JP4932185B2 - ガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフ - Google Patents

Description

本発明は、ガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフに関する。

例えば液体クロマトグラフや半導体検査装置等の光源として採用される光源装置は、所定波長の光を出射するガス放電管と、このガス放電管の背面側に配置され可視光を出射する可視光源と、を具備しているものがある。このような光源装置に使用されるガス放電管にあっては、放電を発生させる陰極部及び陽極部を備え、この陽極部に、可視光源からの可視光を通過させる円形の開口が形成されている。そして、この陽極部に形成された開口は、この開口を通過した可視光が上記陽極部と陰極部との間の放電路を狭窄する放電狭窄用孔（放電路制限部）を通過可能な位置に配置されている。（例えば、特許文献１，２参照）。
特開昭５９−２１５６５４号公報 特開平５−１０９３８９号公報 特開２００１−３５２３８号公報

しかしながら、上記従来技術では、放電狭窄用孔を通過する可視光源からの光量を増やすべく陽極部の開口の径を、放電狭窄用孔の径に対して大きくすると、結果的に、放電狭窄用孔と陽極部の開口との間の距離が長くなり、放電の始動性が低下すると共に、陽極部の面積が小さくなり、陽極部の温度が上昇し、陽極部の消耗が増えて短寿命となるという問題があった。

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、放電の始動性を維持すると共に陽極部の寿命低下を防止しつつ、放電路制限部を通過する可視光源からの可視光の光量の増加させることが可能なガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフを提供することを目的とする。

本発明によるガス放電管は、ガスが封入された密封容器と、この密封容器内に配置され放電を発生させる陰極部及び開口部を有する陽極部と、陽極部と陰極部との間に配置され、陽極部と陰極部との間の放電路を狭窄する放電路制限部とを備え、密封容器外に光を出射するガス放電管において、陽極部の開口部は非円形状の穴であることを特徴としている。

また、本発明による光源装置は、上記ガス放電管と、このガス放電管の陽極部の開口部に向けて可視光を出射する可視光源とを備えたことを特徴としている。

また、本発明による液体クロマトグラフは、上記光源装置を備えたことを特徴としている。

このようなガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフによれば、陽極部に形成された開口部は非円形状の穴であるため、開口長さＬを従前の径より長くし、開口幅Ｗを従前の径と同じとすることができる。このように、開口長さＬを従前の径より長くすることで、ガス放電管の陽極部の開口部を通過する可視光源からの当該可視光の光量を増加させることができ、開口幅Ｗを従前の径と同じとすることで、放電の始動性を維持すると共に陽極部の寿命低下を防止することができる。なお、ここでいう「非円形状の穴」とは、長穴、楕円形状の穴、矩形形状の穴、正方形形状の穴、ひし形形状の穴、異形穴、平行四辺形形状の穴、その他の多角形形状の穴、及びこれらを組み合わせた形状の穴を含むものとする。要は、「開口部」は、ガス放電管の出射光の光軸Ｘ方向から視た投影図の形状が上記形状であればよい。また、ここでいう「開口長さＬ」、「開口幅Ｗ」とは、陽極部の開口部を形成し光軸Ｘに垂直な面内において対向する周縁部分間の距離（対面視における直線距離）及びこれを示す線分であって、開口部の軸心を通るものをいう。また、「開口長さＬ」は「開口幅Ｗ」より長いものである。

ここで、陽極部の開口部における直交する２つの径のうち、一方の径が他方の径より短くされていると、他方の径（例えば開口長さＬ）を従前の径より長くし、一方の径（例えば開口幅Ｗ）を従前の径と同じとすることができる。なお、ここでいう「径」とは、陽極部の開口部を形成し光軸Ｘに垂直な面内において対向する周縁部分間の距離（対面視における直線距離）及びこれを示す線分であって、開口部の軸心を通るものをいう。

