JP4936195B2

JP4936195B2 - 光透過性フィルムの欠陥検出装置

Info

Publication number: JP4936195B2
Application number: JP2008166589A
Authority: JP
Inventors: 満夫古川; 寛基渡辺; 応和青井
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2008-06-25
Filing date: 2008-06-25
Publication date: 2012-05-23
Anticipated expiration: 2028-06-25
Also published as: JP2010008171A

Description

本発明は、光学用途、建築用途、車載用途などの用途において、反射防止、飛散防止、熱線防止（遮断）、断熱、防汚、耐久性（保護）などの目的で使用される光透過性フィルム（光透過性を有するフィルム）の欠陥を検出するための装置に関する。

光学用途、建築用途、車載用途等に用いられる上記のような光透過性フィルムとしては、例えば、複数のコーティング層を備えることで波長透過特性が調整された反射防止フィルムが挙げられる。このような光透過性フィルムは、例えばプラズマディスプレイや液晶ディスプレイなどのディスプレイの表面に反射防止フィルターとして使用される。前記コーティング層は、例えば厚み１μｍ以下に形成される。

このようなコーティング層を備える光透過性フィルムの欠陥を検出するにあたっては、フィルムとコーティング層との間に異物が入り込んで生じる欠陥（核有り欠陥）については目視でも検出し得るが、コーティング層の厚みのばらつきによって周囲の色目とは微妙に違う部分が生じる欠陥（核無し欠陥）は、目視による検出がきわめて困難であり、目視検査では９０％ほどの不良を見逃してしまうこともある。

そこで従来、特許文献１に開示されているように、黒色のガイドローラの表面に位置する光透過性フィルムに対して、この光透過性フィルムに形成されたコーティング層の表裏面で反射した光が干渉するように照明をあて、その干渉模様を撮像することで欠陥を検出することが提案されている。この場合、核有り欠陥だけでなく核無し欠陥も検出されるようになる。

しかし、特許文献１に記載のような従来技術では、光透過性フィルムとガイドローラの外面との間に空気が介在することがあり、このため、光透過性フィルムからの反射光に欠陥の検出に不要な反射光も混在して欠陥の検出精度が低くなるという問題があった。
特開２００６−２０８１９６号公報

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、欠陥検出を高精度で行うことができる光透過性フィルムの欠陥検出装置を提供することを課題とする。

本発明に係る光透過性フィルムの欠陥検出装置は、検査対象である光透過性フィルムＡを搬送する搬送手段５、前記光透過性フィルムＡの一面Ａ１（表面）側からこの光透過性フィルムＡの外観を撮像する撮像部１、前記撮像部１で撮像される前記光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に配された観察用補助部材２、前記光透過性フィルムＡの他面Ａ２と前記観察用補助部材２との間に液体４を介在させることでこの前記光透過性フィルムＡと前記観察用補助部材２とを密着させる液体充填手段７、並びに撮像後の前記光透過性フィルムＡに付着している前記液体４を前記光透過性フィルムＡから除去する液体除去手段８を備え、前記液体除去手段８として、前記光透過性フィルムＡの他面Ａ２に向けて気流を噴射する気流式噴射手段９と、前記気流式噴射手段９により気流が噴射される前記光透過性フィルムＡの一面Ａ１側に配されるガイド押さえ１０とで構成される噴射式除去手段８ａを備え、前記光透過性フィルムＡは、前記ガイド押さえ１０の一側から搬送されてこのガイド押さえ１０の下方から他側に回り込むと共に前記他側で前記ガイド押さえ１０から離れて上方に搬送され、前記気流噴射手段９は、前記光透過性フィルムＡが前記ガイド押さえ１０から離れる位置に向けて気流を噴射するように設けられている。

このため、撮像部１による撮像時に液体４により光透過性フィルムＡを観察用補助部材２の表面に密着させ、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２と観察用補助部材２との間の空気を排除して、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２からの反射光を抑えることができ、欠陥の検出に不要な反射光の混在を減少して欠陥の検出精度を高くすることができるものであり、しかも検査後の光透過性フィルムＡに液体４が付着して残存することが防止されるものである。

