JP4931149B2 - 保持治具、一組の保持治具及び被粘着物保持装置 - Google Patents

Description

本発明は、保持治具、一組の保持治具及び被粘着物保持装置に関し、さらに詳しくは、被粘着物の形状が薄板状の直方体であっても、多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができる保持治具、並びに、一方の保持治具に粘着保持した多数の被粘着物を他方の保持治具に所望のように移し替えることができる一組の保持治具及び被粘着物保持装置に関する。

従来、例えば、チップコンデンサ等の小型部品等を製造する際等に、この小型部品等を製造可能な小型部品用部材等をその表面に粘着保持することのできる保持治具が用いられている。例えば、特許文献１に記載の保持治具は、「少なくとも表面部が粘着性を有するゴム弾性材で形成され、その粘着力により小型部品をその弾性材表面において密着保持可能であることを特徴とする」（特許文献１の請求項１参照）。

例えば、チップコンデンサを製造するには、チップコンデンサは角柱体又は円柱体等における軸線方向の両端部に電極を形成して成るから、チップコンデンサを製造する際に使用される保持治具には、その表面に粘着保持した、角柱体又は円柱体等の小型部品用部材の下端面に一方の電極を形成した後に、その小型部品用部材を前記保持治具から離脱し、次いで、電極を形成して成る端面を再び保持治具の表面に密着保持させる必要がある。この必要に応える発明として、例えば、特許文献２に記載された小型部品チップ用ホルダがある。この特許文献２に記載された小型部品チップ用ホルダは、「互いに対向する第１及び第２の端面を有する小型部品チップを保持するための小型部品チップ用ホルダにおいて、前記小型部品チップ用ホルダは、第１部材と第２部材とを含み、前記第１部材は、前記小型部品チップを保持するための第１の粘着面を備え、前記第２部材は、前記小型部品チップの前記第２の端面に粘着して前記小型部品チップを保持するための、前記第１の粘着面が与える粘着力よりも強い粘着力を与える第２の粘着面を備えることを特徴とする」（特許文献２の請求項１参照。）。

ところで、近年における電子機器の小型化及び高機能化の進展に伴い、チップコンデンサ等の小型部品のさらなる小型化へのニーズが益々高まっている。また、電子機器において使用される集積回路は、クロック周波数の高速化、低電圧化、及び大電流化へ向けて進展しており、このような進展傾向に対応するために、特に、集積回路に搭載されるデカップリングコンデンサにおいては、インダクタンスの低いことが必要とされる。このような要望に応える手段の１つとして、例えば、端子電極を従来のチップコンデンサにおける幅方向に形成する方法がある。つまり、これまでは角柱体（例えば、図９（Ａ）に示されるＬ×Ｗ×Ｔ（ｍｍ）が、約０．８×約１．６×約０．８（ｍｍ））の形状を有するチップコンデンサにおける、長軸方向の両端部に電極が形成されて成るチップコンデンサであったのに対し、チップコンデンサの低インダクタンス化と電子機器の小型化へのニーズとにより、チップコンデンサの低背化（別言すると、チップコンデンサの薄型化）が進んでいる。低背化されたチップコンデンサの一例として、図９（Ｂ）に示されるＬ×Ｗ×Ｔ（ｍｍ）が、約０．８×約１．７×約０．５（ｍｍ）のチップコンデンサが挙げられる。

したがって、このように低背化されたチップコンデンサを製造するのに適した保持治具が求められてきている。すなわち、例えば、従来の角柱体のチップコンデンサ用部材は、正方形の側面（図９（Ａ）において、電極７が形成される前の側面Ｓ_Ａに対応する。）を被粘着面として起立状態に粘着保持される。この被粘着面は、被粘着面に垂直な軸線、つまり図９（Ａ）におけるＷ方向に平行な中心軸線に対してＴ方向とＬ方向との長さが同じ正方形であるので、従来の角柱体のチップコンデンサ用部材は、その被粘着面におけるいずれの方向にも傾斜しにくく、また、転倒又は傾倒もしにくかった。これに対して、低背化されたチップコンデンサ用部材は、長方形の側面（図９（Ｂ）において、電極７が形成される前の側面Ｓ_Ｂに対応する。）を被粘着面として起立状態に粘着保持される。この被粘着面は、被粘着面に垂直な軸線、つまり図９（Ｂ）におけるＬ方向に平行な中心軸線に対してＷ方向とＴ方向との長さが異なる長方形であり、しかも、チップコンデンサの低背化が進む程その長方形の縦横比が大きくなるので、低背化されたチップコンデンサ用部材は、被粘着面における短辺方向、つまり図９（Ｂ）におけるＴ方向に傾斜しやすく、また、転倒又は傾倒しやすい。それ故、従来の保持治具では、例えば低背化されたチップコンデンサのような薄板状の直方体を成す複数の被粘着物を所望のように粘着保持することができなかった。

特公平７−９３２４７号公報 特許第２６８２２５０号明細書

この発明の課題は、被粘着物の形状が薄板状の直方体であっても、多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができる保持治具を提供すること、一方の保持治具に粘着保持した多数の被粘着物を他方の保持治具に所望のように移し替えることができる一組の保持治具を提供すること、及び、この一組の保持治具を備えた被粘着物保持装置を提供すること、にある。

前記課題を解決するための手段として、
請求項１は、治具本体と、前記治具本体における表面に形成されて成る中間弾性部材と、前記中間弾性部材における治具本体が形成されている面とは反対側の表面に形成されて成る粘着弾性部材とを備え、前記中間弾性部材は前記粘着弾性部材の硬度よりも小さく、かつ５〜２０のデュロメータＥ硬度を有し、前記粘着性弾性部材は０．３〜２ｍｍの範囲内であって前記中間弾性部材に対する厚さの比（粘着性弾性部材／中間弾性部材）が１〜２であることを特徴とする請求項１に記載の保持治具であり、
請求項２は、前記粘着性弾性部材は前記中間弾性部材に対する硬度の比（粘着性弾性部材／中間弾性部材）が１より大きく１６以下であることを特徴とする請求項１に記載の保持治具であり、
請求項３は、請求項１に記載の保持治具、及び、請求項１に記載の保持治具又は治具本体と前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材とを有する保持治具を備えている一組の保持治具であって、前記一組の保持治具のうちの一方の保持治具における粘着弾性部材は、他方の保持治具における粘着弾性部材よりも大きな粘着力を有していることを特徴とする一組の保持治具であり、
請求項４は、請求項３に記載の一組の保持治具を備えた被粘着物保持装置である。

本発明に係る保持治具は、治具本体と粘着弾性部材との間に中間弾性部材を有し、前記中間弾性部材は前記粘着弾性部材よりも小さな硬度を有しているので、保持治具に被粘着物を粘着保持する際に、被粘着物を保持治具に押圧したときに粘着弾性部材の押圧方向（厚さ方向）に生じる歪みを、中間弾性部材によって速やかに回復させることができる。したがって、粘着弾性部材の表面は、被粘着物の押圧前後において、その平滑さを維持することができるので、被粘着物の転倒又は傾倒を防止することができ、その結果、この発明に係る保持治具は多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができる。特に、被粘着物が低背化された低インダクタンスチップコンデンサ（以下においては、ＬＩＣＣと称する。）のように、転倒及び傾倒しやすい薄板状の直方体であっても、この発明に係る保持治具は、ＬＩＣＣの転倒及び傾倒を効果的に防止することができるから、従来の保持治具に比べて、より均一な起立状態で安定して粘着保持することができる。

また、この発明に係る一組の保持治具及び被粘着物保持装置は、この発明に係る保持治具を少なくとも１つ備えているから、粘着保持された多数の被粘着物を他の保持治具に移し替えるときに、保持治具に粘着保持された多数の被粘着物を他の保持治具に押圧しても、この発明に係る保持治具の中間弾性部材によって、粘着弾性部材の押圧方向（厚さ方向）に生じる歪みを速やかに回復させることができると共に、粘着弾性部材と被粘着物との間にかかる押圧力を効果的に吸収することができる。したがって、この発明に係る一組の保持治具及び被粘着物保持装置によれば、一方の保持治具に粘着保持された被粘着物の安定な粘着保持状態を維持しつつ被粘着物を他方の保持治具に移し替えることができると共に、必要以上の応力が被粘着物にかかることなく、すべての被粘着物を他の保持治具にほぼ均一に押圧することができるから、最初に被粘着物を粘着保持させた保持治具に多数の被粘着物のほとんどを残存させることなく、他の保持治具に多数の被粘着物を粘着保持させることができる。その結果、この発明に係る一組の保持治具及び被粘着物保持装置は、均一な起立状態で安定して、ほとんどすべての被粘着物を移し替えることができる。

したがって、この発明によれば、被粘着物の形状が薄板状の直方体であっても、多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができる保持治具、一方の保持治具に粘着保持した多数の被粘着物を他方の保持治具に所望のように移し替えることができる一組の保持治具、及び、この一組の保持治具を備えた被粘着物保持装置を提供することができる。

この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具を、図を参照して、説明する。この保持治具１は、図１に示されるように、治具本体２と、治具本体２における表面の少なくとも一部に形成されて成る中間弾性部材３と、中間弾性部材３における治具本体２が形成されている面とは反対側の表面に形成されて成る粘着弾性部材４とを有し、粘着弾性部材４の粘着力で被粘着物を保持することができる。

この発明における被粘着物は、この発明に係る保持治具に粘着保持されることにより、小型部品を製造することのできる小型部品用部材、例えば、小型器具用部材、小型機械要素用部材及び小型電子部品用部材等が挙げられる。また、小型部品の製造には小型部品の搬送工程等も含まれるから、被粘着物は、小型部品そのもの、例えば、小型器具、小型機械要素及び小型電子部品等も含まれる。したがって、この発明においては、小型部品と小型部品用部材とは明確に区別される必要はない。これら被粘着物の中でも、この発明に係る保持治具が粘着保持するのに好適な被粘着物として、小型電子部品及び／又は小型電子部品用部材等が挙げられる。小型電子部品及び小型電子部品用部材としては、例えば、コンデンサチップ（チップコンデンサとも称されることがある。）、インダクタチップ、抵抗体チップ等の完成品若しくは未完成品等、及び／又は、これらを製造可能な例えば、角柱体若しくは円柱体、一端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体、両端部に鍔を有する角柱体若しくは円柱体等が挙げられる。

この発明に係る保持治具は、例えば、このような小型電子部品及び／又は小型電子部品用部材の粘着保持用として好適である。特に、この発明に係る保持治具は、少なくとも二箇所に導電性ペーストを塗布する必要のある小型電子部品用部材の粘着保持用として、さらに好適である。

被粘着物に着目すると、従来のチップコンデンサ２４は、図９（Ａ）に示すように、底面Ｓ_Ａを正方形とする角柱体（例えば、Ｌ×Ｗ×Ｔ（ｍｍ）が０．８×１．６×０．８（ｍｍ））の長軸方向（Ｗ方向）の両端部に電極７が形成されているのに対し、図９（Ｂ）に示すように、ＬＩＣＣ２５は、薄型化した角柱体の長軸方向（Ｗ方向）に沿って、この角柱体における厚さ方向に垂直な断面の長辺方向（図９（Ｂ）のＬ方向）における両端部に電極７が形成されている。さらに、図９（Ｂ）に示すように、ＬＩＣＣの低インダクタンス化と電子機器の小型化へのニーズとにより、ＬＩＣＣ２５の低背化（例えば、Ｌ×Ｗ×Ｔ（ｍｍ）が０．８×１．７×０．５（ｍｍ））が進んでおり、このような低背化したＬＩＣＣ２５が実用化されつつある。そして、この発明に係る保持治具は、粘着弾性部材よりも小さな硬度の中間弾性部材を備えてなるから、前記したように、保持治具に被粘着物を粘着保持する際に、被粘着物を保持治具に押圧したときに粘着弾性部材の押圧方向（厚さ方向）及びこの押圧方向に垂直な方向（表面方向）に生じる歪みを中間弾性部材によって速やかに回復させることができ、その結果、多数の被粘着物を均一な起立状態で安定して粘着保持することができる。したがって、この発明に係る保持治具は、ＬＩＣＣ２５のように、形状が薄板状の直方体を有する小型電子部品用部材及び／又は小型電子部品の粘着保持用として特に好適である。

前記保持治具１における前記治具本体２は、後述する中間弾性部材３と粘着弾性部材４とを保持又は支持する。治具本体２は、中間弾性部材３と粘着弾性部材４とを保持又は支持することができる限り種々の設計変更に基づく各種の形態にすることができる。例えば、保持治具１における治具本体２は、図１に示されるように、方形を成す盤状体に形成されている。

治具本体２は、中間弾性部材３と粘着弾性部材４とを保持又は支持可能な厚さを有していればよいが、保持治具１の厚さを所定範囲に容易に調整することができる点で、治具本体２は平滑な表面を有しているのがよく、さらに、治具本体２は均一な厚さを有しているのがよい。

