JP4916326B2 - 温度モニタ用基板の検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Description
これは、メーカの行う温度センサの校正が、恒温槽内に温度モニタ用基板を置き、恒温槽内の温度と基板に埋め込まれた温度センサが示す温度とが一致するか否かにより行われており、温度センサそのものの異常の有無は検出できても、基板に埋め込んだ温度センサの取り付け不具合については検出できないためである。
このため耐熱性を高めるために高耐熱性の接着剤4を使用すると流動性が悪くなり、挿入孔2内の空気が外に押し出されず、接点3の周囲に残留気泡5が生成する。この残留気泡5は接点3の下側に生成することが多く、これが実使用プロセス環境下において温度測定値に異常をもたらす原因となる。
そのため接点3の温度T3は、実使用プロセス環境下におけるウェハの温度(その深さでの基板温度Tm)より高い値となり、実使用プロセス環境下におけるウェハ温度を疑似するという温度モニタ用基板の本来機能を果たすことができない。なお、残留気泡5に代わって、熱伝導度が低い異物が存在する場合も同様の結果となる。
まず、図1又は図2のような装置を用いて、ほぼ同一深さに取り付けられた熱電対について、熱流存在下でN個の温度測定データ(T1,T2,……,TN)を得る。この測定データにより、一定熱流下における温度の平均値及び偏差を得ることができる。この測定を便宜上事前測定と呼ぶ。事前測定における測定データの偏差には、測定毎の誤差(熱電対個体差、測定系の再現性)、加熱源の加熱量の誤差、抜熱源の抜熱量の誤差、および測定対象の取り付け異常の有無(本来の測定目的)が含まれる。
また、測定が実績ある測定系(温度管理された環境、規定の補償導線、校正済アンプ使用等)を継続的に用いることを前提とすれば、ほとんどの誤差は相殺される。また、加熱源、抜熱源の熱量は、熱源に供給される物理量(抵抗加熱における電流電圧等、冷媒冷却における冷媒温度と流量)の管理により、一定に管理することが可能である。
図2に示すような検査装置を用い、4個の熱電対が取り付けられた温度モニタ用基板について、本発明による温度測定を行うとともに、この基板を実際のプラズマ処理装置内に保持して、プラズマが発生している実使用環境下での温度測定を行い、検査装置での温度指示と実使用時の温度指示の対比を検討した。また、この基板を恒温槽内に保持したときの熱電対指示のバラツキを調査した。測定対象の温度モニタ用基板は、直径300mm、厚み725μmの基板で、熱電対はK熱電対を使用し、中心より半径142mmの位置に、90度ずつずらして、同一の深さに取り付けられている。
実施例1と同様に検査装置による熱流測定を行い、取り付け異常があると判定された熱電対と、無いと判定された熱電対の取り付け部をX線透過観察した。異常ありと判定された熱電対でのΔT(温度平均値からの偏差)は0.22℃、無いと判定された熱電対のΔTは0.16℃であった。X線透過写真は、基板上方斜め約30度(法線に対する傾斜角60度)からX線を照射したもので、写真の下にそれぞれのスケッチ図を示している。X線透過写真及びそのスケッチ図を図4に示す。
2 挿入孔
3 熱電対接点
4 接着剤
5 残留気泡
6 熱源
7 基板載置台
8 冷却機構
11 基台
12 冷却ブロック
13 載置台
14 温度モニタ用基板
15 支柱
16 アーム
17 支持部材
18 放射熱源
19 反射板
20 冷媒流路
21 電源
22 熱電対
23 温度計
24 スプリング台座
25 第一支柱
26 移動機構
27 赤外線ランプ
28 加熱ボックス
29 第二支柱
30 熱放射孔
31 加熱領域
Claims (11)
- 基板に埋め込まれた1個以上の温度センサにより、該基板の温度及び/又は温度分布をモニタする温度モニタ用基板の検査装置であって、
前記温度モニタ用基板に対して、前記温度センサの埋め込み深さ方向に熱流を生じせしめる手段を備えたことを特徴とする温度モニタ用基板の検査装置。 - 前記熱流を生じせしめる手段は、前記温度モニタ用基板の一方の面側に設けた加熱源と、前記一方の面に対向する他方の面側に設けた抜熱源とにより構成するものであることを特徴とする請求項1に記載の温度モニタ用基板の検査装置。
- 前記加熱源が輻射熱の発熱源であり、前記抜熱源がその内部に冷媒が循環する冷却ブロックであることを特徴とする請求項2に記載の温度モニタ用基板の検査装置。
- 前記加熱源及び前記抜熱源を、1個の温度センサの部位にのみ熱流を生じせしめるように構成するとともに、前記加熱源及び前記抜熱源に対して、前記温度モニタ用基板を平行に相対移動させ、逐次、前記温度センサの全てに熱流を生じせしめる移動手段を備えたことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の温度モニタ用基板の検査装置。
- 熱流下における前記温度センサにより測定した基板の温度と、予め定められた温度とを比較し、前記温度センサの異常の有無を判別する手段を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の温度モニタ用基板の検査装置。
- 熱流下において同一基板内に埋め込まれた複数の温度センサにより測定した基板の温度の対比から、個々の温度センサの異常の有無を判別する手段を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の温度モニタ用基板の検査装置。
- 熱流下において同一基板内に埋め込まれた複数の温度センサにより測定した基板の温度から、個々の温度センサの測定温度の偏差値を求め、該偏差値が所定の範囲から外れている温度センサを異常と判別する手段を備えたことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の温度モニタ用基板の検査装置。
- 基板に埋め込まれた1個以上の温度センサにより、該基板の温度及び/又は温度分布をモニタする温度モニタ用基板の検査方法であって、
前記温度モニタ用基板に対して、前記温度センサの埋め込み深さ方向に熱流を生じせしめ、
該熱流下において前記温度センサが測定した前記基板の温度を予め定めた方法により処理し、
前記温度センサの異常の有無を判別することを特徴とする温度モニタ用基板の検査方法。 - 前記温度センサにより測定した基板の温度が、予め定めた温度範囲にあるか否かにより前記温度センサの異常の有無を判別することを特徴とする請求項8に記載の温度モニタ用基板の検査方法。
- 同一基板内に埋め込まれた複数の温度センサにより測定した基板の温度の対比から、個々の温度センサの異常の有無を判別することを特徴とする請求項8に記載の温度モニタ用基板の検査方法。
- 同一基板内に埋め込まれた複数の温度センサにより測定した温度から、個々の温度センサの測定温度の偏差値を求め、該偏差値が所定の範囲から外れているか否かにより温度センサの異常の有無を判別することを特徴とする請求項8に記載の温度モニタ用基板の検査方法。
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