JP4939689B2 - 半導体装置およびその作製方法 - Google Patents
半導体装置およびその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4939689B2 JP4939689B2 JP2001017691A JP2001017691A JP4939689B2 JP 4939689 B2 JP4939689 B2 JP 4939689B2 JP 2001017691 A JP2001017691 A JP 2001017691A JP 2001017691 A JP2001017691 A JP 2001017691A JP 4939689 B2 JP4939689 B2 JP 4939689B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- insulating film
- film
- tft
- semiconductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 187
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 135
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 115
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 115
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 78
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 77
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 58
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 57
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 382
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 246
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 51
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 49
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 41
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 41
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 41
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 41
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 41
- 230000008569 process Effects 0.000 description 28
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 23
- 230000006870 function Effects 0.000 description 23
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 23
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 22
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 21
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 21
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 21
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 19
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 19
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 19
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 19
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 18
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 18
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 18
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 18
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 17
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 17
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 17
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 16
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 16
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 15
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 14
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000002585 base Substances 0.000 description 13
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 13
- 238000005224 laser annealing Methods 0.000 description 13
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 12
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 12
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 12
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 12
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 12
- 238000001994 activation Methods 0.000 description 11
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 11
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 11
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 10
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 10
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 10
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 10
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 10
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 8
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M lithium fluoride Chemical class [Li+].[F-] PQXKHYXIUOZZFA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 8
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 8
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 8
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 8
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 7
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 7
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 7
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N but-3-enoic acid;ethene Chemical compound C=C.OC(=O)CC=C DQXBYHZEEUGOBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 6
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 6
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 6
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 6
- 229920002620 polyvinyl fluoride Polymers 0.000 description 6
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 6
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 5
- 238000005247 gettering Methods 0.000 description 5
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000565 sealant Substances 0.000 description 5
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005041 Mylar™ Substances 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 4
- 239000011152 fibreglass Substances 0.000 description 4
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 4
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 4
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 4
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 4
- 238000004151 rapid thermal annealing Methods 0.000 description 4
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 4
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 3
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 description 3
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 3
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 3
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 3
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 3
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- 229920003227 poly(N-vinyl carbazole) Polymers 0.000 description 3
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 3
- -1 polyparaphenylene vinylene Polymers 0.000 description 3
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 3
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2].[O-2].[In+3] OYQCBJZGELKKPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 2
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N diboron Chemical compound B#B ZOCHARZZJNPSEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920000553 poly(phenylenevinylene) Polymers 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 2
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M (z)-4-oxopent-2-en-2-olate Chemical compound C\C([O-])=C\C(C)=O POILWHVDKZOXJZ-ARJAWSKDSA-M 0.000 description 1
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910020328 SiSn Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000862969 Stella Species 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-O azanium;hydrofluoride Chemical compound [NH4+].F LDDQLRUQCUTJBB-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N azanylidynetungsten Chemical compound [W]#N IVHJCRXBQPGLOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052788 barium Inorganic materials 0.000 description 1
- DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N barium atom Chemical compound [Ba] DSAJWYNOEDNPEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 239000010406 cathode material Substances 0.000 description 1
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000547 conjugated polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000007872 degassing Methods 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000005678 ethenylene group Chemical group [H]C([*:1])=C([H])[*:2] 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- LQJIDIOGYJAQMF-UHFFFAOYSA-N lambda2-silanylidenetin Chemical compound [Si].[Sn] LQJIDIOGYJAQMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000007257 malfunction Effects 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910021344 molybdenum silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920002098 polyfluorene Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000008707 rearrangement Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910021341 titanium silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H tungsten hexafluoride Chemical compound F[W](F)(F)(F)(F)F NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 1
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/124—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs with a particular composition, shape or layout of the wiring layers specially adapted to the circuit arrangement, e.g. scanning lines in LCD pixel circuits
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/12—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body
- H01L27/1214—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs
- H01L27/1255—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being other than a semiconductor body, e.g. an insulating body comprising a plurality of TFTs formed on a non-semiconducting substrate, e.g. driving circuits for AMLCDs integrated with passive devices, e.g. auxiliary capacitors
