複数の反応管を並列配置し、各反応管の外周のアンテナ又は電極に対して共通の高周波電源から共通の整合回路若しくは整合回路と位相回路を介して高周波電圧を印加するとともに、各反応管の他端側からガスを供給し、各反応管内で発生したプラズマをそれぞれの吹き出し口から吹き出す大気圧プラズマ発生方法において、各反応管で発生するプラズマの強度が略同一になるように、複数の反応管の整合回路又は位相回路に対する配置位置に基づいてその外周のアンテナ又は電極の巻き数や線径や線間隔によってインダクタンスを変化させることを特徴とする大気圧プラズマ発生方法。
- 一端が吹き出し口として開放され、外周に沿ってアンテナ又は電極が配置された複数の反応管を並列配置し、各反応管の外周のアンテナ又は電極に対して共通の高周波電源から共通の整合回路若しくは整合回路と位相回路を介して高周波電圧を印加するとともに、各反応管の他端側からガスを供給し、各反応管内で発生したプラズマをそれぞれの吹き出し口から吹き出す大気圧プラズマ発生方法において、各反応管で発生するプラズマの強度が略同一になるように、複数の反応管の整合回路又は位相回路に対する配置位置に基づいて反応管へのガス供給量を変えることを特徴とする大気圧プラズマ発生方法。
- 並列配置されるとともに一端が吹き出し口として開放された複数の反応管と、各反応管の外周に沿って配置されたアンテナ又は電極と、各アンテナ又は電極に対して共通の整合回路若しくは整合回路と位相回路を介して高周波電圧を印加する共通の高周波電源と、各反応管の他端側からガスを供給するガス供給手段とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、各反応管で発生するプラズマの強度が略同一になるように、複数の反応管の整合回路又は位相回路に対する配置位置に基づいてその外周のアンテナ又は電極の巻き数や線径や線間隔によってインダクタンスを変化させることを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
- 並列配置されるとともに一端が吹き出し口として開放された複数の反応管と、各反応管の外周に沿って配置されたアンテナ又は電極と、各アンテナ又は電極に対して共通の整合回路若しくは整合回路と位相回路を介して高周波電圧を印加する共通の高周波電源と、各反応管の他端側からガスを供給するガス供給手段とを備えた大気圧プラズマ発生装置において、ガス供給手段は、各反応管で発生するプラズマの強度が略同一になるように、複数の反応管の整合回路又は位相回路に対する配置位置に基づいて反応管へのガス供給量を変える流量調整手段を有することを特徴とする大気圧プラズマ発生装置。
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