JP4914324B2

JP4914324B2 - Parts transfer device

Info

Publication number: JP4914324B2
Application number: JP2007281846A
Authority: JP
Inventors: 太介染谷
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2007-10-30
Filing date: 2007-10-30
Publication date: 2012-04-11
Anticipated expiration: 2027-10-30
Also published as: JP2009111155A

Description

本発明は、部品収容部から部品搭載領域に部品を移載する部品移載装置に関するものである。 The present invention relates to a component transfer apparatus for transferring a component from a component storage portion to a component mounting area.

電子部品などの部品をハンドリングする部品移載装置として、例えば表面実装機やＩＣハンドラー等が従来から数多く提供されている。例えば表面実装機では、テープやトレイなどの部品収容部に収容された電子部品を吸着ノズルの下方端部で吸着し、その吸着ノズルを基板上面に設けられた部品搭載領域に向けて降下させることによって、電子部品が基板上面に着地されて基板の部品搭載領域に搭載される。また、ＩＣハンドラーでは、トレイ（部品収容部）に収容された電子部品を吸着ノズルの下方端部で吸着し、その吸着ノズルを検査用ソケット内の部品搭載領域に向けて降下させることによって、電子部品が検査用ソケットに着地されて部品搭載領域に搭載される。さらに、表面実装機やＩＣハンドラー等では、処理効率を高めるために、複数の吸着ノズルを同時に作動させている。 For example, many surface mounters and IC handlers have been provided as component transfer devices for handling components such as electronic components. For example, in a surface mounter, electronic components housed in a component housing part such as a tape or tray are sucked by the lower end of the suction nozzle, and the suction nozzle is lowered toward the component mounting area provided on the upper surface of the substrate. Thus, the electronic component is landed on the upper surface of the substrate and mounted on the component mounting area of the substrate. Further, in the IC handler, the electronic components housed in the tray (component housing portion) are sucked at the lower end portion of the suction nozzle, and the suction nozzle is lowered toward the component mounting area in the socket for inspection, so that the electronic handler The component is landed on the inspection socket and mounted in the component mounting area. Further, in surface mounters, IC handlers, etc., a plurality of suction nozzles are simultaneously operated in order to increase processing efficiency.

このように構成された部品移載装置では、部品移載を正常に行うためには、部品収容部に収容されている電子部品に向けて吸着ノズルを降下させて該吸着ノズルの下方端部で電子部品を確実に吸着保持する必要がある。また基板や検査用ソケットなどに対しても、部品収容部側と全く同様の考慮が必要である。つまり、基板や検査用ソケットに予め設定されている部品搭載領域に対して吸着ノズルを正確に降下させる必要がある。そこで、上下方向（高さ方向）における各吸着ノズルの高さ位置を求めるとともに、それらの高さ位置に基づき吸着ノズル間での高さ位置の相対位置ずれ量を部品移載に先立って測定することが従来より行われている。例えば特許文献１では、高さ位置を次のようにして測定している。すなわち、真空吸引回路を介して吸着ノズルに負圧を与えながら当該吸着ノズルを計測テーブルや基板に向けて降下させていき、その真空吸引回路内を流れる空気流量に基づき吸着ノズルが計測テーブル等に当接することを判定して高さ位置を求めている。
特許第３８４６２６２号公報（段落００２９、００３５、００３６等） In the component transfer apparatus configured as described above, in order to perform the component transfer normally, the suction nozzle is lowered toward the electronic component stored in the component storage unit, and the lower end portion of the suction nozzle is used. It is necessary to securely hold electronic components. In addition, the same consideration as for the component housing portion side is required for the board and the inspection socket. That is, it is necessary to accurately lower the suction nozzle with respect to the component mounting area set in advance on the board or the inspection socket. Therefore, the height position of each suction nozzle in the vertical direction (height direction) is obtained, and the relative positional deviation of the height position between the suction nozzles is measured prior to component transfer based on the height position. This has been done conventionally. For example, in Patent Document 1, the height position is measured as follows. That is, while applying a negative pressure to the suction nozzle via the vacuum suction circuit, the suction nozzle is lowered toward the measurement table or the substrate, and the suction nozzle is moved to the measurement table or the like based on the flow rate of air flowing through the vacuum suction circuit. The height position is determined by determining contact.
Japanese Patent No. 3846262 (paragraphs 0029, 0035, 0036, etc.)

ところで、上記のように構成された部品移載装置では、吸着ノズルに真空吸引力を与えながら高さ位置を測定しているため、当該測定時にノズル先端から異物などを吸い込み、ノズル内部または真空吸引回路内に異物が残ってしまうことがあった。これにより、測定結果が変動して正確な高さ位置を求めることができず、ノズル間の相対的な位置ずれ量を高精度に求めることができないことがあった。 By the way, in the component transfer apparatus configured as described above, since the height position is measured while applying a vacuum suction force to the suction nozzle, foreign matter is sucked from the nozzle tip during the measurement, and the inside of the nozzle or vacuum suction is performed. Foreign matter sometimes remained in the circuit. As a result, the measurement result fluctuates and the accurate height position cannot be obtained, and the relative positional deviation amount between the nozzles cannot be obtained with high accuracy.

本発明は、上記に鑑みてなされたもので、上下方向におけるノズル間の相対的な位置ずれ量を常に正確に求めて部品移載を良好に行うことができる部品移載装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and it is an object of the present invention to provide a component transfer apparatus that can always perform accurate component transfer by accurately obtaining a relative positional shift amount between nozzles in the vertical direction. Objective.

この発明は、部品収容部から部品搭載領域に部品を移載する部品移載装置であって、上記目的を達成するため、下方端部で部品を真空吸着する複数のノズルと、複数のノズルの各々に対して空気経路を介して接続されて空気経路を流通する空気の圧力を正圧および負圧に切り替える切替部と、空気経路での空気圧力または空気流量を検出する検出センサとを有するヘッドユニットと、部品収容部の上方位置と部品搭載領域の上方位置との間でヘッドユニットを移動させる駆動手段と、複数のノズルの各々について、当該ノズルに正圧を供給した状態で当該ノズルを予め設定されている測定面に向けて降下させながら検出センサの検出結果により当該ノズルの高さ位置を求めるとともに、複数の高さ位置に基づき上下方向における複数のノズル間の相対的な位置ずれ量を求める制御手段とを備え、制御手段は、ノズルに正圧を与える前に検出センサにより検出される流通前検出値と、ノズルに正圧を与えている際に検出センサにより検出される流通中検出値とに基づき閾値を設定し、検出センサの検出結果を閾値と対比することによりノズルの高さ位置を求めることを特徴としている。 The present invention provides a component transfer device for transferring a component from a component accommodating portion to a component mounting region, and in order to achieve the above object, a plurality of nozzles that vacuum-suck the component at a lower end, and a plurality of nozzles A head having a switching unit that is connected to each through an air path and switches the pressure of air flowing through the air path to positive pressure and negative pressure, and a detection sensor that detects air pressure or air flow rate in the air path For each of the plurality of nozzles, the driving means for moving the head unit between the unit, the upper position of the component housing portion and the upper position of the component mounting area, and the nozzles in advance with positive pressure supplied to the nozzles. Determine the height position of the nozzle based on the detection result of the detection sensor while lowering it toward the set measurement surface, and use multiple nozzles in the vertical direction based on the multiple height positions. And control means for determining the relative positional deviation amount, the control means includes a flow before detection value detected by the detection sensor before giving a positive pressure to the nozzle, detected when giving a positive pressure to the nozzle It is characterized in that a threshold value is set based on the detected value during distribution detected by the sensor, and the height position of the nozzle is obtained by comparing the detection result of the detection sensor with the threshold value .