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Thin Film Transistor (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は絶縁表面を有する基板上に薄膜トランジスタ(以下、TFTという)で構成された回路を有する半導体装置およびその作製方法に関する。特に、本発明は、画素部とその周辺に設けられた駆動回路とを同一の基板上に有する液晶表示装置に代表される電気光学装置、および電気光学装置を搭載した電気装置に利用できる。なお、本明細書において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能する装置全般を指し、上記電気光学装置およびその電気光学装置を搭載した電気装置をその範疇に含んでいる。
【0002】
【従来の技術】
絶縁表面を有する基板上にTFTを形成する技術がさかんに開発されている。非晶質半導体(代表的には非晶質シリコン)膜を活性層としたTFTは、非晶質構造などに起因する電子物性的要因から、10cm2/Vsec以上の電界効果移動度を得ることは不可能であった。そのために、アクティブマトリクス型の液晶表示装置においては、画素部において液晶を駆動するためのスイッチング素子(画素TFT)として使用することはできても、画像表示を行うための駆動回路を形成することは不可能であった。従って、駆動回路はTAB(Tape Automated Bonding)方式やCOG(Chip on Glass)方式を使ってドライバICなどを実装する技術が用いられている。
【0003】
一方で、結晶構造を含む半導体(以下、結晶質半導体とする)膜(代表的には、結晶質シリコン膜あるいは多結晶シリコン膜)を活性層に利用したTFTは高い電界効果移動度が得られることから、様々な機能回路を同一のガラス基板上に形成することが可能となり、画素TFTの他に駆動回路においてシフトレジスタ回路、レベルシフタ回路、バッファ回路、サンプリング回路などを形成することができた。
【0004】
従来、上記のようなTFTの配線材料としては、抵抗率の低いアルミニウム膜が多用されている。
【0005】
大画面のアクティブマトリクス型の液晶表示装置を実現するために、配線材料としてアルミニウム(Al)や銅(Cu)といった材料が使用されていた。これはアルミニウム(Al)や銅(Cu)ほど低抵抗な材料がなく、大画面の表示装置を作製することはできなかったためである。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、これらの材料には耐食性や耐熱性が悪いといった欠点があるため、TFTのゲート電極をこのような材料で形成することは必ずしも好ましくなく、そのような材料をTFTの製造工程に導入することは容易ではなく、アルミニウムを配線材料として用いてTFTの作製を行った場合、熱処理によりヒロックやウィスカーなどが形成されたり、チャネル形成領域にアルミニウム原子が拡散してしまうことで、TFTの動作不良やTFT特性の低下を引き起こしていた。
【0007】
このため、アルミニウム(Al)や銅(Cu)などに代わる材料として、例えばタンタル(Ta)、チタン(Ti)を主成分とする材料を使用する試みがなされている。タンタルやチタンは、アルミニウムと比較すると抵抗率が高いという問題はあるが、耐熱性が高いためである。
【0008】
また、TFTの特性から比較すると結晶質半導体層で活性層を形成した方が優れているが、画素TFTの他に各種回路に対応したTFTを作製するためには、その製造工程が複雑なものとなり工程数が増加してしまう問題がある。工程数の増加は製造コストの増加要因になるばかりか、製造歩留まりを低下させる原因となることは明らかである。
【0009】
しかし、画素部と駆動回路とでは、TFTの回路の動作条件は必ずしも同一ではなく、そのことからTFTに要求される特性も少なからず異なっている。例えば、nチャネル型TFTで形成される画素TFTは、スイッチング素子として液晶に電圧を印加して駆動させている。液晶は交流で駆動しているので、フレーム反転駆動と呼ばれる方式が多く採用されている。この方式では消費電力を低く抑えるために、画素TFTに要求される特性はオフ電流値(TFTがオフ動作時に流れるドレイン電流)を十分低くすることである。一方、駆動回路のバッファ回路などには高い駆動電圧が印加されるため、高電圧が印加されても壊れないように耐圧を高めておく必要がある。また電流駆動能力を高めるために、オン電流値(TFTがオン動作時に流れるドレイン電流)を十分確保する必要がある。
【0010】
オフ電流値を低減するためのTFTの構造として、低濃度ドレイン(LDD:Lightly Doped Drain)構造が知られている。この構造はチャネル形成領域と、高濃度に不純物元素を添加して形成するソース領域またはドレイン領域との間に低濃度に不純物元素を添加した領域を設けたものであり、この領域をLDD領域と呼んでいる。また、ホットキャリアによるオン電流値の劣化を防ぐための手段として、LDD領域をゲート絶縁膜を介してゲート電極と重ねて配置させた、いわゆるGOLD(Gate-drain Overlapped LDD)構造がある。このような構造とすることで、ドレイン近傍の高電界が緩和されてホットキャリア注入を防ぎ、劣化現象の防止に有効であることが知られている。
【0011】
しかし、画素TFTと、シフトレジスタ回路やバッファ回路などの駆動回路のTFTとでは、そのバイアス状態も必ずしも同じではない。例えば、画素TFTにおいてはゲートに大きな逆バイアス(nチャネル型TFTでは負の電圧)が印加されるが、駆動回路のTFTは基本的に逆バイアス状態で動作することはない。また、GOLD構造はオン電流値の劣化を防ぐ効果は高いが、単純にゲート電極と重ねて配置させるだけではオフ電流値が大きくなってしまう。一方、通常のLDD構造はオフ電流値を抑える効果は高いが、ドレイン近傍の電界を緩和してホットキャリア注入による劣化を防ぐ効果は低い。このような問題は、特に結晶質シリコンTFTにおいて、その特性が高まり、またアクティブマトリクス型液晶表示装置に要求される性能が高まるほど顕在化してきている。従って、TFTの動作状態の違いを考慮して、かつ、上記ホットキャリア効果を防ぐには、LDD領域の不純物濃度やその分布などを最適なものとする必要がある。
【0012】
本発明はこのような問題点を解決するための技術であり、TFTを用いて作製するアクティブマトリクス型の表示装置に代表される半導体装置において、各回路の配線や電極の材料として抵抗率が低く、耐熱性も十分高い材料を用いて形成することと、各回路に配置されるTFTの構造を、回路の機能に応じて適切なものとすることにより、半導体装置の動作特性および信頼性を向上させると共に、工程数を削減して製造コストの低減および歩留まりの向上を実現することを目的としている。
【0013】
【課題を解決する手段】
上記問題点を解決するために、本発明は、画素TFTおよび保持容量を有する画素部を含む半導体装置であって、前記画素TFTは、半導体層の第1の領域に設けられたチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜ならびに該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、前記保持容量は、前記半導体層の第2の領域、該第2の領域に接した絶縁膜および該絶縁膜上の容量配線を有し、前記第2の領域はn型またはp型を付与する不純物元素を含み、前記第2の領域に接した絶縁膜の膜厚は、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜の膜厚よりも薄いことを特徴とする半導体装置である。
【0014】
他の発明の構成は、画素TFTおよび保持容量を有する画素部を含む半導体装置であって、前記画素TFTは、半導体層の第1の領域に設けられたチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜ならびに該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、前記画素TFTは、nチャネル型TFTであって、前記保持容量は、前記半導体層の第2の領域、該第2の領域に接した絶縁膜および該絶縁膜上の容量配線を有し、前記第2の領域は、一導電型を付与する不純物元素を1×1020atoms/cm3〜1×1021atoms/cm3の濃度範囲で含んでおり、前記第2の領域に接した絶縁膜の膜厚は、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜の膜厚よりも薄いことを特徴とする半導体装置である。
【0015】
また、他の発明の構成は、画素部と駆動回路を同一基板上に有する半導体装置であって、前記駆動回路は、pチャネル型TFTおよびnチャネル型TFTを有し、前記nチャネル型TFTは、半導体層にチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、LDD領域、前記半導体層に接したゲート絶縁膜ならびに該ゲート絶縁膜上にゲート電極を有し、前記ゲート電極は、第1の導電層および第2の導電層を有し、前記第2の導電層は、前記ゲート絶縁膜を介して前記LDD領域と重なるように形成されていることを特徴とする半導体装置である。
【0016】
また、他の発明の構成は、画素部および駆動回路を同一基板上に有する半導体装置であって、前記画素部は画素TFTおよび保持容量を有し、前記画素TFTは、半導体層の第1の領域に設けられたチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、前記画素TFTは、nチャネル型TFTであって、前記保持容量は、前記半導体層の第2の領域、該第2の領域に接した絶縁膜および該絶縁膜上の容量配線を有し、前記第2の領域に接した絶縁膜の膜厚は、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜の膜厚よりも薄く、前記駆動回路はpチャネル型TFTおよびnチャネル型TFTを有し、前記駆動回路のnチャネル型TFTの半導体層は、チャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、LDD領域、前記半導体層に接したゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、該ゲート電極は、第1の導電層および第2の導電層を有し、前記第2の導電層は、前記ゲート絶縁膜を介して前記LDD領域と重なるように形成され、前記容量配線と同じ材料からなることを特徴とする半導体装置である。
【0017】
また、他の発明の構成は、画素部と駆動回路を同一基板上に有する半導体装置であって、前記画素部はnチャネル型TFTと保持容量を有し、前記保持容量は、半導体層と、該半導体層に接する保持容量の誘電体となる絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された容量配線からなり、前記半導体層は、一導電型を付与する不純物元素を1×1020atoms/cm3から1×1021atoms/cm3の濃度範囲で含んでおり、前記nチャネル型TFTが形成されない領域の前記絶縁膜の膜厚は、前記nチャネル型TFTが形成された領域より薄くなっており、前記駆動回路は、pチャネル型TFTとnチャネル型TFTを有し、前記駆動回路のpチャネル型TFTおよび前記駆動回路のnチャネル型TFTは、半導体層と、前記半導体層に接するゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を有し、前記ゲート電極は、テーパー部を有する形状であることを特徴とする半導体装置である。
【0018】
また、他の発明の構成は、画素部と駆動回路を同一基板上に有する半導体装置であって、前記画素部はnチャネル型TFTと保持容量を有し、前記画素部のnチャネル型TFTはチャネル形成領域と、前記チャネル形成領域の外側にLDD領域と、前記LDD領域の外側にソース領域もしくはドレイン領域と、を有する半導体層と、前記半導体層に接したゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極とを有しており、前記ゲート絶縁膜から連続して形成された前記保持容量の誘電体となる絶縁膜は他の領域より膜厚が薄くなっており、前記駆動回路は、pチャネル型TFTとnチャネル型TFTを有し、前記駆動回路のnチャネル型TFTはチャネル形成領域と、前記チャネル形成領域の外側にLDD領域と、前記LDD領域の外側にソース領域もしくはドレイン領域と、を有する半導体層と、前記半導体層に接するゲート絶縁膜と、前記ゲート絶縁膜上にゲート電極を有しており、前記画素部のnチャネル型TFTのゲート電極および前記駆動回路のnチャネル型TFTのゲート電極は、テーパー部を有する形状であり、前記LDD領域と一部が重なるように形成されていることを特徴とする半導体装置である。
【0019】
また、上記の発明において、前記保持容量を形成する容量配線と前記第2の導電層とはアルミニウム(Al)または銅(Cu)から選ばれた元素、または前記元素を成分とする化合物、または前記元素を組み合わせた化合物材料からなることを特徴としている。
【0020】
また、上記の発明において、前記第1の導電層はタングステン(W)、タンタル(Ta)、チタン(Ti)、モリブデン(Mo)から選ばれた元素、または前記元素を成分とする化合物、または前記元素を組み合わせた化合物、または前記元素を成分とする窒化物、前記元素を成分とするシリサイドから選ばれた材料からなることを特徴としている。
【0021】
【発明の実施の形態】
[実施例1]
本発明の実施例について、図1〜図5を用いて説明する。ここでは画素部の画素TFTと、画素部の周辺に設けられる駆動回路のTFTを同一基板上に作製する方法について工程に従って詳細に説明する。
【0022】
図1(A)において、基板101には低アルカリガラス基板や石英基板を用いることができる。本実施例では低アルカリガラス基板を用いた。この場合、ガラス歪み点よりも10〜20℃程度低い温度であらかじめ熱処理しておいても良い。この基板101のTFTを形成する表面には、基板101からの不純物拡散を防ぐために、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などの下地膜102を形成する。例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜を100nm、同様にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜を200nmの厚さに積層形成する。
【0023】
次に、20〜150nm(好ましくは30〜80nm)の厚さで非晶質構造を有する半導体膜103aを、プラズマCVD法やスパッタ法などの公知の方法で形成する。本実施例では、プラズマCVD法で非晶質シリコン膜を55nmの厚さに形成した。非晶質構造を有する半導体膜としては、非晶質半導体膜や微結晶半導体膜があり、非晶質シリコンゲルマニウム膜などの非晶質構造を有する化合物半導体膜を適用しても良い。また、下地膜102と非晶質シリコン膜103aとは同じ成膜法で形成することが可能であるので、両者を連続形成しても良い。下地膜を形成した後、一旦大気雰囲気に晒さないことでその表面の汚染を防ぐことが可能となり、作製するTFTの特性バラツキやしきい値電圧の変動を低減させることができる(図1(A))。
【0024】
そして、公知の結晶化技術を使用して非晶質シリコン膜103aから結晶質シリコン膜103bを形成する。例えば、その方法としてレーザーアニール法や熱アニール法(固相成長法)、またはラピットサーマルアニール法(RTA法)を適用することができる。また、熱アニールとRTA法またはレーザーアニール法を組み合わせてもよい。前述のようなガラス基板や耐熱性の劣るプラスチック基板を用いる場合には、特にレーザーアニール法を適用することが好ましい。RTA法では、赤外線ランプ、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプなどを光源に用いる。
【0025】
本実施例では、特開平7−130652号公報で開示された技術に従って、触媒元素を用いる結晶化法で結晶質シリコン膜103bを形成した。レーザーによる結晶化処理を行う場合には、結晶化の工程に先立って、400〜500℃で1時間程度の熱処理を行い、含有水素量を5atomic%以下にしてから結晶化させることが望ましい。非晶質シリコン膜を結晶化させると原子の再配列が起こり緻密化するので、作製される結晶質シリコン膜の厚さは当初の非晶質シリコン膜の厚さ(本実施例では55nm)よりも1〜15%程度減少した(図1(B))。
【0026】
そして、結晶質シリコン膜103bを島状に分割して、島状半導体層104〜107を形成する。半導体層107は、後の画素TFTの活性層となる第1の領域と後の保持容量の下部電極となる第2の領域を有している。その後、プラズマCVD法またはスパッタ法により50〜100nmの厚さの酸化シリコン膜によるマスク層108を形成する(図1(C))。
【0027】
そしてレジストマスク109を設け、nチャネル型TFTを形成する島状半導体層105〜107の全面にしきい値電圧を制御する目的で1×1016〜5×1017atoms/cm3(1cm3に含まれる原子の個数を表す単位としてatoms/cm3を使用する。)程度の濃度でp型を付与する不純物元素としてボロン(B)を添加した。ボロン(B)の添加はイオンドープ法で実施しても良いし、非晶質シリコン膜を成膜するときに同時に添加しておくこともできる。ここでのボロン(B)添加は必ずしも必要でないが、ボロン(B)を添加した半導体層110〜112はnチャネル型TFTのしきい値電圧を所定の範囲内に収めるために形成することが好ましかった(図1(D))。
【0028】
次に、マスク層108をフッ酸などにより除去して、図1(D)で添加した不純物元素を活性化させる工程を行う。活性化は、窒素雰囲気中で500〜600℃で1〜4時間の熱処理や、レーザー活性化の方法により行うことができる。また、両者を併用して行っても良い。本実施例では、レーザー活性化の方法を用い、KrFエキシマレーザー光(波長248nm)を用い、線状ビームを形成して、発振周波数5〜50Hz、エネルギー密度100〜500mJ/cm2として線状ビームのオーバーラップ割合を80〜98%として走査して、島状半導体層が形成された基板全面を処理した。尚、レーザー光の照射条件には何ら限定される事項はなく、実施者が適宣決定すれば良い。
【0029】
そして、ゲート絶縁膜113をプラズマCVD法またはスパッタ法を用いて10〜150nmの厚さでシリコンを含む絶縁膜で形成する。例えば、120nmの厚さで酸化窒化シリコン膜を形成する。ゲート絶縁膜には、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積層構造として用いても良い(図2(A))。
【0030】
次に、ゲート電極を形成するために導電層を成膜する。この導電層は単層で形成しても良いが、必要に応じて二層あるいは三層といった積層構造としても良い。導電層114は代替材料として、タングステンシリサイド、チタンシリサイド、モリブデンシリサイドを適用しても良い。例えば、タングステン(W)は酸素濃度を30ppm以下とすることで20μΩcm以下の比抵抗値を実現することができた。
【0031】
導電層114は200〜400nm(好ましくは250〜350nm)とすれば良い。本実施例では、導電層114に350nmの厚さのタングステンをスパッタ法で形成した。このスパッタ法による成膜では、スパッタ用のガスのArに適量のXeやKrを加えておくと、形成する膜の内部応力を緩和して膜の剥離を防止することができる。尚、図示しないが、導電層114の下に2〜20nm程度の厚さでリン(P)をドープしたシリコン膜を形成しておくことは有効である。これにより、その上に形成される導電膜の密着性向上と酸化防止を図ると同時に、導電層が微量に含有するアルカリ金属元素がゲート絶縁膜113に拡散するのを防ぐことができる(図2(B))。
【0032】
次に、レジストマスク115〜118を形成し、導電層をドライエッチングしてゲート電極119〜122を形成する。
【0033】