また、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側がガイド押さえ１０によって支持された状態で、気流式噴射手段９で噴射された気流により光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着していた液体４が除去され、光透過性フィルムＡが気流によって揺動するようなことがなく、光透過性フィルムＡと気流式噴射手段９との位置関係が保持されて液体４が安定して除去されると共に、光透過性フィルムＡの一面Ａ１側はガイド押さえ１０によって保護されて、気流で吹き飛ばされた液体４が光透過性フィルムＡの一面Ａ１側に回り込んで付着するようなことが防止される。さらに、気流の噴射を受ける光透過性フィルムがガイド押さえによって安定して支持され、また、光透過性フィルムは気流の噴射位置から上方に向けて搬送されるため、気流によって吹き飛ばされた液体が光透過性フィルムに再付着しにくくなる。

また本発明では、前記液体除去手段８として、前記光透過性フィルムＡの他面Ａ２と接触することでこの光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着している液体４を転写除去する接触式除去手段８ｂを備えることも好ましい。

この場合、接触式除去手段８ｂによって光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着している液体４を除去することができる。

また本発明では、前記液体除去手段８で除去された液体４を回収する液体回収手段１１を備えることが好ましい。

この場合、液体回収手段１１で回収した液体４を液体充填手段７で再利用することができる。

本発明によれば、欠陥検出のための撮像時に液体により光透過性フィルムを観察用補助部材の表面に密着させることで欠陥検出を高精度で行うことができ、且つ前記光透過性フィルムに付着した液体を液体除去手段で除去することで、検査後の光透過性フィルムに液体が残存して付着することを防止することができるものである。

以下、本発明を実施するための最良の形態を説明する。

図１及び図２に示される本実施形態に係る欠陥検出装置は、光学用途、建築用途、車載用途などの用途において、反射防止、飛散防止、熱線防止（遮断）、断熱、防汚、耐久性向上（保護）などの目的で使用される光透過性フィルムＡ（光透過性を有するフィルム）Ａの欠陥を検出するために用いられる。光透過性フィルムＡとしては、例えば、液晶ディスプレイなどのディスプレイの反射防止フィルム（ＡＲフィルム）等として使用されるものが挙げられるが、これに限定されない。

この光透過性フィルムＡは、例えばポリエステルフィルムなどの合成樹脂製のベースフィルムの表面に、複数のコーティング層を積層して形成される。この光透過性フィルムＡの作製時には、コーティング層を形成するために塗布されるコーティング剤がゲル化し、このゲル化物が光透過性フィルムＡの一面Ａ１に異物として付着して欠陥が生じたり、ベースフィルムの表面におけるコンタミネーション（コンタミ）や異物の付着によるハジキ等によってコーティング剤の塗布不均一が生じて欠陥が生じることがある。本実施形態に係る欠陥検出装置は、前記のような欠陥を検出するために好適に用いられる。

欠陥検出装置は、図１に示すように、搬送手段５、撮像部１、観察用補助部材２、照明手段６、検出手段３、液体除去手段８、液体回収手段１１などを備える。

搬送手段５は長尺帯状（シート状）の光透過性フィルムＡを一定の速度で連続的に搬送するために設けられる。搬送手段５は、例えば光透過性フィルムＡをロール状に巻き付けた繰り出しドラム１２と、ドラム１２を回転駆動させて光透過性フィルムＡを順次繰り出すためのモータなどの駆動手段１３と、欠陥検出後の光透過性フィルムＡを巻き取るための巻き取りドラム１４とで構成される。

撮像部１は搬送手段５により一定の速度で連続的に搬送される帯状の光透過性フィルムＡの外観を一面Ａ１（表面）側から撮像するために設けられる。撮像部１として、例えば、ＣＣＤカメラなどで形成され、光透過性フィルムＡの外観を全幅にわたって撮像するラインカメラなどが用いられる。

照明手段６は撮像部１による撮像時に光透過性フィルムＡに一面Ａ１側から光を照射するために設けられる。照明手段６としては、例えば三波長蛍光灯などの照明具６ａと色調フィルター６ｂとの組み合わせが使用されるが、この他に照明手段６として赤色などの特定波長の光を照射する有色照明灯や、無色照明灯（白色照明灯）などが使用される。