このように構成された発明では、ノズルに正圧を供給した状態でノズルが測定面に向けて降下していき、そのノズル降下の間に検出センサにより検出される検出結果に基づきノズルの高さ位置が求められる。このように高さ位置の測定を行っている間ノズルから空気がブローされているため、測定中にノズルから異物を吸い込むのを防止することができる。また、仮に測定開始前にノズルや空気経路に異物が入り込んでいたとしても、正圧供給の開始とともに切替部からノズルに向けて流れる空気流によってノズルから吐き出される。したがって、いずれのノズルについても、ノズルおよび空気経路内に異物が入り込んでいない状態でノズルの高さ位置を求めることができ、ノズル高さ位置を正確に、しかも安定して求めることができる。 In the invention configured as described above, the nozzle descends toward the measurement surface while positive pressure is supplied to the nozzle, and the height of the nozzle is determined based on the detection result detected by the detection sensor during the nozzle descent. A position is required. Since air is blown from the nozzle while the height position is being measured in this way, it is possible to prevent foreign matter from being sucked from the nozzle during measurement. Even if foreign matter enters the nozzle or the air path before the measurement is started, it is discharged from the nozzle by the air flow flowing from the switching unit toward the nozzle as the positive pressure supply starts. Accordingly, for any nozzle, the height position of the nozzle can be obtained in a state where no foreign matter has entered the nozzle and the air path, and the nozzle height position can be obtained accurately and stably.

ここで、ノズル高さ位置を求めるために、制御手段が検出センサの検出結果を閾値と対比することによりノズルの高さ位置を求めてもよい。閾値については、予め固定値に設定しておいてもよいが、可変とするのがより望ましい。というのも、例えば正圧を供給するための正圧源が変動するなどの要因によって、ノズル高さ位置を測定するための測定環境が変化してノズルの高さ位置を誤検出してしまう可能性があるからである。 Here, in order to obtain the nozzle height position, the control means may obtain the nozzle height position by comparing the detection result of the detection sensor with a threshold value. The threshold value may be set to a fixed value in advance, but is more preferably variable. This is because, for example, the measurement environment for measuring the nozzle height position may change due to factors such as fluctuations in the positive pressure source for supplying positive pressure, and the nozzle height position may be erroneously detected. Because there is sex.

また、閾値を設定する具体例としては、制御手段が次のように閾値を設定してもよい。つまり、ノズルに正圧を与える前に検出センサにより検出される流通前検出値と、ノズルに正圧を与えている際に検出センサにより検出される流通中検出値とに基づき閾値を設定することができる。このようにノズルに正圧を与える前に流通前検出値が検出されるため、流通前検出値はほぼ一定である。これに対し、例えば正圧源からの空気圧が変動するなどによって測定環境が変動することで、流通中検出値は変化することがある。しかも、流通前検出値と流通中検出値との相違量は上記測定環境に対応したものとなる。したがって、これら流通前検出値および流通中検出値に基づき閾値を設定することにより、閾値はその設定時点での測定環境を反映した値となるため、高さ位置情報の精度を高めることが可能となる。 As a specific example of setting the threshold, the control unit may set the threshold as follows. That is, the threshold value is set based on the pre-flow detection value detected by the detection sensor before applying a positive pressure to the nozzle and the in-flow detection value detected by the detection sensor when a positive pressure is applied to the nozzle. Can do. As described above, since the pre-flow detection value is detected before applying a positive pressure to the nozzle, the pre-flow detection value is substantially constant. On the other hand, for example, the detection value during distribution may change due to fluctuations in the measurement environment due to fluctuations in the air pressure from the positive pressure source. In addition, the difference between the pre-distribution detection value and the in-distribution detection value corresponds to the measurement environment. Therefore, by setting a threshold value based on the pre-distribution detection value and the in-distribution detection value, the threshold value is a value that reflects the measurement environment at the time of setting, and thus it is possible to improve the accuracy of the height position information. Become.

このようにして閾値を設定する処理は高さ位置情報を求める前に行うのが望ましい。というのも、上記した閾値設定処理を行うことで最新の測定環境を反映した閾値が得られるためであり、この閾値に基づきノズル高さ位置を求めることで測定精度をさらに高めることができるからである。また、ノズル高さ位置を求める毎あるいはノズル高さ位置を求める処理を複数回行う毎に、流通前検出値と流通前検出値とに基づき閾値を求めて更新するように構成してもよい。これにより閾値が定期的に最新のものに更新されて高さ位置情報の精度をさらに高めることができる。 The process of setting the threshold value in this way is preferably performed before obtaining the height position information. This is because the threshold value reflecting the latest measurement environment can be obtained by performing the threshold value setting process described above, and the measurement accuracy can be further improved by obtaining the nozzle height position based on this threshold value. is there. Alternatively, the threshold value may be obtained and updated based on the pre-distribution detection value and the pre-distribution detection value each time the nozzle height position is obtained or the nozzle height position is obtained multiple times. Thereby, the threshold value is periodically updated to the latest one, and the accuracy of the height position information can be further increased.

以上のように、本発明によれば、ノズルに正圧を供給して下方端部から測定面に向けて空気をブローしながら当該ノズルを測定面に向けて降下している間に検出センサにより検出される検出結果に基づきノズルの高さ位置を求めている。このように、常にノズルおよび空気経路内に異物が入り込んでいない状態で各ノズルの高さ位置を求めているので、上下方向におけるノズル間の相対的な位置ずれ量を正確に求めることができる。その結果、部品移載を良好に行うことができる。 As described above, according to the present invention, a positive pressure is supplied to the nozzle and air is blown from the lower end toward the measurement surface while the nozzle is lowered toward the measurement surface. The height position of the nozzle is obtained based on the detected result. As described above, since the height position of each nozzle is obtained in a state where foreign matter does not enter the nozzle and the air path at all times, the relative positional deviation amount between the nozzles in the vertical direction can be obtained accurately. As a result, component transfer can be performed satisfactorily.

図１は本発明にかかる部品移載装置の第１実施形態である表面実装機の概略構成を示す平面図である。また、図２はヘッドユニットの正面図である。さらに、図３は図１に示す表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。なお、これらの図面及び後で説明する図面では、各図の方向関係を明確にするために、ＸＹＺ直角座標軸が示されている。 FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a surface mounter which is a first embodiment of a component transfer apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a front view of the head unit. FIG. 3 is a block diagram showing an electrical configuration of the surface mounter shown in FIG. In these drawings and the drawings to be described later, XYZ rectangular coordinate axes are shown in order to clarify the directional relationship between the drawings.