この導電層がエッチングされる工程では、ゲート電極が形成されていない領域(ゲート絶縁膜113と連続して形成された酸化窒化シリコン膜が露出している部分)も同時に20〜50nm程度エッチングされて、膜厚が薄くなる。なお、本発明はこの膜厚の薄くなった酸化窒化シリコン膜を保持容量の誘電体として用いるため、保持容量の面積を大きくしなくても保持容量のキャパシティを稼ぐことができる。
【0034】
次いで、駆動回路のpチャネル型TFTのソース領域およびドレイン領域を形成するために、p型を付与する不純物元素を添加する工程を行う。ここでは、ゲート電極119をマスクとして、自己整合的に不純物領域を形成する。このとき、nチャネル型TFTが形成される領域はレジストマスク124で被覆しておく。そして、ジボラン(B2H6)を用いたイオンドープ法で不純物領域123を形成した。この領域のボロン(B)濃度は3×1020〜3×1021atoms/cm3となるようにする。本明細書中では、ここで形成された不純物領域123に含まれるp型を付与する不純物元素の濃度を(p+)と表す(図3(A))。
【0035】
本実施例では、レジストマスク124で半導体層112の全面を覆っているが、容量配線を形成する領域にはレジストマスクを形成せずにp型を付与する不純物元素を添加する工程を行ってもよい。
【0036】
次に、nチャネル型TFTにおいて、ソース領域またはドレイン領域として機能する不純物領域の形成を行った。レジストのマスク125〜128を形成し、n型を付与する不純物元素が添加して不純物領域129〜132を形成した。これは、フォスフィン(PH3)を用いたイオンドープ法で行い、この領域のリン(P)濃度を1×1020〜1×1021atoms/cm3とした。本明細書中では、ここで形成された不純物領域129〜132に含まれるn型を付与する不純物元素の濃度を(n+)と表す。マスク126により、後の第1のnチャネル型TFTの活性層となる半導体層には、チャネル形成領域とドレイン領域との間だけに不純物が添加されない領域を形成する。アクティブマトリクス型液晶表示装置において、高速動作を重視するのは、シフトレジスタ回路、分周波回路、信号分割回路、レベルシフタ回路、バッファ回路等のロジック回路である。チャネル形成領域の片側(ドレイン領域側)のみに不純物領域を形成することで、できるだけ抵抗成分を低減させつつホットキャリア対策を重視した構造にすることができる。
また、後の保持容量の下部電極となる半導体層(第2の領域)上には、マスクが形成されていないため、半導体層(第2の領域)に不純物元素が添加される。
これにより下部電極の導電率をあげることができる(図3(B))。
【0037】
不純物領域129〜132には、既に前工程で添加されたリン(P)またはボロン(B)が含まれているが、それに比して十分に高い濃度でリン(P)が添加されるので、前工程で添加されたリン(P)またはボロン(B)の影響は考えなくても良い。また、不純物領域129に添加されたリン(P)濃度は図3(A)で添加されたボロン(B)濃度の1/2〜1/3なのでp型が確保され、TFTの特性に何ら影響を与えることはなかった。
【0038】
そして、画素TFTのLDD領域を形成するためのn型を付与する不純物添加の工程を行った。ここではゲート電極122をマスクとして自己整合的にn型を付与する不純物元素をイオンドープ法で添加した。添加するリン(P)の濃度は1×1016〜5×1018atoms/cm3であり、図3(A)および図3(B)で添加する不純物元素の濃度よりも低濃度で添加することで、実質的には不純物領域133、134、が形成される。本明細書中では、この不純物領域133、134、に含まれるn型を付与する不純物元素の濃度を(n-)と表す(図3(C))。
【0039】
その後、それぞれの濃度で添加されたn型またはp型を付与する不純物元素を活性化するために熱処理工程を行う。この工程はファーネスアニール法、レーザーアニール法、またはラピッドサーマルアニール法(RTA法)またはその組み合わせで行うことができる。ここではファーネスアニール法で活性化工程を行った。熱処理は酸素濃度が1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素雰囲気中で400〜800℃、代表的には500〜600℃で行うものであり、本実施例では550℃で4時間の熱処理を行った。また、基板101に石英基板のような耐熱性を有するものを使用した場合には、800℃で1時間の熱処理としても良く、不純物元素の活性化と、該不純物元素が添加された不純物領域とチャネル形成領域との接合を良好に形成することができた。
【0040】
この熱処理において、ゲート電極119〜122を形成する金属膜は、表面から5〜80nmの厚さで導電層119b〜122bが形成される。例えば、導電層119〜122がタングステン(W)の場合には窒化タングステン(WN)が形成され、タンタル(Ta)の場合には窒化タンタル(TaN)を形成することができる。また、導電層119b〜122bは、窒素またはアンモニアなどを用いた窒素を含むプラズマ雰囲気にゲート電極119〜122を晒しても同様に形成することができる。さらに、3〜100%の水素を含む雰囲気中で、300〜450℃で1〜12時間の熱処理を行い、島状半導体層を水素化する工程を行った。この工程は熱的に励起された水素により半導体層のダングリングボンドを終端する工程である。水素化の他の手段として、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水素を用いる)を行っても良い。
【0041】
島状半導体層が、非晶質シリコン膜から触媒元素を用いる結晶化の方法で作製された場合、島状半導体層中には微量の触媒元素が残留した。勿論、そのような状態でもTFTを完成させることが可能であるが、残留する触媒元素を少なくともチャネル形成領域から除去する方がより好ましかった。この触媒元素を除去する手段の一つにリン(P)によるゲッタリング作用を利用する手段があった。ゲッタリングに必要なリン(P)の濃度は図3(B)で形成した不純物領域(n+)と同程度であり、ここで実施される活性化工程の熱処理により、nチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのチャネル形成領域から触媒元素をゲッタリングすることができた(図4(A))。
【0042】
図6(A)および図7(A)はここまでの工程におけるTFTの上面図であり、A−A'断面およびB−B'断面は図3(D)のA−A'およびB−B'に対応している。図6および図7の上面図はゲート絶縁膜を省略しているが、ここまでの工程で少なくとも島状半導体層104〜107上にゲート電極119〜122が図に示すように形成されている。
【0043】
活性化および水素化の工程が終了したら、画素部に容量配線を形成するためにアルミニウムを主成分とする膜を成膜した。低抵抗材料であるアルミニウム(Al)や銅(Cu)を主成分とする材料を用いて形成するとよい。本実施例ではチタン(Ti)を0.1〜2重量%含むアルミニウム(Al)膜135を成膜して、この膜をパターニングして、ゲート配線137、138、保持容量の上部電極となる容量配線139を形成した(図4(B)、(C))。
【0044】
図6(B)および図7(B)はこの状態の上面図を示し、A−A'断面およびB−B'断面は図4(B)のA−A'およびB−B'に対応している。図6(B)および図7(B)において、領域120cにみられるように、ゲート配線137、138の一部は、ゲート電極119、120、122の一部と重なり電気的に接触している。
【0045】
つぎに、保護絶縁膜140を形成する。保護絶縁膜140は酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化シリコン膜、またはこれらを組み合わせた積層膜で形成すればよい。いずれにしても、保護絶縁膜140は、無機絶縁物材料から形成する。保護絶縁膜140の膜厚は100〜200nmとする。本実施例では、酸化シリコン膜を用い、プラズマCVD法で、オルトケイ酸テトラエチル(Tetraethyl Orthosilicate:TEOS)とO2とを混合し、反応圧力10Pa、基板温度300〜400℃とし、高周波(13.56MHz)、電力密度0.5〜0.8W/cm2で放電させて形成する。
【0046】
この後、平坦化させるために、平均厚1.0〜2.0μmの有機絶縁物材料からなる層間絶縁膜141を形成する。有機絶縁物材料としては、有機樹脂材料のポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミドアミド、BCB(ベンゾシクロブテン)などを使用することができる。基板に塗布後、熱重合するタイプのポリイミドを用いる場合には、2液性のものを用い、主材と硬化剤を混合した後、スピナーを用いて基板全面に塗布した後、ホットプレートで80℃で60秒の予備加熱を行い、さらにクリーンオーブンで250℃で60分焼成して形成することができる。
【0047】
平坦化以外に、一般に誘電率が低い有機樹脂材料を用いて層間絶縁膜を形成するのは、寄生容量を低減することができるからである。しかし、吸湿性があるため保護膜としては適さないので、本実施例のように、保護絶縁膜140として形成した酸化シリコン膜などと組み合わせて用いる必要がある。
【0048】
層間絶縁膜141を形成した後、所定のパターンのレジストマスクを形成し、島状半導体層に形成されたソース領域、ドレイン領域に達するコンタクトホールを形成する。この場合、エッチングガスにCF4、O2、Heの混合ガスを用い、有機樹脂材料からなる層間絶縁膜141をまずエッチングし、さらに、島状半導体層との選択比を高めるために、エッチングガスをCHF3に切り替えてゲート絶縁膜をエッチングすることにより、良好なコンタクトホールを形成することができる。
【0049】
ソース、ドレイン配線を形成するために、本実施例では、チタン(Ti)膜を50〜150nmの厚さで形成し、その上に重ねてアルミニウム(Al)膜を300〜400nmの厚さで形成する。また、Ti/TiN/Alでなる積層にしてもよい。
【0050】
画素電極として、酸化インジウム(In2O3)や酸化インジウム酸化スズ合金(In2O3―SnO2;ITO)透明導電膜のなどをスパッタ法や真空蒸着法などを用いて、透明導電膜を形成する。このような材料のエッチング処理は塩酸系の溶液により行う。しかし、特にITOのエッチングは残渣が発生しやすいので、エッチング加工性を改善するために酸化インジウム酸化亜鉛合金(In2O3―ZnO)を用いても良い。酸化インジウム酸化亜鉛合金は表面平滑性に優れ、ITOに対して熱安定性にも優れているので、ドレイン配線の端面で接触するAlとの腐蝕反応を防止できる。同様に、酸化亜鉛(ZnO)も適した材料であり、さらに可視光の透過率や導電率を高めるためにガリウム(Ga)を添加した酸化亜鉛(ZnO:Ga)などを用いることができる。本実施例では透明導電膜として酸化インジウム酸化亜鉛合金を用いて、画素電極156を形成する。
【0051】
フォトマスクによりレジストマスクパターンを形成し、エッチングによってソース配線142、144、145、147とドレイン配線143、146、148、149を形成する(図5(A))。
【0052】
図6(C)および図7(C)のはこの状態の上面図を示し、A−A'断面およびB−B'断面は図5(A)のA−A'およびB−B'に対応している。図6(C)と図7(C)では第1の層間絶縁膜を省略して示すが、島状半導体層104、105、107の図示されていないソースおよびドレイン領域にソース配線142、145、147とドレイン配線143、146、149が層間絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して接続している。
【0053】
こうして同一基板上に、駆動回路のTFTと画素部の画素TFTとを有した基板を完成させることができた。駆動回路250にはpチャネル型TFT201、第1のnチャネル型TFT202、第2のnチャネル型TFT203、画素部251には画素TFT204、保持容量205が形成した。本明細書では便宜上このような基板をアクティブマトリクス基板と呼ぶ。
【0054】
駆動回路のpチャネル型TFT201には、島状半導体層104にチャネル形成領域206、ソース領域207a、207b、ドレイン領域208a,208bを有している。第1のnチャネル型TFT202には、島状半導体層105にチャネル形成領域209、ゲート電極129と重なるLDD領域210(以降、このようなLDD領域をLovと記す。ovはoverの意味で付している。)、ソース領域212、ドレイン領域211を有している。このLov領域のチャネル長方向の長さは0.5〜3.0μm、好ましくは1.0〜1.5μmとした。第2のnチャネル型TFT203には、島状半導体層106にチャネル形成領域213、LDD領域214,215、ソース領域216、ドレイン領域217を有している。このLDD領域はLov領域とゲート電極121と重ならないLDD領域(以降、このようなLDD領域をLoffと記す。offはoffsetの意味で付している。)とが形成され、このLoff領域のチャネル長方向の長さは0.3〜2.0μm、好ましくは0.5〜1.5μmである。画素TFT204には、島状半導体層107にチャネル形成領域218、219、Loff領域220〜223、ソースまたはドレイン領域224〜226を有している。Loff領域のチャネル長方向の長さは0.5〜3.0μm、好ましくは1.5〜2.5μmである。さらに、上部電極(容量配線)139と、誘電体(ゲート絶縁膜と同じ材料から成る絶縁膜)と、下部電極(画素TFT204のドレイン領域226に接続し、n型を付与する不純物元素が添加された半導体層)227とからなる保持容量205が形成されている。図5では画素TFT204をダブルゲート構造としたが、シングルゲート構造でも良いし、複数のゲート電極を設けたマルチゲート構造としても差し支えない。
【0055】
さらに、図5(B)に示すように、柱状のスペーサ150を形成する。柱状のスペーサ150は、本実施例ではJSR社製のNN700を用い、スピナーで塗布した後、露光と現像処理によって所定のパターン(好ましくは、図36で示すように、柱状スペーサ150の形状は柱状で頂部が平坦な形状となるようにすると、対向側の基板を合わせたときに液晶表示パネルとしての機械的な強度を確保することができる。形状は円錐状、角錐状など特別の限定はないが、例えば円錐状としたときに具体的には、高さHを1.2〜5μmとし、平均半径L1を5〜7μm、平均半径L1と底部の半径L2との比を1対1.5とする。このとき側面のテーパー角は±15°以下とする。)に形成する。さらに、クリーンオーブンなどで150〜200℃で加熱して硬化させる。
【0056】
スペーサの配置は任意に決定すれば良いが、好ましくは、図5(B)に示すように、画素部においてはドレイン配線149のコンタクト部と重ねてその部分を覆うように柱状スペーサ150を形成すると良い。コンタクト部は平坦性が損なわれこの部分では液晶がうまく配向しなくなるので、このようにしてコンタクト部にスペーサ用の樹脂を充填する形で柱状スペーサ150を形成することで、ディスクリネーションなどを防止することができる。
【0057】
図5(B)に示すように、柱状スペーサ150の作製過程での側面を保護する保護膜151が形成される。
【0058】
その後、アクティブマトリクス基板の表面に配向膜(図示せず)を形成した後、ラビング処理を施して液晶分子がある一定のプレチルト角を持って配向するようにした。画素部に設けた柱状スペーサ150の端部からラビング方向に対してラビングされない領域が2μm以下となるようにした。また、ラビング処理では静電気の発生がしばしば問題となるが、駆動回路のTFT上にもスペーサ150を形成しておくと、スペーサとしての本来の役割と、静電気からTFTを保護する効果を得ることができる。
【0059】
以上により、基板間隔を保持する柱状スペーサ150が基板101と一体化したアクティブマトリクス基板が完成する。
【0060】
アクティブマトリクス基板と対になる対向基板には、基板上に遮光膜230、図示しないカラーフィルター、透明導電膜231および配向膜232が形成されている。遮光膜230はTi、Cr、Alなどを150〜300nmの厚さで形成する。
【0061】
そして、画素部と駆動回路が形成されたアクティブマトリクス基板と対向基板とを貼り合わせる。この後、基板の隙間に液晶材料234を注入し、封止剤(図示せず)によって完全に封止して、液晶パネルが完成する(図11)。
【0062】
以上の様に本発明によると、保持容量を形成する絶縁膜が他の領域より薄くなっており、さらに半導体層に不純物が高い濃度で添加されているため、小さな面積で大きなキャパシティを有する保持容量を形成することができる。これまで保持容量を大きくするかわりに開口率が下がってしまうという問題があったが、本発明によると、開口率が高いまま大きなキャパシティを有する保持容量を形成することができる。また、不純物の活性化工程の時に、LDD領域を遮る第2の導電層が形成されていないため、LDD領域の活性化も十分行うことができる。
【0063】
また、画素TFTおよび駆動回路が要求する仕様に応じて各回路を構成するTFTの構造を最適化し、半導体装置の動作性能と信頼性を向上させることを可能とすることができる。さらにゲート電極を耐熱性を有する導電性材料で形成することによりLDD領域やソース領域およびドレイン領域の活性化を容易とし、ゲート配線低抵抗材料で形成することにより、配線抵抗を十分低減できる。従って、画素部(画面サイズ)が4インチクラス以上の表示装置に適用することができる。
【0064】
[実施例2]
図15は本発明のTFTの構造を説明するための図であり、半導体層のチャネル形成領域と、LDD領域と、半導体層上のゲート絶縁膜と、ゲート絶縁膜上のゲート電極とを有するTFTにおいて、ゲート電極とLDD領域の位置関係を説明している。
【0065】
図15(A)において、第1のnチャネル型TFTについて説明する。チャネル形成領域209、LDD領域210a、210b、ドレイン領域211を有する半導体層と、その上のゲート絶縁膜113とゲート電極120が設けられた構成を示している。LDD領域は、チャネル形成領域とドレイン領域との間にのみ設けられた片側LDD構造となっている。LDD領域210aはゲート絶縁膜113を介してゲート電極120と重なるように設けられたLovとなっている。Lovはドレイン近傍で発生する高電界を緩和する作用があり、ホットキャリアによる劣化を防ぐことができるため、制御回路のシフトレジスタ回路、レベルシフタ回路、バッファ回路などのnチャネル型TFTに用いるのに適している。
【0066】
図15(B)において、第2のnチャネル型TFTについて説明する。チャネル形成領域213、LDD領域214a、214b、ドレイン領域(ソース領域)216を有する半導体層と、半導体層の上にゲート絶縁膜113とゲート電極121が設けられた構成を示している。LDD領域214aはゲート絶縁膜113を介してゲート電極121と重なるように設けられている。また、LDD領域214bはゲート電極121と重ならないように設けられたLoffとなっている。Loffはオフ電流値を低減させる作用があり、LovとLoffとを設けた構成にすることで、ホットキャリアによる劣化を防ぐと同時にオフ電流値を低減させることができるため、制御回路のサンプリング回路のnチャネル型TFTに用いるのに適している。
【0067】
図15(C)において、画素TFTについて説明する。半導体層に、チャネル形成領域219、LDD領域223、ドレイン領域226が設けられている。LDD領域223は、ゲート電極122と重ならないように設けられたLoffであり、オフ電流値を効果的に低減させることが可能であるため、画素TFTに用いるのに適している。
【0068】
[実施例3]
次にこのアクティブマトリクス型液晶表示装置の構成を、図12の斜視図および図13の上面図を用いて説明する。尚、図12と図13は、図1〜図5と図11の断面構造図と対応付けるため、共通の符号を用いている。また、図13で示すB―B'に沿った断面構造は、図5に示す画素部の断面図に対応している。
【0069】
図12においてアクティブマトリクス基板は、ガラス基板101上に形成された、画素部306と、走査信号駆動回路304と、画像信号駆動回路305で構成される。画素部には画素TFT204が設けられ、周辺に設けられる駆動回路はCMOS回路を基本として構成されている。走査信号駆動回路304と、画像信号駆動回路305はそれぞれゲート配線137とソース配線145で画素TFT204に接続している。また、FPC731が外部入力端子734に接続され、入力配線302、303でそれぞれの駆動回路に接続している。