治具本体２は、中間弾性部材３を形成する面に、中間弾性部材３との密着性を向上させるために、プライマー処理、コロナ処理、エッチング処理及び／又はプラズマ処理等が施されるのが好ましい。

前記中間弾性部材３は、前記治具本体２と粘着弾性部材４との間であって治具本体２における表面の少なくとも一部に形成され、後述する粘着弾性部材４に生じる歪みを速やかに回復させる。例えば、中間弾性部材３は、図１に示されるように、方形の盤状体に成形される。

中間弾性部材３は、所望の厚さを有していればよいが、保持治具１の厚さを所定範囲に容易に調整することができる点で、前記中間弾性部材３は均一な厚さを有しているのがよい。

中間弾性部材３は、発泡体であってもよいし、未発泡体であってもよい。中間弾性部材３が発泡体である場合には、発泡体は、互いに他のセルに接することのない若しくは連通することのない状態（独立セル状態と称する。）であってもよく、他のセルに接し若しくは連通している状態（連通セル状態と称する。）であってもよく、又は、前記独立セル状態と前記連通セル状態とが共存する状態であってもよい。発泡体のセルは、その平均セル径が６０〜８００μｍであるのが好ましい。未発泡体により形成される中間弾性部材３に比べて発泡体により形成される中間弾性部材３は、平滑な表面を有することができないものの、セル径が前記範囲内であれば、中間弾性部材３の表面の粗さが粘着弾性部材４の表面の平滑さに影響を与えないように、粘着弾性部材４の厚さを適宜調整することにより、粘着弾性部材４の表面の平滑さを維持することができる。なお、例えば、粘着弾性部材４の厚さが薄く調整され、その表面平滑度が中間弾性部材３の表面の粗さに影響される場合には、中間弾性部材３は、平滑な表面を有しているのがよい。

この発明においては、発泡剤の発泡若しくは分解、又は、中空充填材の存在等によって中間弾性部材３の表面及び／又は内部に生じる中空領域をセルと称し、このセル径は、中間弾性部材３の表面又は任意の面で切断したときの切断面において、約２０ｍｍ^２の領域を電子顕微鏡等で観察し、観察視野内に存在する各セルにおける開口部の最大長さを測定して、測定された最大長さを算術平均して得られた平均長さを平均セル径として、求めることができる。

中間弾性部材３は、粘着弾性部材４よりも小さな硬度を有している。中間弾性部材３の硬度が粘着弾性部材４の硬度よりも小さいと、粘着弾性部材４に被粘着物を押圧したときに、粘着弾性部材４の押圧方向（厚さ方向）に生じる歪みを中間弾性部材３によって速やかに回復させることができ、粘着弾性部材４の表面は平滑さを維持することができる。したがって、保持治具１における粘着弾性部材４上に立設する多数の被粘着物が転倒又は傾倒することが防止され、均一な起立状態で保持治具１に保持されることができる。中間弾性部材３は、５〜２０のデュロメータＥ硬度（ＪＩＳ Ｋ６２５３）を有しているのが好ましく、５〜１８のデュロメータＥ硬度を有しているのが特に好ましい。中間弾性部材３が前記範囲のデュロメータＥ硬度を有していると、被粘着物の押圧前後における粘着弾性部材４の表面平滑度をより一層正確に維持することができる。

前記粘着弾性部材４は、前記中間弾性部材３における前記治具本体２が形成されている面とは反対側の表面の少なくとも一部に形成される。粘着弾性部材４は、多数の被粘着物を粘着により保持することができるように設計され、例えば、図１に示されるように、前記中間弾性部材３における表面の全体に方形の盤状体に成形されている。

粘着弾性部材４は、被粘着物を粘着保持することのできる粘着力を有している。具体的には、粘着弾性部材４は、通常、１〜５０ｇ／ｍｍ^２の粘着力を有しているのがよく、７〜５０ｇ／ｍｍ^２の粘着力を有しているのがよりよい。

ここで、粘着弾性部材４の粘着力は、以下のようにして求める。以下の粘着力の測定方法は、出願人により案出されたので、信越ポリマー法と称する。

まず、粘着弾性部材４を水平に固定する吸着固定装置（例えば、商品名：電磁チャック、ＫＥＴ−１５３０Ｂ、カネテック（株）製）又は真空吸引チャックプレート等と、測定部先端に、直径１０ｍｍの円柱を成したステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）製の接触子を取り付けたデジタルフォースゲージ（商品名：ＺＰ−５０Ｎ、（株）イマダ製）とを備えた荷重測定装置を用意する。次いで、この荷重測定装置における吸着固定装置又は真空吸引チャックプレート上に粘着弾性部材４を固定し、測定環境を２１±１℃、湿度５０±５％に設定する。次いで、２０ｍｍ／ｍｉｎの速度で粘着弾性部材４の被測定部位に接触するまで前記荷重測定装置に取り付けられた前記接触子を下降させ、次いで、この接触子を被測定部位に所定の荷重で被測定部に対して垂直に３秒間押圧する。ここで、前記所定の荷重を２５ｇ／ｍｍ^２に設定する。次いで、１８０ｍｍ／ｍｉｎの速度で前記接触子を被測定部位から引き離し、このときに前記デジタルフォースゲージにより測定される引き離し荷重を読み取る。この操作を、被測定部位の複数箇所で行い、得られる複数の引き離し荷重を算術平均し、得られる平均値を粘着弾性部材４の粘着力とする。なお、この測定方法は、手動で行ってもよいが、例えば、テストスタンド（例えば、商品名：ＶＥＲＴＩＣＡＬ ＭＯＤＥＬ ＭＯＴＯＲＩＺＥＤ ＳＴＡＮＤ シリーズ、（株）イマダ製）等の機器を用いて、自動で行ってもよい。

粘着弾性部材４は、所望の厚さを有していればよいが、保持治具１の厚さを所定範囲に容易に調整することができ、被粘着物を均一に粘着保持することができる点で、粘着弾性部材４は平滑な表面を有しているのがよく、さらに、粘着弾性部材４は均一な厚さを有しているのがよい。

粘着弾性部材４は、中間弾性部材３よりも大きな硬度を有している。粘着弾性部材４の硬度が中間弾性部材３よりも大きいと、粘着弾性部材４に被粘着物を押圧したときに、押圧方向（厚さ方向）に生じる歪みを、中間弾性部材３によって速やかに回復させることができ、粘着弾性部材４の表面は、被粘着物の押圧前後において、その平滑さを維持することができる。粘着弾性部材４の硬度（ＪＩＳ Ｋ６２５３［デュロメータＥ］）は、２１〜８０であるのが好ましく、３０〜７０であるのがより好ましい。粘着弾性部材４が前記硬度の範囲内にあると、粘着弾性部材４に被粘着物を押圧したときに、粘着弾性部材４の押圧方向（厚さ方向）に生じる歪みを、中間弾性部材３によって速やかに回復させることができ、被粘着物の押圧前後における粘着弾性部材４の表面の平滑度を、より一層正確に維持することができる。

粘着弾性部材４と中間弾性部材３との厚さの比（粘着弾性部材４／中間弾性部材３）は、０．１５〜６であるのが好ましく、０．２５〜２であるのがより好ましい。粘着弾性部材４と中間弾性部材３との厚さの比が前記範囲内にあると、粘着弾性部材４に被粘着物を押圧したときに、被粘着物が粘着弾性部材４にめり込み過ぎることなく、また、被粘着物が粘着弾性部材４にめり込むことにより歪が生じたとしても、この歪が速やかに回復して、粘着弾性部材４の表面は平滑さを維持することができる。したがって、保持治具１における粘着弾性部材４上に立設する多数の被粘着物が転倒又は傾倒することがほとんどなく、均一な起立状態で保持治具１に保持される。中間弾性部材３及び粘着弾性部材４それぞれは、前記厚さの比を満たすように、それらの厚さが調整されるのが好ましく、例えば、通常、０．３〜２ｍｍの範囲から適宜調整される。

粘着弾性部材４と中間弾性部材３とのデュロメータＥ硬度の比（粘着弾性部材４／中間弾性部材３）は、１より大きく１６以下であるのが好ましく、２以上５以下であるのがより好ましい。粘着弾性部材４と中間弾性部材３との硬度の比が前記範囲内にあると、粘着弾性部材４に被粘着物を押圧したときに、押圧方向（厚さ方向）に生じた粘着弾性部材４の歪みを、より一層速やかに回復させて、粘着弾性部材４の表面の平滑さを維持することができる。

前記治具本体２は、中間弾性部材及び粘着弾性部材を保持又は支持可能な材料で形成されればよく、例えば、ステンレス鋼及びアルミニウム等の金属製プレート、アルミニウム箔及び銅箔等の金属箔、ポリエステル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン及びポリ塩化ビニル等の樹脂フィルム又は樹脂板、和紙、合成紙及びポリエチレンラミネート紙等の紙、並びに、布、ガラス繊維及びガラス板等のセラミックス、並びに、ガラスエポキシ樹脂板等の複合材料等を挙げることができる。さらに、治具本体２として、シート状物を複数積層して成る積層体とすることもできる。治具本体２は、金属、樹脂又はセラミックスからなる硬質材料で形成されるのが好適である。

前記中間弾性部材３は、粘着弾性部材より小さな硬度を有する材料で形成されればよく、このような材料として、通常使用されるゴム組成物、例えば、発泡ゴム組成物及び液状ゴム組成物等を挙げることができる。

前記中間弾性部材３が発泡ゴム組成物により形成される場合には、この発泡ゴム組成物は、ゴムと、発泡剤又は中空充填材と、所望により各種添加剤等とを含有する組成物であればよく、例えば、独立セル状態のセルを形成することのできる発泡シリコーンゴム系組成物及び発泡ウレタンゴム系組成物等が好ましく挙げられる。特に、独立セル状態のセルを形成することのできる発泡シリコーンゴム系組成物は、耐久性及び耐残留歪み特性等に優れ、粘着弾性部材４との接着性の点からも好適なゴム組成物である。このような発泡シリコーンゴム系組成物として、付加反応型発泡シリコーンゴム組成物が特に好ましい。

付加反応型発泡シリコーンゴム組成物は、ビニル基含有シリコーン生ゴム（ア）と、シリカ系充填材（イ）と、発泡剤（ウ）と、付加反応架橋剤（エ）と、付加反応触媒（オ）と、反応制御剤（カ）とを含有し、所望により、さらに、有機過酸化物架橋剤と各種添加剤とを含有してもよい。