この表面実装機１では、基台１１上に基板搬送機構２が配置されており、基板３を所定の搬送方向Ｘに搬送可能となっている。より詳しくは、基板搬送機構２は、基台１１上において基板３を図１の右側から左側へ搬送する一対のコンベア２１、２１を有している。これらのコンベア２１、２１は表面実装機１全体を制御する制御ユニット４の駆動制御部４１により制御される。すなわち、コンベア２１，２１は駆動制御部４１からの駆動指令に応じて作動し、搬入されてきた基板３を所定の実装作業位置（同図に示す基板３の位置）で停止させる。そして、このように搬送されてきた基板３は図略の保持装置により固定保持される。この基板３に対して部品収容部５から供給される電子部品（図示省略）がヘッドユニット６に搭載された吸着ノズル６１により移載される。また、基板３に実装すべき部品の全部について実装処理が完了すると、基板搬送機構２は駆動制御部４１からの駆動指令に応じて基板３を搬出する。 In the surface mounter 1, the substrate transport mechanism 2 is arranged on the base 11, and the substrate 3 can be transported in a predetermined transport direction X. More specifically, the substrate transport mechanism 2 has a pair of conveyors 21 and 21 that transport the substrate 3 from the right side to the left side of FIG. These conveyors 21 and 21 are controlled by the drive control part 41 of the control unit 4 which controls the surface mounter 1 whole. That is, the conveyors 21 and 21 operate according to a drive command from the drive control unit 41, and stop the board 3 that has been carried in at a predetermined mounting work position (the position of the board 3 shown in the figure). The substrate 3 thus transported is fixed and held by a holding device (not shown). An electronic component (not shown) supplied from the component housing 5 is transferred to the substrate 3 by a suction nozzle 61 mounted on the head unit 6. When the mounting process is completed for all components to be mounted on the substrate 3, the substrate transport mechanism 2 unloads the substrate 3 in accordance with a drive command from the drive control unit 41.

基板搬送機構２の両側には、上記した部品収容部５が配置されている。これらの部品収容部５は多数のテープフィーダ５１を備えている。また、各テープフィーダ５１には、電子部品を収納・保持したテープを巻回したリール（図示省略）が配置されており、電子部品を供給可能となっている。すなわち、各テープには、集積回路（ＩＣ）、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ電子部品が所定間隔おきに収納、保持されている。そして、テープフィーダ５１がリールからテープをヘッドユニット６側に送り出すことによって該テープ内の電子部品が間欠的に繰り出され、その結果、ヘッドユニット６の吸着ノズル６１による電子部品のピックアップが可能となる。 On both sides of the substrate transport mechanism 2, the component housing parts 5 described above are arranged. These component housing parts 5 are provided with a number of tape feeders 51. In addition, each tape feeder 51 is provided with a reel (not shown) around which a tape storing and holding an electronic component is wound, so that the electronic component can be supplied. In other words, each tape stores and holds small chip electronic components such as integrated circuits (ICs), transistors, and capacitors at predetermined intervals. Then, the tape feeder 51 feeds the tape from the reel to the head unit 6 side so that the electronic components in the tape are intermittently fed out. As a result, the electronic components can be picked up by the suction nozzle 61 of the head unit 6. .

また、この実施形態では、基板搬送機構２の他に、本発明の「駆動手段」に相当するヘッド駆動機構７が設けられている。このヘッド駆動機構７はヘッドユニット６を基台１１の所定範囲にわたりＸ軸方向及びＹ軸方向（Ｘ軸及びＺ軸方向と直交する方向）に移動するための機構である。そして、ヘッドユニット６の移動により吸着ノズル６１で吸着された電子部品が部品収容部５の上方位置から基板３の上方位置に搬送される。すなわち、ヘッド駆動機構７は、Ｘ軸方向に延びる実装用ヘッド支持部材７１を有しており、この実装用ヘッド支持部材７１はヘッドユニット６をＸ軸に沿って移動可能に支持している。また、実装用ヘッド支持部材７１は、両端部がＹ軸方向の固定レール７２に支持され、この固定レール７２に沿ってＹ軸方向に移動可能になっている。さらに、ヘッド駆動機構７は、ヘッドユニット６をＸ軸方向に駆動する駆動源たるＸ軸サーボモータ７３と、ヘッドユニット６をＹ軸方向に駆動する駆動源たるＹ軸サーボモータ７４とを有している。モータ７３はボールねじ７５に連結されており、駆動制御部４１からの動作指令に応じてモータ７３が作動することでヘッドユニット６がボールねじ７５を介してＸ軸方向に駆動される。一方、モータ７４はボールねじ７６に連結されており、駆動制御部４１からの動作指令に応じてモータ７４が作動することで実装用ヘッド支持部材７１がボールねじ７６を介してＹ軸方向へ駆動される。 In this embodiment, in addition to the substrate transport mechanism 2, a head drive mechanism 7 corresponding to the “drive means” of the present invention is provided. The head drive mechanism 7 is a mechanism for moving the head unit 6 in the X-axis direction and the Y-axis direction (directions orthogonal to the X-axis and Z-axis directions) over a predetermined range of the base 11. Then, the electronic component sucked by the suction nozzle 61 by the movement of the head unit 6 is transported from the upper position of the component housing portion 5 to the upper position of the substrate 3. That is, the head drive mechanism 7 has a mounting head support member 71 extending in the X-axis direction, and the mounting head support member 71 supports the head unit 6 so as to be movable along the X-axis. Further, both ends of the mounting head support member 71 are supported by a fixed rail 72 in the Y-axis direction, and are movable along the fixed rail 72 in the Y-axis direction. Further, the head drive mechanism 7 has an X-axis servo motor 73 that is a drive source for driving the head unit 6 in the X-axis direction, and a Y-axis servo motor 74 that is a drive source for driving the head unit 6 in the Y-axis direction. ing. The motor 73 is connected to the ball screw 75, and the head unit 6 is driven in the X-axis direction via the ball screw 75 by operating the motor 73 in accordance with an operation command from the drive control unit 41. On the other hand, the motor 74 is connected to the ball screw 76, and the mounting head support member 71 is driven in the Y-axis direction via the ball screw 76 by operating the motor 74 in accordance with an operation command from the drive control unit 41. Is done.