観察用補助部材２は撮像部１による撮像時に光透過性フィルムＡの他面Ａ２（裏面）側に配置される。この観察用補助部材２が撮像時に光透過性フィルムＡを支持することで、光透過性フィルムＡにおける皺の発生が防止され、また撮像部１と光透過性フィルムＡとの間の位置決めがなされてピントずれの発生が防止される。観察用補助部材２は光透過性フィルムＡの上記他面Ａ２に接触しながら回転するローラで構成される。

液体充填手段７は、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に液体４を介在させることで、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とを密着させるために設けられる。前記液体４としては、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に容易に充填され、且つ光透過性フィルムＡの最終品質に影響を与えない適宜の液体４が使用される。このような液体４としては、例えば水（純水）、メチルエチルケトンなどの揮発性溶剤、エッセンシャルオイルなどの油脂系液体等が挙げられる。

本実施形態では、図２にも示されるように、液体充填手段７はロールで構成される観察用補助部材２と貯留容器１５で構成される。液体４は貯留容器１５に貯留され、この貯留容器１５内の液体４に観察用補助部材２の一部（下部）が浸漬している。

このように構成される液体充填手段７では、観察用補助部材２が回転すると、それに伴って観察用補助部材２の表面に液体４が供給され、更にこの観察用補助部材２が回転することで液体４が光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間に充填されて、この光透過性フィルムＡと観察用補助部材２とが液体４を介して密着する。このため、光透過性フィルムＡと観察用補助部材２との間への空気の侵入が抑制され、両者の間に隙間が生じることが抑制される。

前記貯留容器１５は、供給路１６を介して貯留槽１７に接続されている。この貯留槽１７には液体４が貯留され、液体充填手段７で使用される液体４が貯留槽１７から供給路１６を通じて貯留容器１５に供給されるようになっている。供給路１６にはポンプ１８が設けられ、このポンプ１８による圧送力により液体４が貯留容器１５に供給される。また供給路１６にはフィルタ１９が設けられ、液体４がこのフィルタ１９を通過することで濾過される。

前記貯留槽１７には、外部から貯留槽１７へ液体４を補給するための補給路２０が接続されており、この補給路２０には開閉弁２１及びフィルタ２２が設けられている。開閉弁２１は通常時は閉じているが、貯留槽１７内の液面位置を計測するレベルセンサ２３による計測結果に基づいて制御される。貯留槽１７から貯留容器１５へ液体４が供給されることによりレベルセンサ２３による計測結果が所定の値を下回ると開閉弁２１が開き、補給路２０を介して貯留槽１７に液体４が補給される。この液体４はフィルタ２２を通過することで濾過された後に貯留槽１７へ供給される。

尚、観察用補助部材２や液体充填手段７は上記構成に限られず、適宜の構造とすることができる。

上記観察用補助部材２の表面と液体４とは、少なくとも一方が黒色などの有色であっても良い。この場合、光透過性フィルムＡを通過した光が観察用補助部材２や液体４で吸収され、この光が反射しにくくなる。その結果、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２からの反射光が抑制される。このとき、例えば観察用補助部材２の表面が塗装されるなどして黒色等の有色に着色される場合は無色透明な水等の液体４が使用され、液体４として顔料等を含有する黒色などの有色の液体４が使用される場合には観察用補助部材２の表面の色は特に制限を受けない。

検出手段３は撮像部１によって得られた画像から光透過性フィルムＡの欠陥を検出するために設けられる。検出手段３は例えばディスプレイを備えた汎用の電子計算機などで構成される。検出手段３は、例えば一般的に広く行われている画像処理により、撮像部１で得られた画像に演算処理を施したり、人が目視で確認したりすることにより、光透過性フィルムＡの欠陥を分析して検出することができるものが用いられる。