前記ビニル基含有シリコーン生ゴム（ア）は、例えば、ミラブル型シリコーンゴム、熱架橋シリコーンゴム（ＨＴＶ：Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｖｕｌｃａｎｉｚｉｎｇ）等が挙げられる。これらのビニル基含有シリコーン生ゴムは、後工程で、発泡剤及び付加反応架橋剤等をロールミル等で容易に混練りすることができるという特性を有し、一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記シリカ系充填材（イ）は、補強性を有する煙霧質シリカ又は沈降性シリカ等が挙げられ、一般式がＲＳｉ（ＯＲ’）_３で示されるシランカップリング剤で表面処理された、補強効果の高い表面処理シリカ系充填材が好ましい。ここで、前記一般式におけるＲは、グリシジル基、ビニル基、アミノプロピル基、メタクリロキシ基、Ｎ−フェニルアミノプロピル基又はメルカプト基等であり、前記一般式におけるＲ’はメチル基又はエチル基である。前記一般式で示されるシランカップリング剤は、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＢＭ１００３」及び「ＫＢＥ４０２」等として、容易に入手することができる。このようなシランカップリング剤で表面処理されたシリカ系充填材は、定法に従って、シリカ系充填材の表面を処理することにより、得られる。シリカ系充填材の配合量は、前記ビニル基含有シリコーン生ゴム１００質量部に対して、５〜１００質量部であるのがよい。シリカ系充填材は、一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記発泡剤（ウ）としては、従来、発泡ゴムに用いられる発泡剤であればよく、例えば、無機系発泡剤として、重炭酸ソーダ、炭酸アンモニウム等が挙げられ、有機系発泡剤として、ジアゾアミノ誘導体、アゾニトリル誘導体、アゾジカルボン酸誘導体等の有機アゾ化合物等が挙げられる。通常、ゴムに連続セルを形成する場合には無機系発泡剤が用いられ、独立セルを形成する場合には有機系発泡剤が用いられる。中間弾性部材３においては、発泡剤は、独立セル状態のセルを形成することができる点で、有機系発泡剤であるのがよく、具体的には、例えば、アゾジカルボン酸アミド、アゾビス−イソブチロニトリル等のアゾ化合物が好適に使用される。特に、ジメチル−１，１’−アゾビス（１−シクロヘキサンカルボキシレート）が好適に使用できる。発泡剤の配合量は、発泡剤の種類によって相違するが、中間弾性部材３のデュロメータＥ硬度が５〜２０となるように調整するのがよい。具体的には、例えば、前記ビニル基含有シリコーン生ゴム１００質量部に対して、３質量部以下であるのがよい。発泡剤は一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記付加反応架橋剤（エ）は、例えば、一分子中に２個以上のＳｉＨ基（ＳｉＨ結合）を有する付加反応型の架橋剤として公知のオルガノハイドロジェンポリシロキサンを使用することができる。このオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、直鎖状、環又は分枝状のいずれであってもよい。オルガノハイドロジェンポリシロキサンの配合量は、前記ビニル基含有シリコーン生ゴム１００質量部に対して、０．０１〜２０質量部であるのがよい。付加反応架橋剤は一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記付加反応触媒（オ）は、例えば、周期律表第９属又は第１０属の金属単体及びその化合物が挙げられ、より具体的には、シリカ、アルミナ又はシリカゲル等の担体上に吸着された微粒子状白金金属、塩化第二白金、塩化白金酸、塩化白金酸六水塩とオレフィン又はジビニルジメチルポリシロキサンとの錯体、塩化白金酸六水塩のアルコール溶液等の白金系触媒、パラジウム触媒、ロジウム触媒等が挙げられる。これら付加反応触媒の配合量は、触媒量で十分であり、通常、周期律表第９属又は第１０属の金属量に換算して、付加反応型発泡シリコーンゴム組成物全体に対して、１〜１，０００ｐｐｍであるのがよく、１０〜５００ｐｐｍであるのが特によい。付加反応触媒の配合量が、周期律表第９属又は第１０属の金属量に換算して、１ｐｐｍより少ないと、ビニル基含有シリコーン生ゴムの架橋反応が十分に進行せず、ビニル基含有シリコーン生ゴムの硬化が不十分となることがあり、一方、１，０００ｐｐｍを超えると、ビニル基含有シリコーン生ゴムの架橋反応を促進する能力が向上せず、かえって、経済性が低下することがある。付加反応触媒は一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記反応制御剤（カ）は、公知の反応制御剤を制限されることなく使用することができ、例えば、メチルビニルシクロテトラシロキサン、アセチレンアルコール類、シロキサン変性アセチレンアルコール、ハイドロパーオキサイド等が挙げられる。反応制御剤の配合量は、前記ビニル基含有シリコーン生ゴム１００質量部に対して０．１〜２質量部であるのがよい。反応制御剤は一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記有機過酸化物架橋剤は、単独でビニル基含有シリコーン生ゴムを架橋させることも可能であるが、付加反応架橋剤の補助架橋剤として併用すれば、シリコーンゴムの強度、歪み等の物性がより向上する。有機過酸化物架橋剤としては、例えば、ベンゾイルパーオキサイド、ビス−２,４−ジクロロベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド、２,５−ジメチル−２,５−ビス（ｔ−ブチルパーオキシ）ヘキサン等が挙げられる。有機過酸化物架橋剤の配合量は、前記ビニル基含有シリコーン生ゴム１００質量部に対して０．３〜１０質量部であるのがよい。有機過酸化物架橋剤は一種単独で又は二種以上を混合して用いることができる。

前記各種添加剤は、例えば、炭酸カルシウム等の充填材、着色剤、難燃性向上剤等の添加剤、離型剤、アルコキシシラン、ジフェニルシランジオール、カーボンファンクショナルシラン、両末端シラノール基封鎖低分子シロキサン等の分散剤、及び、得られるゴムの硬度を調整することのできる粉砕石英、珪藻土等の非補強性シリカ等が挙げられる。これらの各種添加剤は、所望の配合量で配合される。

前記ビニル基含有シリコーン生ゴム（ア）、前記シリカ系充填材（イ）及び前記各種添加剤を含有するシリコーンゴム組成物として、例えば、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＥシリーズ」及び「ＫＥＧシリーズ」等を容易に入手することができる。

ゴム組成物は、その比重は特に限定されないが、ゴム組成物の比重は中間弾性部材３の密度にもある程度影響を与えるから、要求される硬度に応じて、所定の比重に調整される。ゴム組成物の比重は、通常、１．００〜２．００であるのが好ましく、１．０５〜１．５０であるのがさらに好ましい。

前記ゴム組成物が発泡ゴム組成物である場合には、ゴム組成物は、二本ロール、三本ロール、ロールミル、バンバリーミキサ、ドウミキサ（ニーダー）等のゴム混練り機等を用いて、均一に混合されるまで、例えば、数分から数時間、好ましくは５分以上１時間以下にわたって、常温又は加熱下で混練して、得られる。

前記ゴム組成物として発泡ゴム組成物を用いて中間弾性部材３を形成する場合には、例えば、前記発泡ゴム組成物を、押出成形による連続加熱成形、プレス、インジェクションによる型成形等によって、１００〜４００℃で、数分以上１時間以下加熱成形することによって、製造される。

前記中間弾性部材が液状ゴム組成物により形成される場合には、この液状ゴム組成物を構成するゴムは、液状ゴムであればよく、例えば、シリコーンゴム若しくはシリコーン変性ゴム、ニトリルゴム、エチレンプロピレンゴム（エチレンプロピレンジエンゴムを含む。）、スチレンブタジエンゴム、ブタジエンゴム、イソプレンゴム、天然ゴム、アクリルゴム、クロロプレンゴム、ブチルゴム、エピクロールヒドリンゴム、ウレタンゴム、フッ素ゴム等の液状ゴムが挙げられる。これらのゴムは、付加硬化型であるのが、加熱成形時の寸法精度に優れる点で、好ましい。

液状ゴム組成物は、ゴムに加えて、通常、ゴム組成物に含有される各種添加剤を含有していてもよく、各種添加剤としては、例えば、加硫剤、加硫促進剤、加硫促進助剤、加硫遅延剤、分散剤、発泡剤、老化防止剤、酸化防止剤、充填材、顔料、着色剤、加工助剤、軟化剤、可塑剤、乳化剤、硬化剤、耐熱性向上剤、難燃性向上剤、受酸剤、熱伝導性向上剤、離型剤、溶剤等が挙げられる。これらの各種添加剤は、通常用いられる添加剤であってもよく、用途に応じて特別に用いられる添加剤であってもよい。

液状ゴム組成物は、特に、付加硬化型液状シリコーンゴム組成物であるのが、表面が平滑な中間弾性部材３を容易に成形することができる点及び粘着弾性部材４との接着性が良好である点等から、好ましい。液状ゴム組成物は、例えば、一分子中にケイ素原子と結合するアルケニル基を少なくとも２個含有するオルガノポリシロキサン（Ａ）と、一分子中にケイ素原子と結合する水素原子を少なくとも２個含有するオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）と、平均粒径が１〜３０μｍで、嵩密度が０．１〜０．５ｇ／ｃｍ^３である無機質充填材（Ｃ）と、付加反応触媒（Ｅ）とを含有する付加硬化型液状シリコーンゴム組成物が挙げられる。

前記オルガノポリシロキサン（Ａ）としては、平均組成式（１）Ｒ^１ _ａＳｉＯ_{（４−ａ）／２}で示される化合物が好適である。ここで、Ｒ^１は、互いに同一又は異種の炭素原子数１〜１０、好ましくは炭素原子数１〜８の非置換又は置換の一価炭化水素基であり、ａは１．５〜２．８、好ましくは１．８〜２．５、より好ましくは１．９５〜２．０２の範囲の正数である。

前記Ｒ^１は、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ペンチル基、ネオペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、オクチル基、ノニル基、デシル基等のアルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基、キシリル基、ナフチル基等のアリール基、ベンジル基、フェニルエチル基、β−フェニルプロピル基等のアラルキル基、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ヘキセニル基、シクロヘキセニル基、オクテニル基等のアルケニル基、並びに、これらの基の炭素原子に結合した水素原子の一部又は全部をハロゲン原子又はシアノ基等で置換したクロロメチル基、クロロプロピル基、ブロモエチル基、トリフルオロプロピル基及びシアノエチル基等が挙げられる。

Ｒ^１は、そのうちの少なくとも２個は、炭素原子数２〜８、好ましくは炭素原子数２〜６のアルケニル基、特にビニル基であるのが好ましく、また、その９０％以上がメチル基であるのが好ましい。前記アルケニル基の含有量は、オルガノポリシロキサン中１．０×１０^−６〜５．０×１０^−３ｍｏｌ／ｇ、特に５．０×１０^−６〜１．０×１０^−３ｍｏｌ／ｇであることが好ましい。アルケニル基の量が１．０×１０^−６ｍｏｌ／ｇより少ないと、架橋が不十分でゲル状になることがあり、一方、５．０×１０^−３ｍｏｌ／ｇを超えると、圧縮永久ひずみが低下することがあるだけでなく、架橋後のゴムが脆くなることがある。前記アルケニル基は、分子鎖末端のケイ素原子に結合していても、分子鎖内のケイ素原子に結合していても、また、両者のケイ素原子に結合していてもよい。

前記オルガノポリシロキサン（Ａ）は、基本的には、ジオルガノシロキサン単位を繰り返し単位とする主鎖に、トリオルガノシロキシ基が結合した分子鎖両末端を有する直鎖状構造を有するが、部分的に分岐状構造又は環状構造等となっていてもよい。

オルガノポリシロキサン（Ａ）の重合度については、室温（２５℃）で液状（例えば、２５℃での粘度が１００〜１，０００，０００ｍＰａ・ｓ、好ましくは２００〜１００，０００ｍＰａ・ｓ程度）であればよく、平均重合度が１００〜８００であるのが好ましく、１５０〜６００であるのが特に好ましい。平均重合度が１００未満であると、架橋後のゴム弾性が不十分となることがあり、一方、８００を超えると、オルガノポリシロキサン（Ａ）が生ゴム状になり、圧縮永久ひずみが低下することがある。

前記オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）は、平均組成式（２）Ｒ^２ _ｂＨ_ｃＳｉＯ_{（４−ｂ−ｃ）／２}で示され、一分子中に少なくとも２個、好ましくは３個以上（通常、３〜２００個）、より好ましくは３〜１００個の、ケイ素原子に結合した水素原子を有するものが好適に用いられる。このオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、その分子中に存在するケイ素原子に結合した水素原子が前記オルガノポリシロキサン（Ａ）のケイ素原子に結合したアルケニル基とヒドロシリル付加反応して、架橋する硬化剤（架橋剤）として作用する。

前記平均組成式（２）において、前記Ｒ^２は炭素原子数１〜１０の置換又は非置換の一価炭化水素基である。また、ｂは０．７〜２．１、ｃは０．００１〜１．０で、かつｂ＋ｃは０．８〜３．０を満足する正数である。前記Ｒ^２は、前記前記Ｒ^１と同様であるが、脂肪族不飽和基を有しないものが好ましい。また、ｂは好ましくは０．８〜２．０、ｃは好ましくは０．０１〜１．０、ｂ＋ｃは好ましくは１．０〜２．５を満足する正数であり、このオルガノハイドロジェンポリシロキサンは、直鎖状、環状、分岐状又は三次元網目状のいずれの構造であってもよい。前記（Ｂ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンは、一分子中のケイ素原子の数（又は重合度）が２〜３００個、特に４〜１５０個程度の室温（２５℃）で液状であるのが好ましい。なお、水素原子が結合するケイ素原子は、分子鎖末端、分子鎖内のいずれにあってもよく、両方にあってものであってもよい。

前記ケイ素原子に結合した水素原子（Ｓｉ−Ｈ）の含有量は、オルガノハイドロジェンポリシロキサン中０．００１〜０．０１７ｍｏｌ／ｇ、特に０．００２〜０．０１５ｍｏｌ／ｇとすることが好ましい。前記水素原子の含有量が０．００１ｍｏｌ／ｇ未満であると、架橋が不十分でゲル状になることがあり、一方、０．０１７ｍｏｌ／ｇを超えると、架橋密度が高くなりすぎて、架橋後のゴムが脆くなることがある。

このオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）としては、例えば、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンポリシロキサン、両末端トリメチルシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルポリシロキサン、両末端ジメチルハイドロジェンシロキシ基封鎖ジメチルシロキサン・メチルハイドロジェンシロキサン共重合体、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン共重合体、両末端トリメチルシロキシ基封鎖メチルハイドロジェンシロキサン・ジフェニルシロキサン・ジメチルシロキサン共重合体、（ＣＨ_３）_２ＨＳｉＯ_１／２単位とＳｉＯ_４／２単位とから成る共重合体、及び、（ＣＨ_３）_２ＨＳｉＯ_１／２単位とＳｉＯ_４／２単位と（Ｃ_６Ｈ_５）ＳｉＯ_３／２単位とから成る共重合体等が挙げられる。

オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）の配合量は、オルガノポリシロキサン（Ａ）１００質量部に対して０．１〜３０質量部であるのが好ましく、０．３〜２０質量部であるのが特に好ましい。前記配合量が０．１質量部未満であると、架橋が不十分でゲル状になり、ゴム状の硬化物を与えることができないことがあり、一方、３０質量部を越えると、硬化物の強度と耐圧縮永久ひずみが著しく低下することがある。また、オルガノポリシロキサン（Ａ）のアルケニル基に対するケイ素原子に結合した水素原子のモル比は、０．３〜５．０であるのが好ましく、０．５〜２．５であるのが特に好ましい。

前記無機質充填材（Ｃ）は、低圧縮永久ひずみで安定させるのに重要な成分である。無機質充填材は、平均粒径が１〜３０μｍ、好ましくは２〜２０μｍ、嵩密度が０．１〜０．５ｇ／ｃｍ^３、好ましくは０．１５〜０．４５ｇ／ｃｍ^３である。平均粒径が１μｍより小さいと歪が残り易くなることがあり、一方、３０μｍより大きいと中間弾性部材３の耐久性が低下することがある。また、嵩密度が０．１ｇ／ｃｍ^３より小さいと圧縮永久ひずみが悪化することがあり、一方、０．５μｍより大きいと中間弾性部材３の強度が不十分で耐久性が低下することがある。なお、平均粒径は、例えば、レーザー光回折法等による粒度分布測定装置を用いて、重量平均値（又はメジアン径）等として求めることができ、嵩密度は、ＪＩＳ Ｋ ６２２３の見かけ比重の測定方法に基づいて求めることができる。

このような無機質充填材としては、珪藻土、パーライト、マイカ、炭酸カルシウム、ガラスフレーク、及び、中空フィラー等が挙げられるが、中でも珪藻土、パーライト及び発泡パーライトの粉砕物が好ましい。

無機質充填材の配合量は、オルガノポリシロキサン（Ａ）１００質量部に対して５〜１００質量部であるのが好ましく、１０〜８０質量部であるのが特に好ましい。前記配合量が５質量部未満であると、十分なローラ耐久性が発現しないことがあり、一方、１００質量部を越えると、圧縮永久ひずみが低下すると共に、均一に配合することが困難になることがある。

また、無機質充填材（Ｃ）は、シラン系カップリング剤又はその部分加水分解物、アルキルアルコキシシラン又はその部分加水分解物、有機シラザン類、チタネート系カップリング剤、オルガノポリシロキサンオイル、加水分解性官能基含有オルガノポリシロキサン等により表面処理されてもよい。これらの表面処理は、無機質充填材自体を予め処理しても、又はオイルと無機質充填材との混合時に処理を行ってもよい。

無機質充填材（Ｃ）の混合方法は、常温でプラネタリーミキサー又はニーダー等の機器を用いて、前記オルガノポリシロキサン（Ａ）及び前記オルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｂ）と混合してもよいし、又は、１００〜２００℃の高温で混合してもよい。

なお、前記無機質充填材（Ｃ）以外にも、例えば、石英粉、球状シリカ、ヒュームドシリカ、沈降性シリカ、酸化チタン、アルミナ、水酸化アルミニウム等の無機粉体を、低圧縮永久ひずみ、経時で安定した体積抵抗率、ローラ耐久性を損なわない範囲で添加してもよい。特に圧縮永久ひずみ及び体積抵抗率の経時変化に影響が大きいヒュームドシリカ及び沈降性シリカは、前記オルガノポリシロキサン（Ａ）１００質量部に対して、８質量部以下、特に０〜５質量部を配合するのが好ましい。

前記付加反応触媒（Ｅ）としては、白金黒、塩化第二白金、塩化白金酸、塩化白金酸と一価アルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン類との錯体、白金ビスアセトアセテート、パラジウム系触媒、ロジウム系触媒等が挙げられる。なお、この付加反応触媒の配合量は触媒量とすることができ、例えば、白金族金属量として、前記オルガノポリシロキサン（Ａ）及びオルガノハイドロジェンポリシロキサン（Ｅ）の合計質量に対して、０．５〜１，０００ｐｐｍであるのが好ましく、１〜５００ｐｐｍ程度であるのが特に好ましい。

この付加硬化型液状シリコーンゴム組成物は、前記成分に加えて、低分子シロキサンエステル、シラノール、例えば、ジフェニルシランジオール等の分散剤、酸化鉄、酸化セリウム、オクチル酸鉄等の耐熱性向上剤、接着性及び成形加工性を向上させる各種カーボンファンクショナルシラン、難燃性を付与させるハロゲン化合物、各種反応制御剤等を本発明の目的を損なわない範囲で含有してもよい。

前記液状ゴム組成物及び前記付加硬化型液状シリコーンゴム組成物は、二本ローラ、三本ローラ、ロールミル、バンバリーミキサ、ドウミキサ（ニーダー）等のゴム混練り機等を用いて、ゴム及び所望により添加された各種添加剤等が均一に混合されるまで、例えば、数分から数時間、好ましくは５分〜１時間、常温又は加熱下で混練して、得られる。

前記液状ゴム組成物及び前記付加硬化型液状シリコーンゴム組成物は、金型に容易にかつ均質に注入することができる点で、例えば、２５℃において、５〜５００Ｐａ・ｓの粘度を有しているのがよく、１０〜２００Ｐａ・ｓの粘度を有しているのが特によい。前記液状ゴム組成物及び前記付加硬化型液状シリコーンゴム組成物の粘度は、通常、それらに含まれる各成分の種類及び／又は配合量によって、調整することができる。必要により、溶剤等により、粘度を調整することもできる。

前記ゴム組成物として液状ゴム組成物を用いて中間弾性部材３を形成する場合には、液状ゴム組成物を金型内に注入し、液状ゴム組成物が硬化可能な温度に加熱して成形される。液状ゴム組成物が硬化可能な温度は、液状ゴム組成物の種類等に応じて適宜選択されればよく、例えば、液状ゴム組成物として前記付加硬化型液状シリコーンゴム組成物を使用する場合は、加熱温度は１００〜３００℃、好ましくは１１０〜２００℃に設定することができる。加熱時間は、液状ゴム組成物の種類等に応じて適宜選択されればよく、例えば、液状ゴム組成物として前記付加硬化型液状シリコーンゴム組成物を使用する場合は、加熱時間は１分間以上１時間以下、好ましくは３〜３０分間に設定することができる。

前記粘着弾性部材４は、粘着弾性部材４に前記粘着力を付与することのできる粘着性材料、又は、この粘着性材料の硬化物で形成されていればよく、粘着材料として、例えば、フッ素系樹脂又はフッ素系ゴム、フッ素系樹脂又はフッ素系ゴムを含有するフッ素系組成物、シリコーン樹脂又はシリコーンゴム、シリコーン樹脂又はシリコーンゴムを含有するシリコーン組成物、ウレタン系エラストマー、天然ゴム、スチレン−ブタジエン共重合エラストマー等の各種エラストマー等が挙げられる。この中でも、シリコーンゴム、及び／又は、シリコーンゴムを含有する付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物及び過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物が好ましい。

前記付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物としては、シリコーン生ゴム（ａ）と、架橋成分（ｂ）と、粘着力向上剤（ｃ）と、触媒（ｄ）と、シリカ系充填材（ｅ）とを含有する粘着性組成物を挙げることができる。

前記シリコーン生ゴム（ａ）としては、（Ｒ_２ＳｉＯ_２／２）単位（Ｒは、炭化水素基を表す。）を含み、置換基を有していてもよいポリジメチルシロキサンの長鎖重合体等であればよく、例えば、付加反応により架橋可能なポリオルガノシロキサンを用いることができ、より具体的には、アルケニル基含有ポリオルガノシロキサンを用いることができ、特に、下記（１）式で示されるアルケニル基含有ポリオルガノシロキサンを好適に用いることができる。

Ｒ^１ _{（３−ａ）}Ｘ_ａＳｉＯ−（Ｒ^１ＸＳｉＯ）_ｍ−（Ｒ^１ _２ＳｉＯ）_ｎ−ＳｉＲ^１ _{（３−ｂ）}Ｘ_ｂ （１）式
ただし、（１）式中、Ｒ^１は脂肪族不飽和結合を有することのない１価の炭化水素基であり、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、Ｘはアルケニル含有有機基であり、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。また、ａは０〜３の整数、ｂは０〜３の整数、ｍは０以上の整数、ｎは１００以上の整数であり、ａ、ｂ及びｍは同時に０とはならない。

前記式（１）において、Ｒ^１としては、炭素数１〜１０の前記炭化水素基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖又は分岐アルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基等が挙げられ、特にメチル基、フェニル基が好ましい。また、Ｘで示されるアルケニル基含有有機基としては、炭素数２〜１０のアルケニル基含有有機基が好ましく、例えば、ビニル基、アリル基、ヘキセニル基、オクテニル基等の炭素二重結合含有炭化水素基、アクリロイルプロピル基、アクリロイルメチル基、メタクリロイルプロピル基、メタクリロイルメチル基等の(メタ)アクリロイルアルキル基、シクロヘキセニルメチル基、シクロヘキセニルエチル基、シクロヘキセニルプロピル基等のシクロアルケニルアルキル基、ビニルオキシプロピル基等を挙げることができる。

シリコーン生ゴム（ａ）は、オイル状、粘土状の性状を有していてもよく、その粘度は２５℃において５０ｍＰａ・ｓ以上であるのが好ましく、特に１００ｍＰａ・ｓ以上であるのが好ましい。

シリコーン生ゴム（ａ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。

前記架橋成分（ｂ）は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と架橋反応可能な成分であり、例えば、１分子中にＳｉ原子に結合したＨ原子を少なくとも２個以上、好ましくは３個以上有するＳｉＨ結合含有ポリオルガノシロキサン（以下、オルガノハイドロジェンポリシロキサンと称することもある。）を用いることができる。

このオルガノハイドロジェンポリシロキサンとしては、直鎖状、分枝状、環状のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの中から適宜に選択して使用することができ、例えば、下記（２）式又は（３）式で示されるオルガノハイドロジェンポリシロキサンを好適例として挙げることができる。

ＨｃＲ^１ _{（３−ｃ）}ＳｉＯ−（ＨＲ^１ＳｉＯ）_ｘ−（Ｒ^１ _２ＳｉＯ）_ｙ−ＳｉＲ^１ _{（３−ｄ）}Ｈ_ｄ （２）式

前記（２）式及び（３）式において、Ｒ^１は前記と同様の１価の炭化水素基であり、同一であっても異なっていてもよい。また、ｃ及びｄは０〜３の整数、ｘ、ｙ及びｓは０以上の整数、ｒは１以上の整数であり、ｃ、ｄ及びｘは同時に０とはならず、さらに、ｘ＋ｙ≧０である。また、ｒ＋ｓ≧３、好ましくは８≧ｒ＋ｓ≧３である。

これらのオルガノハイドロジェンポリシロキサンの中でも、オイル状の性状を有し、粘度が２５℃において１〜５０００ｍＰａ・ｓであるオルガノハイドロジェンポリシロキサンが好ましい。

架橋成分（ｂ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。

架橋成分（ｂ）の配合割合は、適宜に選択可能であるが、前記シリコーン生ゴム（ａ）がアルケニル基を含有すると共に、前記架橋成分（ｂ）がＳｉＨ結合を含有する場合には、シリコーン生ゴム（ａ）中のアルケニル基に対する架橋成分（ｂ）中のＳｉＨ結合のモル比が０．５〜２０であるのが好ましく、特に１〜１５の範囲であるのが好ましい。このモル比が０．５未満では、後述する硬化後の架橋密度が低くなり、粘着弾性部材４の形状を保持しにくくなることがある。一方、前記モル比が２０を超えると、粘着弾性部材４の粘着力が低下することがある。

前記粘着力向上剤（ｃ）は、粘着力を向上するために配合される成分であり、例えば、ポリオルガノシロキサンを用いることができ、特に、Ｒ^２ _３ＳｉＯ_１／２単位及びＳｉＯ_２単位（ただし、Ｒ^２は脂肪族不飽和結合を有しない１価の炭化水素基である。）を含有するものを好適に用いることができる。ここで、Ｒ^２としては、炭素数１〜１０の置換基が好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基等の直鎖又は分岐アルキル基、シクロヘキシル基等のシクロアルキル基、フェニル基、トリル基等のアリール基等を例示でき、特にメチル基、フェニル基が好ましい。

粘着力向上剤（ｃ）は、一般的に粘着性をより高度に確保するために、シリコーン生ゴム（ａ）及び架橋成分（ｂ）とともに架橋反応を生じない、又は、生じ難い構造を有するものが好ましい。

粘着力向上剤（ｃ）としてポリオルガノシロキサンを用いる場合は、Ｒ^２ _３ＳｉＯ_１／２単位／ＳｉＯ_２単位のモル比が０．６〜１．７となるものが好ましい。このモル比が０．６未満では、粘着弾性部材４の粘着性が高くなり過ぎ、又はシリコーン生ゴム（ａ）と相溶し難くなって、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とが分離して粘着性を発現しなくなることがある。一方、前記モル比が１．７を超えると粘着弾性部材４の粘着力が低下することがある。