また、陽極部は、開口部として長穴、楕円形状の穴、矩形形状の穴のうちの何れかを有していると、開口部の面積を抑えつつ、他方の径を従前の径より大きくすることができるため、陽極部の面積を増やし電流容量を増加させることができ、放電の始動性を向上させることができる。また、このように、陽極部の面積を増やすことができるため、熱容量が増加して陽極部の寿命特性を向上させることが可能とされる。なお、ここでいう「長穴」とは、この開口部を形成する周縁部分において互いに平行な直線部を開口長さＬ方向に有する開口部をいう。すなわち、この直線部（平行部）間が、短径（一方の径）の長さと等しくなる。これらの直線部の端部間を結ぶ周縁部分は、直線であってもよく、曲線（例えば円弧状）であっても良い。

また、密封容器の管軸方向と直交する方向に光を出射するサイドオン型のガス放電管であって、陽極部の長穴、楕円形状の穴、矩形形状の穴は、この開口部の他方の径である開口長さＬ（長径）が管軸方向Ｙに延びるように形成されていると、放電路制限部に対して長穴、楕円形状の穴、矩形形状の穴が管軸方向Ｙに多少ズレて配置されたとしても問題ないため、長穴、楕円形状の穴、矩形形状の穴と放電路制限部との位置決めが容易となり、ガス放電管の組立て効率を向上させることできる。ここで、「開口長さが管軸方向に延びる」とは開口長さと管軸が略同一の方向であることをいう。

本発明のガス放電管、光源装置及び液体クロマトグラフによれば、放電の始動性を維持すると共に陽極部の寿命低下を防止しつつ、放電路制限部を通過する可視光源からの可視光の光量の増加させることができる。

以下、本発明によるガス放電管を備えた光源装置の好適な実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、図面の説明において、同一または相当要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図１〜図４は、本発明の第１実施形態に係るガス放電管を示す各図、図５〜図８は、図４中の発光部組立体を示す各図、図９及び図１０は、図４中の放電路狭窄用孔及び長穴の位置関係を示す各図である。なお、以下の説明において、出射光の進行方向を「前方」と定め、「前」、「後」、「正面」、「背面」等の方向を表す語を用いることとし、「上」、「下」等の方向を示す語については各図の状態において言うものとする。

図１〜図４に示すガス放電管１０はサイドから紫外光（２００〜４００ｎｍ）を出射させるサイドオン型の重水素ランプであると同時に、後方から別の光を通過させ得るシースルータイプでもある。このようなガス放電管１０は、ガス放電管１０の後方に配置された別の光源から出射される光を、ガス放電管１０の前方に置かれた対象物に当てることができ、例えば、分析機器や半導体検査装置等の光源として使用されるものである。このガス放電管１０は、重水素ガスが数百Ｐａ程度封入されたガラス製の密封容器１１を具備し、この密封容器１１内に、図４に示すように、陽極部１２及び陰極部１３を有し紫外光を発光させる発光部組立体１４を収容している。

密封容器１１は、図１〜図３に示すように、一端（図示上端）側を封止した円筒状の側管部１５と、この側管部１５の他端側を封止するステム部１６とからなり、側管部１５の一部が光出射窓１７（図４参照）として利用されている。

ステム部１６には、複数（本実施形態では７本）の導電性のステムピン１８ａ〜１８ｇが各々挿通されて密封固定されている。そして、このステムピン１８ａ〜１８ｇは、管軸方向Ｙ（側管の軸線方向；図示上下方向）に沿って延在している。また、図５に示すように、ステムピン１８ｄ〜１８ｆの先端部には、段差２８ａ〜２８ｃが設けられている。この段差２８ａ〜２８ｃは、ステムピン１８ｄ〜１８ｆの先端部に接続される陽極部１２及び後述する導電板２７の後方に延びる腕部２７ａ，２７ａを段差２８ａ〜２８ｃに押し当てて、管軸方向Ｙの位置合わせに利用される。

発光部組立体１４は、アーク放電を発生させて紫外光を発生させるためのもので、図４に示すように、放電に寄与する熱電子を発生させる陰極部１３及びこの陰極部１３からの熱電子を受容する陽極部１２の他に、陽極部１２を収容する陽極部収容空間２１を形成するベース部材２２及び放電路制限部支持部材２３、この放電路制限部支持部材２３の前面側に配置され、紫外光が通過する光通過口２４ａが形成されたフロントカバー２４を具備している。そして、陰極部１３は、図１に示すステムピン１８ａ，１８ｃによって外部電源に電気的に接続されている。

