JP4516836B2 - Component mounting equipment - Google Patents
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Description
本発明は、部品実装装置、特に吸着ノズルによる電子部品等の吸着ミスや、吸着ノズル自体の装着ミス等を防止する際に適用して好適な部品実装装置に関する。 The present invention relates to a component mounting apparatus, and more particularly to a component mounting apparatus that is suitable for application when preventing a suction error such as an electronic component by a suction nozzle or a mounting error of the suction nozzle itself.
電子部品を配線基板に搭載する電子部品実装装置においては、吸着ノズルを電子部品の上面に当接させた状態で真空吸引することにより発生する負圧を利用して電子部品を保持することが行なわれている。その際、真空吸引状態は種々の要因によって変化することから、保持状態は必ずしも安定しないため、正常に部品の吸着が行なわれたか否かの確認をすることが重要であり、そのための検査が行なわれている。 In an electronic component mounting apparatus for mounting an electronic component on a wiring board, the electronic component is held using a negative pressure generated by vacuum suction with the suction nozzle in contact with the upper surface of the electronic component. It is. At this time, since the vacuum suction state changes depending on various factors, the holding state is not necessarily stable. Therefore, it is important to check whether or not the component has been normally sucked, and an inspection for that is performed. It is.
吸着ノズルによる吸着ミス等を検査する従来技術としては、電子部品を吸着するための吸着ノズルと真空発生手段との間の真空通路(管路)内に流量センサを設け、該流量センサの出力を予め求めてある理論流量値と比較することにより、吸着ノズル孔の詰まりやノズルの誤装着を検出するものが、特許文献1に開示されている。 As a conventional technique for inspecting a suction mistake by a suction nozzle, a flow sensor is provided in a vacuum passage (pipe) between a suction nozzle for sucking an electronic component and a vacuum generation means, and an output of the flow sensor is set. Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228707 discloses a method for detecting clogging of the suction nozzle holes and erroneous mounting of the nozzles by comparing with a theoretical flow rate value obtained in advance.
又、同様に電子部品を吸着するための吸着ノズルと真空発生手段との間の真空通路内に設けた流量センサを使用し、該センサの出力を予め記憶させてある基準の流量値と比較することにより、電子部品の有無又は吸着状態の異常を検出するようにしたものが特許文献2に開示されている。 Similarly, a flow rate sensor provided in a vacuum passage between the suction nozzle for sucking electronic components and the vacuum generating means is used, and the output of the sensor is compared with a reference flow rate value stored in advance. Thus, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228688 discloses an apparatus that detects the presence or absence of an electronic component or an abnormality in the suction state.
しかしながら、現在は、配線基板に実装される電子部品の種類は数多くあり、小さい方は400μm×200μmから、大きいものでは数十mm角といったものまで存在する。 However, at present, there are many types of electronic components mounted on the wiring board, and the smaller ones range from 400 μm × 200 μm to the larger ones of several tens of square mm.
このような状況に対応するために、現状の電子部品実装装置は、複数種類の吸着ノズルを装着できるように着脱自在に構成され、搭載される電子部品のサイズや形状に合わせて、吸着孔の径が異なる複数の吸着ノズルから、最適なノズル種をそれぞれ選択して電子部品の吸着・搭載に使用することが行なわれている。 In order to cope with such a situation, the current electronic component mounting apparatus is configured to be detachable so that a plurality of types of suction nozzles can be mounted, and in accordance with the size and shape of the mounted electronic components, An optimum nozzle type is selected from a plurality of suction nozzles having different diameters and used for sucking and mounting electronic components.
ところが、流量センサを用いて、選択した吸着ノズルの種類が間違っている等のノズルの誤装着や、電子部品の吸着異常を検出しようとする場合、ノズル孔径が小さいもの(例えばφ0.1[mm])を装着している場合には、より真空に近い高負圧状態になるため、上記検出のためには極めて微量の流量変化を検出する必要があり、分解能が高く高精度な流量センサを用いる必要がある。このため、検出の信頼性を向上させるためには、例えば0〜1[L/min]や0〜3[L/min]程度の計測レンジが比較的狭い流量センサを用いて、センサ出力の分解能を上げる必要がある。 However, when using a flow sensor to detect mis-installation of the nozzle, such as the wrong type of suction nozzle being selected, or to detect abnormal suction of electronic components, a nozzle with a small nozzle diameter (for example, φ0.1 [mm] ]), It is in a high negative pressure state that is closer to a vacuum, so it is necessary to detect a very small amount of flow rate change for the above detection, and a highly accurate flow rate sensor with high resolution is required. It is necessary to use it. For this reason, in order to improve detection reliability, for example, a flow rate sensor having a relatively narrow measurement range of 0 to 1 [L / min] or 0 to 3 [L / min] is used, and the resolution of the sensor output is improved. It is necessary to raise.