ヘッド駆動機構７によりヘッドユニット６は電子部品を吸着ノズル６１により吸着保持したまま基板３に搬送するとともに、所定位置に移載する（部品移載動作）。より詳しく説明すると、ヘッドユニット６は次のように構成されている。このヘッドユニット６では、鉛直方向Ｚに延設された実装用ヘッド６２が８本、Ｘ軸方向（基板搬送機構２による基板３の搬送方向）に等間隔で列状配置されている。実装用ヘッド６２のそれぞれの先端部には、吸着ノズル６１が装着されている。すなわち、図２に示すように、各実装用ヘッド６２はＺ軸方向に伸びるヘッドシャフト６３を備えている。ヘッドシャフト６３の軸心部には、上方（Ｚ軸方向）に延びる空気通路が形成されている。そして、ヘッドシャフト６３の下方端部には、吸着ノズル６１が接続されて空気通路と連通している。一方、上端部は開口しており、後で説明する真空切替バルブ機構を介して真空吸引源および正圧源に接続される。 The head drive mechanism 7 causes the head unit 6 to transport the electronic component to the substrate 3 while being sucked and held by the suction nozzle 61 and transfer it to a predetermined position (component transfer operation). More specifically, the head unit 6 is configured as follows. In this head unit 6, eight mounting heads 62 extending in the vertical direction Z are arranged in a line at equal intervals in the X-axis direction (the direction in which the substrate 3 is transported by the substrate transport mechanism 2). A suction nozzle 61 is attached to each tip of the mounting head 62. That is, as shown in FIG. 2, each mounting head 62 includes a head shaft 63 extending in the Z-axis direction. An air passage extending upward (Z-axis direction) is formed in the axial center portion of the head shaft 63. The suction nozzle 61 is connected to the lower end of the head shaft 63 and communicates with the air passage. On the other hand, the upper end is open and connected to a vacuum suction source and a positive pressure source via a vacuum switching valve mechanism described later.

また、ヘッドユニット６では、上記吸着ノズル６１を上下方向Ｚに昇降させるＺ軸サーボモータ６４が設けられており、制御ユニット４の駆動制御部４１からの動作指令に基づきＺ軸サーボモータ６４が作動して吸着ノズル６１を上下方向Ｚに移動させる。また、吸着ノズル６１をＲ方向に回転させるＲ軸サーボモータ６５が設けられており、制御ユニット４の駆動制御部４１からの動作指令に基づきＲ軸サーボモータ６５が作動して吸着ノズル６１をＲ方向に回転させる。したがって、上記のようにヘッド駆動機構７によってヘッドユニット６が部品収容部５に移動されるとともに、Ｚ軸サーボモータ６４およびＲ軸サーボモータ６５を駆動することによって、部品収容部５から供給される電子部品に対して吸着ノズル６１の先端部が適正な姿勢で当接する。 Further, the head unit 6 is provided with a Z-axis servo motor 64 that raises and lowers the suction nozzle 61 in the vertical direction Z. The Z-axis servo motor 64 operates based on an operation command from the drive control unit 41 of the control unit 4. Then, the suction nozzle 61 is moved in the vertical direction Z. In addition, an R-axis servo motor 65 that rotates the suction nozzle 61 in the R direction is provided, and the R-axis servo motor 65 is operated based on an operation command from the drive control unit 41 of the control unit 4 to move the suction nozzle 61 to R. Rotate in the direction. Accordingly, the head unit 6 is moved to the component housing portion 5 by the head driving mechanism 7 as described above, and is supplied from the component housing portion 5 by driving the Z-axis servo motor 64 and the R-axis servo motor 65. The tip of the suction nozzle 61 comes into contact with the electronic component in an appropriate posture.

図４は真空切替バルブ機構の概略構成を示す模式図である。この真空切替バルブ機構６６は上記したようにヘッドシャフト６３に設けられた空気経路６７を介して吸着ノズル６１に接続されている。この真空切替バルブ機構６６は制御ユニット４のバルブ制御部４２からの動作指令に基づき作動して各吸着ノズル６１に対して負圧および正圧を選択的に供給する。すなわち、図４に示すように、真空切替バルブ機構６６は表面実装機１を設置する工場で用意されている正圧発生装置を正圧源として用いて各吸着ノズル６１に正圧を供給可能に構成されるとともに、図略の真空発生装置を真空吸引源として用いて各吸着ノズル６１に負圧を供給可能に構成されている。また、真空切替バルブ機構６６と各吸着ノズル６１とを接続する空気経路６７には流量センサ６８が介挿されており、流量センサ６８により流量検出を行い、その検出結果が入出力Ｉ／Ｆ部４３を介して制御ユニット４に与えられる。そして、次に説明するように、制御ユニット４の主制御部４４が流量センサ６８の検出結果を閾値と対比して各吸着ノズルの高さ位置を求めた後、上下方向（Ｚ軸方向）における吸着ノズル６１間の相対的な位置ずれ量、いわゆるヘッドオフセットを求める。以下、図５を参照しつつ本実施形態におけるノズル高さ位置の取得およびヘッドオフセットの算出について説明する。 FIG. 4 is a schematic diagram showing a schematic configuration of the vacuum switching valve mechanism. The vacuum switching valve mechanism 66 is connected to the suction nozzle 61 via the air path 67 provided in the head shaft 63 as described above. The vacuum switching valve mechanism 66 operates based on an operation command from the valve control unit 42 of the control unit 4 and selectively supplies negative pressure and positive pressure to each suction nozzle 61. That is, as shown in FIG. 4, the vacuum switching valve mechanism 66 can supply a positive pressure to each suction nozzle 61 using a positive pressure generator prepared at the factory where the surface mounter 1 is installed as a positive pressure source. In addition, a vacuum generator (not shown) is used as a vacuum suction source so that a negative pressure can be supplied to each suction nozzle 61. Further, a flow rate sensor 68 is inserted in an air path 67 connecting the vacuum switching valve mechanism 66 and each suction nozzle 61, and the flow rate is detected by the flow rate sensor 68, and the detection result is an input / output I / F unit. 43 to the control unit 4. As will be described below, the main control unit 44 of the control unit 4 compares the detection result of the flow sensor 68 with the threshold value to obtain the height position of each suction nozzle, and then in the vertical direction (Z-axis direction). A relative displacement amount between the suction nozzles 61, that is, a so-called head offset is obtained. Hereinafter, the acquisition of the nozzle height position and the calculation of the head offset in the present embodiment will be described with reference to FIG.

図５は本実施形態でのノズル高さ位置およびヘッドオフセットの取得動作を示すフローチャートである。本実施形態では、制御ユニット４のメモリ（図示省略）に予め記憶されているプログラムにしたがって主制御部４４が装置各部を制御してコンベア２１の表面２１ａ（図７）に対する吸着ノズル６１の高さ位置を求めている。なお、この実施形態では、コンベア２１の表面を本発明の「測定面」として利用しているが、これ以外の面、例えば基板３の表面などを測定面として利用してもよい。 FIG. 5 is a flowchart showing the operation of acquiring the nozzle height position and the head offset in this embodiment. In the present embodiment, the main control unit 44 controls each part of the apparatus according to a program stored in advance in a memory (not shown) of the control unit 4 so that the height of the suction nozzle 61 with respect to the surface 21a (FIG. 7) of the conveyor 21. Seeking the position. In this embodiment, the surface of the conveyor 21 is used as the “measurement surface” of the present invention, but other surfaces such as the surface of the substrate 3 may be used as the measurement surface.