液体除去手段８は、撮像後の光透過性フィルムＡに付着している液体４を光透過性フィルムＡから除去するために設けられる。

この液体除去手段８は、例えば撮像後の光透過性フィルムＡの他面Ａ２に向けて気流を噴射する気流式噴射手段９と、この気流式噴射手段９から噴射された気流が吹き付けられる光透過性フィルムＡの一面Ａ１側に配されるガイド押さえ１０とで構成される。以下、この液体除去手段８を噴射式除去手段８ａという。ガイド押さえ１０は、例えばローラ等で構成される。また気流式噴射手段９は例えばエアーを噴射するエアノズルやエアブロア等で構成される。この気流式噴射手段９には外気から気流式噴射手段９へ気流を供給する二系統の通気路２４が接続されている。この各通気路２４には通気路２４内で気流を流通させるためのブロア２５と、通気路２４内の気流を清浄化するためのフィルタ２６がそれぞれ設けられている。

この場合、気流式噴射手段９で噴射された気流により光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着していた液体４が除去される。このとき光透過性フィルムＡの一面Ａ１がガイド押さえ１０によって支持されるため、光透過性フィルムＡが気流によって揺動するようなことがなく、光透過性フィルムＡと気流式噴射手段９との位置関係が保持されて液体４が安定して除去される。また、光透過性フィルムＡの一面Ａ１がガイド押さえ１０によって保護され、気流で吹き飛ばされた液体４が光透過性フィルムＡの一面Ａ１に回り込んで付着するようなことが防止される。

気流式噴射手段９、ガイド押さえ１０、及び光透過性フィルムＡのレイアウトは適宜設定される。本実施形態では、ガイド押さえ１０の一側から搬送される光透過性フィルムＡがガイド押さえ１０と接触しながらこのガイド押さえ１０の下方から他側に回り込み、更にこのガイド押さえ１０の他側でガイド押さえ１０から離れて上方に搬送される。気流式噴射手段９は、ガイド押さえ１０の他側におけるガイド押さえ１０と光透過性フィルムＡとが接触する位置であって、光透過性フィルムＡがガイド押さえ１０から離れる直前の位置に向けて、気流を噴射するように設けられている。この場合、気流の噴射を受ける光透過性フィルムＡがガイド押さえ１０によって安定して支持される。また光透過性フィルムＡは気流の噴射位置から上方に向けて搬送されるため、気流によって吹き飛ばされた液体４が光透過性フィルムＡに再付着しにくくなる。気流式噴射手段９による気流の噴射方向は、ガイド押さえ１０の径に沿った水平方向であって且つガイド押さえ１０から離れた光透過性フィルムＡの搬送方向と直交する方向（前記ガイド押さえ１０から離れた光透過性フィルムＡの搬送方向と気流の噴射方向とが成す角度θが直角となる方向；図４、６参照）であることが好ましく、或いは前記角θが搬送方向上流側に向けてやや鋭角となる方向であることが好ましい。また、気流式噴射手段９からは常温の気流が噴射されても良いが、熱風が噴射されても良く、その場合は気流によって液体４が吹き飛ばされるだけでなく、液体４が加熱されて粘度が低下し、液体４の除去効率が高くなる。また気流式噴射手段９における気流の噴射口と光透過性フィルムＡとの間の距離は近接していることが好ましく、例えばこの距離が２ｍｍとなるようにする。

また液体除去手段８として、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と接触することでこの光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着している液体４を転写除去するものが設けられても良い。以下、この液体除去手段８を接触式除去手段８ｂという。この接触式除去手段８ｂは例えば表面が液体４が付着しやすい材質で形成された接触ロール２７と、この接触ロール２７に付着した液体４を除去するドクターブレード２８で構成される。光透過性フィルムＡは例えば前記接触ロール２７の一側がわからこの接触ロール２７に向けて横方向に搬送され、この接触ロール２７に支持されて接触ロール２７の他側から下方に搬送されるように配置される。ドクターブレード２８は接触ロール２７の一側がわで接触ロール２７と接触するように配置される。この場合、光透過性フィルムＡが搬送されるのに伴って接触ロール２７が順回転し、光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着していた液体４が接触ロール２７の表面に転写される。この接触ロール２７に付着した液体４はドクターブレード２８によって掻き取られて接触ロール２７から除去される。この接触ロール２７の表面は適宜の材質で形成されるが、例えばこの接触ロール２７の表面がＳＵＳ３０４等のステンレス鋼材で形成され、且つこの表面の中心線平均粗さ（Ｒａ;ＪＩＳＢ０６０１：１９８２）が０．２５μｍ以下となるように鏡面仕上げされていることが好ましい。