一方、孔径が大きいもの(例えばφ1〜2[mm])を装着している場合には、より大気圧に近い低負圧状態となるため、ノズルの誤装着や電子部品の吸着異常(例えば、ノズル先端での斜め立ち等)を検出するためには、大きな流量を認識できるようにする必要があり、計測レンジが広い(例えば0〜10[L/min])流量センサを用いる必要がある。 On the other hand, when a device having a large hole diameter (for example, φ1 to 2 [mm]) is mounted, it becomes a low negative pressure state closer to atmospheric pressure. In order to detect an oblique standing at the tip of the nozzle, it is necessary to be able to recognize a large flow rate, and it is necessary to use a flow rate sensor having a wide measurement range (for example, 0 to 10 [L / min]).
従って、孔径の小さい吸着ノズルの誤装着や、微小部品の吸着異常を検出する場合には、狭レンジの流量センサを用いる必要があり、孔径の大きいノズルでは上記検出は不可能(センサ出力が飽和してしまう)となり、逆に孔径の大きいノズルの誤装着や、大部品の吸着異常を検出する場合には、広レンジの流量センサを用いる必要があり、ノズル孔径の小さいノズルによる上記検出が不可能(S/N比が低い)、若しくは信頼性が著しく低下するため、前記特許文献1や2に開示されている技術によっては対応できないという問題があった。
Therefore, it is necessary to use a flow sensor with a narrow range when detecting an erroneous mounting of a suction nozzle with a small hole diameter or a suction abnormality of a minute part, and the above detection is impossible with a nozzle with a large hole diameter (the sensor output is saturated). On the other hand, when detecting erroneous mounting of a nozzle with a large hole diameter or abnormal adsorption of a large part, it is necessary to use a flow sensor with a wide range, and the above detection using a nozzle with a small nozzle hole diameter is not possible. There is a problem that the technology disclosed in
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、孔径等が異なる複数種類の吸着ノズルのいずれかを選択装着し、微小部品から大部品までの任意の部品を実装する場合に、ノズルの誤装着や部品の吸着異常等を容易且つ確実に検出することができる部品実装装置を提供することを課題とする。 The present invention has been made to solve the above-mentioned conventional problems, and when any one of a plurality of types of suction nozzles having different hole diameters is selectively mounted and an arbitrary part from a small part to a large part is mounted. It is an object of the present invention to provide a component mounting apparatus that can easily and reliably detect nozzle mismounting, component adsorption abnormality, and the like.
本発明は、真空発生手段に接続される管路が形成され、該管路が連通する先端部に吸着ノズルが装着可能なシャフトを備えていると共に、該シャフトの先端部に装着された吸着ノズルの吸着端を部品に当接させた状態で、前記管路内を負圧にして該部品を吸着した後、所定位置の基板上に搭載する部品実装装置において、前記シャフトに形成されている管路内の負圧或いは流量の程度を異なる範囲で測定可能な複数の測定手段と、該管路内の負圧或いは流量の程度に応じて測定手段を切替える切替え手段とを備えていると共に、前記測定手段が、前記管路内の少流量範囲を測定する流量センサと、該管路内の低負圧範囲を測定する圧力センサであるようにしたことにより、前記課題を解決したものである。 The present invention comprises a shaft formed with a pipe line connected to a vacuum generating means, and having a suction nozzle attached to a tip part where the pipe line communicates, and the suction nozzle attached to the tip part of the shaft In a component mounting apparatus that mounts on a substrate at a predetermined position after adsorbing the component by making the inside of the pipe line negative pressure while the suction end of the tube is in contact with the component, the tube formed on the shaft A plurality of measuring means capable of measuring the degree of negative pressure or flow rate in the passage in different ranges, and a switching means for switching the measuring means according to the degree of negative pressure or flow rate in the pipe , The above-mentioned problems are solved by the fact that the measuring means is a flow rate sensor for measuring a small flow rate range in the pipeline and a pressure sensor for measuring a low negative pressure range in the pipeline .