まず、ステップＳ１０１で変数Ｎを初期値に設定する。そして、複数の吸着ノズル６１のうちのＮ＝１に対応する吸着ノズルと、当該ノズルに接続されるヘッドシャフト６３および流量センサ６８とからなるヘッドが、第１ヘッドとして予め設定された測定面（コンベア表面）の測定箇所の上方に位置するように、ヘッド駆動機構７によりＸＹ方向に移動されて第１ヘッドがノズル高さ位置を求める対象として選択される（ステップＳ１０２）。なお、この実施形態では、第１ヘッドを基準ヘッドとして設定し、この第１ヘッドのノズル高さ位置が基準高さ位置として求められる。また、第Ｎヘッドの選択と同時に、特定の測定箇所の上方位置にＸＹ移動されるように構成しているので、いずれの吸着ノズルについても同一位置で後述するようにノズル高さが測定されて正確なヘッドオフセットの測定が可能となっている。 First, in step S101, the variable N is set to an initial value. A head composed of a suction nozzle corresponding to N = 1 among the plurality of suction nozzles 61, a head shaft 63 connected to the nozzles, and a flow rate sensor 68 is set as a measurement surface preset as a first head ( The first head is selected as an object for obtaining the nozzle height position by being moved in the X and Y directions by the head drive mechanism 7 so as to be positioned above the measurement point on the conveyor surface (step S102). In this embodiment, the first head is set as the reference head, and the nozzle height position of the first head is obtained as the reference height position. In addition, since it is configured to move XY to a position above a specific measurement location simultaneously with the selection of the Nth head, the nozzle height is measured at the same position for each suction nozzle as described later. Accurate head offset measurement is possible.

こうして第１ヘッドが選択されると、第１ヘッドについて、ステップＳ１０３〜Ｓ１０６が実行されて第１ヘッドに吸着ノズル６１の高さ位置が取得される。すなわち、真空切替バルブ機構６６がバルブ制御部４２からの動作指令にしたがって動作して第１ヘッド６２への正圧供給を開始して吸着ノズル６１から空気をブローする（ステップＳ１０３）。そして、吸着ノズル６１から空気をブローさせたまま、Ｚ軸サーボモータ６４が制御ユニット４の駆動制御部４１からの動作指令に基づき作動して基準ヘッドが降下移動する（ステップＳ１０４）。そして、基準ヘッドの降下移動開始から時間が経過すると、吸着ノズル６１の下方端部が測定面（コンベア表面）に接近し、やがて測定面に当接する。すると、吸着ノズル６１の開口部が測定面で塞がれて空気経路６７を真空切替バルブ機構６６から吸着ノズル６１に向けて流れる空気の流量が大幅に減少し、流量センサ６８からの出力値が閾値とほぼ一致するタイミング（ステップＳ１０５で「ＹＥＳ」）で吸着ノズル６１のＺ軸方向の座標を当該吸着ノズル６１の高さ位置として取得し、メモリに記憶する（ステップＳ１０６）。また、これに同時に、Ｚ軸サーボモータ６４が制御ユニット４の駆動制御部４１からの動作指令に基づき逆回転して基準ヘッドが上昇移動する（ステップＳ１０７）。これによってコンベア表面に対して吸着ノズル６１が過剰接触するのを効果的に防止することができる。 When the first head is selected in this way, steps S103 to S106 are executed for the first head, and the height position of the suction nozzle 61 is acquired by the first head. That is, the vacuum switching valve mechanism 66 operates in accordance with an operation command from the valve control unit 42, starts supplying positive pressure to the first head 62, and blows air from the suction nozzle 61 (step S103). Then, with the air blown from the suction nozzle 61, the Z-axis servo motor 64 operates based on the operation command from the drive control unit 41 of the control unit 4 and the reference head moves downward (step S104). Then, when time elapses from the start of the descent movement of the reference head, the lower end of the suction nozzle 61 approaches the measurement surface (conveyor surface) and eventually comes into contact with the measurement surface. Then, the opening of the suction nozzle 61 is blocked by the measurement surface, and the flow rate of the air flowing through the air path 67 from the vacuum switching valve mechanism 66 toward the suction nozzle 61 is greatly reduced, and the output value from the flow sensor 68 is reduced. At the timing almost coincident with the threshold (“YES” in step S105), the coordinate of the suction nozzle 61 in the Z-axis direction is acquired as the height position of the suction nozzle 61 and stored in the memory (step S106). At the same time, the Z-axis servo motor 64 reversely rotates based on the operation command from the drive control unit 41 of the control unit 4 and the reference head moves up (step S107). This can effectively prevent the suction nozzle 61 from excessively contacting the conveyor surface.

基準ヘッドがコンベア表面から十分に離れて元の位置に戻ると、真空切替バルブ機構６６がバルブ制御部４２からの動作停止指令にしたがって動作停止して第１（基準）ヘッドへの正圧供給を停止する（ステップＳ１０８）。 When the reference head is sufficiently separated from the conveyor surface and returns to the original position, the vacuum switching valve mechanism 66 stops operating in accordance with an operation stop command from the valve control unit 42 to supply positive pressure to the first (reference) head. Stop (step S108).

次のステップＳ１０９では、全てのヘッドについて上記一連の処理が実行されて吸着ノズル６１の高さ位置が求められたか否かを、主制御部４４が判定する。そして、ステップＳ１０９で「ＮＯ」と判定されている間は、変数Ｎを１だけインクリメントし（ステップＳ１１０）、ノズル高さ位置の測定対象ヘッドを順番に切り替えながら各ヘッドについて吸着ノズル６１の高さ位置が求められる。そして、全ヘッドについてノズル高さ位置が求められる（ステップＳ１０９で「ＹＥＳ」）と、メモリから各ヘッドのノズル高さ位置が読み出されて第１（基準）ヘッドに対するヘッドの相対的なノズル高さ位置、つまりヘッドオフセットが算出される（ステップＳ１１１）。なお、この実施形態では全てのヘッドについてノズル高さ位置を求めた後にヘッドオフセットを算出しているが、第２ヘッド以降の各ヘッドについてノズル高さ位置を求めた直後に第１ヘッドのノズル高さ位置に対する差異をヘッドオフセットとして求めてもよい。この点に関しては、後の実施形態においても同様である。 In the next step S109, the main control unit 44 determines whether or not the above-described series of processing has been executed for all the heads and the height position of the suction nozzle 61 has been obtained. While it is determined as “NO” in step S109, the variable N is incremented by 1 (step S110), and the height of the suction nozzle 61 for each head while sequentially switching the measurement target head at the nozzle height position. A position is required. When the nozzle height position is obtained for all the heads (“YES” in step S109), the nozzle height position of each head is read from the memory, and the relative nozzle height of the head with respect to the first (reference) head is read. The position, that is, the head offset is calculated (step S111). In this embodiment, the head offset is calculated after obtaining the nozzle height positions for all the heads. However, immediately after the nozzle height position is obtained for each head after the second head, the nozzle height of the first head is calculated. A difference with respect to the position may be obtained as a head offset. This also applies to later embodiments.