ベース部材２２及び放電路制限部支持部材２３は、電気絶縁性を有するセラミックス等から形成されている。放電路制限部支持部材２３は、図４及び図５に示すように板状を成し、その背面側に陽極部収容空間２１を構成する凹部が形成されている。この凹部の中央には、開口２３ａが形成され、この開口２３ａ内に陰極部１３と陽極部１２との間の放電路を制限する放電路制限部２６が配置されている。また、放電路制限部支持部材２３には管軸方向Ｙに延びる開口２３ｂ，２３ｂが形成され、この開口２３ｂ，２３ｂにステムピン１８ｂ，１８ｃが各々挿通されている。

放電路制限部２６は、例えば、モリブデン、タングステン、あるいはこれらからなる合金等の金属から形成されて導電性を有している。また、放電路制限部２６は、円筒形状を有し、その貫通孔は、図８及び図９に示すように、放電路を狭窄する放電路狭窄用孔（直径約０．５ｍｍ）２６ａと、アークボール形成用の円錐部２６ｂとを備えている。この放電路制限部２６の背面には、図４及び図８に示すように導電板２７が電気的に接続され、この導電板２７は、図４及び図５に示すように、ステムピン１８ｅ，１８ｆに電気的に接続されると共に、陽極部収容空間２１内に収容されている。

ベース部材２２は、放電路制限部支持部材２３の背面に固定され、図４に示すように板状を成し、その正面側に陽極部収容空間２１を構成する凹部が形成されて、この凹部の中央には、図３及び図４に示すように、背面側と連通する開口２２ａが形成されている。この開口２２ａは、ガス放電管１０の後方に配置された別の光源から出射された光を通過可能とするものである。そして、図４に示すように、ベース部材２２に形成された開口２２ａ、陽極部１２に形成された長穴（後述する）１２ａ、放電路制限部２６に形成された放電路狭窄用孔２６ａ及び円錐部２６ｂ、フロントカバー２４に形成された光通過口２４ａは、同軸上に配置されている。

陽極部１２は、図４〜図７に示すように、板状を成し、ステムピン１８ｄにより支持されて管軸方向Ｙに延在している。ここで板状の陽極部１２はガス放電管１０の出射光の光軸Ｘと略直交するように配置され、この陽極部１２の中央には、上記した長穴１２ａが開口され、その長径Ｄ２が管軸方向Ｙに延びるように形成されている。なお、長穴１２ａの光軸Ｘに垂直な面における開口形状は光軸Ｘ方向において一様である。以下、図１０に示すように、長穴１２ａの短い方の径（一方の径；開口幅Ｗ１）を短径Ｄ１とし、この短径Ｄ１に直交する長い方の径（他方の径；開口長さＬ１）を長径Ｄ２という。そして、短径Ｄ１の長さは、従前の径と略同じとされ、長径Ｄ２の長さは、従前の径より長く形成されている。ここで、短径Ｄ１及び長径Ｄ２は、光軸Ｘに垂直な面に形成され、互いに直交している。また、長穴１２ａは、その周縁部分において互いに平行な直線部１２ｃ、１２ｃを開口長さＬ１方向に有している。そして、直線部１２ｃ，１２ｃの端部間を結ぶ周縁部分１２ｄ，１２ｄは外方に頂部１２ｅ，１２ｅを有する円弧状とされている。

次に、図５、図７〜図１０を参照して、陽極部１２の長穴１２ａと放電路制限部２６の放電路狭窄用孔２６ａとの位置合わせについて説明する。先ず、図５及び図８に示すように、放電路制限部２６の背面に導電板２７を固定し、図５及び図７に示すように、放電路制限部２６を放電路制限部支持部材２３の開口２３ａに配置し、放電路制限部支持部材２３と導電板２７とを固定する。一方、陽極部１２を、その長穴１２ａが管軸方向Ｙに沿うように、ステムピン１８ｄの先端に陽極部１２の下端が段差２８ａに当接するようにして固定する。