また、液体除去手段８として、光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着している液体４を吸引除去するものが設けられても良い。例えば光透過性フィルムＡの他面Ａ２側に液体除去手段８として吸引ノズル２９を設け、光透過性フィルムＡに付着した液体４を非接触で吸引しても良い。以下、この液体除去手段８をノズル吸引除去手段８ｃという。吸引ノズル２９はブロア３０、ミストセパレータ３１及びフィルタ３２を備える排気路３３に接続されている。このため、吸引ノズル２９で吸引された液体４を含む気流はブロア３０によって圧送されて排気路３３内を流通し、ミストセパレータ３１で気流内の液体４の粒子が除去された後、フィルタ３２を通過して清浄化されて、外気に排出される。

このノズル吸引除去手段８ｃは、上記噴射式除去手段８ａと組み合わせて設けられても良い。例えば本実施形態のように吸引ノズル２９がガイド押さえ１０の下方に配置するなどして、吸引ノズル２９をガイド押さえ１０の近傍に配置すると、光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着している液体４を吸引するだけでなく、気流式噴射手段９によって吹き飛ばされた液体４も吸引し、光透過性フィルムＡへの液体４の再付着が防止される。

この吸引ノズル２９の吸引口は、ガイド押さえ１０の周面から３０〜１２０ｍｍ離れた位置に対向して設けられていることが好ましい。また、吸引ノズル２９からの気流の吸引量は、ノズル吸引除去手段８ｃにおける気流式噴射手段９からの気流の噴射量の４〜１２倍であることが好ましい。また、この吸引ノズル２９の吸引口の両側縁は、光透過性フィルムの幅方向の両側縁よりもそれぞれ外側方に２０ｍｍ以上突出していることが好ましく、この場合、気流式噴射手段９からの気流で吹き飛ばされた液体４が光透過性フィルムＡの一面Ａ１側に回り込んで付着するようなことが、更に確実に防止される。また、吸引ノズル２９の吸引口に更にフードを設ければ、液体４の飛散が更に確実に防止されると共に、液体４が吸引除去されるために必要とされる吸引ノズル２９からの気流の吸引量を低減することができる。

また、液体除去手段８をマスロール（登録商標）等の吸引ロールで構成し、この吸引ロールを光透過性フィルムＡの他面Ａ２に接触させることで、吸引ロールにて光透過性フィルムＡを支持しながら、この光透過性フィルムＡの他面Ａ２に付着した液体４を吸引除去しても良い。

欠陥検出装置には一つの液体除去手段８のみが設けられていても良いが、複数の液体除去手段８が設けられても良い。複数の液体除去手段８が設けられる場合は、本実施形態のように構成の異なる複数種の液体除去手段８が設けられても良い。本実施形態では、撮像後の光透過性フィルムＡの経路に、まず接触式除去手段８ｂが設けられ、その後段には上述のように噴射式除去手段８ａとノズル吸引除去手段８ｃとが組み合わせて設けられている。

液体回収手段１１は、液体除去手段８で光透過性フィルムＡから除去された液体４を回収して液体充填手段７で再利用するために設けられる。本実施形態では、接触式除去手段８ｂに対して、回収容器３６と返送路３７から構成される液体回収手段１１が設けられている。回収容器３６は接触ロール２７とドクターブレード２８の下方に設けられており、接触ロール２７及びドクターブレード２８から下方に落下する液体４が回収容器３６で受け止められる。返送路３７は回収容器と貯留槽１７とを接続しており、回収容器３６で回収された液体４が返送路３７を通じて貯留槽１７に送られて、再利用されるようになっている。貯留槽１７から液体充填手段７へ送られる液体４は供給路１６を流通する際にフィルタを通過して濾過されるため、回収された液体４が再利用される場合でも清浄な液体４が液体充填手段７で使用される。