【0070】
図13は画素部306のほぼ一画素分を示す上面図である。図示はしていないが、半導体層には、ソース領域、ドレイン領域、n-領域でなるLoff領域が形成されている。また、158はソース配線145とソース領域224とのコンタクト部、159はドレイン領域226とドレイン配線149のコンタクト部である。保持容量205は、画素TFT204のドレイン領域226から延在する下部電極となる第2の領域の半導体層227とゲート絶縁膜を介して上部電極となる容量配線139が重なる領域で形成されている。
【0071】
[実施例4]
図10は液晶表示装置の入出力端子、画素部、駆動回路の配置の一例を示す図である。画素部306にはm本のゲート配線とn本のソース配線がマトリクス状に交差している。例えば、画素密度がVGAの場合、480本のゲート配線と640本のソース配線が形成され、XGAの場合には768本のゲート配線と1024本のソース配線が形成される。画素部の画面サイズは、13インチクラスの場合対角線の長さは340mmとなり、18インチクラスの場合には460mmとなる。このような液晶表示装置を実現するには、ゲート配線を実施例1および実施例2で示したような低抵抗材料で形成する必要がある。
【0072】
画素部306の周辺には走査信号駆動回路304と画像信号駆動回路305が設けられている。これらの駆動回路のゲート配線の長さも画素部の画面サイズの大型化と共に必然的に長くなるので、大画面を実現するためには実施例1および実施例2で示したような低抵抗材料で形成することが好ましい。
【0073】
また、本発明は入力端子301から各駆動回路までを接続する入力配線302、303をゲート配線と同じ材料で形成することができ、配線抵抗の低抵抗化に寄与することができる。
【0074】
図37に入力端子部の形成工程を示す。図10における入力端子部301部分のFーF'断面の一部分を示している。実施例1の工程と関連付けるために共通の番号で対応させている。なお、図37(A−2)〜図37(E−2)は、端子部の形成工程に対応したTFTの形成工程断面図を示したものである。
【0075】
はじめに下地膜の形成された基板上に、駆動回路部、画素部における層間絶縁膜141を形成する工程で、有機樹脂材料のポリイミド、アクリル、ポリアミド、ポリイミドアミド、BCB(ベンゾシクロブテン)などを使用して、層間絶縁膜141xを形成する(図37(B))。
【0076】
次に、ソース、ドレイン配線を形成するための金属膜として例えばチタン(Ti)膜を50〜150nmの厚さで形成し、その上に重ねてアルミニウム(Al)膜を300〜400nmの厚さで形成する。その上に酸化インジウム(In2O3)や酸化インジウム酸化スズ合金(In2O3―SnO2;ITO)透明導電膜のなどをスパッタ法や真空蒸着法などを用いて、透明導電膜を形成する(図37(C)、(D))。
【0077】
その後、ソース、ドレイン配線と画素電極の所定の形状にエッチングした後、柱状のスペーサ150を形成する際に、金属膜と透明導電膜とが剥がれないようにするため、抑えるようにスペーサ150xを形成する。また、スペーサ150xを形成することで機械的強度を上げることもできる(図37(E))。
【0078】
そして、画素部と駆動回路が形成されたアクティブマトリクス基板と対向基板とを貼り合わせた後、アクティブマトリクス基板を回路と映像信号を入力するための回路や、電力を供給するための電源等に接続するため、端子部において、接続配線とFPC191を異方性導電膜195によって電気的に接続する(図20)。
【0079】
図20に示すように異方性導電膜195は接着剤195a内に金やクロムなどでメッキされた数十〜数百μm粒子195bにより構成され、この粒子195bが接続配線とFPCの配線191bとに接触することにより、アクティブマトリクス基板100とFPC191電気的に接続することができるが形成される。FPC191は基板101との接着強度を高めるために、外端子部の外側にはみだしており、端部には樹脂層192が設けられ、機械的強度の高い接続部を得ることができる。
【0080】
[実施例5]
図14は実施例1または実施例2で示したアクティブマトリクス基板の回路構成の一例であり、直視型の表示装置の回路構成を示す図である。本実施例のアクティブマトリクス基板は、画像信号駆動回路1001、走査信号駆動回路(A)1007、走査信号駆動回路(B)1011、プリチャージ回路1012、画素部1006を有している。尚、本明細書中において記した駆動回路とは、画像信号駆動回路1001、走査信号駆動回路(A)1007を含めた総称である。
【0081】
画像信号駆動回路1001は、シフトレジスタ回路1002、レベルシフタ回路1003、バッファ回路1004、サンプリング回路1005を備えている。また、走査信号駆動回路(A)1007は、シフトレジスタ回路1008、レベルシフタ回路1009、バッファ回路1010を備えている。走査信号駆動回路(B)1011も同様な構成である。
【0082】
シフトレジスタ回路1002、1008は駆動電圧が5〜16V(代表的には10V)であり、この回路を形成するCMOS回路のnチャネル型TFTは図5の202で示される構造が適している。また、レベルシフタ回路1003、1009やバッファ回路1004、1010は駆動電圧が14〜16Vと高くなるが、シフトレジスタ回路と同様に、図5のnチャネル型TFT202を含むCMOS回路が適している。これらの回路において、ゲートをマルチゲート構造で形成すると耐圧が高まり、回路の信頼性を向上させる上で有効である。
【0083】
サンプリング回路1005は駆動電圧が14〜16Vであるが、極性が交互に反転して駆動される上、オフ電流値を低減させる必要があるため、図5のnチャネル型TFT203を含むCMOS回路が適している。図5では、nチャネル型TFTしか表示はされていないが、実際のサンプリング回路においてはpチャネル型TFTも組み合わせて形成される。この時、pチャネル型TFTは同図201で示される構造で十分である。
【0084】
また、画素TFT204は駆動電圧が14〜16Vであり、低消費電力化の観点からサンプリング回路よりもさらにオフ電流値を低減することが要求され、画素TFT204のようにゲート電極に対して重ならないように設けられたLDD(Loff)領域を有した構造とするのが望ましい。
【0085】
尚、本実施例の構成は、実施例1に示した工程に従ってTFTを作製することによって容易に実現することができる。本実施例では、画素部と制御回路の構成のみを示しているが、実施例1の工程に従えば、その他にも信号分割回路、分周波回路、D/Aコンバータ、γ補正回路、オペアンプ回路、さらにメモリ回路や演算処理回路などの信号処理回路、あるいは論理回路を同一基板上に形成することが可能である。このように、本発明は同一基板上に画素部とその制御回路とを含む半導体装置、例えば信号制御回路および画素部を具備した半導体装置を実現することができる。
【0086】
[実施例6]
本発明の実施例について図16〜図18を用いて説明する。ここでは、画素部の画素TFTおよび保持容量と、画素部の周辺に設けられる駆動回路のTFTを同時に作製する方法について工程に従って詳細に説明する。
【0087】
図16(A)において、基板1101にはコーニング社の#7059ガラスや#1737ガラスなどに代表されるバリウムホウケイ酸ガラスやアルミノホウケイ酸ガラスなどのガラス基板や石英基板などを用いる。ガラス基板を用いる場合には、ガラス歪み点よりも10〜20℃程度低い温度であらかじめ熱処理しておいても良い。そして、基板1101のTFTを形成する表面に、基板1101からの不純物拡散を防ぐために、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜または酸化窒化シリコン膜などの絶縁膜から成る下地膜1102を形成する。例えば、プラズマCVD法でSiH4、NH3、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜1102aを10〜200nm(好ましくは50〜100nm)、同様にSiH4、N2Oから作製される酸化窒化水素化シリコン膜1102bを50〜200nm(好ましくは100〜150nm)の厚さに積層形成する。ここでは下地膜1102を2層構造として示したが、前記絶縁膜の単層膜または2層以上積層させて形成しても良い。
【0088】
酸化窒化シリコン膜は平行平板型のプラズマCVD法を用いて形成する。酸化窒化シリコン膜1102aは、SiH4を10/60cm3/s、NH3を100/60cm3/s、N2Oを20/60cm3/sとして反応室に導入し、基板温度325℃、反応圧力40Pa、放電電力密度0.41W/cm2、放電周波数60MHzとした。一方、酸化窒化水素化シリコン膜1102bは、SiH4を5/60cm3/s、N2Oを120/60cm3/s、H2を125/60cm3/sとして反応室に導入し、基板温度400℃、反応圧力20Pa、放電電力密度0.41W/cm2、放電周波数60MHzとした。これらの膜は、基板温度を変化させ、反応ガスの切り替えのみで連続して形成することができる。
【0089】
このようにして作製した酸化窒化シリコン膜1102aは、密度が9.28×1022/cm3であり、フッ化水素アンモニウム(NH4HF2)を7.13%とフッ化アンモニウム(NH4F)を15.4%含む混合溶液(ステラケミファ社製、商品名LAL500)の20℃におけるエッチング速度が約63nm/minと遅く、緻密で硬い膜である。このような膜を下地膜に用いると、この上に形成する半導体層にガラス基板からのアルカリ金属元素が拡散するのを防ぐのに有効である。
【0090】
次に、25〜80nm(好ましくは30〜60nm)の厚さで非晶質構造を有する半導体層1103aを、プラズマCVD法やスパッタ法などの方法で形成する。非晶質構造を有する半導体膜には、非晶質半導体層や微結晶半導体膜があり、非晶質シリコンゲルマニウム膜などの非晶質構造を有する化合物半導体膜を適用しても良い。プラズマCVD法で非晶質シリコン膜を形成する場合には、下地膜1102と非晶質半導体層1103aとは両者を連続形成することも可能である。
例えば、前述のように酸化窒化シリコン膜1102aと酸化窒化水素化シリコン膜1102bをプラズマCVD法で連続して成膜後、反応ガスをSiH4、N2O、H2からSiH4とH2或いはSiH4のみに切り替えれば、一旦大気雰囲気に晒すことなく連続形成できる。その結果、酸化窒化水素化シリコン膜1102bの表面の汚染を防ぐことが可能となり、作製するTFTの特性バラツキやしきい値電圧の変動を低減させることができる。
【0091】
そして、結晶化の工程を行い非晶質半導体層1103aから結晶質半導体層1103bを作製する。その方法としてレーザーアニール法や熱アニール法(固相成長法)、またはラピットサーマルアニール法(RTA法)を適用することができる。前述のようなガラス基板や耐熱性の劣るプラスチック基板を用いる場合には、特にレーザーアニール法を適用することが好ましい。RTA法では、赤外線ランプ、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプなどを光源に用いる。或いは特開平7−130652号公報で開示された技術に従って、触媒元素を用いる結晶化法で結晶質半導体層1103bを形成することもできる。結晶化の工程ではまず、非晶質半導体層が含有する水素を放出させておくことが好ましく、400〜500℃で1時間程度の熱処理を行い含有する水素量を5atomic%(原子の割合を示す単位として以下、atomic%を使用する。)以下にしてから結晶化させると膜表面の荒れを防ぐことができるので良い。
【0092】
また、プラズマCVD法で非晶質シリコン膜の形成工程において、反応ガスにSiH4とアルゴン(Ar)を用い、成膜時の基板温度を400〜450℃として形成すると、非晶質シリコン膜の含有水素濃度を5atomic%以下にすることもできる。このような場合において水素を放出させるための熱処理は不要となる。
【0093】
結晶化をレーザーアニール法にて行う場合には、パルス発振型または連続発光型のエキシマレーザーやアルゴンレーザーをその光源とする。パルス発振型のエキシマレーザーを用いる場合には、レーザー光を線状に加工してレーザーアニールを行う。レーザーアニール条件は実施者が適宣選択するものであるが、例えば、レーザーパルス発振周波数30Hzとし、レーザーエネルギー密度を100〜500mJ/cm2 (代表的には300〜400mJ/cm2)とする。そして線状ビームを基板全面に渡って照射し、この時の線状ビームの重ね合わせ率(オーバーラップ率)を80〜98%として行う。このようにして図16(B)に示すように結晶質半導体層1103bを得ることができる。
【0094】
そして、結晶質半導体層1103b上に第1のフォトマスクを用い、フォトリソグラフィーの技術を用いてレジストパターンを形成し、ドライエッチングによって結晶質半導体層を島状に分割し、図16(C)に示すように島状半導体層1104〜1108を形成する。半導体層1108は、後の画素TFTの活性層となる第1の領域と、後の保持容量の下部電極となる第2の領域とを有している。結晶質シリコン膜のドライエッチングにはCF4とO2の混合ガスを用いる。
【0095】
このような島状半導体層に対し、TFTのしきい値電圧(Vth)を制御する目的でp型を付与する不純物元素を1×1016〜5×1017atoms/cm3程度の濃度で島状半導体層の全面に添加しても良い。半導体に対してp型を付与する不純物元素には、ホウ素(B)、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)など周期律表第13族の元素が知られている。その方法として、イオン注入法やイオンドープ法(或いはイオンシャワードーピング法)を用いることができるが、大面積基板を処理するにはイオンドープ法が適している。イオンドープ法ではジボラン(B2H6)をソースガスとして用いホウ素(B)を添加する。このような不純物元素の注入は必ずしも必要でなく省略しても差し支えないが、特にnチャネル型TFTのしきい値電圧を所定の範囲内に収めるために好適に用いる手法である。
【0096】
ゲート絶縁膜1109はプラズマCVD法またはスパッタ法を用い、膜厚を40〜150nmとしてシリコンを含む絶縁膜で形成する。本実施例では、120nmの厚さで酸化窒化シリコン膜から形成する。また、SiH4とN2OにO2を添加させて作製された酸化窒化シリコン膜は、膜中の固定電荷密度が低減されているのでこの用途に対して好ましい材料となる。また、SiH4とN2OとH2とから作製する酸化窒化シリコン膜はゲート絶縁膜との界面欠陥密度を低減できるので好ましい。勿論、ゲート絶縁膜はこのような酸化窒化シリコン膜に限定されるものでなく、他のシリコンを含む絶縁膜を単層または積層構造として用いても良い。例えば、酸化シリコン膜を用いる場合には、プラズマCVD法で、TEOS(Tetraethyl Orthosilicate)とO2とを混合し、反応圧力40Pa、基板温度300〜400℃とし、高周波(13.56MHz)電力密度0.5〜0.8W/cm2で放電させて形成することができる。このようにして作製された酸化シリコン膜は、その後400〜500℃の熱アニールによりゲート絶縁膜として良好な特性を得ることができる。
【0097】
そして、図16(D)に示すように、第1の形状のゲート絶縁膜1109上にゲート電極を形成するための耐熱性導電層1111を200〜400nm(好ましくは250〜350nm)の厚さで形成する。耐熱性導電層は単層で形成しても良いし、必要に応じて二層あるいは三層といった複数の層から成る積層構造としても良い。本明細書でいう耐熱性導電層にはTa、Ti、Wから選ばれた元素、または前記元素を成分とする合金か、前記元素を組み合わせた合金膜が含まれる。これらの耐熱性導電層はスパッタ法やCVD法で形成されるものであり、低抵抗化を図るために含有する不純物濃度を低減させることが好ましく、特に酸素濃度に関しては30ppm以下とすると良い。本実施例ではW膜を300nmの厚さで形成する。W膜はWをターゲットとしてスパッタ法で形成しても良いし、6フッ化タングステン(WF6)を用いて熱CVD法で形成することもできる。いずれにしてもゲート電極として使用するためには低抵抗化を図る必要があり、W膜の抵抗率は20μΩcm以下にすることが望ましい。W膜は結晶粒を大きくすることで低抵抗率化を図ることができるが、W中に酸素などの不純物元素が多い場合には結晶化が阻害され高抵抗化する。このことより、スパッタ法による場合、純度99.9999%のWターゲットを用い、さらに成膜時に気相中からの不純物の混入がないように十分配慮してW膜を形成することにより、抵抗率9〜20μΩcmを実現することができる。
【0098】
一方、耐熱性導電層1111にTa膜を用いる場合には、同様にスパッタ法で形成することが可能である。Ta膜はスパッタガスにArを用いる。また、スパッタ時のガス中に適量のXeやKrを加えておくと、形成する膜の内部応力を緩和して膜の剥離を防止することができる。α相のTa膜の抵抗率は20μΩcm程度でありゲート電極に使用することができるが、β相のTa膜の抵抗率は180μΩcm程度でありゲート電極とするには不向きであった。TaN膜はα相に近い結晶構造を持つので、Ta膜の下地にTaN膜を形成すればα相のTa膜が容易に得られる。また、図示しないが、耐熱性導電層1111の下に2〜20nm程度の厚さでリン(P)をドープしたシリコン膜を形成しておくことは有効である。これにより、その上に形成される導電膜の密着性向上と酸化防止を図ると同時に、耐熱性導電層1111が微量に含有するアルカリ金属元素が第1の形状のゲート絶縁膜1109に拡散するのを防ぐことができる。いずれにしても、耐熱性導電層1111は抵抗率を10〜50μΩcmの範囲にすることが好ましい。
【0099】
次に、第2のフォトマスクを用い、フォトリソグラフィーの技術を使用してレジストによるマスク1112〜1116を形成する。そして、第1のエッチング処理(ドライエッチング)を行う。本実施例ではICPエッチング装置を用い、エッチング用ガスにCl2とCF4を用い、1Paの圧力で3.2W/cm2のRF(13.56MHz)電力を投入してプラズマを形成して行う。基板側(試料ステージ)にも224mW/cm2のRF(13.56MHz)電力を投入し、これにより実質的に負の自己バイアス電圧が印加される。この条件でW膜のエッチング速度は約100nm/minである。第1のエッチング処理はこのエッチング速度を基にW膜がちょうどエッチングされる時間を推定し、それよりもエッチング時間を20%増加させた時間をエッチング時間とした。
【0100】
図17(B)で示すように、第1のエッチング処理により第1のテーパー形状を有する導電層1117〜1121が形成される。図19(A)と同様にテーパー部の角度は15〜30°に形成される。残渣を残すことなくエッチングするためには、10〜20%程度の割合でエッチング時間を増加させるオーバーエッチングを施すものとする。W膜に対する酸化窒化シリコン膜(第1の形状のゲート絶縁膜1109)の選択比は2〜4(代表的には3)であるので、オーバーエッチング処理により、酸化窒化シリコン膜が露出した面は20〜50nm程度エッチングされ、ゲート電極の形成された部分より薄くなって、第1の導電層のテーパー形状に沿うようにテーパー形状が形成された第2の形状のゲート絶縁膜1133が形成される。
【0101】
そして、第1のドーピング処理を行い一導電型の不純物元素を島状半導体層に添加する。ここでは、n型を付与する不純物元素添加の工程を行う。第1の形状の導電層を形成したマスク1112〜1116をそのまま残し、第1のテーパー形状を有する導電層1117〜1121をマスクとして自己整合的にn型を付与する不純物元素をイオンドープ法で添加する。n型を付与する不純物元素をゲート電極の端部におけるテーパー部とゲート絶縁膜とを通して、その下に位置する半導体層に達するように添加するためにドーズ量を1×1013〜5×1014atoms/cm2とし、加速電圧を80〜160keVとして行う。n型を付与する不純物元素として15族に属する元素、典型的にはリン(P)または砒素(As)を用いるが、ここではリン(P)を用いた。このようなイオンドープ法により第1の不純物領域1123〜1127には1×1020〜1×1021atoms/cm3の濃度範囲でn型を付与する不純物元素が添加され、テーパー部の下方に形成される第2の不純物領域(A)1128〜1132には同領域内で必ずしも均一ではないが1×1017〜1×1020atoms/cm3の濃度範囲でn型を付与する不純物元素が添加される。なお、1127bは後の保持容量の下部電極となる領域(半導体層1108の第2の領域)である。下部電極となる領域全面に不純物元素を添加するため、工程数を増やさずに保持容量の下部電極の導電率をあげることができる。