なお、このポリオルガノシロキサンは、Ｓｉ原子に結合するＯＨ基を含有していてもよく、その場合、ＯＨ基含有量が０〜４．０モル％であるのが好ましい。

Ｓｉ原子に結合するＯＨ基を含有するものを用いる場合、前記シリコーン生ゴム（ａ）として、下記（４）式に示されるポリオルガノシロキサンを含有するときには、前記シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とが一部縮合反応物を形成していてもよい。

（ＯＨ）Ｒ^１ＹＳｉＯ−（Ｒ^１ＸＳｉＯ）_ｐ−（Ｒ^１ _２ＳｉＯ）_ｑ−ＳｉＲ^１ _２（ＯＨ） （４）式
ただし、（４）式中、Ｒ^１は脂肪族不飽和結合を有することのない１価の前記炭化水素基であり、それぞれ同一であっても異なっていてもよく、ＹはＲ^１又はアルケニル基含有有機基である。Ｘはアルケニル含有有機基である。また、ｐは１以上の整数、ｑは１００以上の整数である。１価の炭化水素基及びアルケニル基含有有機基は前記したのと同様である。

前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記粘着力向上剤（ｃ）との縮合反応物を形成するには、トルエン等の溶剤に溶解したシリコーン生ゴム（ａ）及び粘着力向上剤（ｃ）の混合物を、アルカリ性触媒の存在下で、室温乃至還流下で反応させればよい。

粘着力向上剤（ｃ）は、一種単独で用いても、二種以上を混合して用いてもよい。

粘着力向上剤（ｃ）は、シリコーン生ゴム（ａ）／粘着力向上剤（ｃ）の質量比として２０／８０〜８０／２０の範囲で用いるのが好ましく、特に、３０／７０〜７０／３０とするのが好適である。この範囲を超えて粘着力向上剤（ｃ）が少ないと粘着性が不足しやすくなり、一方、多いと粘着弾性部材４が硬くなるとともに弾性力が強く、粘着弾性部材４が変形し難くなり、何れにおいても、小型電子部品を粘着保持しにくくなることがある。

前記触媒（ｄ）は、主として、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記架橋成分（ｂ）との架橋反応を促進する触媒であり、通常、ハイドロサイレーションの触媒として使用されるものであればよく、例えば、白金化合物等が挙げられる。白金化合物としては、塩化白金酸、塩化白金酸のアルコール溶液、塩化白金酸とアルコールとの反応物、塩化白金酸とオレフィン化合物との反応物、塩化白金酸とビニル基含有シロキサンとの反応物等が挙げられる。

触媒（ｄ）の配合割合は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記架橋成分（ｂ）との合計質量に対し、白金成分として１〜５，０００ｐｐｍとするのが好ましく、特に５〜２，０００ｐｐｍとすることが好適である。配合割合が１ｐｐｍ未満では硬化性が低下して架橋密度が低くなって粘着弾性部材４の粘着力が低下することがあり、一方、５，０００ｐｐｍを超えると処理浴の使用可能時間が短くなる場合がある。

前記シリカ系充填材（ｅ）は、前記各成分とともに添加され、粘着弾性部材４の機械的強度を補強するとともに、粘着弾性部材４を構成する成分、特に、粘着性を付与する粘着力向上剤（ｃ）を粘着層に分散させて、小型電子部品の確実な粘着保持に寄与する成分である。

シリカ系充填材（ｅ）としては、シリカ、石英紛、珪藻土等が挙げられるが、好ましくはシリカである。好適なシリカとしては、ＢＥＴ法により測定されるその比表面積が５０ｍ^２／ｇ以上、好ましくは１００〜４００ｍ^２／ｇのシリカを挙げることができる。このような比表面積を有するシリカが付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物に含まれていると、粘着弾性部材４の引っ張り強度等の機械的強度を向上させることができると共に粘着性を付与する成分が脱離し難くなり、微細な削りカスやのり残りが生じ難くなる。なお、比表面積が４００ｍ^２／ｇを超えると、付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物の流動特性が低下することがあり、粘着弾性部材４の製造に時間がかかると共にコストが増大することがある。

シリカ系充填材（ｅ）としては、例えば、ヒュームドシリカ、焼成シリカ等の乾式法により合成されたシリカ、沈降シリカ、シリカゲル等の湿式法により合成されたシリカを挙げることができる。これらの中でも、前記比表面積を有するシリカを得やすい点で、ヒュームドシリカ、沈降シリカが好ましい。

シリカ系充填材（ｅ）は、一種単独で用いても、二種以上を混合して用いてもよい。また、必要に応じて、シリカ系充填材（ｅ）の表面を、例えば、オルガノポリシロキサン、オルガノポリシラザン、クロロシラン、アルコキシシラン等の表面処理剤で処理したものを用いてもよい。

シリカ系充填材（ｅ）の配合割合は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記粘着力向上剤（ｃ）との合計１００質量部に対して、１〜３０質量部とするのが好ましく、５〜２０質量部とするのがより好ましい。配合割合が１質量部未満であると、粘着弾性部材４の強度が低下して、十分な効果が得られ難くなり、また、使用時に微細な削りカスやのり残りが発生しやすくなることがある。一方、配合割合が３０質量部を超えると、粘着弾性部材４の粘着力が低下することがある。

さらに、この発明では、前記シリコーン生ゴム（ａ）から前記シリカ系充填材（ｅ）の他に、適宜、任意成分を添加することが可能である。

例えば、前記成分を混合する時の架橋反応を抑制するための反応制御剤を添加することができる。この反応制御剤としては、例えば、３−メチル−１−ブチン−３−オール、３−メチル−１−ペンチン−３−オール、３，５−ジメチル−１−ヘキシン−３−オール、１−エチニルシクロヘキサノール、３−メチル−３−トリメチルシロキシ−１−ブチン、３−メチル−３−トリメチルシロキシ−１−ペンチン、３，５−ジメチル−３−トリメチルシロキシ−１−ヘキシン、１−エチニル−１−トリメチルシロキシシクロヘキサン、ビス（２，２−ジメチル−３−ブチノキシ）ジメチルシラン、１，３，５，７−テトラメチル−１，３，５，７−テトラビニルシクロテトラシロキサン、１，１，３，３−テトラメチル−１，３−ジビニルジシロキサン等が挙げられる。

この反応制御剤を添加する場合、その配合割合は、前記シリコーン生ゴム（ａ）と前記粘着力向上剤（ｃ）との合計１００質量部に対して、０〜５．０質量部とすることができ、特に０．０５〜２．０質量部とするのが好ましい。この反応制御剤の配合割合が５．０質量部を超えると粘着性組成物の硬化時に硬化し難くなることがある。

また、この反応制御剤の他にも、適宜、任意成分を添加することが可能であり、例えば、ポリジメチルシロキサン、ポリジメチルジフェニルシロキサン等の非反応性のポリオルガノシロキサン、非粘着性のシリコーンゴム組成物、塗工の際の粘度を下げるための溶剤として、トルエン、キシレン等の芳香族系溶剤、ヘキサン、オクタン、イソパラフィン等の脂肪族系溶剤、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶剤、酢酸エチル、酢酸イソブチル等のエステル系溶剤、ジイソプロピルエーテル、１，４−ジオキサン等のエーテル系溶剤、又はこれらの混合溶剤、染料、顔料等を使用することができる。

前記シリコーン生ゴム（ａ）、架橋成分（ｂ）、粘着力向上剤（ｃ）、触媒（ｄ）及びシリカ系充填材（ｅ）を含有する組成物としては、適宜製造してもよく、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、前記シリカ系充填材（ｅ）を含有しない組成物である信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＥ１２１４」、「Ｘ−４０−３０９８」等の「Ｘ−４０系」及び「Ｘ−３４−６３２Ａ／Ｂ」等の「Ｘ−３４系」組成物等が入手可能である。

前記過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物は、シリコーン生ゴム（ａ）と、粘着力向上剤（ｃ）と、シリカ系充填材（ｅ）と、有機過酸化物（ｆ）とを含有する粘着性組成物を挙げることができる。

前記ゴムシリコーン生ゴム（ａ）としては、（Ｒ_２ＳｉＯ_２／２）単位（Ｒは、炭化水素基を表す。）を含み、置換基を有していてもよいポリシロキサンの長鎖重合体等であればよく、例えば、ポリジメチルシロキサン、その置換体等が挙げられる。このシリコーン生ゴム（ａ）の性状、粘度等は、前記付加反応硬化型粘着性組成物に含有されるシリコーン生ゴム（ａ）と基本的に同様である。シリコーン生ゴム（ａ）は、一種単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。

過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物に含有される粘着力向上剤（ｃ）及びシリカ系充填材（ｅ）は、それぞれ、前記付加反応硬化型粘着性組成物に含有される粘着力向上剤（ｃ）及びシリカ系充填材（ｅ）と基本的に同様である。

過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物に含有される有機過酸化物（ｆ）は、主として、シリコーン生ゴム（ａ）同士を、又は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）とを架橋させる硬化剤であり、例えば、ベンゾイルパーオキサイド等のジアシルパーオキサイド類、ジ−ｔ−ブチルパーオキサイド等のジアルキルパーオキサイド類等が挙げられる。有機過酸化物（ｆ）としては、ジアシルパーオキサイド類が好ましく、ベンゾイルパーオキサイドが特に好ましい。

有機過酸化物（ｆ）の配合割合は、シリコーン生ゴム（ａ）と粘着力向上剤（ｃ）との合計質量に対し、０．２〜５．０質量部とするのが好ましく、特に０．５〜２．５質量部とすることが好適である。配合割合が、０．２質量部未満では硬化性が低下して架橋密度が低くなって粘着層の粘着力が低下することがあり、一方、５．０質量部を超えると、粘着性組成物によって形成される粘着弾性部材４の硬度が高くなり、粘着力が低下するという欠点が生じる場合がある。

過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物には、さらに、シリコーン生ゴム（ａ）、粘着力向上剤（ｃ）、シリカ系充填材（ｅ）及び前記有機過酸化物（ｆ）の他に、適宜、任意成分を添加することが可能である。任意成分としては、前記付加反応硬化型粘着性組成物で例示した成分が挙げられる。

このような過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物としては、適宜製造してもよく、市販品を使用してもよい。市販品としては、例えば、前記有機過酸化物（ｆ）を含有しない組成物である、信越化学工業株式会社製の商品名「ＫＲ−１０１−１０」、「ＫＲ−１２０」、「ＫＲ−１３０」及び「ＫＲ−１４０」等が入手可能である。

例えば、粘着弾性部材４が前記付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物で形成される場合には、通常、８０〜１３０℃で３〜４０分加熱することにより、硬化される。また、粘着弾性部材４が前記過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物で形成される場合には、通常、１００〜１５０℃で５〜２０分加熱することにより、硬化される。なお、このようにして硬化された付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物及び過酸化物硬化型粘着性シリコーン組成物は、さらに、１７０〜２２０℃、２〜１０時間の条件で二次加熱されてもよい。

保持治具１は、治具本体２の表面の少なくとも一部に中間弾性部材３が前記ゴム組成物で形成されて、前記中間弾性部材３の表面の少なくとも一部に粘着弾性部材４が前記粘着性材料で形成されて、製造されることができる。例えば、保持治具１は、前記ゴム組成物と前記粘着性材料とを各々成形してシート状成形体を作製し、前記ゴム組成物により形成されたシート状成形体の両面、及び前記粘着性材料により形成されたシート状成形体の片面を研磨して、各々の研磨された面に接着剤又はプライマーを、スプレー法、浸漬法等によって塗布した後に接合し、次いで、この前記ゴム組成物により形成されたシート状成形体と前記粘着性材料により形成されたシート状成形体とが接合されて成るシート状成形体を治具本体２の表面の少なくとも一部に貼り付けて、製造されてもよい。また、保持治具１は、前記ゴム組成物と前記粘着性材料とを積層して加硫することによりシート状積層成形体を形成した後に、前記シート状積層成形体の両表面を研磨して、ゴム組成物により形成されて成る表面に接着剤又はプライマーを、スプレー法、浸漬法等によって塗布した後に、治具本体２の表面の少なくとも一部に貼り付けて、製造されてもよい。さらに、保持治具１は、治具本体２と中間弾性部材３と粘着弾性部材４とをトランスファー成形により一体に成型してもよい。