また、撮像後、液体除去手段８により液体４が除去される前の光透過性フィルムＡから脱落する液体４を回収する回収手段を設け、この回収した液体４も再利用するようにしても良い。本実施形態では、回収手段として、液体充填手段７の貯留容器１５に対する光透過性フィルムＡの搬送方向側に、回収容器３８が設けられており、この回収容器３８は分岐路３９を介して返送路３７に接続されている。このため、撮像後、液体除去手段８により液体４が除去される前の光透過性フィルムＡから液体４が脱落しても、この液体４は回収容器３８で回収され、この回収された液体４は分岐路３９及び返送路３７を介して貯留槽１７に送られて、再利用される。

このような本実施形態に係る欠陥検査装置を用いた光透過性フィルムＡの欠陥の検出工程について説明する。

まず、駆動手段１３で繰り出しドラム１２を回転駆動することで、ドラム１２にロール状に巻かれた光透過性フィルムＡが順次繰り出され、一定の速度で巻き取りドラム１４にまで搬送される。この繰り出しドラム１２と巻き取りドラム１４との間で、光透過性フィルムＡが観察用補助部材２の表面（外面）に接触しながら搬送される。光透過性フィルムＡの搬送速度は撮像部１や搬送手段５の能力などに応じて適宜設定されるが、例えば、５〜３０００ｍ／分とすることができる。

光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２には液体充填手段７により液体４が供給され、この液体４を介して光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２とが接触する。この場合、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に液体４を滞留させるように充填したり、あるいは光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間で液体４を流通させるように充填したりすることができる。液体４を流通させる場合、光透過性フィルムＡの搬送方向と同方向に流通させる場合と反対方向に流通させる場合とがある。光透過性フィルムＡの搬送方向と同方向に液体４を流通させる場合は観察用補助部材２を光透過性フィルムＡの搬送方向と同方向に回転（正回転）するように駆動し、光透過性フィルムＡの搬送方向と反対方向に液体４を流通させる場合は観察用補助部材２を光透過性フィルムＡの搬送方向と反対方向に回転（逆回転）するように駆動する。観察用補助部材２の回転速度は液体４が光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２との間に十分に供給されるように、液体４の粘度や光透過性フィルムＡの搬送速度などに応じて適宜設定可能であるが、例えば、周速０．０５〜１００ｍ／分とすることができる。

上記のようにして搬送している光透過性フィルムＡに対して照明手段６で光を照射しながら、照明手段６で光が照射されている部分において光透過性フィルムＡの一面Ａ１を撮像部１で撮像する。次に、撮像部１で撮像した光透過性フィルムＡの一面Ａ１の画像を検出手段３に取り込んでその画像に基づいて欠陥を検出する。このとき光透過性フィルムＡを全長にわたって搬送することにより、光透過性フィルムＡの全体の欠陥を検出することができる。

上記の通り本実施形態では液体４を介して光透過性フィルムＡを観察用補助部材２の表面に密着させ、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２と観察用補助部材２との間の空気を排除するようにしている。従って、光透過性フィルムＡの観察用補助部材２側の他面Ａ２からの反射光を抑えることができる。つまり、図３（ａ）に示すように、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２の外面との隙間Ｓに液体４が介在せずに空気が存在している場合は、光透過性フィルムＡの一面Ａ１で反射する光Ｌ１と、光透過性フィルムＡを通過して他面Ａ２で反射する光Ｌ２とが生じ、これらの光Ｌ１、Ｌ２が混在して互いに干渉し合いながら撮像部１に入射するために、欠陥の検出精度が低くなるおそれがある。一方、図３（ｂ）に示すように、光透過性フィルムＡの他面Ａ２と観察用補助部材２の外面との隙間の空気を排除して液体４を介在している場合は、光透過性フィルムＡを通過した光Ｌ２は液体４の方に進んで観察用補助部材２に吸収されることになって光透過性フィルムＡの他面Ａ２で反射する光がほとんど生じない。従って、光透過性フィルムＡの一面Ａ１で反射する光Ｌ１が干渉されることなく撮像部１に入射し、欠陥の検出精度が高くなる。

また、撮像後の光透過性フィルムＡに付着している液体４は既述の通り液体除去手段８によって光透過性フィルムＡから除去されるため、撮像時に使用した液体４が光透過性フィルムＡに残存することが防止される。また、既述の通り液体除去手段８で除去された液体４が液体回収手段１１で回収されると、装置内で液体４が飛散することが防止され、更にこの液体４の再利用が可能となる。