【0102】
この工程において、第2の不純物領域(A)1128〜1132において、少なくとも第1の形状の導電層1117〜1121と重なった部分に含まれるn型を付与する不純物元素の濃度変化は、テーパー部の膜厚変化を反映する。即ち、第2の不純物領域(A)1128〜1132へ添加されるリン(P)の濃度は、第1の形状の導電層に重なる領域において、該導電層の端部から内側に向かって徐々に濃度が低くなる。これはテーパー部の膜厚の差によって、半導体層に達するリン(P)の濃度が変化するためであり、その濃度変化は図19(A−2)で示した通りである。
【0103】
次に、図17(B)に示すように第2のエッチング処理(ドライエッチング)を行う。エッチング処理も同様にICPエッチング装置により行い、エッチングガスにCF4とCl2の混合ガスを用い、RF電力3.2W/cm2 (13.56MHz)、バイアス電力45mW/cm2 (13.56MHz)、圧力1.0Paでエッチングを行う。この条件で形成される第2の形状を有する導電層1139〜1143が形成される。その端部にはテーパー部が形成され、該端部から内側にむかって徐々に厚さが増加するテーパー形状となる。第1のエッチング処理と比較して基板側に印加するバイアス電力を低くした分、等方性エッチングの割合が多くなり、テーパー部の角度は30〜60°となる。また、第2の形状のゲート絶縁膜1133の表面が40nm程度エッチングされ、新たに第3の形状のゲート絶縁膜1144が形成される。なお、膜厚の薄くなったゲート絶縁膜1144には、保持容量の誘電体となる領域も含まれ、工程数を増やさずに容量の大きな保持容量を作製することができる。
【0104】
そして、第1のドーピング処理よりもドーズ量を下げ高加速電圧の条件でn型を付与する不純物元素をドーピングする。例えば、加速電圧を70〜120keVとし、1×1013/cm2のドーズ量で行い、第2の形状を有する導電層1139〜1143と重なる領域の不純物濃度を1×1016〜5×1018atoms/cm3となるようにする。このようにして、第2の不純物領域(B)1145〜1149を形成する。図19(B−1)に示すように、第2のエッチング処理はチャネル長方向の幅を短くすることに重点を置いたエッチングのためテーパー角θ2はθ1よりも大きくなる。また、図19(B−2)に示すように、第2のドーピング処理では不純物の添加量が低いため第1の不純物領域において、その影響を無視することができる。
【0105】
そして、pチャネル型TFTを形成する島状半導体層1104、1106に一導電型とは逆の導電型の不純物領域1156、1157を形成する。この場合も第2の形状の導電層1139、1141をマスクとしてp型を付与する不純物元素を添加し、自己整合的に不純物領域を形成する。このとき、nチャネル型TFTを形成する島状半導体層1105、1107、1108は、第3のフォトマスクを用いてレジストのマスク1150〜1152を形成し全面を被覆しておく。ここで形成される不純物領域1156、1157はジボラン(B2H6)を用いたイオンドープ法で形成する。不純物領域1156、1157のp型を付与する不純物元素の濃度は、2×1020〜2×1021atoms/cm3となるようにする。
【0106】
しかしながら、この不純物領域1156、1157は詳細にはn型を付与する不純物元素を含有する3つの領域に分けて見ることができる。第3の不純物領域1156a、1157aは1×1020〜1×1021atoms/cm3の濃度でn型を付与する不純物元素を含み、第4の不純物領域(A)1156b、1157bは1×1017〜1×1020atoms/cm3の濃度でn型を付与する不純物元素を含み、第4の不純物領域(B)1156c、1157cは1×1016〜5×1018atoms/cm3の濃度でn型を付与する不純物元素を含んでいる。しかし、これらの不純物領域1156b、1156c、1157b、1157cのp型を付与する不純物元素の濃度を1×1019atoms/cm3以上となるようにし、第3の不純物領域1156a、1157aにおいては、p型を付与する不純物元素の濃度を1.5から3倍となるようにすることにより、第3の不純物領域でpチャネル型TFTのソース領域およびドレイン領域として機能するために何ら問題は生じない。また、第4の不純物領域(B)1156c、1157cは一部が第2のテーパー形状を有する導電層1139または1141と一部が重なって形成される。
【0107】
次に、それぞれの濃度で添加されたn型またはp型を付与する不純物元素を活性化する工程を行う。この工程はファーネスアニール炉を用いる熱アニール法で行う。その他に、レーザーアニール法、またはラピッドサーマルアニール法(RTA法)を適用することができる。熱アニール法では酸素濃度が1ppm以下、好ましくは0.1ppm以下の窒素雰囲気中で400〜700℃、代表的には500〜600℃で行うものであり、本実施例では550℃で4時間の熱処理を行った。また、基板1101に耐熱温度が低いプラスチック基板を用いる場合にはレーザーアニール法を適用することが好ましい。
【0108】
活性化の工程に続いて、雰囲気ガスを変化させ、3〜100%の水素を含む雰囲気中で、300〜450℃で1〜12時間の熱処理を行い、島状半導体層を水素化する工程を行う。この工程は熱的に励起された水素により島状半導体層にある1016〜1018/cm 3のダングリングボンドを終端する工程である。水素化の他の手段として、プラズマ水素化(プラズマにより励起された水素を用いる)を行っても良い。いずれにしても、島状半導体層1104〜1108中の欠陥密度を1016/cm3以下とすることが望ましく、そのために水素を0.01〜0.1atomic%程度付与すれば良い。
【0109】
次に、保持容量を形成するためアルミニウム(Al)を主成分とする材料1155aを成膜し、図18(A)に示すように保持容量の上部電極となる容量配線1155を形成する。その後、ゲート電極およびゲート絶縁膜上から第1の層間絶縁膜1158を形成する。第1の層間絶縁膜は酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化シリコン膜、またはこれらを組み合わせた積層膜で形成すれば良い。いずれにしても第1の層間絶縁膜1158は無機絶縁物材料から形成する。第1の層間絶縁膜1158の膜厚は100〜200nmとする。ここで、酸化シリコン膜を用いる場合には、プラズマCVD法でTEOSとO2とを混合し、反応圧力40Pa、基板温度300〜400℃とし、高周波(13.56MHz)電力密度0.5〜0.8W/cm2で放電させて形成することができる。また、酸化窒化シリコン膜を用いる場合には、プラズマCVD法でSiH4、N2O、NH3から作製される酸化窒化シリコン膜、またはSiH4、N2Oから作製される酸化窒化シリコン膜で形成すれば良い。この場合の作製条件は反応圧力20〜200Pa、基板温度300〜400℃とし、高周波(60MHz)電力密度0.1〜1.0W/cm2で形成することができる。また、SiH4、N2O、H2から作製される酸化窒化水素化シリコン膜を適用しても良い。窒化シリコン膜も同様にプラズマCVD法でSiH4、NH3から作製することが可能である。
【0110】
また、第2の層間絶縁膜1159を有機絶縁物材料で形成することにより、表面を良好に平坦化させることができる。また、有機樹脂材料は一般に誘電率が低いので、寄生容量を低減することができる。しかし、吸湿性があり保護膜としては適さないので、本実施例のように、第1の層間絶縁膜1158として形成した酸化シリコン膜、酸化窒化シリコン膜、窒化シリコン膜などと組み合わせて用いると良い。
【0111】
その後、第4のフォトマスクを用い、所定のパターンのレジストマスクを形成し、それぞれの島状半導体層に形成されソース領域またはドレイン領域とする不純物領域に達するコンタクトホールを形成する。コンタクトホールはドライエッチング法で形成する。この場合、エッチングガスにCF4、O2、Heの混合ガスを用い有機樹脂材料から成る第2の層間絶縁膜1159をまずエッチングし、その後、続いてエッチングガスをCF4、O2として第1の層間絶縁膜1158をエッチングする。さらに、島状半導体層との選択比を高めるために、エッチングガスをCHF3に切り替えて第3の形状のゲート絶縁膜1144をエッチングすることによりコンタクトホールを形成することができる。
【0112】
そして、導電性の金属膜をスパッタ法や真空蒸着法で形成し、第5のフォトマスクによりレジストマスクパターンを形成し、エッチングによってソース線1160〜1164とドレイン線1165〜1168を形成する。画素電極1169はドレイン線と一緒に形成される。画素電極1171は隣の画素に帰属する画素電極を表している。図示していないが、本実施例ではこの配線を、Ti膜を50〜150nmの厚さで形成し、島状半導体層のソースまたはドレイン領域を形成する不純物領域とコンタクトを形成し、そのTi膜上に重ねてアルミニウム(Al)を300〜400nmの厚さで形成(図18(C)において1160a〜1169aで示す)し、さらにその上に透明導電膜を80〜120nmの厚さで形成(図18(C)において1160b〜1169bで示す)した。透明導電膜には酸化インジウム酸化亜鉛合金(In2O3―ZnO)、酸化亜鉛(ZnO)も適した材料であり、さらに可視光の透過率や導電率を高めるためにガリウム(Ga)を添加した酸化亜鉛(ZnO:Ga)などを好適に用いることができる。
【0113】
こうして6枚のフォトマスクにより、同一の基板上に、駆動回路1300のTFTと画素部1301の画素TFTとを有した基板を完成させることができる。駆動回路1300には第1のpチャネル型TFT1200、第1のnチャネル型TFT1201、第2のpチャネル型TFT1202、第2のnチャネル型TFT1203、画素部1301には画素TFT1204、保持容量1205が形成されている。本明細書では便宜上このような基板をアクティブマトリクス基板と呼ぶ。
【0114】
駆動回路1300の第1のpチャネル型TFT1200には、第2のテーパー形状を有する導電層がゲート電極1220としての機能を有し、島状半導体層1104にチャネル形成領域1206、ソース領域またはドレイン領域として機能する第3の不純物領域1207a、ゲート電極1220と重ならないLDD領域を形成する第4の不純物領域(A)1207b、一部がゲート電極1220と重なるLDD領域を形成する第4の不純物領域(B)1207cを有する構造となっている。
【0115】
第1のnチャネル型TFT1201には、第2のテーパー形状を有する導電層がゲート電極1221としての機能を有し、島状半導体層1105にチャネル形成領域1208、ソース領域またはドレイン領域として機能する第1の不純物領域1209a、ゲート電極1221と重ならないLDD領域を形成する第2の不純物領域(A)1209b、一部がゲート電極1221と重なるLDD領域を形成する第2の不純物領域(B)1209cを有する構造となっている。チャネル長2〜7μmに対して、第2の不純物領域(B)1209cがゲート電極1221と重なる部分(Lov)の長さは0.1〜0.3μmとする。このLovの長さはゲート電極1221の厚さとテーパー部の角度から制御する。nチャネル型TFTにおいてこのようなLDD領域を形成することにより、ドレイン領域近傍に発生する高電界を緩和して、ホットキャリアの発生を防ぎ、TFTの劣化を防止することができる。
【0116】
駆動回路1300の第2のpチャネル型TFT1202は同様に、第2のテーパー形状を有する導電層がゲート電極1222としての機能を有し、島状半導体層1106にチャネル形成領域1210、ソース領域またはドレイン領域として機能する第3の不純物領域1211a、ゲート電極1222と重ならないLDD領域を形成する第4の不純物領域(A)1211b、一部がゲート電極1222と重なるLDD領域を形成する第4の不純物領域(B)1211cを有する構造となっている。
【0117】
駆動回路1300の第2のnチャネル型TFT1203には、第2のテーパー形状を有する導電層がゲート電極1223としての機能を有し、島状半導体層1107にチャネル形成領域1212、ソース領域またはドレイン領域として機能する第1の不純物領域1213a、ゲート電極1223と重ならないLDD領域を形成する第2の不純物領域(A)1213b、一部がゲート電極1223と重なるLDD領域を形成する第2の不純物領域(B)1213cを有する構造となっている。第2のnチャネル型TFT1201と同様に第2の不純物領域(B)1213cがゲート電極1223と重なる部分の長さは0.1〜0.3μmとする。
【0118】
駆動回路はシフトレジスタ回路、バッファ回路などのロジック回路やアナログスイッチで形成されるサンプリング回路などで形成される。図16(B)ではこれらを形成するTFTを一対のソース・ドレイン間に一つのゲート電極を設けたシングルゲートの構造で示したが、複数のゲート電極を一対のソース・ドレイン間に設けたマルチゲート構造としても差し支えない。
【0119】
画素TFT1204には、第2のテーパー形状を有する導電層がゲート電極1224としての機能を有し、島状半導体層1108にチャネル形成領域1214a、1214b、ソース領域またはドレイン領域として機能する第1の不純物領域1215a、1217、ゲート電極1224と重ならないLDD領域を形成する第2の不純物領域(A)1215b、一部がゲート電極1224と重なるLDD領域を形成する第2の不純物領域(B)1215cを有する構造となっている。第2の不純物領域(B)1213cがゲート電極1224と重なる部分の長さは0.1〜0.3μmとする。また、第1の不純物領域1217から延在する領域1218と、第3の形状を有するゲート絶縁膜と同層で形成される絶縁層と、アルミニウムを主成分とする材料からなる容量配線1225から保持容量1205が形成されている。
【0120】
保持容量1205は、半導体層1218に不純物が添加されており、また、第3の形状を有する絶縁膜1144が他の領域より薄くなっていることで小さな面積で、大きなキャパシティを有する保持容量となっている。
【0121】
以上の様な構成は、画素TFTおよび駆動回路が要求する仕様に応じて各回路を構成するTFTの構造を最適化し、半導体装置の動作性能と信頼性を向上させることを可能としている。さらにゲート電極を耐熱性を有する導電性材料で形成することによりLDD領域やソース領域およびドレイン領域の活性化を容易としている。さらに、ゲート電極にゲート絶縁膜を介して重なるLDD領域を形成する際に、導電型を制御する目的で添加した不純物元素に濃度勾配を持たせてLDD領域を形成することで、特にドレイン領域近傍における電界緩和効果が高まることが期待できる。
【0122】
アクティブマトリクス型の液晶表示装置の場合、第1のpチャネル型TFT1200と第1のnチャネル型TFT1201は高速動作を重視するシフトレジスタ回路、バッファ回路、レベルシフタ回路などを形成するのに用いる。図18(B)ではこれらの回路をロジック回路部1302として表している。第1のnチャネル型TFT1201の第2の不純物領域(B)1209cはホットキャリア対策を重視した構造となっている。さらに、耐圧を高め動作を安定化させるために、図21(A)で示すようにこのロジック回路部1302のTFTを第1のpチャネル型TFT1280と第1のnチャネル型TFT1281で形成しても良い。このTFTは、一対のソース・ドレイン間に2つのゲート電極を設けたダブルゲート構造であり、このようなTFTは本実施例の工程を用いて同様に作製できる。第1のpチャネル型TFT1280には、島状半導体層にチャネル形成領域1236a、1236b、ソースまたはドレイン領域として機能する第3の不純物領域1238a、1239a、1240a、LDD領域となる第4の不純物領域(A)1238b、1239b、1240b及びゲート電極1237と一部が重なりLDD領域となる第4の不純物領域(B)1238c、1239c、1240cを有した構造となっている。第1のnチャネル型TFT1281には、島状半導体層にチャネル形成領域1241a、1241b、ソースまたはドレイン領域として機能する第1の不純物領域1243a、1244a、1245aとLDD領域となる第2の不純物領域(A)1243b、1244b、1245b及びゲート電極1242と一部が重なりLDD領域となる第2の不純物領域(B)1243c、1244c、1245cを有している。チャネル長は3〜7μmとして、ゲート電極と重なるLDD領域をLovとしてそのチャネル長方向の長さは0.1〜0.3μmとする。
【0123】
また、アナログスイッチで構成するサンプリング回路部1303には、同様な構成とした第2のpチャネル型TFT1202と第2のnチャネル型TFT1203を適用することができる。サンプリング回路はホットキャリア対策と低オフ電流動作が重視されるので、図21(B)で示すようにこの回路のTFTを第2のpチャネル型TFT1282と第2のnチャネル型TFT1283で形成しても良い。この第2のpチャネル型TFT1282は、一対のソース・ドレイン間に3つのゲート電極を設けたトリプルゲート構造であり、このようなTFTは本実施例の工程を用いて同様に作製できる。第2のpチャネル型TFT1282には、島状半導体層にチャネル形成領域1246a、1246b、1246cソースまたはドレイン領域として機能する第3の不純物領域1249a、1250a、1251a、1252a、LDD領域となる第4の不純物領域(A)1249b、1250b、1251b、1252b及びゲート電極1247と一部が重なりLDD領域となる第4の不純物領域(B)1249c、1250c、1251c、1252cを有した構造となっている。第2のnチャネル型TFT1283には、島状半導体層にチャネル形成領域1253a、1253b、ソースまたはドレイン領域として機能する第1の不純物領域1255a、1256a、1257aとLDD領域となる第2の不純物領域(A)1255b、1256b、1257b及びゲート電極1254と一部が重なりLDD領域となる第2の不純物領域(B)1255c、1256c、1257cを有している。チャネル長は3〜7μmとして、ゲート電極と重なるLDD領域をLovとしてそのチャネル長方向の長さは0.1〜0.3μmとする。
【0124】
このように、TFTのゲート電極の構成をシングルゲート構造とするか、複数のゲート電極を一対のソース・ドレイン間に設けたマルチゲート構造とするかは、回路の特性に応じて実施者が適宣選択すれば良い。本実施例によると、実施例3で示したようなアクティブマトリクス液晶表示装置や、反射型の液晶表示装置を作製することができる。
【0125】
[実施例7]
実施例6で作製したアクティブマトリクス基板はそのまま反射型の表示装置に適用することができる。一方、透過型の液晶表示装置とする場合には画素部の各画素に設ける画素電極を透明電極で形成すれば良い。本実施例では透過型の液晶表示装置に対応するアクティブマトリクス基板の作製方法について図22を用いて説明する。
【0126】
アクティブマトリクス基板は実施例6と同様に作製する。図22(A)では、ソース配線とドレイン配線は導電性の金属膜をスパッタ法や真空蒸着法で形成する。ドレイン線1256を例としてこの構成を図22(B)で詳細に説明すると、Ti膜1256aを50〜150nmの厚さで形成し、島状半導体層のソースまたはドレイン領域を形成する半導体膜とコンタクトを形成する。そのTi膜1256a上に重ねてAl膜1256bを300〜400nmの厚さで形成し、さらにTi膜1256cまたは窒化チタン(TiN)膜を100〜200nmの厚さで形成して3層構造とする。その後、透明導電膜を全面に形成し、フォトマスクを用いたパターニング処理およびエッチング処理により画素電極1257を形成する。画素電極1257は、有機樹脂材料から成る第2の層間絶縁膜上に形成され、コンタクトホールを介さずに画素TFT1204のドレイン線1256と重なる部分を設け電気的な接続を形成している。
【0127】