前記プライマーとしては、特に限定されず、例えば、シランカップリング系プライマー等が挙げられる。また、接着剤としては、特に制限されないが、例えば、アルキッド樹脂、フェノール変性・シリコーン変性等のアルキッド樹脂変性物、オイルフリーアルキッド樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、フッ素樹脂、フェノール樹脂、ポリアミド樹脂、ウレタン樹脂及びこれらの混合物が挙げられる。これらの中でも、アミノ基及び／又は水酸基を有する接着剤が好適である。また、これらの樹脂を硬化させるための架橋剤として、イソシアネート化合物、メラミン化合物、エポキシ化合物、過酸化物、フェノール化合物、ハイドロジェンシロキサン化合物等が用いられる。

保持治具１の厚さを均一にするには、例えば、治具本体２を研磨、研削又は切削等により、治具本体２の厚さを均一にする方法、前記ゴム組成物及び前記粘着性材料からシート状成形体を作製し、このシート状成形体から均一な厚さを有する部分を切り出し、治具本体２に貼り付ける方法、中間弾性部材３及び／又は粘着弾性部材４を表面処理する方法、並びに、これらの方法を組み合わせた方法等が挙げられる。

この発明に係る一組の保持治具の一実施例である一組の保持治具を、図を参照して、説明する。一組の保持治具５は、図２に示されるように、第１の保持治具１Ａと第２の保持治具１Ｂとを備えている。そして、第１の保持治具１Ａは、第１の治具本体２Ａと、前記第１の治具本体２Ａの表面の少なくとも一部に形成されて成る第１の中間弾性部材３Ａと、前記第１の中間弾性部材３Ａの表面に設けられ、被粘着物を粘着保持可能な第１の粘着弾性部材４Ａとを備えて成り、第２の保持治具１Ｂは、第２の治具本体２Ｂと、前記第２の治具本体２Ｂの表面の少なくとも一部に形成されて成る第２の中間弾性部材３Ｂと、前記第２の中間弾性部材３Ｂの表面に設けられ、被粘着物を粘着保持可能な第２の粘着弾性部材４Ｂとを備えて成る。第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂは、前記保持治具１と基本的に同様に構成されており、中間弾性部材３Ａ及び３Ｂそれぞれは、粘着弾性部材４Ａ又は４Ｂよりも小さな硬度を有している。

第１の粘着弾性部材４Ａと第２の粘着弾性部材４Ｂとは、被粘着物を粘着保持することのできる粘着力、通常、１〜５０ｇ／ｍｍ^２の粘着力を有しているのがよく、７〜５０ｇ／ｍｍ^２の粘着力を有しているのが特によい。

そして、第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂは、第１の粘着弾性部材４Ａの粘着力よりも大きな粘着力を有する。第１の粘着弾性部材４Ａ及び第２の粘着弾性部材４Ｂがこのような粘着力の関係を有することにより、第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４Ａから第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂに被粘着物を移し替えることができる。第１の粘着弾性部材４Ａから第２の粘着弾性部材４Ｂに被粘着物を脱落することなくスムーズに移し替えることができる点で、第１の粘着弾性部材４Ａと第２の粘着弾性部材４Ｂとの粘着力の差は１５〜４３ｇ／ｍｍ^２であるのが好ましく、１８〜３５ｇ／ｍｍ^２であるのがより好ましく、２０〜３０ｇ／ｍｍ^２であるのが特に好ましい。

一組の保持治具５は、被粘着物を、第１の保持治具１Ａに粘着保持させ、次いで、第２の保持治具１Ｂに移し替えて粘着保持させるのに好適に使用され、特に、形状が薄板状の直方体である小型電子部品用部材及び／又は小型電子部品を、第１の保持治具１Ａに粘着保持させ、次いで、第２の保持治具１Ｂに移し替えて粘着保持させるのに好適に使用される。

図２に示した例においては、第１の保持治具１Ａと第２の保持治具１Ｂとは、いずれも本発明に係る保持治具１を使用しており、第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂは、治具本体２Ａ及び２Ｂと粘着弾性部材４Ａ及び４Ｂとの間に、粘着弾性部材４Ａ及び４Ｂよりも小さな硬度を有する中間弾性部材３Ａ及び３Ｂが形成されて成るが、一組の保持治具５において、第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂのいずれか一方が前記保持治具１であれば良く、他の一方は、中間弾性部材３を有しておらず、治具本体の表面に粘着弾性部材が形成されて成る保持治具、又は、中間弾性部材が粘着弾性部材の硬度以上の硬度を有する保持治具であってもよい。第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂのいずれかの保持治具がこの発明に係る保持治具であると、粘着保持された多数の被粘着物を第２の保持治具１Ｂに移し替えるときに、第１の保持治具１Ａに粘着保持された多数の被粘着物を第２の保持治具１Ｂに押圧しても、この発明に係る保持治具の中間弾性部材によって、押圧方向に生じる粘着弾性部材４Ａ及び４Ｂの歪みを速やかに回復させることができると共に、粘着弾性部材４Ａ及び４Ｂと被粘着物との間にかかる押圧力を効果的に吸収することができる。したがって、この発明に係る一組の保持治具によれば、第１の保持治具１Ａに粘着保持された被粘着物の安定な粘着保持状態を維持しつつ被粘着物を第２の保持治具１Ｂに移し替えることができると共に、必要以上の応力が被粘着物にかかることなく、すべての被粘着物を第２の保持治具１Ｂにほぼ均一に押圧することができるから、第１の保持治具１Ａに多数の被粘着物のほとんどを残存させることなく、第２の保持治具１Ｂに多数の被粘着物を粘着保持させることができる。その結果、この発明に係る一組の保持治具によれば、均一な起立状態で安定して、大部分の被粘着物を第１の保持治具１Ａから第２の保持治具１Ｂに移し替えることができる。それ故、ＬＩＣＣのように形状が薄板状の直方体である小型部品用部材であっても、品質精度の高い小型部品を製造することができる。多数の被粘着物を他方の保持治具に所望のように移し替えることができると共に、小型部品用部材から品質精度のより一層高い小型部品を製造することができる点で、第２の保持治具１Ｂが前記保持治具１とされるのが好ましく、第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂのいずれもが前記保持治具１とされるのがより好ましい。

この発明に係る一実施例である被粘着物保持装置を、図を参照して、説明する。被粘着物保持装置１０は、図３に示されるように、第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂを含む一組の保持治具を備え、被粘着物を粘着保持すると共に、第１の保持治具１Ａから第２の保持治具１Ｂに被粘着物を移し替えることのできる装置である。被粘着物保持装置１０が備える一組の保持治具は、前記一組の保持治具５と同様に構成されており、第１の保持治具１Ａ及び第２の保持治具１Ｂのいずれもが前記保持治具１とされる例である。この被粘着物としては、形状が薄板状の直方体を有する小型電子部品用部材及び／又は小型電子部品が好適に使用される。

被粘着物保持装置１０は、図３に示されるように、第１の保持治具１Ａと第２の保持治具１Ｂとが、第１の粘着弾性部材４Ａと第２の粘着弾性部材４Ｂとが相対向するように配置可能に成っている。これにより、第１の保持治具１Ａに粘着保持された被粘着物を第２の保持治具１Ｂに粘着保持された状態に移し替えることができる。このような第１の粘着弾性部材４Ａと第２の粘着弾性部材４Ｂとの配置は、機械的構成からなる変位手段により実現されてもよく、手動により実現されてもよい。

図３に示されるように、第１の保持治具１Ａは、治具本体２Ａにおける粘着弾性部材４Ａが形成されていない表面側が、保持治具変位手段１２から下方に延在する支持アーム１３の先端に設けられた支持部材１４に固定され、保持治具変位手段１２に支持されている。

この保持治具変位手段１２は、軌条１１に取り付けられ、この軌条１１に沿って水平方向に運動可能に構成されると共に、支持アーム１３を上下方向に運動可能に構成されている。したがって、この保持治具変位手段１２に支持された第１の保持治具１Ａは、保持治具変位手段１２によって、水平方向及び上下方向に自在に移動可能と成っている。すなわち、被粘着物を懸垂保持する第１の粘着弾性部材４Ａを有する第１の保持治具１Ａは、例えば、導電性ペースト浴の上方に、又はその位置から導電性ペースト浴の上方以外の適宜の位置、例えば、第２の保持治具１Ｂの上方の位置に移送されることができると共に、第１の保持治具１Ａは、第２の保持治具１Ｂに向けて下降させられ、また第２の保持治具１Ｂの粘着弾性部材４Ｂに被粘着物を保持させ替えた後、第１の保持治具１Ａを第２の保持治具１Ｂから上昇させることができる。

さらに、この保持治具変位手段１２は、軌条１１を中心軸にして軸回りに回転運動可能に構成されている。保持治具変位手段１２がこのように回転運動可能であると、第１の保持治具１Ａの状態を、被粘着物を粘着弾性部材４Ａにより懸垂保持する状態、及び、被粘着物を第１の粘着弾性部材４Ａにより立設保持する状態に所望のように変えることができるようになる。

また、図３に示されるように、第２の保持治具１Ｂは、第２の治具本体２Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂが形成されていない表面側が、保持治具変位手段１６から上方に延在する支持アーム１７の先端に設けられた支持部材１８に固定され、保持治具変位手段１６に支持されている。

この保持治具変位手段１６は、軌条１１とほぼ直交する軌条１５に取り付けられ、この軌条１５に沿って水平方向に運動可能に構成されると共に、支持アーム１７を上下方向に運動可能に構成されている。したがって、この保持治具変位手段１６に支持された第２の保持治具１Ｂは、保持治具変位手段１６によって、水平方向及び上下方向に自在に移動可能とされている。すなわち、第２の保持治具１Ｂは、適宜の位置、例えば、第１の保持治具１Ａの下方の位置に移送されることができると共に、第２の保持治具１Ｂは、第１の保持治具１Ａに向けて上昇させられ、また前記第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４Ａに粘着保持された被粘着物を保持させ替えた後、第２の保持治具１Ｂを第１の保持治具１Ａから下降させることができる。

さらに、この保持治具変位手段１６は、軌条１５を中心軸にして軸回りに回転運動可能に構成されている。保持治具変位手段１６がこのように回転運動可能であると、第２の保持治具１Ｂの状態を、被粘着物を粘着弾性部材４Ｂにより立設保持する状態、及び、被粘着物を第２の粘着弾性部材４Ｂにより懸垂保持する状態に所望のように変えることができるようになる。

前記保持治具変位手段１２及び前記保持治具変位手段１６における運動機構は、特に限定されず、例えば、駆動力を発生する駆動手段、例えば、モータと、このモータの出力を軌条１１又は１５、及び、支持アーム１３又は１７に伝達する伝達手段、例えば、歯車、ワイヤ等とを備えた運動機構が挙げられる。この運動機構は、通常のパソコン等によって、制御しても、手動で制御してもよい。

図３に示されるように、この被粘着物保持装置１０は、軌条１１と軌条１５が交差する位置近傍で、第１の保持治具１Ａと第２の保持治具１Ｂとが、第１の粘着弾性部材４Ａと第２の粘着弾性部材４Ｂとが相対向するように配置可能に成っている。これにより、第１の保持治具１Ａに粘着保持された被粘着物を第２の保持治具１Ｂに移し替えることができる。

次に、この発明に係る被粘着物保持装置１０を用いて、形状が薄板状の直方体を有する小型電子部品用部材の一つであるＬＩＣＣ用部材に電極を形成して、ＬＩＣＣを製造する方法について説明し、併せてこの被粘着物保持装置１０の作用について説明する。このＬＩＣＣ用部材６は、図４に示されるように、薄板状の直方体を成し、ＬＩＣＣ８は、図９（Ｂ）に示されるように、このＬＩＣＣ用部材の長軸方向（Ｗ方向）に沿って、この角柱体における厚さ方向に垂直な断面の長辺方向（図９（Ｂ）のＬ方向）における両端部に電極７が形成されて成る。

この発明の一例である被粘着物保持装置１０を用いて、ＬＩＣＣ用部材６に電極７を以下のようにして形成する。

先ず、図３に示された保持治具変位手段１２を軌条１１を中心軸にして軸回りに回転運動させ、図４に示されるように、第１の粘着弾性部材４Ａを上にした第１の保持治具１Ａ上に立設配置板２０を重ねる。この立設配置板２０には、上部開口部に表面にかけて拡径したテーパ面２１が形成されて成り、ＬＩＣＣ用部材６を収容可能な貫通孔２２である複数の配設孔２２が形成されている。この立設配置板２０の上面に多数のＬＩＣＣ用部材６を乱雑状態に頒布する。この立設配置板２０に振動を加えると、ＬＩＣＣ用部材６がテーパ面２１に案内されるようにして配設孔２２に収まる。この立設配置板２０の厚みは、ＬＩＣＣ用部材６の長さ（図９（Ｂ）におけるＬに対応する。）よりも小さく設計されているので、配設孔２２に収まったＬＩＣＣ用部材６は、その下端面（図９（Ｂ）において、電極７が形成される前の側面Ｓ_Ｂに対応する面。）が第１の粘着弾性部材４Ａに接触し、その上端面が立設配置板２０の上端面から突出した状態になっている。このとき、図４におけるＬＩＣＣ用部材６は、この角柱体における厚さ方向に垂直な側面（図９（Ｂ）における辺Ｌと辺Ｔとから画成される側面）のみが図示されている。