また、本実施形態のように複数の液体除去手段８が設けられ、或いは更に複数種の液体除去手段８が設けられる場合には、光透過性フィルムＡからの液体４の除去効率が高くなってより確実に液体４が除去される。また光透過性フィルムＡの搬送速度が速い場合であっても液体４を確実に除去することが可能となり、光透過性フィルムＡの欠陥検査効率も向上する。

このような液体４の除去効率及び欠陥検査効率の向上について、実例を挙げて詳述する。図４では液体除去手段８として噴射式除去手段８ａのみが設けられ、図５では液体除去手段８として接触式除去手段８ｂと噴射式除去手段８ａが設けられ、図６は液体除去手段８として噴射式除去手段８ａと吸引除去手段とが組み合わせて設けられている。

図４では、直径１００ｍｍのロール状のガイド押さえ１０が設けられ、光透過性フィルムＡはこのガイド押さえ１０の一側から搬送される光透過性フィルムＡがガイド押さえ１０と接触しながらこのガイド押さえ１０の下方から他側に回り込み、更にこのガイド押さえ１０の他側でガイド押さえ１０から離れて鉛直上方に搬送されるようになっている。気流式噴射手段９としてはエアノズルが設けられ、このエアノズルはガイド押さえ１０の他側におけるガイド押さえ１０と光透過性フィルムＡとが接触する位置であって、光透過性フィルムＡがガイド押さえ１０から離れる寸前の位置に向けて、ガイド押さえ１０の径に沿った水平方向であって、且つガイド押さえ１０から離れた光透過性フィルムＡの搬送方向と直交する方向にエアを噴射するように設けられている。このエアノズルの噴射口と光透過性フィルムＡとの間は２ｍｍの間隔があけられている。

この図４に示す構成において、実際にこの光透過性フィルムＡの他面Ａ２に水を付着させ、この光透過性フィルムＡを搬送すると共にエアノズルからエアを噴射した。光透過性フィルムＡとして、厚み１５０μｍのＰＥＴフィルムからなるベースフィルムの一面側に厚み２０μｍのシロキサン系反射防止膜が積層して形成されたものを用いた。また光透過性フィルムＡの他面Ａ２への水の付着量は、ＰＥＴフィルムと水との表面張力によれば、３〜４０ｃｍ³／ｍ²の範囲となる。また、エアノズルからのエアの噴射条件は、風速１２０ｍ／分、風量０．８ｍ³／分、風温５６℃とした。光透過性フィルムＡの搬送速度は０．５ｍ／分から０．５ｍ／分刻みで増大させた。この場合、光透過性フィルムＡの搬送速度が１２．０ｍ／分以下であれば光透過性フィルムＡには水の残存は認められなかった。一方、この搬送速度が１２．５〜１４．５ｍ／分ではエアノズルにより塞き止められた水溜まりから時折噴霧水滴が搬送方向下流側に流れる現象が現れ始め、搬送速度が１５．０ｍ／分に達すると光透過性フィルムＡに若干の水の残存が認められるようになった。

また、図５では、図４に示すものと同一の噴射式除去手段８ａの前段に接触式除去手段８ｂを設けている。この接触式除去手段８ｂの接触ロール２７の表面はＳＵＳ３０４で形成され、且つこの表面の中心線平均粗さ（Ｒａ）が０．２５μｍ以下となるように鏡面仕上げされている。光透過性フィルムＡは水平方向に搬送された後、接触ロール２７に支持されて鉛直下方に搬送され、更に噴射式除去手段８ａのガイド押さえ１０に支持されるようにしている。また、接触式除去手段８ｂの接触ロール２７とドクターブレード２８の下方には水受け３４を配置している。

この図５に示す構成において、実際に光透過性フィルムＡの他面Ａ２に水を付着させた状態でこの光透過性フィルムＡを搬送すると共に噴射式除去手段８ａのエアノズルから上記と同一条件でエアを噴射した。また、光透過性フィルムＡの搬送速度は０．５ｍ／分から０．５ｍ／分刻みで増大させていった。この場合、光透過性フィルムＡの搬送速度が１８．０ｍ／分以下であれば光透過性フィルムＡには水の残存は認められず、図４の場合よりも水の除去効率が向上した。一方、この搬送速度が１８．５〜１９．５ｍ／分ではエアノズルにより塞き止められた水溜まりから時折噴霧水滴が搬送方向下流側に流れる現象が現れ始め、搬送速度が２０．０ｍ／分に達すると光透過性フィルムＡに若干の水の残存が認められるようになった。