本発明によれば、シャフトに形成された管路内の負圧或いは流量を複数の範囲で測定する測定手段を備え、切替えて使用できるようにしたので、管路内の負圧或いは流量を広い範囲で測定することが可能となることから、シャフト先端部に装着するノズルの孔径が小さいものから大きいものまで、吸着ノズルの誤装着や、ノズルによる部品の吸着異常等を容易且つ確実に検出することが可能となる。 According to the present invention, the measuring means for measuring the negative pressure or flow rate in the pipe formed in the shaft in a plurality of ranges is provided so that the negative pressure or flow rate in the pipe can be widened. Since it is possible to measure in a range, it is possible to easily and reliably detect suction nozzle mismounting, abnormal suction of parts by nozzles, etc., from small to large nozzle holes mounted on the shaft tip. It becomes possible.
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、本発明に係る一実施形態の電子部品実装装置の概要を示す斜視図である。 FIG. 1 is a perspective view showing an outline of an electronic component mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.
本実施形態の電子部品実装装置は基台1を備え、この基台1の中央部にはX方向に搬送路2が配設されている。この搬送路2は、部品を実装するための基板3をX方向に搬送すると共に、該搬送路2上で基板3を保持し、位置決めするための基板保持部を兼ねている。
The electronic component mounting apparatus according to this embodiment includes a base 1, and a
搬送路2の両側には、電子部品の供給部4が配置され、それぞれの供給部4には多数台(列)のテープ状のパーツフィーダ5が並設されている。このパーツフィーダ5はテープに保持された電子部品を収納し、このテープをテープ長手方向に送ることにより、電子部品を順次供給するようになっている。
On both sides of the
この電子部品実装装置には、移動手段としてX軸テーブル6及びY軸テーブル8A、8Bを備えている。そして、このX軸テーブル6には、図2に要部を拡大して示すような電子部品の移載ヘッド7が取付けられている。 This electronic component mounting apparatus includes an X-axis table 6 and Y-axis tables 8A and 8B as moving means. The X-axis table 6 is provided with an electronic component transfer head 7 whose main part is shown in an enlarged manner in FIG.
X軸テーブル6は、Y軸テーブル8A及びY軸テーブル8Aに対向して並設されたそのガイド8Bに、両端部を支持されて架設されている。X軸テーブル6及びY軸テーブル8Aを駆動することにより、移載ヘッド7は水平方向に移動し、該ヘッド7の下端部に装着された吸着ノズル10により、パーツフィーダ5のピックアップ位置から電子部品をピックアップし、基板3上に搭載する。
The X-axis table 6 is installed with its both ends supported by a Y-axis table 8A and a guide 8B arranged in parallel to face the Y-axis table 8A. By driving the X-axis table 6 and the Y-axis table 8A, the transfer head 7 moves in the horizontal direction, and an electronic component is picked up from the pickup position of the parts feeder 5 by the
前記搬送路2と供給部4の間の移載ヘッド7の移動経路には、カメラ9が配設されており、該カメラ9は移載ヘッド7及び吸着ノズル10を下方から撮像可能になっている。移載ヘッド7が電子部品を保持した状態をカメラ9で撮像することにより、電子部品の識別や基準位置からの位置ずれの検出が行なわれる。
A camera 9 is disposed on the moving path of the transfer head 7 between the
次に、図2、図3を用いて、本実施形態の電子部品実装装置が備えている前記移載ヘッド7について詳述する。 Next, the transfer head 7 provided in the electronic component mounting apparatus according to the present embodiment will be described in detail with reference to FIGS.