次に、放電路制限部支持部材２３の開口２３ｂ，２３ｂにステムピン１８ｂ，１８ｃを挿通し、導電板２７の腕部２７ａ，２７ａの側面にステムピン１８ｅ，１８ｆを当接させると共に腕部２７ａ，２７ａの下端を段差２８ｂ，２８ｃに当接させ、放電路制限部支持部材２３と共に、放電路制限部２６及び導電板２７を所定の位置に配置して、放電路狭窄用孔２６ａと長穴１２ａの軸心が略同軸上に位置するようにする。なお、図９に示す放電路制限部２６と陽極部１２との距離Ｄ３は、約１ｍｍとされている。ここで、長穴１２ａが管軸方向Ｙに位置ズレを生じていたとしても、放電路狭窄用孔２６ａが背面視（正面視）において、長穴１２ａと重なる位置であれば問題は生じない。すなわち、長穴１２ａにより管軸方向Ｙのズレが許容される。なお、図１０中において、仮想線で示す１２ａは、長穴１２ａが管軸方向Ｙに位置ズレを生じても問題のない範囲Ｒを示している。

次に、上述したガス放電管１０の動作について説明する。まず、放電前の２０秒程度の間に陰極用外部電源（図示せず）からステムピン１８ａ，１８ｃを介して１０Ｗ前後の電力を陰極部１３に供給して、陰極部１３を構成するコイルを予熱させる。次いで、陰極部１３と陽極部１２との間に主放電用外部電源（図示せず）からステムピン１８ｄを介して１６０Ｖ程度の電圧を印加して、アーク放電の準備を整える。

その後、トリガ用外部電源（図示せず）から放電路制限部２６と陽極部１２との間にステムピン１８ｄ〜１８ｆを介して所定の電圧、例えば３５０Ｖ程度の電圧を印加する。すると、陰極部１３と陽極部１２との間で始動放電が発生し、その後、主放電用外部電源による主放電（アーク放電）が発生し、紫外光が光出射窓１７を通して出射される。

ここで、本実施形態のガス放電管１０では、上述したように陽極部１２に長穴１２ａが形成され、直交する２つの径Ｄ１，Ｄ２のうち、一方の径Ｄ１が他方の径Ｄ２より短くされているため、他方のＤ２を従前の径より大きくし、一方の径Ｄ１を従前の径と同じとすることができる。このように、他方の径Ｄ２を従前の径より大きくすることで、可視光源より出射されガス放電管１０の陽極部１２の長穴１２ａを通過する可視光源の当該可視光の光量を増加させることができ、一方の径Ｄ１を従前の径と同じとすることで、放電の始動性を維持すると共に陽極部１２の寿命低下を防止することができる。

また、陽極部１２は、開口部として長穴１２ａを有しているため、開口部の面積を抑えつつ、他方の径を従前の径より大きくすることができ、陽極部１２の面積を増やし電流容量を増加させることができる。これにより、放電の始動性を向上させることができる。また、陽極部１２の面積を増やすことができるため、熱容量を増加して陽極部１２の寿命特性を向上させることが可能とされる。

また、ガス放電管１０は、密封容器１１の管軸方向Ｙと直交する方向に光を出射するサイドオン型のガス放電管であって、陽極部１２の長穴１２ａは、その長径Ｄ２が管軸方向Ｙに延びるように形成されているため、放電路制限部２６の放電路狭窄用孔２６ａに対して長穴１２が管軸方向Ｙに多少ズレて配置されたとしても問題ないため、長穴１２ａと放電路制限部１６との位置決めが容易となり、発光部組立体１４の組立効率を向上させることができる。

次に、第１実施形態のガス放電管１０を備えた光源装置４０を、本発明の第２実施形態として説明する。図１１に示すように、この光源装置４０は、極めてコンパクトで軽量な持ち運びに便利なポータブル型の光源装置である。この光源装置４０は直方体形状のスチール製筺体４１を有し、この筺体４１内にガス放電管１０と、このガス放電管１０の背面側（図示右側）に配置され可視光を出射するタングステンランプ８５と、これらのガス放電管１０及びタングステンランプ８５に電力を供給する電源４４と、を収容している。