また、図６では、図４に示すものと同一の噴射式除去手段８ａに、ノズル吸引除去手段８ｃを組み合わせている。このノズル吸引除去手段８ｃの吸引ノズル２９の吸引口は、ガイド押さえ１０の周面における、噴射式除去手段８ａのエアノズルによる噴射位置に対する中心角（ガイド押さえ１０の中心を基準とする中心角）が６０°〜１２０°に亘る範囲の部分と対向する位置に配置され、且つこの吸引口とガイド押さえ１０との間の寸法が３０〜１２０ｍｍの範囲に収まるように配置されている。また、ガイド押さえ１０の近傍には水の飛散の有無の確認のため、黒色板３５を配置している。

この図６に示す構成において、実際に光透過性フィルムＡの他面Ａ２に水を付着させた状態でこの光透過性フィルムＡを搬送すると共に噴射式除去手段８ａのエアノズルからの上記と同一条件でのエアの噴射と、吸引ノズル２９による吸引を行った。吸引ノズル２９によるエアの吸引量は８．０ｍ³／分とした。また、光透過性フィルムＡの搬送速度は６．０ｍ／分から１．５ｍ／分刻みで増大させていった。この場合、光透過性フィルムＡの搬送速度が２０．０ｍ／分に達しても、光透過性フィルムＡには水の残存は認められず、図４及び図５の場合よりも水の除去効率が向上した。また、黒色板３５には水滴の付着は認められず、水の飛散が防止されていることが確認された。

本発明の実施の形態の一例を示す概略図である。同上の実施の形態の一部を示す概略図である。（ａ）（ｂ）は本発明の作用を示す拡大した概略図である。液体除去手段の設置例を示す概略図である。液体除去手段の他の設置例を示す概略図である。液体除去手段の更に他の設置例を示す概略図である。

符号の説明

Ａ光透過性フィルム
Ａ１一面
Ａ２他面
１撮像部
２観察用補助部材
４液体
５搬送手段
７液体充填手段
８液体除去手段
８ａ噴射式除去手段
８ｂ接触式除去手段
９気流式噴射手段
１０ガイド押さえ

Claims

検査対象である光透過性フィルムを搬送する搬送手段、
前記光透過性フィルムの一面側からこの光透過性フィルムの外観を撮像する撮像部、
前記撮像部で撮像される前記光透過性フィルムの他面側に配された観察用補助部材、
前記光透過性フィルムの他面と前記観察用補助部材との間に液体を介在させることでこの前記光透過性フィルムと前記観察用補助部材とを密着させる液体充填手段、並びに
撮像後の前記光透過性フィルムに付着している前記液体を前記光透過性フィルムから除去する液体除去手段を備え、
前記液体除去手段として、前記光透過性フィルムの他面に向けて気流を噴射する気流式噴射手段と、前記気流式噴射手段により気流が噴射される前記光透過性フィルムの一面側に配されるガイド押さえとで構成される噴射式除去手段を備え、
前記光透過性フィルムは、前記ガイド押さえの一側から搬送されてこのガイド押さえの下方から他側に回り込むと共に前記他側で前記ガイド押さえから離れて上方に搬送され、
前記気流噴射手段は、前記光透過性フィルムが前記ガイド押さえから離れる位置に向けて気流を噴射するように設けられていることを特徴とする光透過性フィルムの欠陥検出装置。
前記液体除去手段として、前記光透過性フィルムの他面と接触することでこの光透過性フィルムの他面に付着している液体を転写除去する接触式除去手段を備えることを特徴とする請求項１に記載の光透過性フィルムの欠陥検出装置。
前記液体除去手段で除去された液体を回収する液体回収手段を備えることを特徴とする請求項１又は２に記載の光透過性フィルムの欠陥検出装置。