図22(C)では最初に第2の層間絶縁膜上に透明導電膜を形成し、パターニング処理およびエッチング処理をして画素電極1258を形成した後、ドレイン線1259を画素電極1258とコンタクトホールを介さずに接続部を形成した例である。ドレイン線1259は、図22(D)で示すようにTi膜1259aを50〜150nmの厚さで形成し、島状半導体層のソースまたはドレイン領域を形成する半導体膜とコンタクトを形成し、そのTi膜1259a上に重ねてAl膜1259bを300〜400nmの厚さで形成して設ける。この構成にすると、画素電極1258はドレイン配線1259を形成するTi膜1259aのみと接触することになる。その結果、透明導電膜材料とAlとが直接接し反応するのを確実に防止できる。
【0128】
透明導電膜の材料は、酸化インジウム(In2O3)や酸化インジウム酸化スズ合金(In2O3―SnO2;ITO)などをスパッタ法や真空蒸着法などを用いて形成して用いることができる。このような材料のエッチング処理は塩酸系の溶液により行う。しかし、特にITOのエッチングは残渣が発生しやすいので、エッチング加工性を改善するために酸化インジウム酸化亜鉛合金(In2O3―ZnO)を用いても良い。酸化インジウム酸化亜鉛合金は表面平滑性に優れ、ITOに対して熱安定性にも優れているので、図22(A)、(B)の構成においてドレイン配線1256の端面で、Al膜1256bが画素電極1257と接触して腐蝕反応をすることを防止できる。同様に、酸化亜鉛(ZnO)も適した材料であり、さらに可視光の透過率や導電率を高めるためにガリウム(Ga)を添加した酸化亜鉛(ZnO:Ga)などを用いることができる。
【0129】
実施例6では反射型の液晶表示装置を作製できるアクティブマトリクス基板を5枚のフォトマスクにより作製したが、さらに1枚のフォトマスクの追加(合計6枚)で、透過型の液晶表示装置に対応したアクティブマトリクス基板を完成させることができる。
【0130】
[実施例8]
本実施例では、実施例1、6、7で示したアクティブマトリクス基板のTFTの活性層を形成する結晶質半導体層の他の作製方法について示す。結晶質半導体層は非晶質半導体層を熱アニール法やレーザーアニール法、またはRTA法などで結晶化させて形成するが、その他に特開平7−130652号公報で開示されている触媒元素を用いる結晶化法を適用することもできる。その場合の例を図23を用いて説明する。
【0131】
図23(A)で示すように、実施例1と同様にして、ガラス基板3101上に下地膜3102a、3102b、非晶質構造を有する半導体層3103を25〜80nmの厚さで形成する。非晶質半導体層は非晶質シリコン(a−Si)膜、非晶質シリコンゲルマニウム(a−SiGe)膜、非晶質炭化シリコン(a−SiC)膜,非晶質シリコン・スズ(a−SiSn)膜などが適用できる。これらの非晶質半導体層は水素を0.1〜40atomic%程度含有するようにして形成すると良い。例えば、非晶質シリコン膜を55nmの厚さで形成する。そして、重量換算で10ppmの触媒元素を含む水溶液をスピナーで基板を回転させて塗布するスピンコート法で触媒元素を含有する層3104を形成する。触媒元素にはニッケル(Ni)、ゲルマニウム(Ge)、鉄(Fe)、パラジウム(Pd)、スズ(Sn)、鉛(Pb)、コバルト(Co)、白金(Pt)、銅(Cu)、金(Au)などである。この触媒元素を含有する層3104は、スピンコート法の他に印刷法やスプレー法、バーコーター法、或いはスパッタ法や真空蒸着法によって上記触媒元素の層を1〜5nmの厚さに形成しても良い。
【0132】
そして、図23(B)に示す結晶化の工程では、まず400〜500℃で1時間程度の熱処理を行い、非晶質シリコン膜の含有水素量を5atom%以下にする。非晶質シリコン膜の含有水素量が成膜後において最初からこの値である場合にはこの熱処理は必ずしも必要でない。そして、ファーネスアニール炉を用い、窒素雰囲気中で550〜600℃で1〜8時間の熱アニールを行う。以上の工程により結晶質シリコン膜から成る結晶質半導体層3105を得ることができる(図23(C))。しかし、この熱アニールによって作製された結晶質半導体層3105は、光学顕微鏡観察により巨視的に観察すると局所的に非晶質領域が残存していることが観察されることがあり、このような場合、同様にラマン分光法では480cm-1にブロードなピークを持つ非晶質成分が観測される。そのため、熱アニールの後に実施例1で説明したレーザーアニール法で結晶質半導体層3105を処理してその結晶性を高めることは有効な手段として適用できる。
【0133】
図24は同様に触媒元素を用いる結晶化法の実施例であり、触媒元素を含有する層をスパッタ法により形成するものである。まず、ガラス基板3201上に下地膜3202a、3202b、非晶質構造を有する半導体層3203を25〜80nmの厚さで形成する。そして、非晶質構造を有する半導体層3203の表面に0.5〜5nm程度の酸化膜(図示せず)を形成する。このような厚さの酸化膜は、プラズマCVD法やスパッタ法などで積極的に該当する被膜を形成しても良いが、100〜300℃に基板を加熱してプラズマ化した酸素雰囲気中に非晶質構造を有する半導体層3203の表面を晒しても良いし、過酸化水素水(H2O2)を含む溶液に非晶質構造を有する半導体層3203の表面を晒して形成しても良い。或いは、酸素を含む雰囲気中で紫外線光を照射してオゾンを発生させ、そのオゾン雰囲気中に非晶質構造を有する半導体層3203を晒すことによっても形成できる。
【0134】
このようにして表面に薄い酸化膜を有する非晶質構造を有する半導体層3203上に前記触媒元素を含有する層3204をスパッタ法で形成する。この層の厚さに限定はないが、10〜100nm程度の厚さに形成すれば良い。例えば、Niをターゲットとして、Ni膜を形成することは有効な方法である。スパッタ法では、電界で加速された前記触媒元素から成る高エネルギー粒子の一部が基板側にも飛来し、非晶質構造を有する半導体層3203の表面近傍、または該半導体層表面に形成した酸化膜中に打ち込まれる。その割合はプラズマ生成条件や基板のバイアス状態によって異なるものであるが、好適には非晶質構造を有する半導体層3203の表面近傍や該酸化膜中に打ち込まれる触媒元素の量を1×1011〜1×1014atoms/cm3程度となるようにすると良い。
【0135】
その後、触媒元素を含有する層3204を選択的に除去する。例えば、この層がNi膜で形成されている場合には、硝酸などの溶液で除去することが可能であり、または、フッ酸を含む水溶液で処理すればNi膜と非晶質構造を有する半導体層3203上に形成した酸化膜を同時に除去できる。いずれにしても、非晶質構造を有する半導体層3203の表面近傍における触媒元素の量を1×1011〜1×1014atoms/cm3程度となるようにしておく。そして、図24(B)で示すように、図23(B)と同様にして熱アニールによる結晶化の工程を行い、結晶質半導体層3205を得ることができる(図24(C))。
【0136】
図23または図24で作製された結晶質半導体層3105、3205から島状半導体層を作製すれば、実施例1、6と同様にしてアクティブマトリクス基板を完成させることができる。しかし、結晶化の工程においてシリコンの結晶化を助長する触媒元素を使用した場合、島状半導体層中には微量(1×1017〜1×1019atoms/cm3程度)の触媒元素が残留する。勿論、そのような状態でもTFTを完成させることが可能であるが、残留する触媒元素を少なくともチャネル形成領域から除去する方がより好ましかった。この触媒元素を除去する手段の一つにリン(P)によるゲッタリング作用を利用する手段がある。
【0137】
この目的におけるリン(P)によるゲッタリング処理は、不純物元素を活性化させる工程と同一の工程で行うことができる。この様子を図25で説明する。ゲッタリングに必要なリン(P)の濃度は高濃度n型不純物領域の不純物濃度と同程度でよく、活性化工程の熱アニールにより、nチャネル型TFTおよびpチャネル型TFTのチャネル形成領域から触媒元素をその濃度でリン(P)を含有する不純物領域へ偏析させることができる(図25で示す矢印の方向)。その結果その不純物領域には1×1017〜1×1019atoms/cm3程度の触媒元素が偏析した。このようにして作製したTFTはオフ電流値が下がり、結晶性が良いことから高い電界効果移動度が得られ、良好な特性を達成することができる。
【0138】
[実施例9]
本実施例では実施例6で作製したアクティブマトリクス基板から、アクティブマトリクス型液晶表示装置を作製する工程を説明する。まず、図8(A)に示すように、図18(B)の状態のアクティブマトリクス基板に柱状スペーサから成るスペーサを形成する。スペーサは数μmの粒子を散布して設ける方法でも良いが、ここでは基板全面に樹脂膜を形成した後これをパターニングして形成する方法を採用した。このようなスペーサの材料に限定はないが、例えば、JSR社製のNN700を用い、スピナーで塗布した後、露光と現像処理によって所定のパターンに形成する。さらにクリーンオーブンなどにより150〜200℃で加熱して硬化させる。このようにして作製されるスペーサは露光と現像処理の条件によって形状を異ならせることができるが、好ましくは、スペーサの形状は柱状で頂部が平坦な形状となるようにすると、対向側の基板を合わせたときに液晶表示パネルとしての機械的な強度を確保することができる。形状は円錐状、角錐状など特別の限定はないが、例えば円錐状としたときに具体的には、高さを1.2〜5μmとし、平均半径を5〜7μm、平均半径と底部の半径との比を1対1.5とする。このとき側面のテーパー角は±15°以下とする。
【0139】
スペーサの配置は任意に決定すれば良いが、好ましくは、図8(A)で示すように、画素部においては画素電極1169のコンタクト部1231と重ねてその部分を覆うように柱状スペーサ1406を形成すると良い。コンタクト部1231は平坦性が損なわれこの部分では液晶がうまく配向しなくなるので、このようにしてコンタクト部1231にスペーサ用の樹脂を充填する形で柱状スペーサ1406を形成することでディスクリネーションなどを防止することができる。また、駆動回路のTFT上にもスペーサ1405a〜1405eを形成しておく。このスペーサは駆動回路部の全面に渡って形成しても良いし、図8(A)で示すようにソース線およびドレイン線を覆うようにして設けても良い。
【0140】
その後、配向膜1407を形成する。通常液晶表示素子の配向膜にはポリイミド樹脂を用いる。配向膜を形成した後、ラビング処理を施して液晶分子がある一定のプレチルト角を持って配向するようにした。画素部に設けた柱状スペーサ1406の端部からラビング方向に対してラビングされない領域が2μm以下となるようにした。また、ラビング処理では静電気の発生がしばしば問題となるが、駆動回路のTFT上に形成したスペーサ1405a〜1405eにより静電気からTFTを保護する効果を得ることができる。また図では説明しないが、配向膜1407を先に形成してから、スペーサ1406、1405a〜1405eを形成した構成としても良い。
【0141】
対向側の対向基板1401には、遮光膜1402、透明導電膜1403および配向膜1404を形成する。遮光膜1402はTi膜、Cr膜、Al膜などを150〜300nmの厚さで形成する。そして、画素部と駆動回路が形成されたアクティブマトリクス基板と対向基板とをシール剤1408で貼り合わせる。シール剤1408にはフィラー(図示せず)が混入されていて、このフィラーとスペーサ1406、1405a〜1405eによって均一な間隔を持って2枚の基板が貼り合わせられる。その後、両基板の間に液晶材料1409を注入する。液晶材料には公知の液晶材料を用いれば良い。例えば、TN液晶の他に、電場に対して透過率が連続的に変化する電気光学応答性を示す、無しきい値反強誘電性混合液晶を用いることもできる。この無しきい値反強誘電性混合液晶には、V字型の電気光学応答特性を示すものもある。このようにして図8(B)に示すアクティブマトリクス型液晶表示装置が完成する。
【0142】
図9はこのようなアクティブマトリクス基板の上面図を示し、画素部および駆動回路とスペーサおよびシール剤の位置関係を示す上面図である。実施例1で述べたガラス基板1101上に画素部1604の周辺に駆動回路として走査信号駆動回路1605と画像信号駆動回路1606が設けられている。さらに、その他CPUやメモリなどの信号処理回路1607も付加されていても良い。そして、これらの駆動回路は接続配線1603によって外部入出力端子1602と接続されている。画素部1604では走査信号駆動回路1605から延在するゲート配線群1608と画像信号駆動回路1606から延在するソース配線群1609がマトリクス状に交差して画素を形成し、各画素にはそれぞれ画素TFT1204と保持容量1205が設けられている。
【0143】
図8において画素部において設けた柱状スペーサ1406は、すべての画素に対して設けても良いが、図9で示すようにマトリクス状に配列した画素の数個から数十個おきに設けても良い。即ち、画素部を構成する画素の全数に対するスペーサの数の割合は20〜100%とすることが可能である。また、駆動回路に設けるスペーサ1405a〜1405eはその全面を覆うように設けても良いし各TFTのソースおよびドレイン配線の位置にあわせて設けても良い。図9では駆動回路に設けるスペーサの配置を1610〜1612で示す。そして、図9に示すシール剤1613は、基板1101上の画素部1604および走査信号駆動回路1605、画像信号駆動回路1606、その他の信号処理回路1607の外側であって、外部入出力端子1602よりも内側に形成する。
【0144】
このような構成の液晶表示装置は、実施例6、7で示したアクティブマトリクス基板を用いて形成することができる。実施例6で示すアクティブマトリクス基板を用いれば反射型の液晶表示装置が得られ、実施例7で示すアクティブマトリクス基板を用いると透過型の液晶表示装置を得ることができる。
【0145】
[実施例10]
本実施例では、本発明のTFT回路によるアクティブマトリクス型液晶表示装置を組み込んだ半導体装置(電気装置)について説明する。
【0146】
このような半導体装置としては、ビデオカメラ、デジタルカメラ、デジタルビデオディスクプレイヤー、プロジェクター(リア型またはフロント型)、ヘッドマウントディスプレイ(ゴーグル型ディスプレイ)、パーソナルコンピュータ、携帯情報端末(モバイルコンピュータ、携帯電話または電子書籍等)などが挙げられる。それらの一例を図26、図27及び図28に示す。
【0147】
図26(A)はパーソナルコンピュータであり、本体2001、画像入力部2002、表示部2003、キーボード2004等を含む。本発明を画像入力部2002、表示部2003やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0148】
図26(B)はビデオカメラであり、本体2101、表示部2102、音声入力部2103、操作スイッチ2104、バッテリー2105、受像部2106等を含む。本発明を表示部2102やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0149】
図26(C)はモバイルコンピュータ(モービルコンピュータ)であり、本体2201、カメラ部2202、受像部2203、操作スイッチ2204、表示部2205等を含む。本発明は表示部2205やその他の信号制御回路に適用できる。
【0150】
図26(D)はゴーグル型ディスプレイであり、本体2301、表示部2302、アーム部2303等を含む。本発明は表示部2302やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0151】
図26(E)はプログラムを記録した記録媒体(以下、記録媒体と呼ぶ)を用いるプレーヤーであり、本体2401、表示部2402、スピーカ部2403、記録媒体2404、操作スイッチ2405等を含む。なお、このプレーヤーは記録媒体としてDVD(Digtial Versatile Disc)、CD等を用い、音楽鑑賞や映画鑑賞やゲームやインターネットを行うことができる。本発明は表示部2402やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0152】
図26(F)はデジタルカメラであり、本体2501、表示部2502、接眼部2503、操作スイッチ2504、受像部(図示しない)等を含む。本発明を表示部2502やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0153】
図27(A)はフロント型プロジェクターであり、投射装置2601、スクリーン2602等を含む。本発明は投射装置2601の一部を構成する液晶表示装置2808やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0154】
図27(B)はリア型プロジェクターであり、本体2701、投射装置2702、ミラー2703、スクリーン2704等を含む。本発明は投射装置2702の一部を構成する液晶表示装置2808やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0155】
なお、図27(C)は、図27(A)及び図27(B)中における投射装置2601、2702の構造の一例を示した図である。投射装置2601、2702は、光源光学系2801、ミラー2802、2804〜2806、ダイクロイックミラー2803、プリズム2807、液晶表示装置2808、位相差板2809、投射光学系2810で構成される。投射光学系2810は、投射レンズを含む光学系で構成される。本実施例は三板式の例を示したが、特に限定されず、例えば単板式であってもよい。また、図27(C)中において矢印で示した光路に実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィルムや、位相差を調節するためのフィルム、IRフィルム等の光学系を設けてもよい。
【0156】
また、図27(D)は、図27(C)中における光源光学系2801の構造の一例を示した図である。本実施例では、光源光学系2801は、リフレクター2811、光源2812、レンズアレイ2813、2814、偏光変換素子2815、集光レンズ2816で構成される。なお、図27(D)に示した光源光学系は一例であって特に限定されない。例えば、光源光学系に実施者が適宜、光学レンズや、偏光機能を有するフィルムや、位相差を調節するフィルム、IRフィルム等の光学系を設けてもよい。
【0157】
ただし、図27に示したプロジェクターにおいては、透過型の電気光学装置を用いた場合を示しており、反射型の電気光学装置及びEL表示装置での適用例は図示していない。
【0158】
図28(A)は携帯電話であり、本体2901、音声出力部2902、音声入力部2903、表示部2904、操作スイッチ2905、アンテナ2906等を含む。本発明を音声出力部2902、音声入力部2903、表示部2904やその他の信号制御回路に適用することができる。
【0159】
図28(B)は携帯書籍(電子書籍)であり、本体3001、表示部3002、3003、記憶媒体3004、操作スイッチ3005、アンテナ3006等を含む。本発明は表示部3002、3003やその他の信号回路に適用することができる。
【0160】
図28(C)はディスプレイであり、本体3101、支持台3102、表示部3103等を含む。本発明は表示部3103に適用することができる。本発明のディスプレイは特に大画面化した場合において有利であり、対角10インチ以上(特に30インチ以上)のディスプレイには有利である。
【0161】
以上の様に、本発明の適用範囲は極めて広く、あらゆる分野の半導体装置に適用することが可能である。また、本実施例の半導体装置は実施例1〜9のどのような組み合わせからなる構成を用いても実現することができる。
【0162】
[実施例11]
本実施例では、本発明を用いてEL(エレクトロルミネッセンス)表示装置を作製した例について説明する。なお、EL表示装置は発光装置(Light emitting device)又は、発光ダイオード(Light emitting diode)とも呼ばれる。さらに、本明細書中でのEL装置は、例えばトリプレット発光装置またはシングレット発光装置を含む。
【0163】
図29(A)は本発明を用いたEL表示装置の上面図である。図29(A)において、4010は基板、4011は画素部、4012はソース側駆動回路、4013はゲート側駆動回路であり、それぞれの駆動回路は配線4014〜4016を経てFPC4017に至り、外部機器へと接続される。
【0164】