図2において、移載ヘッド7には複数のノズルシャフト11がそれぞれθ軸モータ12に係合され、各軸独立でノズルシャフト11がθ方向に回転駆動可能となっている。又、各ノズルシャフト11の昇降動作を行なうためのZ軸モータ13をそれぞれ備え、各軸独立でノズルシャフト11の昇降動作が可能となっている。更に、各ノズルシャフト11の先端には吸着ノズル10が着脱自在に装着されている。
In FIG. 2, a plurality of
吸着ノズル10の先端には、エアを吸引するための吸着孔が設けられており、該吸着孔のサイズは吸着部品のサイズや形状等の違いにより、それぞれ対応できるように複数種類の吸着ノズル10が用意されている。例えば、微小チップ部品等の吸着を行なうノズルの吸着孔はφ0.1[mm]と非常に小さく、数十[mm]角といった大形部品等の吸着を行なうノズルの吸着孔はφ1〜2[mm]と比較的大きい。これらは装置上に設けられた図示しないノズル保持部(交換部)に収納されており、必要に応じて移載ヘッド7はノズル保持器上へ移動し、ノズル種類の交換を自由に行なうことができるようになっている。
A suction hole for sucking air is provided at the tip of the
次に、前記移載ヘッド7に設けられた、電子部品を吸着するためのチップ吸着機構について、その構造を単純化して示した図3を用いて説明する。 Next, a chip suction mechanism provided on the transfer head 7 for sucking an electronic component will be described with reference to FIG.
この図に示されるように、吸着ノズル10は、管路14を介して、管路内を流れる気体の流量を計測するための流量センサ15と、圧縮空気を噴射して真空を発生させるためのエジェクタからなる真空発生装置16とに接続されている。流量センサ15は、例えば計測レンジが0〜3[L/min]のように狭く、高負圧範囲に相当する微小な流量差の検出が可能なものが配置されている。
As shown in this figure, the
又、この真空発生装置16には、管路内の負圧を計測するための圧力センサ17が備えられており、該圧力センサ17の計測レンジは例えば−100〜0[kPa]のように、真空状態から大気圧までの低負圧範囲を含む広範囲の計測が可能になっている。 The vacuum generator 16 is provided with a pressure sensor 17 for measuring the negative pressure in the pipe. The measurement range of the pressure sensor 17 is, for example, -100 to 0 [kPa], A wide range of measurements is possible, including a low negative pressure range from vacuum to atmospheric pressure.
次に、以上の構成からなる本実施形態の電子部品実装装置について動作を説明する。 Next, operation | movement is demonstrated about the electronic component mounting apparatus of this embodiment which consists of the above structure.
先ず、搬送路2上に基板3が搬送され、位置決めされる。次いで、移載ヘッド7は電子部品をピックアップするために供給部4上へと移動する。このとき、ノズルシャフト11の先端部には任意の吸着ノズル10が取り付けられている。
First, the substrate 3 is transported and positioned on the
移載ヘッド7の移動中に、吸着ノズル10が電子部品を吸着していない状態で、移載ヘッド内に設けられた真空発生装置16により管路14内を負圧とし、吸着ノズル10の先端孔よりエアを吸引する。
While the transfer head 7 is moving, in the state where the
このとき、仮にノズルシャフト11に取り付けられた吸着ノズル10が大型部品用であった場合には、ノズル口径が大きいため、管路14内を流れる流量は大きくなり、流量センサ15の計測レンジである3[L/min]を越えてしまい、センサ出力が飽和する(例えば、電圧出力範囲が1〜5[V]のセンサであれば、出力電圧が5[V]となる)。このように、部品を吸着していない状態での流量センサ15の出力が飽和しているか否かを認識し、図示しない装置本体の持つフラッシュメモリ(一次記憶装置)に記憶させる。
At this time, if the
又、この段階で、後述するノズル種の検出方法により、装着されている吸着ノズルが正しい種類であるか、即ち誤装着か否かの判定を行なう。 Further, at this stage, it is determined whether or not the attached suction nozzle is the correct type, that is, whether or not it is erroneously mounted, by a nozzle type detection method described later.
次いで、移載ヘッド7が部品吸着位置へ移動され、その位置が正確に定まった整定後に、Z軸モータ13の駆動により、ノズルシャフト11を下降させる。ノズルシャフト11の先端に取り付けられている吸着ノズル10が部品吸着高さまで下降し、パーツフィーダ5に納められている電子部品と当接する直前に、真空発生装置16を作動させ、ノズルシャフト11の管路14内を負圧とすることにより、吸着ノズル先端に当接した電子部品を吸着(ピックアップ)する。電子部品を吸着したノズル10は、Z軸モータ13の駆動により移載ヘッド7が移動可能となる高さまで上昇される。
Next, the transfer head 7 is moved to the component suction position, and after the position is accurately determined, the
このとき、既にフラッシュメモリ内に格納されている、非吸着時の流量センサ15の出力が飽和しているか否かの情報を読み出す。この情報に基づき、飽和していなかった場合には流量センサ15の出力を用いて、ノズル10による部品の吸着異常を検出する。一方、飽和していた場合には、圧力センサ17の出力を用いて、同様にノズルによる部品の吸着異常を検出する。
At this time, information indicating whether or not the output of the flow sensor 15 at the time of non-adsorption is already stored in the flash memory is read out. Based on this information, if not saturated, the output of the flow sensor 15 is used to detect an abnormal suction of the component by the
次に、検出方法を詳細に説明する(検出原理は、流量センサ、圧力センサ共に基本的には同じである)。 Next, the detection method will be described in detail (the detection principle is basically the same for both the flow sensor and the pressure sensor).