ガス放電管１０は、アルミ製のランプボックス５０内に収容され、このランプボックス５０は、筐体４１の前部側（図示左側）に配置され、筐体４１の底面板４１ａにネジ止め固定されている。そして、ガス放電管１０は、そのステム部１６が上方となるように、配置されている。

ランプボックス５０の正面側の前壁５０ａには、ガス放電管１０の光通過口２４ａ（図２参照）に対応する位置に出射光を通過させる開口５０ｂが形成され、この開口５０ｂには、集光レンズ８０が配置されている。また、前壁５０ａの正面には、開口５０ｂに対応する位置に、出射光を通過させる筒状の導光筒７０が設けられ、この導光筒７０は、前方に向かって延在している。そして、ガス放電管１０から出射された紫外光は、集光レンズ８０を通過し、筐体４１外へ出射される。

ランプボックス５０の背面側の後壁５０ｃには、ガス放電管１０の開口２２ａ（図３参照）に対応する位置に開口５０ｄが形成され、この開口５０ｄには、後方に向かって延在し、タングステンランプ８５を収容するランプ収容筒８２が差し込まれている。このランプ収容筒８２の後端部には、タングステンランプ８５が配置され、ランプ収容筒８２の前端部には、集光レンズ８４が配置されている。そして、タングステンランプ８５から出射された可視光は、集光レンズ８４、ガス放電管１０、集光レンズ８０を通過し、ガス放電管１０から出射された紫外光と同じ経路を通り筐体４１外に出射される。

このような光源装置４０では、ガス放電管１０及びタングステンランプ８５を備えているため、ガス放電管１０からの紫外光、タングステンランプ８５からの可視光、これらの光を組み合わせた出射光を発生させることができる。また、シースルータイプのガス放電管１０を採用しているため、光学系を省略することができ、小型化された光源装置４０を実現することが可能とされている。

このような本実施形態の光源装置４０にあっても、ガス放電管１０の陽極部１２に長穴１２ａが形成されているため、第１実施形態と同様に、放電の始動性を維持すると共に陽極部の寿命低下を防止しつつ、ガス放電管１０を通過する可視光源からの可視光の光量の増加させることができ、結果的に光源装置４０全体としての出射光量を増加させることができる。

なお、上記第２実施形態において、可視光源として、タングステンランプ８５を備える構成としているが、ハロゲンランプを始めとしたその他の可視光源であってもよい。

次に、第２実施形態の光源装置４０を備えた液体クロマトグラフ１００を本発明の第３実施形態として説明する。図１２に示すように、この液体クロマトグラフ（紫外可視吸光検出器）１００は、例えば、有機化合物の分析等に用いられ、上記ガス放電管１０及びタングステンランプ８５を有する光源装置４０の他に、この光源装置４０からの出射光の波長を最適化するホロミウムオキサイドフィルタ１０１と、分析対象物を搭載したセル１０２と、このセル１０２を透過した光を回折させるスリット１０３と、このスリット１０３で回折された光を分光するグレーティング１０４と、このグレーティング１０４で分光された光を検出するフォトダイオード１０５とを備えている。スリット１０３は、プログラムにより制御されスペクトル分解能や感度を最適化することができ、フォトダイオード１０５は、アレイ状に並べられ多波長を同時に検出することができる。そして、このような液体クロマトグラフ１００では、従来に比して広範囲の波長（１９０ｎｍ〜９５０ｎｍ）での測定が可能とされ、信頼性の高い分析を行うことができる。

この第３の実施形態の液体クロマトグラフ１００にあっても、また、上記ガス放電管１０を備えているため、放電の始動性を維持すると共に陽極部の寿命低下を防止しつつ、ガス放電管１０を通過する可視光源からの可視光の光量の増加させることが可能とされている。

