JP4945346B2 - 樹脂封止装置 - Google Patents
樹脂封止装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4945346B2 JP4945346B2 JP2007182211A JP2007182211A JP4945346B2 JP 4945346 B2 JP4945346 B2 JP 4945346B2 JP 2007182211 A JP2007182211 A JP 2007182211A JP 2007182211 A JP2007182211 A JP 2007182211A JP 4945346 B2 JP4945346 B2 JP 4945346B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- mask
- sealing
- pressing portion
- opening
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
Description
また、従来の樹脂封止装置としては、例えば特許文献1に記載されたものがある。
図1に記載のように、本実施形態の樹脂封止装置は、基板搭載テーブル冷却部1と、マスク冷却部2と、マスククリーニング部3と、半導体装置搭載部4と、印刷部5と、加圧部6とを備える。
本実施形態においては、半導体装置搭載部4、印刷部5および加圧部6について説明する。
図2(b)に記載のように、本実施形態においては、複数の半導体装置14を載置して固定するための基板搭載テーブル12と、基板搭載テーブル12上に配置され、半導体装置14の搭載位置に対応した部分に開口部18aを備えるマスク18と、その上面がマスク18と略水平に設けられた樹脂供給テーブル20と、樹脂供給テーブル20の上面に沿って摺動し、封止樹脂24を開口部18a内に充填するスキージ22と、開口部18a内に充填された封止樹脂16を、常圧下において上方から加熱加圧する押圧部19とを備える。なお、押圧部19は図2(d)において図示する。
このマスク18と樹脂供給テーブル20とは、分離可能に構成されている。
図1の半導体装置搭載部4において、図2(a)に示すように、基板搭載テーブル12に複数の片面封止タイプの半導体装置14を載置し固定する。
まず、印刷部5に、半導体装置14が搭載された基板搭載テーブル12を搬送し、基板搭載テーブル12と並列に載置する。
以下に、本実施形態の効果を説明する。
そのため、硬化工程を行う際に、別の半導体装置が印刷工程に進むことが可能となり、封止工程を効率よく行うことができることとなり、ひいては半導体装置の生産性が向上する。
これにより、パッケージ上面の平坦性を向上させることができ、外形精度も非常に高く、製品の歩留まりが向上する。また、押圧部19により、封止樹脂16を圧密するため、液状樹脂だけでなく、粒状樹脂及び粉状樹脂でも同様に使用することができる。
そのため、封止樹脂16に対する圧力の調節が容易であるので、製品の歩留まりが向上する。
本実施形態においては板状の押圧部19を用いているため、パッケージ上面が平面形状となるため、パッケージ高さ精度が得られる。
本実施形態の樹脂封止装置は、マスクが第1実施形態と異なるため、マスクの構造を説明する。
本実施形態の樹脂封止装置は、第1実施形態の効果を得ることができ、さらに、マスク部が可動構造となっているので、パッケージ相互間における樹脂塗布量のバラツキや基板厚みのばらつきに起因する封止樹脂に対する圧力差を抑制することができる。
本実施形態の樹脂封止装置は、押圧部が第1実施形態と異なるため、押圧部の構造を説明する。
本実施形態の樹脂封止装置は、パッケージ相互間における樹脂塗布量のバラツキや基板厚みのばらつきに起因する封止樹脂に対する圧力差を抑制することができる。
例えば、第2実施形態において、第1マスク部32を基板搭載テーブル12上に載置することもできる。
2 マスク冷却部
3 マスククリーニング部
4 半導体装置搭載部
5 印刷部
6 加圧部
12 基板搭載テーブル
14 半導体装置
16 封止樹脂
18 マスク
18a 開口部
19 押圧部
20 樹脂供給テーブル
22 スキージ
24 封止樹脂
32 第1マスク部
34 第2マスク部
36 弾性部材
40 第1押圧部
42 第2押圧部
44 弾性部材
Claims (3)
- 複数の半導体装置を載置し固定するための基板搭載テーブルと、
前記基板搭載テーブル上に配置され、前記半導体装置の封止位置に対応した部分に開口部を備えるマスクと、
その上面に封止樹脂が供給されるとともに、該上面が前記マスクの上面と同一平面となるように構成されている樹脂供給テーブルと、
前記樹脂供給テーブルの上面に沿って摺動し、封止樹脂を前記開口部内に充填するスキージと、
前記開口部内に充填された前記封止樹脂を、常圧下において上方から加熱加圧する押圧部と、
を備え、
前記マスクと前記樹脂供給テーブルは、分離可能に構成されていることを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1に記載の樹脂封止装置において、
前記マスクは、前記半導体装置または前記基板搭載テーブル上に載置される第1マスク部と、前記第1マスク部上に搭載されるとともに前記開口部の内壁を構成する第2マスク部とを備え、
前記第2マスク部は前記第1マスク部と弾性部材を介して接続され、前記押圧部により前記封止樹脂に印加される押圧力を調整可能に構成されていることを特徴とする樹脂封止装置。 - 請求項1または2に記載の樹脂封止装置において、
前記押圧部は、前記封止樹脂を押圧する第1押圧部と、前記マスク上面を押圧する第2押圧部とを備え、
前記第2押圧部は前記第1押圧部と弾性部材を介して接続され、前記第1押圧部の押圧力を調整可能に構成されていることを特徴とする樹脂封止装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007182211A JP4945346B2 (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 樹脂封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007182211A JP4945346B2 (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 樹脂封止装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009021344A JP2009021344A (ja) | 2009-01-29 |