吸着ノズル10の種類(孔径)の違いや、図4に拡大して示すような部品の吸着状態によって吸着孔の面積(塞がり具合)が異なるため、真空発生装置16によりエアを吸引した際の管路14内の流量や圧力は変化する。即ち、同図(A)のような非吸着時には流量は大きく、減少する圧力は小さく(負圧程度は低く)なり、同図(B)のような正常吸着時には流量は小さく、負圧程度が高くなり、同図(C)に示される部品の斜め立ち等の吸着異常時にはその中間の値となる。
Since the suction hole area (blocking condition) varies depending on the type (hole diameter) of the
このため、それぞれの条件におけるセンサ出力の実測結果より定めた閾値を、特に図示しない装置本体のメモリ(記憶装置)に記憶させておき、それらの値とセンサ出力値とを比較することにより、ノズルシャフト11に装着されている吸着ノズルの種類の正誤や、電子部品の吸着異常状態を認識することができる。
For this reason, the threshold value determined from the actual measurement result of the sensor output under each condition is stored in a memory (storage device) of the apparatus main body (not shown), and the nozzle output is compared with the sensor output value. It is possible to recognize whether the type of suction nozzle mounted on the
ここで、ノズル種の検出、即ち装着されている吸着ノズルの種類が正しいか否か(誤装着されていないか否か)の検出を、図5のフローチャートに従って詳細に説明する。この例では、ノズルA〜Dの孔径がA、B、C、Dの順に大きいとし、且つ、ノズルA、Bは流量センサ15で検出可能で、ノズルC、Dは検出不能であると仮定する。又、流量センサの出力値をFS、圧力センサの出力値をPS、各ノズル装着時の出力値をSA、SB、SC、SD、SAとSBの中間の出力値をSABと、それぞれ表記する。 Here, detection of the nozzle type, that is, detection of whether or not the type of the suction nozzle mounted is correct (whether or not it is mounted incorrectly) will be described in detail with reference to the flowchart of FIG. In this example, it is assumed that the hole diameters of the nozzles A to D are larger in the order of A, B, C, and D, the nozzles A and B can be detected by the flow sensor 15, and the nozzles C and D cannot be detected. . Further, the output value of the flow rate sensor F S, the output value P S of the pressure sensor, the output value at each nozzle mounted S A, S B, S C, S D, the intermediate of the output value of S A and S B Are respectively denoted as S AB .
前述した如く、任意のノズルをシャフトに装着した状態で、真空発生装置16を作動させ、流量センサ15により検出する。流量センサ出力PSがステップ1で非飽和(検出可能)の場合には、予め求めてあるノズルAとBの中間の値FSAB(閾値)と比較し(ステップ2)、センサ出力の方が小さければノズルAと、逆の場合はノズルBと判定する。 As described above, the vacuum generator 16 is operated with an arbitrary nozzle mounted on the shaft and is detected by the flow sensor 15. If the flow sensor output PS is not saturated (detectable) in Step 1, it is compared with the intermediate value F S AB (threshold) between the nozzles A and B determined in advance (Step 2), and the sensor output Is smaller than Nozzle A, and vice versa.
ステップ1で流量センサ15の出力が飽和(検出不能)のときには、図示しない制御装置(切替手段)により圧力センサ16による検出に切替え、そのセンサ出力PSの値と、予め求めてあるノズルCとDの中間の出力値PSCD(閾値)とを比較し(ステップ3)、同様にノズルCかDかの判定を行なう。 When the output of the flow sensor 15 is saturated (undetectable) in step 1, switching to the detection by the pressure sensor 16 by a control device (not shown) (switching means), a value of the sensor output P S, a nozzle C which are calculated in advance An intermediate output value P S CD (threshold value) of D is compared (step 3), and it is similarly determined whether the nozzle is C or D.