次に、本発明の第４実施形態に係るガス放電管について、図１３を参照しながら説明する。この第４実施形態のガス放電管が第１実施形態のガス放電管と違う点は、陽極部に形成された開口部の形状を変更した点であり、長穴１２ａが形成された陽極部１２に代えて、楕円形状の穴３２ａが形成された陽極部３２とした点である。楕円形状の穴３２ａの短い方の径（一方の径；開口幅Ｗ２）を短径Ｄ５とし、この短径Ｄ５に直交する長い方の径（他方の径；開口長さＬ２）を長径Ｄ６という。そして、短径Ｄ５の長さは、従前の径と略同じとされ、長径Ｄ６の長さは、従前の径より長く形成されている。ここで、短径Ｄ５及び長径Ｄ６は、光軸Ｘに垂直な面に形成され、互いに直交している。このように構成しても第１実施形態のガス放電管１０と同様な作用・効果を奏する。

次に、本発明の第５実施形態に係るガス放電管について、図１４及び図１５を参照しながら説明する。この第５実施形態のガス放電管が第１実施形態のガス放電管と違う点は、光軸Ｘ方向（板厚方向）に同一形状の開口部１２ａが形成された陽極部１２に代えて、光軸Ｘ方向において異なる形状の開口部３６ａ，３７ａが形成された陽極部３５とした点である。陽極部３５は、２枚の板材が貼り合わされて構成され、背面側を構成する陽極部本体３６と、正面側を構成する陽極部正面板３７と有し、陽極部本体３６がステムピン１８ｄにより支持されて管軸方向Ｙに延在している。ここで陽極部３５はガス放電管の光軸Ｘと直交するように配置され、陽極部本体３６の中央には、矩形形状の穴３６ａが形成されて、その長径Ｄ１２が管軸方向Ｙに延びるように形成されている。この矩形形状の穴３６ａの短い方の径（一方の径；開口幅Ｗ５）を短径Ｄ１１とし、この短径Ｄ１１に直交する長い方の径（他方の径；開口長さＬ５）を長径Ｄ１２とする。そして、短径Ｄ１１の長さは、従前の径と略同じとされ、長径Ｄ１２の長さは、従前の径より長く形成されている。ここで、短径Ｄ１１及び長径Ｄ１２は、光軸Ｘに垂直な面に形成され、互いに直交している。陽極部正面板３７の中央には、円形の開口部３７ａが形成されている。この円形の開口部３７ａは、矩形形状の穴３６ａと同軸となるように配置されている。円形の開口部３７ａの直径Ｄ１３は、矩形形状の穴３６ａの長径Ｄ１２より長くされている。

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態において、開口部として長穴１２ａ、楕円形状の穴３２ａ、矩形形状の穴３６ａが形成された陽極部１２，３２，３５を備えるガス放電管１０としているが、陽極部に形成される開口部は、上記長穴１２ａ、楕円形状の穴３２ａ、矩形形状の穴３６ａに限定されない。例えば、図１６に示すように、陽極部３３は、開口部として短径（一方の径；開口幅Ｗ３）Ｄ７及び長径（他方の径；開口長さＬ３）Ｄ８を有する開口部３３ａが形成された陽極部３３でも良い。この陽極部３３は、円形（直径は長径Ｄ８と同じ長さ）の開口に対し管軸方向Ｙに直交する方向の両側から軸心に向かって突出する矩形状の凸部３３ｂ，３３ｂを備えることで開口部３３ａが短径Ｄ７を有する構成とされている。（短径Ｄ７は長径Ｄ８より小さい。）また、図１７に示すように、陽極部３４は、開口部として短径（一方の径；開口幅Ｗ４）Ｄ９及び長径（他方の径；開口長さＬ４）Ｄ１０を有する開口部３４ａが形成された陽極部３４でも良い。この陽極部３４は、円形（直径は長径Ｄ１０と同じ長さ）の開口に対し管軸方向Ｙの両側から軸心に向かって突出する山型の凸部３４ｂ，３４ｂを備えることで開口部３４ａが短径Ｄ９を有する構成とされている。（短径Ｄ９は長径Ｄ１０より小さい。）

図１６及び図１７に示された陽極部においても、放電の始動性を低下させずに放電狭窄用孔を通過する可視光源からの可視光の光量を増加させることが可能である。特に、陽極部１２，３２，３５では、上述したように長穴（図１０参照）１２ａ，楕円形状の穴（図１３参照）３２ａ，矩形形状の穴（図１５参照）３６ａが形成され、開口部１２ａ，３２ａ，３６ａの短径（一方の径）を構成する周縁部分が長径（他方の径）方向に延在するため放電が分散されるため、放電始動性を良好に維持することができる。この点において、陽極部１２，３２，３５は、図１４及び図１５に示す陽極部３３，３４より優れている。