このとき、少なくとも画素部、好ましくは駆動回路及び画素部を囲むようにしてカバー材6000、シーリング材(ハウジング材ともいう)7000、密封材(第2のシーリング材)7001が設けられている。
【0165】
また、図29(B)は本実施例のEL表示装置の断面構造であり、基板4010、下地膜4021の上に駆動回路用TFT(但し、ここではnチャネル型TFTとpチャネル型TFTを組み合わせたCMOS回路を図示している。)4022及び画素部用TFT4023(但し、ここではEL素子への電流を制御するTFTだけ図示している。)が形成されている。
【0166】
駆動回路用TFT4022、画素部用TFT4023が完成したら、樹脂材料でなる層間絶縁膜(平坦化膜)4026の上に画素部用TFT4023のドレインと電気的に接続する透明導電膜でなる画素電極4027を形成する。透明導電膜としては、酸化インジウムと酸化スズとの化合物(ITOと呼ばれる)または酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物を用いることができる。そして、画素電極4027を形成したら、絶縁膜4028を形成し、画素電極4027上に開口部を形成する。
【0167】
次に、EL層4029を形成する。EL層4029は公知のEL材料(正孔注入層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層または電子注入層)を自由に組み合わせて積層構造または単層構造とすれば良い。どのような構造とするかは公知の技術を用いれば良い。また、EL材料には低分子系材料と高分子系(ポリマー系)材料がある。低分子系材料を用いる場合は蒸着法を用いるが、高分子系材料を用いる場合には、スピンコート法、印刷法またはインクジェット法等の簡易な方法を用いることが可能である。
【0168】
本実施例では、シャドーマスクを用いて蒸着法によりEL層を形成する。シャドーマスクを用いて画素毎に波長の異なる発光が可能な発光層(赤色発光層、緑色発光層及び青色発光層)を形成することで、カラー表示が可能となる。その他にも、色変換層(CCM)とカラーフィルターを組み合わせた方式、白色発光層とカラーフィルターを組み合わせた方式があるがいずれの方法を用いても良い。勿論、単色発光のEL表示装置とすることもできる。
【0169】
EL層4029を形成したら、その上に陰極4030を形成する。陰極4030とEL層4029の界面に存在する水分や酸素は極力排除しておくことが望ましい。従って、真空中でEL層4029と陰極4030を連続成膜するか、EL層4029を不活性雰囲気で形成し、大気解放しないで陰極4030を形成するといった工夫が必要である。本実施例ではマルチチャンバー方式(クラスターツール方式)の成膜装置を用いることで上述のような成膜を可能とする。
【0170】
なお、本実施例では陰極4030として、LiF(フッ化リチウム)膜とAl(アルミニウム)膜の積層構造を用いる。具体的にはEL層4029上に蒸着法で1nm厚のLiF(フッ化リチウム)膜を形成し、その上に300nm厚のアルミニウム膜を形成する。勿論、公知の陰極材料であるMgAg電極を用いても良い。そして陰極4030は4031で示される領域において配線4016に接続される。配線4016は陰極4030に所定の電圧を与えるための電源供給線であり、導電性ペースト材料4032を介してFPC4017に接続される。
【0171】
4031に示された領域において陰極4030と配線4016とを電気的に接続するために、層間絶縁膜4026及び絶縁膜4028にコンタクトホールを形成する必要がある。これらは層間絶縁膜4026のエッチング時(画素電極用コンタクトホールの形成時)や絶縁膜4028のエッチング時(EL層形成前の開口部の形成時)に形成しておけば良い。また、絶縁膜4028をエッチングする際に、層間絶縁膜4026まで一括でエッチングしても良い。この場合、層間絶縁膜4026と絶縁膜4028が同じ樹脂材料であれば、コンタクトホールの形状を良好なものとすることができる。
【0172】
このようにして形成されたEL素子の表面を覆って、パッシベーション膜6003、充填材6004、カバー材6000が形成される。
【0173】
さらに、EL素子部を囲むようにして、カバー材6000と基板4010の内側にシーリング材が設けられ、さらにシーリング材7000の外側には密封材(第2のシーリング材)7001が形成される。
【0174】
このとき、この充填材6004は、カバー材6000を接着するための接着剤としても機能する。充填材6004としては、PVC(ポリビニルクロライド)、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテート)を用いることができる。この充填材6004の内部に乾燥剤を設けておくと、吸湿効果を保持できるので好ましい。
【0175】
また、充填材6004の中にスペーサーを含有させてもよい。このとき、スペーサーをBaOなどからなる粒状物質とし、スペーサー自体に吸湿性をもたせてもよい。
【0176】
スペーサーを設けた場合、パッシベーション膜6003はスペーサー圧を緩和することができる。また、パッシベーション膜とは別に、スペーサー圧を緩和する樹脂膜などを設けてもよい。
【0177】
また、カバー材6000としては、ガラス板、アルミニウム板、ステンレス板、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)板、PVF(ポリビニルフルオライド)フィルム、マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリルフィルムを用いることができる。なお、充填材6004としてPVBやEVAを用いる場合、数十μmのアルミニウムホイルをPVFフィルムやマイラーフィルムで挟んだ構造のシートを用いることが好ましい。
【0178】
但し、EL素子からの発光方向(光の放射方向)によっては、カバー材6000が透光性を有する必要がある。
【0179】
また、配線4016はシーリング材7000および密封材7001と基板4010との隙間を通ってFPC4017に電気的に接続される。なお、ここでは配線4016について説明したが、他の配線4014、4015も同様にしてシーリング材7000および密封材7001の下を通ってFPC4017に電気的に接続される。
【0180】
[実施例12]
本実施例では、本発明を用いて実施例11とは異なる形態のEL表示装置を作製した例について、図30(A)、(B)を用いて説明する。図29(A)、(B)と同じ番号のものは同じ部分を指しているので説明は省略する。
【0181】
図30(A)は本実施例のEL表示装置の上面図であり、図30(A)をA-A'で切断した断面図を図30(B)に示す。
【0182】
実施例11に従って、EL素子の表面を覆ってパッシベーション膜6003までを形成する。
【0183】
さらに、EL素子を覆うようにして充填材6004を設ける。この充填材6004は、カバー材6000を接着するための接着剤としても機能する。充填材6004としては、PVC(ポリビニルクロライド)、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、PVB(ポリビニルブチラル)またはEVA(エチレンビニルアセテート)を用いることができる。この充填材6004の内部に乾燥剤を設けておくと、吸湿効果を保持できるので好ましい。
【0184】
また、充填材6004の中にスペーサーを含有させてもよい。このとき、スペーサーをBaOなどからなる粒状物質とし、スペーサー自体に吸湿性をもたせてもよい。
【0185】
スペーサーを設けた場合、パッシベーション膜6003はスペーサー圧を緩和することができる。また、パッシベーション膜とは別に、スペーサー圧を緩和する樹脂膜などを設けてもよい。
【0186】
また、カバー材6000としては、ガラス板、アルミニウム板、ステンレス板、FRP(Fiberglass−Reinforced Plastics)板、PVF(ポリビニルフルオライド)フィルム、マイラーフィルム、ポリエステルフィルムまたはアクリルフィルムを用いることができる。なお、充填材6004としてPVBやEVAを用いる場合、数十μmのアルミニウムホイルをPVFフィルムやマイラーフィルムで挟んだ構造のシートを用いることが好ましい。
【0187】
但し、EL素子からの発光方向(光の放射方向)によっては、カバー材6000が透光性を有する必要がある。
【0188】
次に、充填材6004を用いてカバー材6000を接着した後、充填材6004の側面(露呈面)を覆うようにフレーム材6001を取り付ける。フレーム材6001はシーリング材(接着剤として機能する)6002によって接着される。このとき、シーリング材6002としては、光硬化性樹脂を用いるのが好ましいが、EL層の耐熱性が許せば熱硬化性樹脂を用いても良い。なお、シーリング材6002はできるだけ水分や酸素を透過しない材料であることが望ましい。また、シーリング材6002の内部に乾燥剤を添加してあっても良い。
【0189】
また、配線4016はシーリング材6002と基板4010との隙間を通ってFPC4017に電気的に接続される。なお、ここでは配線4016について説明したが、他の配線4014、4015も同様にしてシーリング材6002の下を通ってFPC4017に電気的に接続される。
【0190】
[実施例13]
ここでEL表示パネルにおける画素部のさらに詳細な断面構造を図31に、上面構造を図32(A)に、回路図を図32(B)に示す。図31、図32(A)及び図32(B)では共通の符号を用いるので互いに参照すれば良い。
【0191】
図31において、基板3501上に設けられたスイッチング用TFT3502は本発明のnチャネル型TFTを用いて形成される(実施例1〜9参照)。本実施例ではダブルゲート構造としているが、構造及び作製プロセスに大きな違いはないので説明は省略する。但し、ダブルゲート構造とすることで実質的に二つのTFTが直列された構造となり、オフ電流値を低減することができるという利点がある。なお、本実施例ではダブルゲート構造としているが、シングルゲート構造でも構わないし、トリプルゲート構造やそれ以上のゲート本数を持つマルチゲート構造でも構わない。また、pチャネル型TFTを用いて形成しても構わない。
【0192】
また、電流制御用TFT3503は本発明のnチャネル型TFT(実施例1〜9参照)を用いて形成される。このとき、スイッチング用TFT3502のドレイン配線35は配線36によって電流制御用TFTのゲート電極37に電気的に接続されている。また、38で示される配線は、スイッチング用TFT3502のゲート電極39a、39bを電気的に接続するゲート配線である。
【0193】
電流制御用TFTはEL素子を流れる電流量を制御するための素子であるため、多くの電流が流れ、熱による劣化やホットキャリアによる劣化の危険性が高い素子でもある。そのため、電流制御用TFTのドレイン側に、ゲート絶縁膜を介してゲート電極に重なるようにLDD領域を設ける本発明の構造は極めて有効である。
【0194】
ただし、駆動電圧が10V以下(典型的には5V以下)の場合には、上記のような問題は発生しないため、図35(A)に示すように電流制御用TFT3503を半導体層に、チャネル形成領域を挟んで、ソース領域及びドレイン領域を有する構造のTFTを用いてもよい。または、図35(B)に示すように半導体層に、チャネル形成領域を挟むように形成されたLDD領域とLDD領域の外側に設けられたソース領域、ドレイン領域を有する構造のTFTを採用してもよい。
【0195】
また、本実施例では電流制御用TFT3503をシングルゲート構造で図示しているが、複数のTFTを直列につなげたマルチゲート構造としても良い。さらに、複数のTFTを並列につなげて実質的にチャネル形成領域を複数に分割し、熱の放射を高い効率で行えるようにした構造としても良い。このような構造は熱による劣化対策として有効である。
【0196】
また、図32(A)に示すように、電流制御用TFT3503のゲート電極37となる配線は3504で示される領域で、電流制御用TFT3503のドレイン配線40と絶縁膜を介して重なる。このとき、3504で示される領域ではコンデンサが形成される。このコンデンサ3504は電流制御用TFT3503のゲートにかかる電圧を保持するためのコンデンサとして機能する。なお、ドレイン配線40は電流供給線(電源線)3506に接続され、常に一定の電圧が加えられている。
【0197】
スイッチング用TFT3502及び電流制御用TFT3503の上には第1パッシベーション膜41が設けられ、その上に樹脂絶縁膜でなる平坦化膜42が形成される。平坦化膜42を用いてTFTによる段差を平坦化することは非常に重要である。後に形成されるEL層は非常に薄いため、段差が存在することによって発光不良が起きる場合がある。従って、EL層をできるだけ平坦面に形成しうるように画素電極を形成する前に平坦化しておくことが望ましい。
【0198】
また、43は反射性の高い導電膜でなる画素電極(EL素子の陰極)であり、電流制御用TFT3503のドレインに電気的に接続される。画素電極43としてはアルミニウム合金膜、銅合金膜または銀合金膜など低抵抗な導電膜またはそれらの積層膜を用いることが好ましい。勿論、他の導電膜との積層構造としても良い。
【0199】
また、絶縁膜(好ましくは樹脂)で形成されたバンク44a、44bにより形成された溝(画素に相当する)の中に発光層45が形成される。なお、ここでは一画素しか図示していないが、R(赤)、G(緑)、B(青)の各色に対応した発光層を作り分けても良い。発光層とする有機EL材料としてはπ共役ポリマー系材料を用いる。代表的なポリマー系材料としては、ポリパラフェニレンビニレン(PPV)系、ポリビニルカルバゾール(PVK)系、ポリフルオレン系などが挙げられる。
【0200】
なお、PPV系有機EL材料としては様々な型のものがあるが、例えば「H. Shenk,H.Becker,O.Gelsen,E.Kluge,W.Kreuder,and H.Spreitzer,"Polymers for Light Emitting Diodes",Euro Display,Proceedings,1999,p.33-37」や特開平10−92576号公報に記載されたような材料を用いれば良い。
【0201】
具体的な発光層としては、赤色に発光する発光層にはシアノポリフェニレンビニレン、緑色に発光する発光層にはポリフェニレンビニレン、青色に発光する発光層にはポリフェニレンビニレン若しくはポリアルキルフェニレンを用いれば良い。膜厚は30〜150nm(好ましくは40〜100nm)とすれば良い。
【0202】
但し、以上の例は発光層として用いることのできる有機EL材料の一例であって、これに限定する必要はまったくない。発光層、電荷輸送層または電荷注入層を自由に組み合わせてEL層(発光及びそのためのキャリアの移動を行わせるための層)を形成すれば良い。
【0203】
例えば、本実施例ではポリマー系材料を発光層として用いる例を示したが、低分子系有機EL材料を用いても良い。また、電荷輸送層や電荷注入層として炭化珪素等の無機材料を用いることも可能である。これらの有機EL材料や無機材料は公知の材料を用いることができる。
【0204】
本実施例では発光層45の上にPEDOT(ポリチオフェン)またはPAni(ポリアニリン)でなる正孔注入層46を設けた積層構造のEL層としている。そして、正孔注入層46の上には透明導電膜でなる陽極47が設けられる。本実施例の場合、発光層45で生成された光は上面側に向かって(TFTの上方に向かって)放射されるため、陽極は透光性でなければならない。透明導電膜としては酸化インジウムと酸化スズとの化合物や酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物を用いることができるが、耐熱性の低い発光層や正孔注入層を形成した後で形成するため、可能な限り低温で成膜できるものが好ましい。
【0205】
陽極47まで形成された時点でEL素子3505が完成する。なお、ここでいうEL素子3505は、画素電極(陰極)43、発光層45、正孔注入層46及び陽極47で形成されたコンデンサを指す。図32(A)に示すように画素電極43は画素の面積にほぼ一致するため、画素全体がEL素子として機能する。従って、発光の利用効率が非常に高く、明るい画像表示が可能となる。
【0206】
ところで、本実施例では、陽極47の上にさらに第2パッシベーション膜48を設けている。第2パッシベーション膜48としては窒化珪素膜または窒化酸化珪素膜が好ましい。この目的は、外部とEL素子とを遮断することであり、有機EL材料の酸化による劣化を防ぐ意味と、有機EL材料からの脱ガスを抑える意味との両方を併せ持つ。これによりEL表示装置の信頼性が高められる。
【0207】
以上のように本発明のEL表示パネルは図31のような構造の画素からなる画素部を有し、オフ電流値の十分に低いスイッチング用TFTと、ホットキャリア注入に強い電流制御用TFTとを有する。従って、高い信頼性を有し、且つ、良好な画像表示が可能なEL表示パネルが得られる。
【0208】
なお、本実施例の構成は、実施例1〜9の構成と自由に組み合わせて実施することが可能である。また、実施例10の電気装置の表示部として本実施例のEL表示パネルを用いることは有効である。
【0209】
[実施例14]
本実施例では、実施例13に示した画素部において、EL素子3505の構造を反転させた構造について説明する。説明には図33を用いる。なお、図31の構造と異なる点はEL素子の部分と電流制御用TFTだけであるので、その他の説明は省略することとする。
【0210】
図33において、電流制御用TFT3503はpチャネル型TFTを用いて形成される。作製プロセスは実施例1〜9を参照すれば良い。
【0211】
本実施例では、画素電極(陽極)50として透明導電膜を用いる。具体的には酸化インジウムと酸化亜鉛との化合物でなる導電膜を用いる。勿論、酸化インジウムと酸化スズとの化合物でなる導電膜を用いても良い。
【0212】
そして、絶縁膜でなるバンク51a、51bが形成された後、溶液塗布によりポリビニルカルバゾールでなる発光層52が形成される。その上にはカリウムアセチルアセトネート(acacKと表記される)でなる電子注入層53、アルミニウム合金でなる陰極54が形成される。この場合、陰極54がパッシベーション膜としても機能する。こうしてEL素子3701が形成される。
【0213】
本実施例の場合、発光層52で発生した光は、矢印で示されるようにTFTが形成された基板の方に向かって放射される。
【0214】
なお、本実施例の構成は、実施例1〜9の構成と自由に組み合わせて実施することが可能である。また、実施例10の電気装置の表示部として本実施例のEL表示パネルを用いることは有効である。
【0215】
[実施例15]
本実施例では、図32(B)に示した回路図とは異なる構造の画素とした場合の例について図34(A)〜(C)に示す。なお、本実施例において、3801はスイッチング用TFT3802のソース配線、3803はスイッチング用TFT3802のゲート配線、3804は電流制御用TFT、3805はコンデンサ、3806、3808は電流供給線、3807はEL素子とする。
【0216】
図34(A)は、二つの画素間で電流供給線3806を共通とした場合の例である。即ち、二つの画素が電流供給線3806を中心に線対称となるように形成されている点に特徴がある。この場合、電源供給線の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精細化することができる。
【0217】
また、図34(B)は、電流供給線3808をゲート配線3803と平行に設けた場合の例である。なお、図34(B)では電流供給線3808とゲート配線3803とが重ならないように設けた構造となっているが、両者が異なる層に形成される配線であれば、絶縁膜を介して重なるように設けることもできる。この場合、電流供給線3808とゲート配線3803とで専有面積を共有させることができるため、画素部をさらに高精細化することができる。
【0218】
また、図34(C)は、図34(B)の構造と同様に電流供給線3808をゲート配線3803と平行に設け、さらに、二つの画素を電流供給線3808を中心に線対称となるように形成する点に特徴がある。また、電流供給線3808をゲート配線3803のいずれか一方と重なるように設けることも有効である。この場合、電流供給線の本数を減らすことができるため、画素部をさらに高精細化することができる。
【0219】