次いで、図４に示されるように、平坦なプレス板２３で、多数のＬＩＣＣ用部材６全ての突出頭部を、押圧する。そうすると、配設孔２２に収容されているＬＩＣＣ用部材６の下端面が第１の粘着弾性部材４Ａに僅かにめり込むと共に第１の粘着弾性部材４Ａの粘着力によりＬＩＣＣ用部材６の下端部が第１の粘着弾性部材４Ａに粘着する。このとき、第１の保持治具１Ａは、第１の治具本体２Ａと第１の粘着弾性部材４Ａとの間に第１の中間弾性部材３Ａを有しているので、ＬＩＣＣ用部材６の突出頭部を押圧したときに生じた第１の粘着弾性部材４Ａの押圧方向の歪を速やかに回復することができ、第１の粘着弾性部材４Ａの表面は平滑さを維持する。したがって、図５に示されるように、第１の粘着弾性部材４Ａにおける多数のＬＩＣＣ用部材６は、それらの突出端面の位置がほぼ同一平面内にある。その後、立設配置板２０を除去する。次いで、保持治具変位手段１２（図示せず。）を軌条１１を中心軸にして軸回りに回転運動させ、図５に示されるように、第１の保持治具１Ａを回転させて第１の粘着弾性部材４Ａを下側に向けると、第１の粘着弾性部材４Ａの下側面に多数のＬＩＣＣ用部材６が懸垂保持された状態になる。

次いで、保持治具変位手段１２（図示せず。）を軌条１１（図示せず。）に沿って水平方向に運動させて、多数のＬＩＣＣ用部材６を第１の粘着弾性部材４Ａに懸垂保持された状態のまま第１の保持治具１Ａを導電性ペースト浴（図示せず。）の上方に水平移動させる。その後、保持治具変位手段１２により支持アーム１３（図示せず。）を下方向に運動させて、導電性ペースト浴に向かって第１の保持治具１Ａを下降させる。第１の保持治具１Ａを下降させて導電性ペースト浴にＬＩＣＣ用部材６の下端部を、浸漬させる。このとき、第１の粘着弾性部材４Ａの表面に粘着保持されたＬＩＣＣ用部材６の下端部、すなわち、粘着端面とは反対側の端面がいずれも同一平面に位置しているから、多数のＬＩＣＣ用部材６それぞれは、それらの下端部における一定部分が導電性ペースト浴に浸漬される。浸漬後に、保持治具変位手段１２により支持アーム１３を上方向に運動させて、第１の保持治具１Ａを上昇させる。そうすると、図６に示されるように、第１の粘着弾性部材４Ａに懸垂保持された各ＬＩＣＣ用部材６の下端部にほぼ均等な厚さの電極７が形成される。

次いで、保持治具変位手段１２を軌条１１に沿って水平方向に運動させて、第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂの上方に、下端部に電極７を塗設した多数のＬＩＣＣ用部材６を第１の粘着弾性部材４Ａに懸垂保持した第１の保持治具１Ａを水平移動させる。次いで、図７に示されるように、保持治具変位手段１２（図示せず。）により支持アーム１３を下方向に運動させて、第２の保持治具１Ｂ向かって第１の保持治具１Ａを下降させる。なお、この第２の保持治具１Ｂは第２の粘着弾性部材４Ｂを上にした状態で配置されている。

図７に示されるように、保持治具変位手段１２（図示せず。）により支持アーム１３（図示せず。）を下方向に運動させて、第１の保持治具１Ａを下降させ、第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂに、第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４Ａに懸垂保持された多数のＬＩＣＣ用部材６の、電極７が形成された下端部を、粘着させる。このとき、第２の粘着弾性部材４Ｂは、第１の粘着弾性部材４Ａの粘着力よりも大きな粘着力を有すると共に、第１の保持治具１Ａにおける粘着弾性部材４Ａの表面に粘着保持されたＬＩＣＣ用部材６の粘着端面とは反対側の端面が、いずれも同一平面に位置しているから、図７に示されるように、第１の粘着弾性部材４Ａにおける多数のＬＩＣＣ用部材６はそれぞれ、それらの自由端、すなわち、底面がほぼ均一に第２の粘着弾性部材４Ｂに押圧される。さらに、第１の中間弾性部材３Ａ及び第２の中間弾性部材３Ｂによって、第１の粘着弾性部材４Ａ及び第２の粘着弾性部材４ＢとＬＩＣＣ用部材６との間にかかる押圧力が吸収されるので、必要以上の応力がＬＩＣＣ用部材６にかかることがなく、すべてのＬＩＣＣ用部材６をほぼ均一に押圧することができると共に、ＬＩＣＣ用部材６が座屈又は屈曲などの変形を生じることを防止することができる。このとき、ＬＩＣＣ用部材６を第２の粘着弾性部材４Ｂに押圧することにより第２の粘着弾性部材４Ｂの厚さ方向及びこの厚さ方向に垂直な表面方向に生じた歪が、第２の中間弾性部材３Ｂにより速やかに回復し、第２の粘着弾性部材４Ｂの表面は平滑さを維持することができるので、ＬＩＣＣ用部材６が転倒又は傾倒することが防止され、均一な起立状態で安定して第２の保持治具１Ｂに粘着保持することができる。次いで、保持治具変位手段１２（図示せず。）により支持アーム１３（図示せず。）を上方向に運動させて、第１の保持治具１Ａを上昇させると、ＬＩＣＣ用部材６は電極７を介して第２の粘着弾性部材４Ｂに強固に粘着されているので、第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４ＡにＬＩＣＣ用部材６が残存することなく離脱する。このようにして、第１の保持治具１Ａから第２の保持治具１Ｂに多数のＬＩＣＣ用部材６を脱落することなく所望のように移し替えることができる。

次いで、保持治具変位手段１６（図示せず。）を軌条１５（図示せず。）を中心軸にして軸回りに回転運動させ、図８に示されるように、第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂに電極７を介してＬＩＣＣ用部材６を立設した状態で粘着保持している第２の保持治具１Ｂが、回転されてＬＩＣＣ用部材６が懸垂保持された状態にされる。

次いで、保持治具変位手段１６（図示せず。）を軌条１５（図示せず。）に沿って水平方向に運動させて、多数のＬＩＣＣ用部材６を第２の粘着弾性部材４Ｂに懸垂保持された状態のまま第２の保持治具１Ｂを導電性ペースト浴（図示せず。）の上方に水平移動させる。その後、保持治具変位手段１６（図示せず。）により支持アーム１７（図示せず。）を下方向に運動させて、導電性ペースト浴に向かってこの第２の保持治具１Ｂを下降させる。第２の保持治具１Ｂを下降させて導電性ペースト浴にＬＩＣＣ用部材６の下端部を、浸漬させる。このとき、第２の保持治具１Ｂは、前記範囲の面精度を有しているから、多数のＬＩＣＣ用部材６それぞれは、それらの下端部における一定部分が導電性ペースト浴に浸漬される。浸漬後に、保持治具変位手段１６（図示せず。）により支持アーム１７（図示せず。）を上方向に運動させて、第２の保持治具１Ｂを上昇させる。そうすると、図８に示されるように、第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂに懸垂保持された各ＬＩＣＣ用部材６の下端部にほぼ均等な厚さの電極７が形成される。

第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４Ｂには、ＬＩＣＣ用部材６それぞれの両端部にほぼ均等な大きさの電極７が形成されて成るＬＩＣＣ８が、懸垂された状態で粘着保持されている。この第２の保持治具１Ｂに粘着保持されたＬＩＣＣ８は、例えば、第２の粘着弾性部材４Ｂの下側面にストリッパ（図示せず。）を摺接することにより、第２の粘着弾性部材４Ｂに懸垂保持されていたＬＩＣＣ８が離脱し、落下する。

このように、この発明に係る保持治具１又は一組の保持治具５を用いることにより、第１の保持治具１Ａに粘着保持した多数のＬＩＣＣ用部材６を脱落することなく第２の保持治具１Ｂに所望のように移し替えることができると共に、均等な厚さを有する電極７が両端部に形成された品質精度の高いＬＩＣＣ８を容易に製造することができる。

この発明に係る保持治具１、一組の保持治具５及び被粘着物保持装置１０はそれぞれ、前記した実施例に限定されることはなく、本願発明の目的を達成することができる範囲において、種々の変更が可能である。

例えば、前記保持治具１においては、治具本体２、中間弾性部材３、及び粘着弾性部材４はいずれも矩形に形成されているが、この発明において、治具本体、中間弾性部材、及び粘着弾性部材は、小型部品の製造に適した形状であればよく、被粘着物の形状、被粘着物保持装置の形状、製造工程、作業性等に応じて、任意の形状とされる。例えば、保持治具は、正方形、長方形、五角形、六角形等の多角形、円形、楕円形、不定形、又は、これらを組み合わせた形状等の板状体が挙げられる。また、治具本体２における中間弾性部材３及び粘着弾性部材４が形成されない一方の面側は、平面形状であっても、半円筒体等の立体形状であってもよい。前記保持治具１に粘着保持される被粘着物は、ＬＩＣＣ用部材のような薄板状の直方体である小型部品用部材だけでなく、底面が正方形の角柱体及び円柱体等種々の形状を有する小型部品及び小型部品用部材等を挙げることができる。また、この発明に係る保持治具は、被粘着物の製造工程に加えて、搬送工程等において被粘着物を粘着保持する必要がある場合にも使用されることができる。

前記一組の保持治具５においては、第１の保持治具１Ａと第２の保持治具１Ｂとを備えているが、これらの保持治具に加えて、第３の保持治具等を備えていてもよい。この第３の保持治具は、治具本体と粘着弾性部材とにより形成されて成る従来の保持治具であってもよく、また、中間弾性部材が粘着弾性部材の硬度以上の硬度を有する保持治具であってもよいが、前記保持治具１であるのが好ましい。前記一組の保持治具５に粘着保持される被粘着物は、ＬＩＣＣ用部材のような薄板状の直方体である小型部品用部材だけでなく、底面が正方形の角柱体及び円柱体等種々の形状を有する小型部品及び小型部品用部材等を挙げることができる。

被粘着物保持装置１０においては、第１の保持治具１Ａと第２の保持治具１Ｂとを備えているが、３種類以上の保持治具を備えていてもよい。第３の保持治具は、治具本体と粘着弾性部材とにより形成されて成る従来の保持治具であってもよく、また、前記保持治具１であってもよいが、前記保持治具１であるのが好ましい。被粘着物保持装置１０において粘着保持される被粘着物は、ＬＩＣＣ用部材のような薄板状の直方体である小型部品用部材だけでなく、底面が正方形の角柱体及び円柱体等種々の形状を有する小型部品及び小型部品用部材等を挙げることができる。

さらに、被粘着物保持装置１０においては、軌条１１と軌条１５とがほぼ直角に交差するように配設されているが、軌条と軌条とは略平行に配設されていてもよい。

また、被粘着物保持装置１０においては、保持治具変位手段１２及び１６は軌条１１及び１５を中心軸にして軸回りに回転運動可能に構成されているが、これらの保持治具変位手段は回転運動不能に構成されてもよい。この場合には、第１の粘着弾性部材に被粘着物を粘着保持させた第１の保持治具を保持治具変位手段に支持させればよく、第２の粘着弾性部材に被粘着物を粘着保持した第２の保持治具を保持治具変位手段から取り外して、被粘着物を第２の粘着弾性部材から取り外せばよい。

（実施例１）
ステンレス鋼板（ＳＵＳ３０４製、厚さ０．５ｍｍ）から、一辺の長さが１２０ｍｍである正方形の盤状体を切り出した。この盤状体における一方の表面をアセトン等の有機溶媒で脱脂処理した後、シリコーンゴム接着用プライマー（商品名「Ｘ−３３−１５６−２０」、信越化学工業株式会社製）を適量塗布して、治具本体Ａを作製した。

前記シリコーン生ゴム（ａ）、架橋成分（ｂ）、粘着力向上剤（ｃ）及び触媒（ｄ）を含有するシリコーンゴム（商品名「Ｘ−３４−６３２ Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）９９質量％及び（ｅ）成分としてシリカ系充填材（株式会社龍森製、商品名「クリスタライト」）１質量％を含有する付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物と、粘着力調整組成物として液状シリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−１９５０／３０ Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）とを配合した粘着性シリコーン組成物（付加反応硬化型粘着性シリコーン組成物：液状シリコーンゴム組成物＝５０：５０）を、１０ＭＰａの加圧下、１２０℃でプレス成形し、次いで、２００℃、４時間の条件下、さらに硬化させて、一辺の長さが１１０ｍｍ、厚さ１．５ｍｍの正方形になるように、粘着弾性部材Ａを製造した。

次いで、前記ビニル基含有シリコーン生ゴム（ア）及びシリカ系充填剤（イ）を含有する付加反応型シリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−９０４ＦＵ」、信越化学工業株式会社製）１００質量部、（ウ）成分として発泡剤（商品名「ＫＥＰ−１３」、信越化学工業株式会社製）１．５質量部、（エ）成分として付加反応架橋剤（商品名「Ｃ−１５３Ａ」、信越化学工業株式会社製）２質量部、（オ）成分として付加反応触媒としての白金触媒（商品名「Ｃ−１５３Ａ」、信越化学工業株式会社製）２質量部、（カ）反応制御剤として「Ｒ−１５３Ａ」、信越化学工業株式会社製）０．５質量部を二本ロールで十分混練して配合した付加反応型発泡シリコーンゴム組成物を、１０ＭＰａの加圧下、１２０℃でプレス成形し、次いで、２００℃、４時間の条件下、さらに硬化させて、一辺の長さが１１０ｍｍ、厚さ１．５ｍｍの正方形になるように、中間弾性部材Ａを製造した。なお、この中間弾性部材Ａの内部に存在するセルの平均セル径を前記方法により測定したところ、２５０μｍであった。

次いで、製造した粘着弾性部材Ａ及び中間弾性部材Ａの両面を各々平面研削盤で研磨した後、中間弾性部材Ａの片面にシリコーンゴム接着用プライマー（商品名「Ｘ−３３−１５６−２０」、信越化学工業株式会社製）を適量塗布して、このシリコーンゴム接着用プライマーを塗布した面に粘着弾性部材Ａを重ね合わせて、粘着弾性部材Ａと中間弾性部材Ａとを接着した。

次いで、前記治具本体Ａのシリコーンゴム接着用プライマーが塗布された面に、粘着弾性部材Ａと中間弾性部材Ａとが接着されて成る積層成形体の中間弾性部材Ａ側を重ね合わせて、この積層成形体と治具本体Ａとを接着して、保持治具Ａを製造した。

（実施例２）
前記中間弾性部材Ａを形成する付加反応型発泡シリコーンゴム組成物に含まれる発泡剤の配合量を０．８質量部に変更した以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｂを製造した。なお、保持治具Ｂの中間弾性部材における平均セル径は１３０μｍであった。
（実施例３）
前記中間弾性部材Ａを形成する付加反応型発泡シリコーンゴム組成物に含まれる発泡剤の配合量を１．２質量部に変更した以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｃを製造した。なお、保持治具Ｃの中間弾性部材における平均セル径は２００μｍであった。
（実施例４）
前記中間弾性部材Ａを形成する付加反応型発泡シリコーンゴム組成物に含まれる発泡剤の配合量を０．４質量部に変更した以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｄを製造した。なお、保持治具Ｄの中間弾性部材における平均セル径は７０μｍであった。
（実施例５）
前記中間弾性部材Ａを形成する付加反応型発泡シリコーンゴム組成物に含まれる発泡剤の配合量を３質量部に変更した以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｅを製造した。なお、保持治具Ｅの中間弾性部材における平均セル径は５００μｍであった。

（実施例６）
前記中間弾性部材Ａにおける付加反応型発泡シリコーンゴム組成物を付加硬化型液状シリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−１９５０／１０ Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）に変更して中間弾性部材Ｆを製造した以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｆを製造した。なお、前記中間弾性部材Ｆは、金型を使用してＬＩＭＳ成形により製造した。
（実施例７）
前記粘着弾性部材Ａにおける付加反応硬化型粘着性シリコーンゴム組成物と液状シリコーンゴム組成物（商品名「ＫＥ−１９５０／３０ Ａ／Ｂ」、信越化学工業株式会社製）との配合量を９０：１０に変更して、粘着弾性部材Ａよりも高粘着性の粘着弾性部材Ｇを製造した以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｇを製造した。

（比較例１）
前記保持治具Ａにおいて、前記治具本体Ａのシリコーンゴム接着用プライマーが塗布された面に前記中間弾性部材Ａを介在させることなく粘着弾性部材Ａを重ね合わせて、前記治具本体Ａと粘着弾性部材Ａとを接着したこと以外は、実施例１と同様にして、保持治具Ｈを製造した。
（比較例２）
前記保持治具Ｇにおいて、前記治具本体Ａのシリコーンゴム接着用プライマーが塗布された面に前記中間弾性部材Ａを介在させることなく粘着弾性部材Ｇを重ね合わせて、前記治具本体Ａと粘着弾性部材Ｇとを接着したこと以外は、実施例７と同様にして、保持治具Ｉを製造した。

製造した保持治具Ａ〜Ｉにおける各粘着弾性部材の粘着力を前記した方法により測定したところ、保持治具Ａ〜Ｆ及びＨにおける各粘着弾性部材の粘着力は１５ｇ／ｍｍ^２であり、保持治具Ｇ及びＩにおける各粘着弾性部材の粘着力は４０ｇ／ｍｍ^２であった。

保持治具Ａ〜Ｉにおける各粘着弾性部材と同様にして厚さ１０ｍｍの試験片を作製して、この試験片の硬度をＪＩＳ Ｋ６２５３[デュロメータＥ]の規定に準じて測定し、測定された各硬度を、保持治具Ａ〜Ｉにおける各粘着弾性部材のデュロメータＥ硬度とした。その結果を表１に示した。

また、保持治具Ａ〜Ｇにおける各中間弾性部材と同様にして厚さ１０ｍｍの試験片を作製して、この試験片の硬度をＪＩＳ Ｋ６２５３[デュロメータＥ]の規定に準じて測定し、測定された各硬度を、保持治具Ａ〜Ｇにおける各中間弾性部材のデュロメータＥ硬度とした。その結果を表１に示した。

表２に示す保持治具の組み合わせに従って、一組の保持治具を選択し、図３に示される被粘着物保持装置を組み立てた。被粘着物は、図９（Ｂ）に示されたＬＩＣＣ２５と同様の形状を有し、Ｌ×Ｗ×Ｔ（ｍｍ）が０．８×１．７×０．５（ｍｍ）であるＬＩＣＣ用部材６を用いた。また、４，０００個の配設孔２２が形成された厚さ０．４ｍｍの立設配置板２０を準備した。この立設配置板２０の各配設孔２２は、縦０．９ｍｍ×横２ｍｍであり、その上部開口部に表面にかけて拡径したテーパ面２１を有している。

表２に示す第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４Ａ上にこの立設配置板２０を重ね、立設配置板２０の上面に多数のＬＩＣＣ用部材６を乱雑状態に頒布した。この状態で立設配置板２０に振動を加え、ＬＩＣＣ用部材６を配設孔２２内に落下させた。このとき、ＬＩＣＣ用部材６は、図９（ｂ）に示されるＬＩＣＣ２５の電極７を形成する前の側面Ｓ_Ｂを被粘着面として第１の粘着弾性部材上に位置し、かつ、前記被粘着面に対して反対側の面が立設配置板２０の上端面から突出した状態になっていた。次いで、図４に示されるように、平坦なプレス板２３でＬＩＣＣ用部材６全ての突出頭部を、第１の粘着弾性部材４ＡにＬＩＣＣ用部材６が１００μｍ沈み込むように、３秒間押圧した。この後、プレス板２３及び立設配置板２０をＬＩＣＣ用部材６及び第１の粘着弾性部材４Ａから離して、第１の粘着弾性部材４Ａに４，０００個のＬＩＣＣ用部材６をほぼ等間隔で立設保持した。

次いで、第１の粘着弾性部材４Ａに粘着保持されたＬＩＣＣ用部材６が懸垂状態になるように第１の保持治具１Ａを回転させた（すなわち、図５に示される第１の保持治具１Ａと同じ状態である。）。次いで、第１の保持治具１Ａを、表２に示す第２の保持治具に向かって下降させ、第１の保持治具１Ａに粘着保持されたＬＩＣＣ用部材６を、第２の保持治具１Ｂにおける第２の粘着弾性部材４ＢにＬＩＣＣ用部材６が１００μｍ沈み込むように、押圧した。押圧後３秒が経過してから、第１の保持治具１Ａを３ｍｍ／ｓｅｃの速度で上方に持ち上げて、第２の保持治具１Ｂから引き離した。

（均一保持性の評価）
前記操作において、第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４Ａにほぼ等間隔で立設保持されたＬＩＣＣ用部材６の粘着保持状態を、次の基準に基づいて目視により評価した。その結果を表２に示した。
○：ほぼすべてのＬＩＣＣ用部材６が、転倒又は傾倒することなく、均一な起立状態で安定して粘着保持されている。
△：ほとんどのＬＩＣＣ用部材６は、転倒も傾斜もしなかったが、少数のＬＩＣＣ用部材６が実用に支障の無い程度に傾倒している。
×：少数のＬＩＣＣ用部材６が、実用に支障のあるほど傾斜、又は転倒している。

（転写不能割合の評価）
引き離された第１の保持治具１Ａにおける第１の粘着弾性部材４Ａに粘着保持されたまま、第２の保持治具１Ｂに移し替えられなかったＬＩＣＣ用部材６の数、及び、第１の粘着弾性部材４Ａから脱落し、第２の粘着弾性部材４Ｂに粘着保持されなかったＬＩＣＣ用部材６の数をそれぞれ確認した。この操作を１０回行い、その算術平均値を求め、ＬＩＣＣ用部材６の総数に対する、移し替えられなかったＬＩＣＣ用部材６の数及び脱落したＬＩＣＣ用部材６の数の合計数の割合（転写不能割合と称する。）を求め、次の基準により評価した。その結果を表２に示した。
◎：転写不能割合が０．３％以下。
○：転写不能割合が０．３％を超え、０．５％以下。
△：転写不能割合が０．５％を超え、１．５％未満。
×：転写不能割合が１．５％以上。

図１は、この発明に係る保持治具の一実施例である保持治具を示す概略斜視図である。 図２は、この発明に係る一組の保持治具の一実施例である一組の保持治具を示す概略斜視図である。 図３は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置を示す概略説明図である。 図４は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の粘着弾性部材にＬＩＣＣ用部材を立設状態で粘着させる手順を説明するための概略断面説明図である。 図５は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の保持治具によりＬＩＣＣ用部材を懸垂保持する状態を示す概略説明図である。 図６は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の保持治具に、電極が形成されたＬＩＣＣ用部材を、懸垂保持した状態を示す概略説明図である。 図７は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第１の保持治具に懸垂保持されたＬＩＣＣ用部材を、第２の保持治具に押圧した状態を示す概略説明図である。 図８は、この発明に係る被粘着物保持装置の一実施例である被粘着物保持装置における第２の保持治具に、両端部に電極を塗設して成るＬＩＣＣを懸垂保持する状態を示す概略説明図である。 図９（Ａ）は、従来のチップコンデンサの概略斜視図であり、図９（Ｂ）は、低背化したチップコンデンサの概略斜視図である。

符号の説明

１、１Ａ、１Ｂ 保持治具
２、２Ａ、２Ｂ 治具本体
３、３Ａ、３Ｂ 中間弾性部材
４、４Ａ、４Ｂ 粘着弾性部材
５ 一組の保持治具
６ ＬＩＣＣ用部材
７ 電極
８、２５ ＬＩＣＣ
９ 従来の保持治具
１０ 被粘着物保持装置
１１、１５ 軌条
１２、１６ 保持治具変位手段
１３、１７ 支持アーム
１４、１８ 支持部材
２０ 立設配置板
２１ テーパ面
２２ 貫通孔
２３ プレス板
２４ 従来のチップコンデンサ

Claims (4)

1. 治具本体と、前記治具本体における表面に形成されて成る中間弾性部材と、前記中間弾性部材における治具本体が形成されている面とは反対側の表面に形成されて成る粘着弾性部材とを備え、
   前記中間弾性部材は、前記粘着弾性部材の硬度よりも小さく、かつ５〜２０のデュロメータＥ硬度を有し、
   前記粘着性弾性部材は、０．３〜２ｍｍの範囲内であって前記中間弾性部材に対する厚さの比（粘着性弾性部材／中間弾性部材）が１〜２であることを特徴とする保持治具。
2. 前記粘着性弾性部材は、前記中間弾性部材に対する硬度の比（粘着性弾性部材／中間弾性部材）が１より大きく１６以下であることを特徴とする請求項１に記載の保持治具。
3. 請求項１に記載の保持治具、及び、請求項１に記載の保持治具又は治具本体と前記治具本体における表面に形成されて成る粘着弾性部材とを有する保持治具を備えている一組の保持治具であって、
   前記一組の保持治具のうちの一方の保持治具における粘着弾性部材は、他方の保持治具における粘着弾性部材よりも大きな粘着力を有していることを特徴とする一組の保持治具。
4. 請求項３に記載の一組の保持治具を備えた被粘着物保持装置。

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