また、上記実施形態にあっては、ガス放電管は、サイドオン型のガス放電管１０としているが、ヘッドオン型のガス放電管であってもよい。なお、ヘッドオン型の場合、陽極部の開口部と可視光源との間にステム部が介在する構成であると、可視光源からの可視光を陽極部の開口部へ導く光学系が必要となる。

本発明の第１実施形態に係るガス放電管を示す斜視図である。 図１に示すガス放電管の正面図である。 図１に示すガス放電管の背面図である。 図２に示すガス放電管のＩＶ−ＩＶ矢視図である。 図４中の発光部組立体の放電路制限部支持部、放電制限部及び陽極部を背面側から示す分解斜視図である。 図４中の発光部組立体の放電路制限部支持部、放電制限部及び陽極部の正面図である。 図４中の発光部組立体の放電路制限部支持部、放電制限部及び陽極部の分解正面図である。 図４中の発光部組立体の放電制限部及び導電板の正面図である。 図４中の放電路狭窄用孔及び長穴の位置関係を示す縦断面図である。 図４中の放電路狭窄用孔及び長穴の位置関係を示す背面図である。 本発明の第２実施形態に係る光源装置を示す断面図である。 本発明の第３実施形態に係る液体クロマトグラフを示す概略構成図である。 本発明の第４実施形態に係るガス放電管の陽極部を示す正面図である。 本発明の第５実施形態に係るガス放電管の放電路狭窄用孔及び陽極部を示す断面図である。 図１４中のＸＶ−ＸＶ矢視図である 更に他の陽極部を示す正面図である。 更に他の陽極部を示す正面図である。

符号の説明

１０…ガス放電管、１１…密封容器、１２，３２，３３，３４，３５…陽極部、１２ａ…長穴、１３…陰極部、２６…放電路制限部、２６ａ…放電路狭窄用孔、３２ａ…楕円形状の穴、３６ａ…矩形形状の穴、４０…光源装置、８５…タングステンランプ（可視光源）、１００…液体クロマトグラフ、Ｄ１，Ｄ５，Ｄ７，Ｄ９，Ｄ１１…短径（一方の径；開口幅）、Ｄ２，Ｄ６，Ｄ８，Ｄ１０，Ｄ１２…長径（他方の径；開口長さ）、Ｙ…管軸方向。

Claims (6)

1. ガスが封入された密封容器と、この密封容器内に配置され放電を発生させる陰極部及び開口部を有する陽極部と、前記陽極部と前記陰極部との間に配置され、前記陽極部と前記陰極部との間の放電路を狭窄する放電路制限部とを備え、前記密封容器外に光を出射するガス放電管において、
   前記放電路制限部は、前記陽極部の前記開口部より光の出射方向の前方に配置され、前記放電路を狭窄する放電路狭窄用孔を有し、
   前記放電路狭窄用孔は、前記光の出射方向から見て前記開口部と重なる位置に配置され、
   前記陽極部の前記開口部は、非円形状の穴であることを特徴とするガス放電管。
2. 前記陽極部の前記開口部における直交する２つの径のうち、一方の径が他方の径より短くされていることを特徴とする請求項１記載のガス放電管。
3. 前記陽極部は、前記開口部として長穴、楕円形状の穴、矩形形状の穴のうちの何れかを有していることを特徴とする請求項２記載のガス放電管。
4. 前記密封容器の管軸方向と直交する方向に光を出射するサイドオン型のガス放電管であって、
   前記陽極部の前記長穴、前記楕円形状の穴、前記矩形形状の穴は、この開口部の前記他方の径である開口長さが前記管軸方向に延びるように形成されていることを特徴とする請求項３記載のガス放電管。
5. 請求項１〜４項の何れか一項に記載のガス放電管と、
   このガス放電管の前記陽極部の前記開口部に向けて可視光を出射する可視光源と、を備えた光源装置。
6. 請求項５記載の光源装置を備えた液体クロマトグラフ。

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