以上の判定の結果、生産プログラムで予め想定していたノズルの種類と異なっていた場合は、現状のノズルは誤装着と判断する。 As a result of the above determination, if the nozzle type is different from the type assumed in advance in the production program, it is determined that the current nozzle is erroneously mounted.
次に、部品吸着状態の検出を、図6のフローチャートに従って詳細に説明する。なお、流量センサ出力値と圧力センサ出力値の記号は同一とし、部品の吸着時、非吸着時のセンサ出力値をそれぞれSON、SOFFと表記する。 Next, detection of the component suction state will be described in detail with reference to the flowchart of FIG. The symbols of the flow sensor output value and the pressure sensor output value are the same, and the sensor output values at the time of component adsorption and non-adsorption are expressed as S ON and S OFF , respectively.
フラッシュメモリから読み出された流量センサ出力が、ステップ11で非飽和の場合は、装着されているノズルで電子部品を装着し(ステップ12)、その状態で検出される流量センサの出力FSを、予め求めてあるFSONとFSOFFと比較し(ステップ13)、正常吸着、吸着ミス、その中間の異常吸着のいずれであるかを判定する。
If the flow sensor output read from the flash memory is not saturated in
一方、読み出された流量センサ出力が、ステップ11で飽和の場合は、制御装置により圧力センサの出力に切替え、同様にステップ14、15で電子部品の吸着、圧力センサ出力PSの比較を行ない、吸着状態の良否判定を行なう。
On the other hand, the flow rate sensor output is read, in case of saturation in
以上詳述した方法により、吸着ノズル10による部品の吸着が正常であることが検出された場合には、部品の吸着位置及び角度の認識を行なうために、装置本体に設けられている認識カメラ9上へ移動し、吸着部品の位置認識を行なう。この位置認識の結果を基に、移載ヘッド7は搬送路2に位置決め固定されている基板3上の所定位置に移動し、θ軸モータ12とZ軸モータ13の駆動により、電子部品を基板3上へ搭載すると共に、真空を解除してノズル10を上昇させる。
When it is detected by the method described above in detail that the suction of the component by the
部品搭載後、フラッシュメモリ内に格納されている非吸着時の流量センサの出力が飽和しているか否かの情報を読み出す。この情報に基づき、飽和していなかった場合には流量センサ15の出力を用いて、再度真空発生装置16を作動させた結果に基づいて、部品の持ち帰り(部品の搭載が失敗し、ノズル先端に部品が残っている状態)の検査を行ない、飽和していた場合には圧力センサ17の出力を用いて同様の検査を行なう。 After mounting the part, information on whether or not the output of the flow sensor at the time of non-adsorption stored in the flash memory is saturated is read. Based on this information, if it is not saturated, the output of the flow sensor 15 is used and the vacuum generator 16 is actuated again. In the case where the component remains, and if it is saturated, the same inspection is performed using the output of the pressure sensor 17.
以上詳述した本実施形態によれば、多種多様なサイズや形状の電子部品の搭載を行なうために、口径の異なる複数のノズルを用いる電子部品実装装置において、いずれのノズルを用いた場合でも、確実にノズルの誤装着や、電子部品の吸着異常、持ち帰り等を検出することができるようになるため、実装品質の信頼性を向上することができる。 According to the embodiment described above in detail, in order to mount electronic components of various sizes and shapes, in the electronic component mounting apparatus using a plurality of nozzles having different diameters, no matter which nozzle is used, Since it becomes possible to reliably detect mismounting of nozzles, abnormal suction of electronic components, take-out, and the like, it is possible to improve the reliability of mounting quality.
又、測定レンジの狭いセンサを使用できることから、センササイズの小型化が可能であり、ノズル装着部の近傍に該センサを取り付けることができるようになるので、安定性が増大すると共に、軽量であるためにヘッド上に取り付けてもヘッドの駆動機構部の負荷の増大を防止できる利点もある。 In addition, since a sensor with a narrow measurement range can be used, the sensor size can be reduced, and the sensor can be mounted in the vicinity of the nozzle mounting portion, so that the stability is increased and the weight is reduced. Therefore, there is an advantage that an increase in the load on the drive mechanism portion of the head can be prevented even if it is mounted on the head.