以上のように、本実施形態では、吸着ノズル６１をコンベア表面（測定面）に向けて降下させている間、吸着ノズル６１に正圧を供給して吸着ノズル６１から空気をブローさせている。このため、測定中に吸着ノズル６１から異物を吸い込むのを防止することができる。また、仮に測定開始前に吸着ノズル６１や空気経路６７に異物が入り込んでいたとしても、正圧供給の開始とともに真空切替バルブ機構６６から吸着ノズル６１に向けて流れる空気流によって吸着ノズル６１から吐き出される。したがって、吸着ノズル６１および空気経路６７内に異物が入り込んでいない状態で吸着ノズル６１の高さ位置を求めることができ、ノズル高さ位置を正確に、しかも安定して求めることができる。そして、ノズル高さ位置に基づき部品移載を行っているので、当該部品移載を良好に行うことができる。 As described above, in this embodiment, while the suction nozzle 61 is lowered toward the conveyor surface (measurement surface), positive pressure is supplied to the suction nozzle 61 to blow air from the suction nozzle 61. For this reason, it is possible to prevent foreign matter from being sucked from the suction nozzle 61 during measurement. Even if foreign matter has entered the suction nozzle 61 or the air path 67 before the measurement is started, the air is discharged from the suction nozzle 61 by the air flow flowing from the vacuum switching valve mechanism 66 toward the suction nozzle 61 as the positive pressure supply starts. It is. Therefore, the height position of the suction nozzle 61 can be obtained in a state where no foreign matter has entered the suction nozzle 61 and the air path 67, and the nozzle height position can be obtained accurately and stably. Since the component transfer is performed based on the nozzle height position, the component transfer can be performed satisfactorily.

ところで、上記実施形態では、閾値を予め固定値に設定しているが、次に説明するように、可変設定してもよい。以下、図６および図７を参照しつつ本発明の第２実施形態について詳述する。 In the above embodiment, the threshold value is set to a fixed value in advance. However, as described below, the threshold value may be variably set. Hereinafter, the second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 6 and 7.

図６は本発明の第２実施形態におけるノズル高さ位置およびヘッドオフセットの取得動作を示すフローチャートである。また、図７は図６の取得動作を模式的に示す図である。この実施形態が第１実施形態と大きく相違する点は、本実施形態においては閾値設定処理により得られる値を新たな閾値に設定している点であり、それ以外の構成は基本的に同一である。そこで、以下の説明においては、上記相違点を中心に説明する。 FIG. 6 is a flowchart showing the nozzle height position and head offset acquisition operation in the second embodiment of the present invention. FIG. 7 is a diagram schematically showing the acquisition operation of FIG. The main difference between this embodiment and the first embodiment is that in this embodiment, the value obtained by the threshold setting process is set as a new threshold, and the other configurations are basically the same. is there. Therefore, in the following description, the difference will be mainly described.

第１実施形態と同様にして、第１ヘッドが基準ヘッドとして、予め設定された測定面（コンベア表面）２１ａの測定箇所の上方に位置するように、ヘッド駆動機構７によりＸＹ方向に移動されてノズル高さ位置を求める対象として選択される（ステップＳ２０１、Ｓ２０２）と、閾値設定処理（ステップＳ２０３〜Ｓ２０６）が開始される。この閾値設定処理では、真空切替バルブ機構６６がバルブ制御部４２からの動作指令にしたがって動作して第１ヘッド６２への正圧供給および負圧供給のいずれをも停止して空気経路６７を流れる空気の流量をゼロに設定する（図７（ａ））。この流量ゼロ時に流量センサ６８から出力される値、つまり出力値Ａが制御ユニット４のメモリに一時的に記憶される（ステップＳ２０３）。 In the same manner as in the first embodiment, the first head is moved in the XY directions by the head driving mechanism 7 so as to be positioned above the measurement location of the preset measurement surface (conveyor surface) 21a as a reference head. When the nozzle height position is selected as a target (steps S201 and S202), threshold setting processing (steps S203 to S206) is started. In this threshold value setting process, the vacuum switching valve mechanism 66 operates in accordance with an operation command from the valve control unit 42 to stop both the positive pressure supply and the negative pressure supply to the first head 62 and flows through the air path 67. The air flow rate is set to zero (FIG. 7 (a)). The value output from the flow rate sensor 68 when the flow rate is zero, that is, the output value A is temporarily stored in the memory of the control unit 4 (step S203).

次に、同図（ｂ）に示すように、真空切替バルブ機構６６がバルブ制御部４２からの動作指令にしたがって動作して第１ヘッド６２への正圧供給を開始して吸着ノズル６１から空気をブローする（ステップＳ２０４）。この空気ブロー中に流量センサ６８から出力される値、つまり出力値Ｂが制御ユニット４に与えられ、メモリに一時的に記憶される（ステップＳ２０５）。こうして空気経路６７に空気を流通させる前に流量センサ６８により検出された出力値（流通前検出値）Ａと、空気経路６７に空気が流通している際に流量センサ６８により検出された出力値（流通中検出値）Ｂとが求まると、主制御部４４は流通前検出値Ａと流通中検出値Ｂに基づき閾値ＴＨ（Ｎ）を求め、この閾値ＴＨ（Ｎ）をメモリに記憶する（ステップＳ２０６）。 Next, as shown in FIG. 4B, the vacuum switching valve mechanism 66 operates in accordance with an operation command from the valve control unit 42 to start supplying positive pressure to the first head 62, and air from the suction nozzle 61 Is blown (step S204). A value output from the flow sensor 68 during the air blowing, that is, an output value B is given to the control unit 4 and temporarily stored in the memory (step S205). Thus, the output value (detected value before distribution) A detected by the flow sensor 68 before the air flows through the air path 67 and the output value detected by the flow sensor 68 when the air flows through the air path 67. When (the distribution detection value) B is obtained, the main control unit 44 calculates a threshold value TH (N) based on the pre-distribution detection value A and the distribution detection value B, and stores this threshold value TH (N) in the memory ( Step S206).

ここで、流通前検出値Ａと流通中検出値Ｂを比較すると、次のようなことがわかる。すなわち、空気経路６７に空気を流通させる前に流通前検出値Ａが検出されるため、正圧源からの空気圧力が変動する等の要因により測定環境が変動していたとしても、流通前検出値Ａはほぼ一定である。これに対し、流通中検出値Ｂは測定環境に応じて変化する。例えば、正圧源からの空気圧が減少すると、流通中検出値Ｂも当然ながら減少する。したがって、流通前検出値Ａと流通中検出値Ｂとの相違量は測定環境に対応したものとなる。そこで、この実施形態では、検出値Ａ，Ｂの中間値、例えば上記相違量（＝Ｂ−Ａ）の半値、より好ましくは半値よりも小さく且つ流通前検出値Ａよりも大きな値を閾値ＴＨ（Ｎ）として設定している。このようなステップＳ２０３〜Ｓ２０６の閾値設定処理によって、その設定時点での測定環境を反映した最新の閾値ＴＨ（Ｎ）が得られる。なお、このとき、既にメモリに古いデータが残っている場合には、当該データを閾値ＴＨ（Ｎ）に書き換えて更新する。 Here, comparing the detection value A before distribution and the detection value B during distribution shows the following. That is, since the pre-circulation detection value A is detected before air is circulated through the air path 67, even if the measurement environment fluctuates due to factors such as fluctuations in the air pressure from the positive pressure source, the pre-circulation detection is performed. The value A is almost constant. On the other hand, the detected value B during distribution changes according to the measurement environment. For example, when the air pressure from the positive pressure source decreases, the detected value B during distribution naturally decreases. Therefore, the difference between the pre-distribution detection value A and the in-distribution detection value B corresponds to the measurement environment. Therefore, in this embodiment, an intermediate value of the detection values A and B, for example, a half value of the difference amount (= B−A), more preferably a value smaller than the half value and larger than the detection value A before distribution is set to the threshold value TH ( N). By such threshold value setting processing in steps S203 to S206, the latest threshold value TH (N) reflecting the measurement environment at the time of setting is obtained. At this time, if old data still exists in the memory, the data is rewritten to the threshold value TH (N) and updated.

こうして閾値設定処理が完了すると、吸着ノズル６１から空気をブローさせたまま、Ｚ軸サーボモータ６４が制御ユニット４の駆動制御部４１からの動作指令に基づき作動して第１ヘッド６２が降下移動する（ステップＳ２０７）。この降下中においても、流量センサ６８から検出値Ｃが出力されるが、図７（ｃ）に示すように吸着ノズル６１の下方端部がコンベア表面（測定面）２１ａに当接していない間、流量センサ６８からの出力値Ｃは出力値Ｂとほぼ同程度であり、閾値ＴＨ（Ｎ）よりも大きい値となっている。 When the threshold setting process is completed in this way, the Z-axis servo motor 64 operates based on the operation command from the drive control unit 41 of the control unit 4 while the air is blown from the suction nozzle 61, and the first head 62 moves downward. (Step S207). Even during this lowering, the detection value C is output from the flow sensor 68, but while the lower end of the suction nozzle 61 is not in contact with the conveyor surface (measurement surface) 21a as shown in FIG. The output value C from the flow sensor 68 is approximately the same as the output value B, and is larger than the threshold value TH (N).

第１ヘッド６２の降下移動開始からの時間経過とともに、吸着ノズル６１の下方端部がコンベア表面２１ａに接近し、やがてコンベア表面２１ａに当接する（同図（ｄ））。すると、吸着ノズル６１の開口部がコンベア表面２１ａで塞がれて空気経路６７を真空切替バルブ機構６６から吸着ノズル６１に向けて流れる空気の流量が大幅に減少し、流量センサ６８からの出力値Ｄは大きく低下して閾値ＴＨ（Ｎ）に達する。この第２実施形態では、出力値Ｄが閾値ＴＨ（Ｎ）とほぼ一致するタイミング（ステップＳ２０８で「ＹＥＳ」）で吸着ノズル６１のＺ軸方向の座標をノズル高さ位置として取得し、メモリに記憶する（ステップＳ２０９）。また、これに同時に、Ｚ軸サーボモータ６４が制御ユニット４の駆動制御部４１からの動作指令に基づき逆回転して第１ヘッド６２が上昇移動する（ステップＳ２１０）。 As time elapses from the start of the descent movement of the first head 62, the lower end of the suction nozzle 61 approaches the conveyor surface 21a and eventually comes into contact with the conveyor surface 21a ((d) in the figure). Then, the opening of the suction nozzle 61 is blocked by the conveyor surface 21 a, and the flow rate of the air flowing through the air path 67 from the vacuum switching valve mechanism 66 toward the suction nozzle 61 is greatly reduced. D greatly decreases and reaches the threshold value TH (N). In the second embodiment, the coordinate in the Z-axis direction of the suction nozzle 61 is acquired as the nozzle height position at the timing when the output value D substantially coincides with the threshold value TH (N) (“YES” in step S208) and stored in the memory. Store (step S209). At the same time, the Z-axis servo motor 64 reversely rotates based on the operation command from the drive control unit 41 of the control unit 4 and the first head 62 moves up (step S210).

第１ヘッド６２がコンベア面２１ａから十分に離れて元の位置に戻ると、真空切替バルブ機構６６がバルブ制御部４２からの動作停止指令にしたがって動作停止して第１ヘッド６２への正圧供給を停止する（ステップＳ２１１）。 When the first head 62 is sufficiently separated from the conveyor surface 21a and returns to the original position, the vacuum switching valve mechanism 66 stops operating in accordance with an operation stop command from the valve control unit 42 and supplies positive pressure to the first head 62. Is stopped (step S211).

次のステップＳ２１２では、全てのヘッドについて上記一連の処理が実行されて吸着ノズル６１の高さ位置が求められたか否かを、主制御部４４が判定する。そして、ステップＳ２１２で「ＮＯ」と判定されている間は、変数Ｎを１だけインクリメントし（ステップＳ２１３）、ノズル高さ位置の測定対象ヘッドを順番に切り替えながら各ヘッドについて吸着ノズル６１の高さ位置が求められる。そして、全ヘッドについてノズル高さ位置が求められる（ステップＳ２１２で「ＹＥＳ」）と、メモリから各ヘッドのノズル高さ位置が読み出されてヘッドオフセットが算出される（ステップＳ２１４）。 In the next step S212, the main control unit 44 determines whether or not the above-described series of processing has been executed for all the heads and the height position of the suction nozzle 61 has been obtained. While it is determined as “NO” in step S212, the variable N is incremented by 1 (step S213), and the height of the suction nozzle 61 for each head while sequentially switching the measurement target head at the nozzle height position. A position is required. When the nozzle height positions are obtained for all the heads (“YES” in step S212), the nozzle height positions of the heads are read from the memory and the head offset is calculated (step S214).

以上のように、この第２実施形態においても、吸着ノズル６１をコンベア表面（測定面）に向けて降下させている間、吸着ノズル６１に正圧を供給して吸着ノズル６１から空気をブローさせているため、第１実施形態と同様の作用効果が得られる。さらに、この第２実施形態では、閾値設定処理（ステップＳ２０３〜Ｓ２０６）を行っているため、次の作用効果を奏することができる。すなわち、空気経路６７内を空気が真空切替バルブ機構６６から吸着ノズル６１に流通した状態でヘッド６２がコンベア面（測定面）２１ａに向けて降下していき、そのヘッド降下の間に流量センサ６８からの出力値と閾値ＴＨ（Ｎ）とを対比してノズル高さ位置を求めている。しかも、その閾値ＴＨ（Ｎ）については、測定環境が変動したとしても、それに応じて閾値ＴＨ（Ｎ）を変更することができるように構成しているので、ノズル高さ位置を常に正確に求めることができる。また、この第２実施形態では、ノズル高さ位置を求める前に、閾値設定処理を実行して閾値ＴＨ（Ｎ）を設定しているので、閾値ＴＨ（Ｎ）はその設定時点での測定環境を反映した値となるため、ノズル高さ位置を高精度に求めることができる。そして、このノズル高さ位置に基づき部品移載を行っているので、当該部品移載を良好に行うことができる。 As described above, also in the second embodiment, while the suction nozzle 61 is lowered toward the conveyor surface (measurement surface), positive pressure is supplied to the suction nozzle 61 to blow air from the suction nozzle 61. Therefore, the same effect as the first embodiment can be obtained. Furthermore, in the second embodiment, since the threshold setting process (steps S203 to S206) is performed, the following operational effects can be achieved. That is, the head 62 descends toward the conveyor surface (measurement surface) 21a in a state where air flows from the vacuum switching valve mechanism 66 to the suction nozzle 61 in the air path 67, and the flow rate sensor 68 during the head descent. The nozzle height position is obtained by comparing the output value from the threshold value with the threshold value TH (N). Moreover, the threshold TH (N) is configured so that the threshold TH (N) can be changed in accordance with the change in the measurement environment, so that the nozzle height position is always accurately obtained. be able to. In the second embodiment, since the threshold value setting process is executed and the threshold value TH (N) is set before the nozzle height position is obtained, the threshold value TH (N) is the measurement environment at the time of setting. Therefore, the nozzle height position can be obtained with high accuracy. And since the component transfer is performed based on this nozzle height position, the component transfer can be performed satisfactorily.

また、上記第２実施形態では、空気経路６７での空気流量を流量センサ６８で検出してコンベア表面２１ａへの吸着ノズル６１の当接を判定しているが、空気経路６７での空気圧を圧力センサで検出して上記判定を行うように構成してもよい。ここで、圧力センサを用いる場合と、流量センサを用いる場合とで得失を考察すると、次のことがわかる。真空ポンプ等の負圧発生源を用いた場合、負圧が与えられる吸着ノズル６１の本数が増減すると、それに応じて各ノズルでの真空圧が変動する。このため、圧力センサが圧力変動を検出した場合、その圧力変動が負圧供給されるノズル数の変動によるものか、ノズル高さ位置に起因するものかを正確に判別することが難しい。これに対し、本発明の「検出センサ」として流量センサを用いる場合には、正逆両方向の流れを検出することができるものがあるため、それを用いることでノズル高さ位置を計測するための検出センサとしても、部品移載動作時の部品吸着確認用センサとしても兼用することができ、より合理的である。 Further, in the second embodiment, the air flow rate in the air path 67 is detected by the flow sensor 68 and the contact of the suction nozzle 61 with the conveyor surface 21a is determined. You may comprise so that the said determination may be performed by detecting with a sensor. Here, considering the advantages and disadvantages of using a pressure sensor and a flow sensor, the following can be understood. When a negative pressure generating source such as a vacuum pump is used, when the number of suction nozzles 61 to which negative pressure is applied increases or decreases, the vacuum pressure at each nozzle varies accordingly. For this reason, when the pressure sensor detects a pressure fluctuation, it is difficult to accurately determine whether the pressure fluctuation is caused by a fluctuation in the number of nozzles supplied with negative pressure or a nozzle height position. On the other hand, when a flow sensor is used as the “detection sensor” of the present invention, there is a sensor that can detect the flow in both the forward and reverse directions, so that it can be used to measure the nozzle height position. It can be used both as a detection sensor and as a component adsorption confirmation sensor during component transfer operation, which is more rational.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、ヘッドオフセット値を求めるためのノズル高さ位置を求める前に閾値設定処理を行っているが、その実行頻度は任意である。例えば、ノズル高さ位置を求める毎あるいはノズル高さ位置を求める処理を複数回行う毎に、閾値設定処理を実行してもよい。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made to the above-described one without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above-described embodiment, the threshold setting process is performed before the nozzle height position for determining the head offset value is determined, but the execution frequency is arbitrary. For example, the threshold setting process may be executed every time the nozzle height position is obtained or every time the process for obtaining the nozzle height position is performed a plurality of times.

また、上記実施形態では、部品移載装置として機能する表面実装機１に対して本発明を適用しているが、本発明の適用対象はこれに限定されるものではなく、ＩＣハンドラー等の部品移載装置に対しても本発明を適用することができる。 In the above embodiment, the present invention is applied to the surface mounter 1 that functions as a component transfer device. However, the application target of the present invention is not limited to this, and components such as an IC handler. The present invention can also be applied to a transfer device.

本発明にかかる部品移載装置の第１実施形態である表面実装機の概略構成を示す平面図である。It is a top view which shows schematic structure of the surface mounting machine which is 1st Embodiment of the components transfer apparatus concerning this invention. ヘッドユニットの正面図である。It is a front view of a head unit. 図１に示す表面実装機の電気的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the electric constitution of the surface mounter shown in FIG. 真空切替バルブ機構の概略構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows schematic structure of a vacuum switching valve mechanism. 本実施形態でのノズル高さ位置およびヘッドオフセットの取得動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the acquisition operation of the nozzle height position and head offset in this embodiment. 本発明の第２実施形態におけるノズル高さ位置およびヘッドオフセットの取得動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows acquisition operation | movement of the nozzle height position and head offset in 2nd Embodiment of this invention. 図６の取得動作を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically the acquisition operation | movement of FIG.

Explanation of symbols

１…表面実装機（部品移載装置）
４…制御ユニット（制御手段）
６…ヘッドユニット
７…ヘッド駆動機構（駆動手段）
２１ａ…コンベア表面（測定面）
４４…主制御部（制御手段）
６１…吸着ノズル
６６…真空切替バルブ機構（切替部）
６７…空気経路
６８…流量センサ（検出センサ） 1 ... Surface mounter (component transfer device)
4. Control unit (control means)
6 ... head unit 7 ... head drive mechanism (drive means)
21a ... Conveyor surface (measurement surface)
44 ... Main control section (control means)
61 ... Suction nozzle 66 ... Vacuum switching valve mechanism (switching unit)
67 ... Air path 68 ... Flow sensor (detection sensor)

Claims

In a component transfer apparatus for transferring a component from a component accommodating portion to a component mounting region, a plurality of nozzles that vacuum-suck the component at a lower end portion, and each of the plurality of nozzles are connected via an air path A head unit having a switching unit that switches a pressure of air flowing through the air path to a positive pressure and a negative pressure, a detection sensor that detects an air pressure or an air flow rate in the air path, and an upper position of the component housing unit Driving means for moving the head unit between the nozzle and an upper position of the component mounting area, and for each of the plurality of nozzles, the nozzle is set in advance in a state where positive pressure is supplied to the nozzle. The height position of the nozzle is obtained from the detection result of the detection sensor while being lowered toward the head, and the plurality of vertical positions are determined based on the plurality of height positions. And control means for determining the relative positional deviation amount between nozzle, wherein the control means includes a flow before detection value detected by the detection sensor before giving a positive pressure to the nozzle, a positive pressure to the nozzle A threshold value is set based on the in-flow detection value detected by the detection sensor during application, and the height position of the nozzle is obtained by comparing the detection result of the detection sensor with the threshold value. Parts transfer device.

Wherein, prior to determining the height position, the component transfer apparatus according to claim 1, wherein setting the threshold value based on said distribution of the detection value and the flow front detection value.

The said control means calculates | requires and updates the said threshold value based on the said pre-distribution detection value and the said detection value in circulation, every time it calculates | requires the said amount of positional deviation, or whenever it performs the process which calculates | requires the said amount of positional deviation. 2. The component transfer apparatus according to 2 .