JP4945346B2 true JP4945346B2 (ja) | 2012-06-06 |
Family
ID=40360748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007182211A Expired - Fee Related JP4945346B2 (ja) | 2007-07-11 | 2007-07-11 | 樹脂封止装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4945346B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101095094B1 (ko) * | 2009-10-26 | 2011-12-16 | 삼성전기주식회사 | 웨이퍼 레벨 패키지의 제조방법 |
TW202116535A (zh) | 2019-08-23 | 2021-05-01 | 日商長瀨化成股份有限公司 | 密封結構體之製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3241932B2 (ja) * | 1994-05-30 | 2001-12-25 | ソニー株式会社 | クリーム半田供給方法及びそれをクリーム半田印刷機 |
JP3453113B2 (ja) * | 2000-08-09 | 2003-10-06 | サンユレック株式会社 | 電子部品の製造方法及び当該方法で用いる液状樹脂 |
JP4301991B2 (ja) * | 2004-04-26 | 2009-07-22 | 住友重機械工業株式会社 | 被成形品の樹脂封止方法 |
-
2007
- 2007-07-11 JP JP2007182211A patent/JP4945346B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009021344A (ja) | 2009-01-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5824765B2 (ja) | 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置並びに供給ハンドラ | |
JP5774545B2 (ja) | 樹脂封止成形装置 | |
JP5382693B2 (ja) | 圧縮成形方法 | |
JP5817044B2 (ja) | 樹脂封止装置および樹脂封止方法 | |
CN105280507A (zh) | 电子部件、带突起电极的板状构件、及其制造方法 | |
JP6017492B2 (ja) | 樹脂封止電子部品の製造方法、突起電極付き板状部材、及び樹脂封止電子部品 | |
TWI679100B (zh) | 樹脂成形裝置及樹脂成形品製造方法 | |
WO2017038254A1 (ja) | 樹脂成形装置及び樹脂成形品製造方法 | |
JP2013028087A (ja) | モールド金型及びこれを用いた樹脂モールド装置 | |
US6438826B2 (en) | Electronic component, method of sealing electronic component with resin, and apparatus therefor | |
JP5799422B2 (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
TW201923993A (zh) | 樹脂成型裝置及樹脂成型品的製造方法 | |
EP1126516A2 (en) | Electronic component, method of sealing electronic component with resin, and apparatus therefor | |
KR20190017684A (ko) | 수지 성형품의 반송 기구, 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 | |
JP4945346B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
JP5419070B2 (ja) | 樹脂封止装置 | |
JP5764629B2 (ja) | シート樹脂の製造方法 | |
WO2018139631A1 (ja) | 樹脂封止装置及び樹脂封止方法 | |
JP6438772B2 (ja) | 樹脂成形装置 | |
JP2005324341A (ja) | 樹脂モールド方法および樹脂モールド装置 | |
JP5143617B2 (ja) | 圧縮成形方法 | |
JP4749707B2 (ja) | 樹脂成形型及び樹脂成形方法 | |
JP2019181872A (ja) | モールド金型、樹脂モールド装置及び樹脂モールド方法 | |
JP2008137334A (ja) | 樹脂封止装置 | |
JP5694486B2 (ja) | 樹脂封止装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100514 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110905 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120305 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150309 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |