JP4917466B2 - 薄膜形成方法 - Google Patents
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- 薄膜材料となる薄膜原料及びこの薄膜原料より表面エネルギーの小さい有機化合物からなる有機材料を含む塗布液を作製する第1工程と、
プラスチックからなる可撓性を有するシート状の基材の上に前記塗布液を塗布して前記基材の主表面に塗布膜が形成された状態とする第2工程と、
前記基材の主表面と基板の主表面とを対向させて前記塗布膜を前記基板の主表面に当接させ、前記基材と前記基板との間に荷重を加え、かつ加熱する第3工程と、
前記基材を離型して前記基板の主表面に前記薄膜材料よりなる薄膜が形成された状態とする第4工程と
を少なくとも備え、
前記有機材料は、前記薄膜材料より熱分解温度が低く、
前記第4工程では、前記基材を離型した後、前記薄膜材料の熱分解温度より低く前記有機材料の熱分解温度以上の温度で前記薄膜を加熱し、前記有機材料を熱分解させることを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項1記載の薄膜形成方法において、
前記有機材料は高分子化合物であることを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項1または2記載の薄膜形成方法において、
前記薄膜原料は有機化合物であることを特徴とする薄膜形成方法。 - 請求項3に記載の薄膜形成方法において、
前記薄膜材料は有機化合物であることを特徴とする薄膜形成方法。
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