なお、前記実施形態では、負圧測定手段として、1つのノズルシャフトに対して、流量センサ15と圧力センサ17を併用する場合を示したが、これに限定されず、狭レンジの流量センサと、広レンジの流量センサとを併用し、高負圧(小流量)範囲と低負圧(大流量)範囲の測定に対応できるようにしてもよい。 In the above-described embodiment, the case where the flow rate sensor 15 and the pressure sensor 17 are used in combination as one negative shaft as the negative pressure measuring means has been described. A wide range of flow rate sensors may be used together to support measurement in a high negative pressure (small flow) range and a low negative pressure (large flow) range.
又、センサ出力が飽和した場合には、センサアンプのゲインを自動的に切換えることにより、広レンジでの測定を行なうことができるようにし、高負圧(小流量)範囲と低負圧(大流量)範囲の測定に対応できるようにしてもよい。 Also, when the sensor output is saturated, the gain of the sensor amplifier is automatically switched to enable measurement over a wide range, and the high negative pressure (small flow) range and low negative pressure (large (Flow rate) range may be supported.
3…基板
5…パーツフィーダ
7…移載ヘッド
10…吸着ノズル
11…ノズルシャフト
12…θ軸モータ
13…Z軸モータ
14…管路
15…流量センサ
16…真空発生装置
17…圧力センサ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 3 ... Board | substrate 5 ... Parts feeder 7 ...
Claims (1)
該シャフトの先端部に装着された吸着ノズルの吸着端を部品に当接させた状態で、前記管路内を負圧にして該部品を吸着した後、所定位置の基板上に搭載する部品実装装置において、
前記シャフトに形成されている管路内の負圧或いは流量の程度を異なる範囲で測定可能な複数の測定手段と、
該管路内の負圧或いは流量の程度に応じて測定手段を切替える切替え手段とを備えていると共に、
前記測定手段が、前記管路内の少流量範囲を測定する流量センサと、該管路内の低負圧範囲を測定する圧力センサであることを特徴とする部品実装装置。 A pipe line connected to the vacuum generating means is formed, and a shaft to which the suction nozzle can be attached is provided at a tip portion where the pipe line communicates,
Component mounting that is mounted on a substrate at a predetermined position after suctioning the component by applying a negative pressure in the pipe line with the suction end of the suction nozzle attached to the tip of the shaft in contact with the component In the device
A plurality of measuring means capable of measuring the degree of negative pressure or flow rate in the pipe formed in the shaft in different ranges;
A switching means for switching the measuring means according to the degree of negative pressure or flow rate in the pipe ,
The component mounting apparatus , wherein the measuring means is a flow sensor for measuring a small flow rate range in the pipe and a pressure sensor for measuring a low negative pressure range in the pipe .
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006179588A JP2006179588A (en) | 2006-07-06 |
JP4516836B2 true JP4516836B2 (en) | 2010-08-04 |
Family
ID=36733424
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004369576A Active JP4516836B2 (en) | 2004-12-21 | 2004-12-21 | Component mounting equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4516836B2 (en) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5081646B2 (en) * | 2008-01-29 | 2012-11-28 | ヤマハ発動機株式会社 | Electronic component transfer equipment |
JP5147589B2 (en) * | 2008-08-05 | 2013-02-20 | Juki株式会社 | Electronic component mounting device |
CN106465577B (en) * | 2014-09-26 | 2019-03-19 | 雅马哈发动机株式会社 | Element fixing apparatus, surface mounting apparatus and the detection method for adsorbing height and position |
JP6285501B2 (en) * | 2016-06-28 | 2018-02-28 | 富士機械製造株式会社 | Mounting head maintenance device |
JP2018006709A (en) * | 2016-07-08 | 2018-01-11 | ヤマハ発動機株式会社 | Component mounding device and isolation method of electronic component |
JP7193062B2 (en) * | 2018-08-01 | 2022-12-20 | Thk株式会社 | Actuator sensing device and actuator control system |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07212099A (en) * | 1994-01-24 | 1995-08-11 | Juki Corp | Apparatus and method for detecting suction malfunction of chip component |
-
2004
- 2004-12-21 JP JP2004369576A patent/JP4516836B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07212099A (en) * | 1994-01-24 | 1995-08-11 | Juki Corp | Apparatus and method for detecting suction malfunction of chip component |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006179588A (en) | 2006-07-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071213 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100218 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100402 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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