なお、本実施例の構成は、実施例1〜9の構成と自由に組み合わせて実施することが可能である。また、実施例10の電気装置の表示部として本実施例の画素構造を有するEL表示パネルを用いることは有効である。
【0220】
[実施例16]
実施例13に示した図32(A)、(B)では電流制御用TFT3503のゲートにかかる電圧を保持するためにコンデンサ3504を設ける構造としているが、コンデンサ3504を省略することも可能である。実施例13の場合、電流制御用TFT3503として実施例1〜9に示すような本発明のnチャネル型TFTを用いているため、ゲート絶縁膜を介してゲート電極に重なるように設けられたLDD領域を有している。この重なり合った領域には一般的にゲート容量と呼ばれる寄生容量が形成されるが、本実施例ではこの寄生容量をコンデンサ3504の代わりとして積極的に用いる点に特徴がある。
【0221】
この寄生容量のキャパシタンスは、上記ゲート電極とLDD領域とが重なり合った面積によって変化するため、その重なり合った領域に含まれるLDD領域の長さによって決まる。
【0222】
また、実施例15に示した図34(A)〜(C)の構造においても同様に、コンデンサ3805を省略することは可能である。
【0223】
なお、本実施例の構成は、実施例1〜9の構成と自由に組み合わせて実施することが可能である。また、実施例10の電気装置の表示部として本実施例の画素構造を有するEL表示パネルを用いることは有効である。
【0224】
【発明の効果】
本発明を用いることで、同一の基板上に複数の機能回路が形成された半導体装置(ここでは具体的には電気光学装置)において、保持容量の下部電極となる半導体層に不純物元素を添加したため、下部電極の導電率を高くすることができ、さらに、エッチングの工程で薄くなったゲート絶縁膜を保持容量の誘電体として用いたため、工程数を増やすことなく小さな面積で大きなキャパシティを有する保持容量を形成することができる。また、保持容量が小さな面積ですむことから開口率をあげることもできる。
【0225】
また、その機能回路が要求する仕様に応じて適切な性能のTFTを配置することが可能となり、その動作特性を大幅に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図2】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図3】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図4】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図5】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図6】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す上面図。
【図7】 画素TFT、保持容量、駆動回路のTFTの作製工程を示す上面図。
【図8】 アクティブマトリクス型液晶表示装置の作製工程を示す断面図。
【図9】 液晶表示装置の入出力端子、配線、回路配置、スペーサ、シール剤の配置を説明する上面図。
【図10】 液晶表示装置の入出力端子、配線回路配置を示す上面図。
【図11】 液晶表示装置の構造を示す断面図。
【図12】 液晶表示装置の構造を示す斜視図。
【図13】 画素部を示す上面図。
【図14】 液晶表示装置の回路ブロック図。
【図15】 ゲート電極とLDD領域の位置関係を示す図。
【図16】 画素TFT、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図17】 画素TFT、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図18】 画素TFT、駆動回路のTFTの作製工程を示す断面図。
【図19】 LDD領域の不純物元素の濃度分布を説明する図。
【図20】 接続配線の端子部と異方性導電膜のコンタクト構造を示す断面図。
【図21】 駆動回路のTFTを示す断面図。
【図22】 画素TFTの構成を示す断面図。
【図23】 結晶質半導体層の作製工程を示す断面図。
【図24】 結晶質半導体層の作製工程を示す断面図。
【図25】 結晶質半導体層の作製工程を示す断面図。
【図26】 半導体装置の一例を示す図。
【図27】 半導体装置の一例を示す図。
【図28】 半導体装置の一例を示す図。
【図29】 EL表示装置の構造を示す図。
【図30】 EL表示装置の構造を示す図。
【図31】 EL表示装置の構造を示す図。
【図32】 EL表示装置の構造を示す図。
【図33】 EL表示装置の構造を示す図。
【図34】 EL表示装置の構造を示す図。
【図35】 EL表示装置の構造を示す図。
【図36】 柱状スペーサの形状を示す図。
【図37】 液晶表示装置の入力端子部の作製工程を示す図。
Claims (4)
- 画素TFTおよび保持容量を有する画素部を含む半導体装置であって、
前記画素TFTは、半導体層の第1の領域に設けられたチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜ならびに該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、
前記保持容量は、前記半導体層の第2の領域、該第2の領域に接した絶縁膜および該絶縁膜上の容量配線を有し、
前記第2の領域はn型またはp型を付与する不純物元素を含み、
前記第2の領域に接した前記絶縁膜の膜厚及び前記第1の領域の前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接した前記ゲート絶縁膜の膜厚は、前記第1の領域の前記チャネル形成領域に接した前記ゲート絶縁膜の膜厚よりも薄く、
前記ゲート電極はテーパー部を有し、
前記ゲート絶縁膜は、前記ゲート電極の前記テーパー部の形状に沿うようなテーパー部を有し、
前記半導体層は、前記ゲート電極の前記テーパー部及び前記ゲート絶縁膜の前記テーパー部と重なる領域に、LDD領域を有し、
前記LDD領域の前記不純物元素の濃度は、前記ソース領域及び前記ドレイン領域より低く、かつ、前記チャネル形成領域に向かって徐々に低くなっていることを特徴とする半導体装置。 - 画素TFTおよび保持容量を有する画素部を含む半導体装置であって、
前記画素TFTは、半導体層の第1の領域に設けられたチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜ならびに該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、
前記画素TFTは、nチャネル型TFTであって、
前記保持容量は、前記半導体層の第2の領域、該第2の領域に接した絶縁膜および該絶縁膜上の容量配線を有し、
前記第2の領域は、一導電型を付与する不純物元素を1×1020atoms/cm3〜1×1021atoms/cm3の濃度範囲で含んでおり、
前記第2の領域に接した前記絶縁膜の膜厚及び前記第1の領域の前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接した前記ゲート絶縁膜の膜厚は、前記第1の領域の前記チャネル形成領域に接した前記ゲート絶縁膜の膜厚よりも薄く、
前記ゲート絶縁膜は、前記ゲート電極の前記テーパー部の形状に沿うようなテーパー部を有し、
前記半導体層は、前記ゲート電極の前記テーパー部及び前記ゲート絶縁膜の前記テーパー部と重なる領域に、LDD領域を有し、
前記LDD領域の前記不純物元素の濃度は、前記ソース領域及び前記ドレイン領域より低く、かつ、前記チャネル形成領域に向かって徐々に低くなっていることを特徴とする半導体装置。 - 画素部および駆動回路を同一基板上に有する半導体装置であって、
前記画素部は画素TFTおよび保持容量を有し、
前記画素TFTは、半導体層の第1の領域に設けられたチャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、前記第1の領域に接したゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、
前記画素TFTは、nチャネル型TFTであって、
前記保持容量は、前記半導体層の第2の領域、該第2の領域に接した絶縁膜および該絶縁膜上の容量配線を有し、
前記駆動回路はpチャネル型TFTおよびnチャネル型TFTを有し、
前記駆動回路のnチャネル型TFTの半導体層は、チャネル形成領域、ソース領域およびドレイン領域、LDD領域、前記半導体層に接したゲート絶縁膜、該ゲート絶縁膜上のゲート電極を有し、該ゲート電極は、第1の導電層および第2の導電層を有し、
前記第2の導電層は、前記ゲート絶縁膜を介して前記LDD領域と重なるように形成され、前記容量配線と同じ材料からなり、
前記第2の領域に接した前記絶縁膜の膜厚及び前記第1の領域の前記ソース領域及び前記ドレイン領域に接した前記ゲート絶縁膜の膜厚は、前記第1の領域の前記チャネル形成領域に接した前記ゲート絶縁膜の膜厚よりも薄く、
前記ゲート絶縁膜は、前記ゲート電極の前記テーパー部の形状に沿うようなテーパー部を有し、
前記半導体層は、前記ゲート電極の前記テーパー部及び前記ゲート絶縁膜の前記テーパー部と重なる領域に、LDD領域を有し、
前記LDD領域の前記不純物元素の濃度は、前記ソース領域及び前記ドレイン領域より低く、かつ、前記チャネル形成領域に向かって徐々に低くなっていることを特徴とする半導体装置。 - 画素TFT及び保持容量を有する半導体装置の作製方法であって、
前記画素TFTの活性層と前記保持容量の下部電極とになる半導体層を形成し、
前記半導体層に接するように、前記画素TFTのゲート絶縁膜と前記保持容量の誘電体膜とになる絶縁膜を形成し、
前記絶縁膜上に前記画素TFTのゲート電極になる導電層を形成し、
前記導電層をエッチングしてテーパー部を有する前記ゲート電極を形成し、かつ、前記絶縁膜のうち前記ゲート電極が形成されていない領域をエッチングし膜厚を薄くして、前記ゲート電極の前記テーパー部の形状に沿うようなテーパー部を有する前記ゲート絶縁膜、及び、前記誘電体膜を形成し、
前記ゲート電極の前記テーパー部と前記ゲート絶縁膜と前記誘電体膜とを介して前記半導体層に不純物元素を添加して、前記ゲート電極と重なるチャネル形成領域と、前記ゲート電極の前記テーパー部及び前記ゲート絶縁膜の前記テーパー部に重なるLDD領域と、
前記ゲート電極と重ならないソース領域及びドレイン領域とを有する前記活性層、及び、
前記下部電極を形成し、
前記下部電極上に、前記誘電体膜を介して前記保持容量の上部電極を形成し、
前記不純物元素を添加する工程によって、前記LDD領域の前記不純物元素の濃度は、
前記ソース領域及び前記ドレイン領域より低く、かつ、前記チャネル形成領域に向かって徐々に低くなることを特徴とする半導体装置の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001017691A JP4939689B2 (ja) | 2000-01-26 | 2001-01-25 | 半導体装置およびその作製方法 |
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000017425 | 2000-01-26 | ||
JP2000017425 | 2000-01-26 | ||
JP2000-27597 | 2000-02-04 | ||
JP2000027597 | 2000-02-04 | ||
JP2000-17425 | 2000-02-04 | ||
JP2000027597 | 2000-02-04 | ||
JP2001017691A JP4939689B2 (ja) | 2000-01-26 | 2001-01-25 | 半導体装置およびその作製方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001290171A JP2001290171A (ja) | 2001-10-19 |
JP2001290171A5 JP2001290171A5 (ja) | 2008-03-13 |
JP4939689B2 true JP4939689B2 (ja) | 2012-05-30 |
Family
ID=27342141
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001017691A Expired - Fee Related JP4939689B2 (ja) | 2000-01-26 | 2001-01-25 | 半導体装置およびその作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4939689B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11271067B2 (en) | 2019-01-25 | 2022-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Conductive line for display device and display device including the same |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4402396B2 (ja) * | 2003-08-07 | 2010-01-20 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
JP2005093874A (ja) * | 2003-09-19 | 2005-04-07 | Seiko Epson Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP4413573B2 (ja) | 2003-10-16 | 2010-02-10 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及びその作製方法 |
JP2006098641A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Seiko Epson Corp | 薄膜半導体装置、電気光学装置、および電子機器 |
JP4301227B2 (ja) | 2005-09-15 | 2009-07-22 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法、電子機器並びにコンデンサー |
KR100830381B1 (ko) * | 2005-09-15 | 2008-05-20 | 세이코 엡슨 가부시키가이샤 | 전기 광학 장치와 그 제조 방법, 전자 기기, 및 콘덴서 |
JP4655943B2 (ja) | 2006-01-18 | 2011-03-23 | セイコーエプソン株式会社 | 電気光学装置及びその製造方法、並びに導電層の接続構造 |
JP2008122504A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | 表示装置とその製造方法 |
KR100886429B1 (ko) | 2007-05-14 | 2009-03-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 소자 및 제조방법 |
-
2001
- 2001-01-25 JP JP2001017691A patent/JP4939689B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11271067B2 (en) | 2019-01-25 | 2022-03-08 | Samsung Display Co., Ltd. | Conductive line for display device and display device including the same |
US11871628B2 (en) | 2019-01-25 | 2024-01-09 | Samsung Display Co., Ltd. | Method of manufacturing conductive line for display device including the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001290171A (ja) | 2001-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8957424B2 (en) | Electroluminescence display device | |
US7365386B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device | |
US9576981B2 (en) | Semiconductor device having a gate insulting film with thick portions aligned with a tapered gate electrode | |
US6992328B2 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
JP2001175198A (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP2006126855A (ja) | 表示装置 | |
JP4494369B2 (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2006293385A (ja) | 表示装置 | |
JP2006313363A (ja) | 表示装置 | |
JP4939689B2 (ja) | 半導体装置およびその作製方法 | |
JP4801249B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4076720B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4641586B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP4472082B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP2001053286A (ja) | 半導体膜およびその作製方法 | |
JP4700159B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 | |
JP5159005B2 (ja) | 半導体装置の作製方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080124 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080124 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110322 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110419 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110526 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20110920 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111109 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20111128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120221 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120227 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150302 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |